JPH04232779A - 情報記録媒体 - Google Patents

情報記録媒体

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JPH04232779A
JPH04232779A JP2415581A JP41558190A JPH04232779A JP H04232779 A JPH04232779 A JP H04232779A JP 2415581 A JP2415581 A JP 2415581A JP 41558190 A JP41558190 A JP 41558190A JP H04232779 A JPH04232779 A JP H04232779A
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Yoshiyuki Kageyama
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光情報記録媒体、特に相
変化型情報記録媒体であって、光ビームを照射すること
により記録層材料に相変化を生じさせ、情報の記録、再
生を行い、かつ書換えが可能である光情報記録媒体に関
するものであり、光メモリー関連機器に応用される。
【0002】
【従来の技術】電磁波、特にレーザービームの照射によ
る情報の記録、再生及び消去可能な光メモリー媒体の一
つとして、結晶−非晶質相間あるいは結晶−結晶相間の
転移を利用する、いわゆる相変化型記録媒体がよく知ら
れている。特に光磁気メモリーでは困難な単一ビームに
よるオーバーライトが可能であり、ドライブ側の光学系
もより単純であることなどから最近その研究開発が活発
になっている。その代表的な材料例として、USP 3
,530,441 に開示されているようにGe−Te
、Ge−Te−S 、Ge−Se−S 、Ge−Se−
Sb、Ge−As−Se、In−Te、Se−Te、S
e−Asなどのいわゆるカルコゲン系合金材料があげら
れる。又、安定性、高速結晶化などの向上を目的にGe
−Te系にAu(特開昭61−219692)、Sn及
びAu(特開昭61−270190)、Pd(特開昭6
2−19490)等を添加した材料の提案や、記録/消
去の繰返し性能向上を目的にGe−Te−Se−Sbの
組成比を特定した材料(特開昭62−73438)の提
案などもなされている。しかしながら、そのいずれもが
相変化型書換え可能光メモリー媒体として要求される諸
特性のすべてを満足しうるものとはいえない。特に記録
感度、消去感度の向上、オーバーライト時の消しのこり
による消去比低下の防止、並びに記録部、未記録部の長
寿命化が解決すべき最重要課題となっている。
【0003】結晶−非晶質層間相転移や結晶−結晶間相
転移を利用した相変化形の記録方式においては、入射電
磁波のエネルギーを記録膜内部で熱エネルギーに変換し
て記録材料の記録部と非記録部との間の転移を行う。記
録、消去に必要な時間をできるだけ短くするため、例え
ば、記録部には準安定相である非晶質相、非記録部には
安定相である結晶相を用いるのが一般的である。準安定
相である非晶質相形成には、分子間の結合を切るため材
料の温度を融点(Tm)以上まで上昇させなければなら
ない。また、非秩序状態を凍結するための急冷条件が必
要である。また安定相である結晶相形成には分子間の結
合を促すため材料の温度を結晶化転移点(Tc)以上ま
で上昇させなければならない。また、結晶相形成のため
の徐冷条件が必要である。このような原理的な理由から
、相変化型の記録材料には熱履歴による媒体特性や寿命
の劣化が避けられないとされている。記録感度、消去感
度、寿命といった特性は非晶質相と結晶相との間の転移
エネルギー壁の大きさ、すなわち融点(Tm)と結晶化
転移点(Tc)に大きく影響される。これらのエネルギ
ー壁が小さいと記録感度、消去感度は良好だが、記録部
の寿命が短く、逆に大きいと記録感度、消去感度は劣る
が寿命は長くなる。従って、これらの条件が最も良好と
なるよう、一般には融点はおよそ 600℃、結晶化転
移点はおよそ 200℃程度の記録材料が用いられてい
る場合が多い。 感度の向上をはかるため、熱吸収率の大きな材料を記録
膜中に添加したり記録媒体に熱吸収層などを設けている
場合もある。しかしながら、記録材料の温度を融点付近
まで上昇させることは熱履歴による記録消去特性の劣化
の原因となる。さらに半導体レーザーの発振出力を考慮
すると、高記録パワーを必要とする記録媒体は記録装置
のコスト高につながる。また、光記録媒体には高速高密
度記録が期待されているが、これらの条件下での記録、
消去は更に高パワーを必要とし、記録・消去感度、C/
N比、消去率の低下の原因となる。
【0004】特開昭63−251290では結晶状態が
実質的に三元以上の多元化合物単相からなる記録層を具
備した光記録媒体が提案されている。ここで実質的に三
元以上の多元化合物単相とは三元以上の化学量論組成を
もった化合物(例えばIn3SbTe2)を記録層中に
90原子%以上含むものとし、このような記録層を用い
ることにより、高速記録、高速消去が可能になるとして
いる。しかし記録、消去に要するレーザーパワーはいま
だ十分に低減されてはいない。また、消去比が低い、繰
返し特性、長期の信頼性が十分ではないこと等の欠点を
有している。これらの事情から安定な高感度の記録、消
去に適する記録材料の開発が望まれていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術に比較して下記の点を改良した情報記録媒体を提供す
るものである。 (1) C/N、消去比の向上 (2) 記録、消去感度の向上 (3) 記録−消去の繰返し性能の向上(4) 長寿命
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、以上の
ような事情に対するものであり、低パワーで安定な記録
−消去の繰返しが可能な情報記録媒体を提供するもので
ある。そこで本発明者等は改善に鋭意研究を重ねた結果
、前述目的に合致する記録材料を見出した。即ち、本発
明の情報記録媒体の記録層は次の組成式、AgαInβ
TeγSbδ   ただし、 6≦α≦13 8≦β≦17 18≦γ≦28 45≦δ≦66 α+β+γ+δ=100 により表わされる材料からなる。さらに、記録材の未記
録状態において、記録層中に結晶質の相と非結晶質の相
を含み、そのうち結晶質の相の記録層全体に占める割合
が 50mol%以下である。このような記録材料を用
いることによりC/N、消去比は高く、低パワーでの記
録、消去が可能となる。従って記録材料にかかる熱履歴
によるストレスを最小限に押さえ、繰返し特性、寿命を
大幅に改善できる。  このような良好な特性を示す記
録層の形成過程、及び記録消去のメカニズムを明らかに
するため、記録媒体のX線回折、電子線回折の測定、透
過型電子顕微鏡 (TEM)観察を行った結果、以下の
ような結果が得られた。as depo.状態ではX線
回折、電子線回折ともにアモルファス状態であることを
示すハローパターンが観察される。また、TEM では
非常に均一なアモルファス相が観察できる。
【0007】レーザーアニールによる結晶化後、すなわ
ち未記録部のX線回折には、アモルファス状態の物質の
存在を示すハローパターンとAgSbTe2からの結晶
性ピークが観察される。電子線回折パターンには、やは
りアモルファス状態の物質の存在を示すリング及びハロ
ーパターンと、結晶AgSbTe2からのスポット回折
像が観測される。このことから、未記録部では結晶Ag
SbTe2とアモルファス相あるいはそれに近い状態の
物質とが両方存在している状態であることがわかる。つ
まり、結晶化の過程において相分離または分相がおこり
、AgSbTe2が微結晶として分散されたことがうか
がえる。エレクトロニク・セラミックスNo.5,(1
986) によって示されているように、このような過
程を通じて形成された分散相は粒径が数nm〜数十nm
と小さい。粒径がこのオーダーになると、サイズ効果に
より融点は大きく降下する。(図2)AgSbTe2の
場合、粒径が 300Åになると融点はバルク時の値の
約570℃から約 460℃にまで降下することが予想
される。(表面エネルギーを1000erg/cm2と
した場合)。また、界面は結晶粒界であることが特徴で
あり、このことが粒径を常に小さく保ち得る要因となっ
ている。実際にX線回折の線幅からシェラーの式を用い
てAgSbTe2結晶子の平均粒径を求めたところ、A
gSbTe2は約120Åの微結晶状態であることがわ
かった。
【0008】また、TEMで観察されたグレインの大き
さは約50Å〜約300 Åにわたって分布している。 X線回折ではこれらの統計的な平均値が観測されている
と考えられる。以下本発明を添付図面に基づき説明する
。図1は本発明の構成例を示すものである。基板(1)
 上に耐熱性保護層(2) 、記録層(3) 、耐熱性
保護層(4) 、反射層(5) が設けられている。必
要に応じて、反射放熱層(5) 上に環境保護層を設け
てもよい。耐熱性保護層は必ずしも記録層の両側に設け
る必要はなく、耐熱性保護層(2) のみ、あるいは耐
熱性保護層(4) のみの構造でもよい。 基板がポリカーボネート樹脂のように耐熱性が低い材料
の場合には耐熱性保護層(2) を設けることが望まし
い。
【0009】本発明で用いられる基板は通常ガラス、セ
ラミクス、あるいは樹脂であり、樹脂基板が成形性、コ
スト等の点で好適である。樹脂の代表例としてはポリカ
ーボネート樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリス
チレン樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体樹脂
、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、シリコン系
樹脂、フッ素系樹脂、ABS樹脂、ウレタン樹脂等があ
げられるが、加工性、光学特性等の点でポリカーボネー
ト樹脂、アクリル系樹脂が好ましい。又、基板の形状と
してはディスク状、カード状あるいはシート状であって
もよい。
【0010】耐熱性保護層の材料としては、SiO、S
iO2、ZnO、SnO2、Al2O3、TiO2、I
n2O3、MgO、ZrO2等の金属酸化物、Si3N
4、AlN、TiN、BN、ZrNなどの窒化物、Zn
S、In2S3、TaS4等の硫化物、SiC、TaC
、B4C、WC、TiC、ZrCなどの炭化物やダイヤ
モンド状カーボンあるいはそれらの混合物があげられる
。これらの材料は単体で保護層とすることもできるが、
お互いの混合物としてもよい。又、必要に応じて不純物
を含んでいてもよい。但し、耐熱性保護層の融点は記録
層の融点よりも高いことが必要である。このような耐熱
性保護層は各種気相成長法、例えば真空蒸着法、スパッ
タリング法、プラズマCVD法、光CVD法、イオンプ
レーティング法、電子ビーム蒸着法等によって形成でき
る。耐熱性保護層の膜厚としては200〜5000Å、
好適には 500〜3000Åとするのがよい。 20
0Åより薄くなると耐熱性保護層としての機能を果たさ
なくなり、逆に5000Åよりも厚くなると、感度の低
下をきたしたり、界面剥離を生じやすくなる。又、必要
に応じて保護層を多層化することもできる。本発明に用
いられる記録層は各種気相成長法、例えば、真空蒸着法
、スパッタリング法、プラズマCVD法、光CVD法、
イオンプレーティング法、電子ビーム蒸着法等によって
形成できる。気相成長法以外にゾルゲル法のような湿式
プロセスも適用可能である。記録層の膜厚としては10
0〜10000Å、好適には 200〜  3000Å
とするのがよい。
【0011】反射層としてはAl、Auなどの金属材料
を用いることができるが、必ずしも必要ではない。この
ような反射放熱層は各種気相成長法、例えば真空蒸着法
、スパッタリング法、プラズマCVD法、光CVD法、
イオンプレーティング法、電子ビーム蒸着法等によって
形成できる。記録、再生及び消去に用いる電磁波として
はレーザー光、電子線、X線、紫外線、可視光線、赤外
線、マイクロ波等、数種のものが採用可能であるが、ド
ライブに取付ける際、小型でコンパクトな半導体レーザ
ーが最適である。
【0012】
【実施例】以下、実施例によって本発明を具体的に説明
する。ただし、この実施例は本発明をなんら制限するも
のではない。
【0013】実施例1 ディスク1としてピッチ 1.6μm 、深さ 700
Åの溝付き、厚さ 1.2mm、直径86mmφのポリ
カーボネート基板上にrfスパッタリング法により耐熱
保護層、記録層、耐熱保護層、反射層を順次積層し、評
価用光ディスクを作製した。基板上に設ける記録材料と
してAg11In11Te23Sb55を用い、膜厚は
1000Åとした。反射層はAlを用い、膜厚 500
Åとした。耐熱保護層はSi3N4を用い膜厚は基板側
2000Å、反射層側1000Åとした。光ディスクの
評価は 830nmの半導体レーザー光をNA=0.5
 のレンズを通して媒体面で1μmφのスポット径にし
ぼり込み基板側から照射することにより行った。製膜後
の記録膜は非晶質であったが、測定に際し最初に媒体面
で10mWのDC光でディスク全面を十分に結晶化させ
、それを初期(未記録)状態とした。ディスクの線速度
は7m/secとした。記録の書き込み条件は、線速度
7m/sec、周波数4MHzとし、オーバーライト時
には4MHzと5MHzの信号でオーバーライトした。 読み取り光パワー(Pr)は1mW とした。図3に単
純記録消去モード時のC/N、及びDC光による消去後
の消去比と、記録レーザーパワー(Pw)との関係を示
す。図中、●は記録時のC/N値を示し、矢印の長さは
DC光消去により消去されたC/N値を示す。従って、
矢印の先のC/N値が消し残りのC/N値である。これ
からわかるように、本発明のディスクでは非常に高いC
/Nが得られる。また、記録されたマークによるC/N
値が 100%消去できる完全消去が実現している。さ
らに、Pw=5mW から記録することができ、Pw=
8mW でC/Nが飽和しはじめることから、高感度な
記録材料であるということができる。最高C/Nとその
時の記録パワー(Pw)、及びDC光による消去後の消
去比を第1表中に示す。図4にオーバーライト時の記録
消去特性を示す。図中、●はバイアスパワー(Pe)5
mW 時のC/Nのピークパワー(Pw)依存性である
。Pwが8mW 以上でC/Nが飽和しはじめ、Pw≧
9mW でC/N≧50dBの高C/Nが得られる。P
w=10mW時における消去比のPe依存性を図中の○
で示す。Pe≧4mW で消去比−40dB以上の高い
値が得られた。特にPe=5mW では完全消去が達成
されている。信頼性に関しては、繰返し性能と保存寿命
について実験を行った。オーバーライトモードの繰返し
試験を行ったところ、105 回以上の繰返し後もC/
N、消去ともに劣化は見られず、高性能を保持すること
を確認した。また、70℃、80℃、90℃における耐
熱試験を行ったところ、1500時間後もC/N、消去
比に変化は見られなかった。
【0014】実施例2 ディスク2として基板上に設ける記録材料にAg10I
n14Te25Sb51を用いたものを作製した。ディ
スクの層構成などは、ディスク1と同様である。実施例
1と同様の条件下での単純記録消去モード時の最高C/
Nとその時の記録パワー(Pw)、及びDC光による消
去後の消去比を表1中に示す。このディスクにおいても
C/N50dB以上で完全消去が実現している。
【0015】実施例3 ディスク3として基板上に設ける記録材料にAg8In
10Te21Sb61を用いたものを作製した。ディス
クの層構成などは、ディスク1と同様である。実施例1
と同様の条件下での単純記録消去モード時の最高C/N
とその時の記録パワー(Pw)、及びDC光による消去
後の消去比を表1中に示す。このディスクにおいてもC
/N50dB以上で完全消去が実現している。
【0016】比較例1 比較例として、AgSbTe2単相を記録層として用い
たディスクを作製した。ディスクの層構成などは実施例
と同様である。実施例と同様の条件下での単純記録消去
モード時のC/N、及びDC光による消去後の消去比と
記録レーザーパワー(Pw)との関係を図5に示す。但
し、初期化パワー、消去レーザーパワー(Pe)は9m
W とした。図中、□は記録時のC/N値を示し、矢印
の長さはDC光消去により消去されたC/N値を示す。 これより、AgSbTe2単相のみでは本発明のような
完全消去は実現できず、C/Nも小さくなる。最高C/
Nとその時の記録パワー(Pw)、及びDC光による消
去後の消去比を表1中に示す。
【0017】比較例2 表1に種々の組成のAg−In−Te−Sb系記録材料
を用いたディスクの単純記録消去モード時の最高C/N
とその時の記録パワー(Pw)及びDC光による消去後
の消去比を示す。測定条件は実施例と同様とする。本発
明の組成範囲でC/N50dB以上、かつ完全消去とい
う良好な特性を示している。また、記録パワーも12m
W以下であり、非常に高感度な材料であることがわかる
。本発明の組成範囲外ではC/N、消去比は小さくなり
、記録パワーは高くなる。 表1   ディスク      組        成   
 C/N(dB)   消去比(dB)  Pw(mW
)  評  価  比較例2    Ag24In25
Te41Sb10    32         −5
        15       ×  比較例2 
   Ag18In19Te36Sb27    40
        −10        16    
   △  比較例2    Ag15In16Te3
2Sb37    45        −25   
     16       △  実施例2    
Ag10In14Te25Sb51    53   
     −53        12       
○  実施例1    Ag11In11Te23Sb
55    56        −56      
  11       ○  実施例3    Ag8
In10Te21Sb61     54      
  −54        10       ○  
比較例2    Ag7In7Te14Sb72   
   37        −37        1
3       △  比較例2    Ag4In5
Te11Sb80      32        −
15        14       △  比較例
1    Ag25In0Te50Sb25     
42        −23        10  
     ×
【0018】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の記録材料
においては、 (1) C/N、消去比の向上 (2) 記録、消去感度の向上 (3) 記録−消去の繰返し性能の向上(4) 長寿命
化 が達成できた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の情報記録媒体の構成例を示す断面の模
式図、
【図2】AgSbTe2粒子の粒径と融点との関係を示
すグラフ、
【図3】実施例1の記録媒体の単純記録消去モ−ド時の
C/N、およびDC光による消去後の消去比と、記録レ
−ザ−パワ−(Pw)との関係を示すグラフ、
【図4】
オ−バ−ライト時の記録消去特性を示すグラフ、
【図5】比較例1の記録媒体の単純記録消去モ−ド時の
C/N、及びDC光による消去後の消去比と、記録レ−
ザ−パワ−(Pw)との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
1…基板 2及び4…耐熱保護層 3…記録層 5…反射放熱層

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  電磁波のエネルギーを利用して記録材
    料の2状態間を転移させることにより、情報を記録する
    情報記録媒体において、記録層が次の組成式、AgαI
    nβTeγSbδ ただし、 6≦α≦13 8≦β≦17 18≦γ≦28 45≦δ≦66 α+β+γ+δ=100 により表わされる材料からなることを特徴とする情報記
    録媒体。
  2. 【請求項2】  記録材の未記録状態において、記録層
    中に結晶質の相と非結晶質の相を含み、そのうち結晶質
    の相の記録層の全体に占める割合が50mol%以下で
    あることを特徴とする前記請求項1記載の情報記録媒体
  3. 【請求項3】  結晶質の相が主としてAgSbTe2
    であることを特徴とする前記請求項2記載の情報記録媒
    体。
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