JPH0423355A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH0423355A
JPH0423355A JP12314390A JP12314390A JPH0423355A JP H0423355 A JPH0423355 A JP H0423355A JP 12314390 A JP12314390 A JP 12314390A JP 12314390 A JP12314390 A JP 12314390A JP H0423355 A JPH0423355 A JP H0423355A
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resistor
terminal
type
resistors
semiconductor
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JP12314390A
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Hironori Hanabusa
花房 宏典
Isao Akitake
秋武 勇夫
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Hitachi Ltd
Hitachi Industry and Control Solutions Co Ltd
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Hitachi Ltd
Hitachi Video Engineering Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えば、抵抗比精度が要求されるA/D、D
/A変換器、及び低歪み率が要求されるオーディオ信号
処理回路に利用して有効な半導体装置に関するものであ
る。
〔従来の技術〕
従来の半導体装置の一例を第16図に示す。同図におい
て、INは入力端子、OUTは出力端子、T5.T6は
それぞれ端子、R30,R31は抵抗器である。
第16図において、入力端子INは抵抗器R30の端子
T5に接続される。抵抗器R30の端子T6は抵抗器R
31の端子T5と出力端子0tJTとに接続される。抵
抗器R31の端子T6は接地される。
第17図は第16図に示した従来例の構造を示す断面図
であり、第16図と同一のもの、または同一機能のもの
には同じ符号をつけてその詳細な説明は省略する。
第17図において、LN3.LN4はN形半導体抵抗、
WF2はP形半導体、SUBはN形半導体基板をそれぞ
れ示す。
ここで、N形半導体抵抗LN3.LN4は、N形半導体
基板SUBとの電気的分離を図るため、P形半導体WP
3をN形半導体基板SUB上に形成し、P形半導体WP
S上にそれぞれN形半導体抵抗LN3.LN4を形成し
、P形半導体WP3に回路中で最も低い電位(接地電位
)を印加して、PN接合分離を図っている。
以下、第17図を用いて第16図に示した従来例の動作
を説明する。
第17図において、N形半導体抵抗LN3.LN4に接
続された端子T5.端子T6間がそれぞれ抵抗として機
能することは周知である。N形半導体抵抗LN3とN形
半導体抵抗LN4とはまったく同一構造となっている。
今、入力端子INに任意な信号電圧VINが印加された
場合を考える。この場合、N形半導体抵抗LN3におけ
る端子T5−T6間の抵抗値(以下、N形半導体抵抗L
N3における抵抗値という)をr30、N形半導体抵抗
LN4における端子T5−T6間の抵抗値(以下、N形
半導体抵抗LN4における抵抗値という)をr31とす
ると、出力端子OUTには下式で表わされる出力電圧■
。U。
が出力される。
従って、仮に、N形半導体抵抗LN3の抵抗値r30と
、N形半導体抵抗LN4の抵抗値r31と、が等しいと
すると、出力電圧V。utは下式で表される。
vouT=   VIN         ・・・・・
・(2)すなわち、本従来例は入力信号電圧を1/2に
して出力する減衰器として動作する。
なお、本従来例に関連するものとしては、例えば 柳井
久義、永田檀 共著“改訂 集積回路工学(1)” (
コロナ社)pp24−26に記載のものが挙げられる。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところで、周知のように、PN接合分離により形成した
半導体抵抗の抵抗値は、PN接合に印加される電圧(以
下、接合電圧という)により変動する。例えば、接合電
圧が高い場合、抵抗値は上がり、接合電圧が低い場合は
抵抗値が下がり、抵抗値が数パーセント程度変化する。
しかし、第16図、第17図に示した従来の半導体装置
においては、PN接合分離により形成した半導体抵抗の
抵抗値の電圧依存性について十分な配慮がされておらず
、入力信号電圧によって抵抗比が変化し、延いては出力
信号に波形歪みが生じてしまうという問題があった。
以下、この問題について説明する。
今、入力端子INに任意な信号電圧V1Nが印加された
場合において、仮に、N形半導体抵抗LN3の抵抗値r
30と、N形半導体抵抗LN4の抵抗値r31と、が等
しいとすると、前述したように、出力電圧■。t+’r
は式(2)の如くになる。
従って、N形半導体抵抗LN3の電位は、端子T5との
接続点AでV I N %端子T6との接続点Bで1/
2VINである。また、N形半導体抵抗LN4の電位は
、端子T5との接続点Cで1/2V+、4、端子T6と
の接続点りで接地電位となっている。
また、P形半導体WP3も接地電位となっている。
以上のことから、接続点A側でのN形半導体抵抗LN3
とP形半導体WP3との間における接合電圧■、はVI
N、接続点B側でのN形半導体抵抗LN3とP形半導体
WP3との間における接合電圧■、は1/2VINであ
る。これに対し、接続点C側でのN形半導体抵抗LN4
とP形半導体wp3との間における接合電圧■、は1/
2VIN、接続点り側でのN形半導体抵抗LN3とP形
半導体WP3との間における接合電圧■。はOVである
よって、接合電圧■、と接合電圧■。とは1/2VIN
ということで等しいが、接合電圧■1と接合電圧■。と
はVIN、OVということで異なるので、総合して見る
と、N形半導体抵抗LN3とP形半導体WP3との間に
おける接合電圧と、N形半導体抵抗LN4とP形半導体
WP3との間における接合電圧と、は異なることになる
従って、上述したように、PN接合分離により形成した
半導体抵抗の抵抗値は、PN接合における接合電圧によ
って変化するので、この様に、N形半導体抵抗LN3と
P形半導体WP3との間における接合電圧と、N形半導
体抵抗LN4とP形半導体WP3との間における接合電
圧と、が異なるということは、N形半導体抵抗LN3の
抵抗値r30と、N形半導体抵抗LN4の抵抗値r31
と、が異なるということであり、上記した抵抗値r30
と抵抗値r31とが等しいとした仮定は誤りであること
がわかる。
さらに、上記したことから、N形半導体抵抗しN3とN
形半導体抵抗LN4との抵抗比(即ち、r30:r31
)について考えてみると、接合電圧■1と接合電圧■。
とは1/2VINということで両者とも入力信号電圧V
INによって同様に変化するので問題はないが、接合電
圧■、と接合電圧■、とはV、N、OVということで、
前者は入力信号電圧■、によって変化するが、後者は入
力信号電圧VINによらず一定であるので、総合して見
ると、抵抗値r30と抵抗値r31とは、入力信号電圧
VINに対して同様に変化することにならず、よって、
N形半導体抵抗LN3とN形半導体抵抗LN4との抵抗
比(即ち、r30 : r31)は、入力信号電圧VI
Hによって変化してしまう。
また、この様に、入力信号電圧VINによってN形半導
体抵抗LN3とN形半導体抵抗LN4との抵抗比(即ち
、r30 : r31)が変化することにより、第16
図、第17図に示した従来の半導体装置を減衰器として
動作させる場合には、弐(1)から明らかな様に、入力
信号電圧VINによって減衰利得r31/ (r30+
r31)が変化してしまい、その結果として、出力信号
に波形歪みが生じてしまう。よって、かかる半導体装置
を、例えば、オーディオ信号処理回路等に利用しようと
した場合に、オーディオ信号処理回路等では低歪み率が
要求されるため、利用が困難となる。
本発明の目的は、上記した従来技術の問題点を解決し、
入力信号電圧によらず抵抗比が一定な半導体装置を提供
することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記した目的を達成するために、本発明では、第1の種
類に属する半導体と、該第1の種類に属する半導体上に
形成される第2の種類に属する半導体と、前記第1の種
類に属する半導体及び前記第2の種類に属する半導体に
それぞれ共通して接続される第1の端子と、前記第2の
種類に属する半導体に前記第1の端子とは異なる位置で
接続される第2の端子と、で構成され、前記第2の種類
に属する半導体における前記第1の端子の接続された位
置と前記第2の端子の接続された位置との間の部分が抵
抗として動作する抵抗器を、複数個、直列に接続して、
半導体装置を構成するようにした。
〔作用〕
前記各抵抗器において、前記第1の種類に属する半導体
は、前記第1の端子に接続されている。
よって、各抵抗器の接合電圧は、前記第2の種類に属す
る半導体での電圧降下により決まる。
ここで、各抵抗器は、それぞれ、直列に接続されている
。よって、各抵抗器における前記第2の種類に属する半
導体に流れる電流はそれぞれ等しい。また、その電流が
等しいことから明白なように、各抵抗器における前記第
2の種類に属する半導体での電圧降下はそれぞれ等しく
、よって、接合電圧も等しい。
さらに、この関係は各抵抗器に印加される電圧によらな
い。すなわち、各抵抗器の抵抗比は、入力信号電圧によ
らず一定となる。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例について説明する。
第1図は本発明の第1の実施例としての半導体装置を示
す回路図であり、第16図、第17図に示したのと同一
のもの、または同一機能のものには同じ符号をつけて、
その詳細な説明は省略する。
第1図において、R1,R2は抵抗器、TI。
T2は端子である。抵抗器R1の端子TIは、入力端子
INに接続される。抵抗器R1の端子T2は出力端子O
UTと抵抗器R2の端子T1とに接続される。抵抗器R
2の端子T2は接地される。
第2図は第1図に示した実施例の構造を示す断面図であ
り、第1図、第16図、第17図に示したのと同一のも
の、または同一機能のものには同じ符号をつけて、その
詳細な説明は省略する。
第2図において、LNI、LN2はN形半導体抵抗、W
PI、WF2はP形半導体である。抵抗器R1の端子T
1は、P形半導体WPIとN形半導体抵抗LNIに接続
される。抵抗器R1の端子T2は、N形半導体抵抗LN
Iの他端に接続される。抵抗器R2の端子T1は、P形
半導体WP2とN形半導体抵抗LN2に接続される。抵
抗器R2の端子T2は、N形半導体抵抗LN2の他端に
接続される。
以下、第1図、第2図を用い本実施例の動作を説明する
第2図において、N形半導体抵抗LNI、LN2に接続
された端子TI、端子端子間2間れぞれ抵抗として機能
する。N形半導体抵抗LNIとN形半導体抵抗LN2と
はまったく同一構造である。
今、入力端子INに信号電圧■INが印加された場合を
考える。この場合、N形半導体抵抗LNIにおける端子
Tl−72間の抵抗値(以下、N形半導体抵抗LNIの
抵抗値という)をrl、N形半導体抵抗LN2における
端子Tl−72間の抵抗値(以下、N形半導体抵抗しN
2の抵抗値という)をr2とすると、出力端子OUTに
は下式で表される出力電圧■。UTが出力される。
従って、仮に、N形半導体抵抗LNIの抵抗値r1と、
N形半導体抵抗LN2の抵抗値r2と、が等しいとする
と、出力電圧V。Ijアは下式で表される。
VOLIT  =     V IN        
   −−(4)すなわち、本実施例は入力信号電圧を
1/2にして出力する減衰器として動作する。
従って、N形半導体抵抗LNIの電位は、端子TIとの
接続点AでvIN、端子T2との接続点Bで1/2VI
Nである。また、N形半導体抵抗LN2の電位は、端子
T1との接続点Cで1/2VIN、端子T2との接続点
りで接地電位となっている。
また、P形半導体WPIの電位はVINであり、P形半
導体WP2の電位は1 / 2 V INとなっている
以上のことから、接続点A側でのN形半導体抵抗LNI
とP形半導体WPIとの間における接合電圧■、は0■
、接続点B側でのN形半導体抵抗LNIとP形半導体W
P2との間における接合電圧■8は1 / 2 V +
sである。これに対し、接続点C側でのN形半導体抵抗
LN2とP形半導体WP2との間における接合電圧■。
は0■、接続点り側でのN形半導体抵抗LN2とP形半
導体WP2との間における接合電圧■。は1 / 2 
V INである。
よって、接合電圧V、と接合電圧VCはOvということ
で等しく、また、接合電圧■、と接合電圧VDも1/2
V+sということで等しいので、総合して見ると、N形
半導体抵抗LNIとP形半導体WPIとの間における接
合電圧と、N形半導体抵抗LN2とP形半導体WP2と
の間における接合電圧と、は等しいことになる。
なお、以下、接合電圧■、と接合電圧V、を総称して、
端子T1との接続点側での接合電圧、接合電圧V、と接
合電圧■。を総称して、端子T2との接続点側での接合
電圧、と言うことがある。
前述したように、PN接合分離により形成した半導体抵
抗の抵抗値は、PN接合における接合電圧によって変化
するので、この様に、N形半導体抵抗LNIとP形半導
体WPIとの間における接合電圧と、N形半導体抵抗L
N2とP形゛半導体WP2との間における接合電圧と、
が等しいということは、N形半導体抵抗LNIの抵抗値
r1と、N形半導体抵抗LN2の抵抗値r2と、が等し
いということであり、上記した抵抗値r1と抵抗値r2
とが等しいとした仮定は正しいことがわかる。
さらに、上記したことから、N形半導体抵抗しN1とN
形半導体抵抗LN2との抵抗比(即ち、rl:r2)に
ついて考えてみると、接合電圧VAと接合電圧V、(端
子T1との接続点側での接合電圧)は0■はということ
で両者とも入力電圧v1.4によらず一定であるので問
題はなく、また、接合電圧vlと接合電圧V、(端子T
2との接続点側での接合電圧)は1 / 2 V IN
ということで、両者とも入力信号電圧VINによって同
様に変化するので問題はない。従って、総合して見ると
、抵抗値r1と抵抗値r2とは、入力信号電圧VINに
対して同様に変化するので、N形半導体抵抗しN3とN
形半導体抵抗LN4との抵抗比(即ち、rl:r2)は
、入力信号電圧VINによらず一定であることがわかる
また、この様に、入力信号電圧VINによらずN形半導
体抵抗LNIとN形半導体抵抗LN2との抵抗比(即−
ち、rl:r2)が一定であることにより、本実施例を
減衰器として動作させた場合は、式(3)から明らかな
様に、入力信号電圧VINによらず減衰利得r2/(r
l+r2)が一定となるので、出力信号に波形歪みを生
じることもない。
従って、本実施例を、低歪み率が要求されるオーディオ
信号処理回路等に利用することも可能となる。
次に、本発明による他の実施例について、第3図以下順
次説明してゆ(が、各図において、先に第16図、第1
7図、第1図、第2図にて示したものと同一もしくは同
一機能のものには同じ符号を付し、その詳細な発明は省
略する。
第3図は本発明の第2の実施例を示す回路図、第4図は
第3図に示した実施例の構造を示す断面図である。
第4図において、PSUBはP形半導体基板、130は
P形半導体、EPII、EPI2はN形半導体、BRI
、BR2はP形半導体抵抗を示す。
第3図において、入力端子INは抵抗器R2の端子T2
に接続される。抵抗器R2の端子T1は出力端子OUT
と抵抗器R1の端子T2とに接続される。抵抗器R1の
端子T1は接地される。
第4図において、抵抗器R1の端子T1はN形半導体E
PIIとP形半導体抵抗BRIとに接続される。抵抗器
R1の端子T2はP形半導体抵抗BRIの他端に接続さ
れる。抵抗器R2の端子T1はN形半導体EPI2とP
形半導体抵抗BR2とに接続される。抵抗器R2の端子
T2はP形半導体抵抗BR2の他端に接続される。
以下、第3図、第4図を用い本実施例の動作を説明する
第4図において、P形半導体抵抗BRI、BR2に接続
された端子Tl、端子12間はそれぞれ抵抗として機能
する。P形半導体BRI、BR2はまったく同一構造で
ある。
今、入力端子INに信号電圧■、が印加された場合を考
える。この場合、P形半導体抵抗BRIにおける端子T
l−72間の抵抗値(以下、P形半導体抵抗BRIの抵
抗値という)をrl、P形半導体抵抗BR2における端
子Tl−T2間の抵抗値(以下、P形半導体抵抗BR2
の抵抗値という)をr2とすると、出力端子OUTには
下式で表される出力電圧VOt+Tが出力される。
従って、仮に、P形半導体抵抗BRIの抵抗値r1と、
P形半導体抵抗BR2の抵抗値r2と、が等しいとする
と、出力電圧V。utは下式で表される。
すなわち、本実施例は入力信号電圧を1/2にして出力
する減衰器として動作する。
従って、P形半導体抵抗BRIの電位は、端子T1との
接続点Aで接地電位、端子T2との接続点Bで1/2V
INである。また、P形半導体抵抗BR2の電位は、端
子T1との接続点Cで1/2■0、端子T2との接続点
りでVINとなっている。
また、N形半導体EPIIの電位は接地電位であり、N
形半導体EPI2の電位は1/2VINとなっている。
以上のことから、接続点A側でのP形半導体抵抗BRI
とN形半導体EPIIとの間における接合電圧■、は0
■、接続点B側でのP形半導体抵抗BRIとN形半導体
EPIIとの間における接合電圧■曹はi / 2 V
 INである。これに対し、接続点C側でのP形半導体
抵抗BR2とN形半導体EPI2との間における接合電
圧V、は0■、接続点り側でのP形半導体抵抗BR2と
N形半導体EPI2との間における接合電圧V0は1 
/ 2 V l !1である。
よって、接合電圧VAと接合電圧■c (端子T1との
接続点側での接合電圧)は0■ということで等しく、ま
た、接合電圧■8と接合電圧■。
(端子T2との接続点側での接合電圧)も1/2VIN
ということで等しいので、総合して見ると、P形半導体
抵抗BRIとN形半導体EPIIとの間における接合電
圧と、P形半導体抵抗BR2とN形半導体EPI2との
間における接合電圧と、は等しいことになる。
前述したように、PN接合分離により形成した半導体−
抵抗の抵抗値は、PN接合における接合電圧によって変
化するので、この様に、P形半導体抵抗BRIとN形半
導体EPIIとの間における接合電圧と、P形半導体抵
抗BR2とN形半導体EPI2との間における接合電圧
と、が等しいということは、P形半導体抵抗BRIの抵
抗値rlと、P形半導体抵抗BR2の抵抗値r2と、が
等しいということであり、上記した抵抗値r1と抵抗値
r2とが等しいとした仮定は正しいことがわかる。
さらに、上記したことから、P形半導体抵抗BR1とP
形半導体抵抗BR2との抵抗比(即ち、rl:r2)に
ついて考えてみると、接合電圧■。
と接合電圧V、(端子T1との接続点側での接合電圧)
とはOVということで両者とも入力電圧VINによらず
一定であるので問題はなく、また、接合電圧■藁と接合
電圧VD  (端子T2との接続点側での接合電圧)は
1/2VINということで、両者とも入力信号電圧■、
によって同様に変化するので問題はない。従って、総合
して見ると、抵抗値r1と抵抗値r2とは、入力信号電
圧VINに対して同様に変化するので、P形半導体抵抗
BR3とP形半導体抵抗BR4との抵抗比(即ち、rl
:r2)は、入力信号電圧VINによらず一定であるこ
とがわかる。
また、この様に、入力信号電圧■、によらずP形半導体
抵抗BRIとP形半導体抵抗BR2との抵抗比(即ち、
rl:r2)が一定であることにより、本実施例を減衰
器として動作させた場合は、式(5)から明らかな様に
、入力信号電圧VINによらず減衰利得rl/(r4+
r2)が一定となるので、出力信号に波形歪みを生じる
こともない。
従って、本実施例を、低歪み率が要求されるオーディオ
信号処理回路等に利用することも可能となる。
第5図は本発明の第3の実施例を示す回路図である。
同図において、R3は抵抗器である。ここで、抵抗器R
3は他の抵抗器R1,R2と同一構造である。なお、そ
れらの構造としては第2図に示した構造でも第4図に示
した構造でも良い。入力端子INは抵抗器R2の端子T
2に接続され、抵抗器R2の端子T1は出力端子OUT
と抵抗器R1の端子T2とに接続され、抵抗器R1の端
子TIは抵抗器R3の端子T2に接続され、抵抗器R3
の端子T1は接地される。
以下、第5図を用い本実施例の動作を説明する。
第5図において、今、入力端子INに信号電圧■、が印
加された場合を考える。この場合の動作については以上
の説明から明白であり、出力端子OUTには、下式で表
わされる出力電圧が発生する。
Vout  =     VIN          
’  −−(7)さらに、この場合、各抵抗器において
、半導体抵抗と半導体との接合電圧は、端子T1との接
続点側での接合電圧がOV、端子T2との接続点側での
接合電圧が1/3VINとなり、各抵抗器共等しい接合
電圧が印加され、抵抗値は等しくなる。
さらに、これらの抵抗比の関係は入力信号電圧V1によ
らないことは明白である。
また、本実施例によれば、抵抗比が1:1の抵抗器を順
次直列に接続することにより、任意の抵抗比を形成する
ことができる。すなわち、本実施例によれば、任意な抵
抗比を提供することができる効果がある。
第6図は本発明の第4の実施例を示す回路図である。
同図おいて、A1は演算増幅器である。入力端子INは
抵抗器R3の端子TIに接続され、抵抗器R3の端子T
2は抵抗器R1の端子T1に接続され、抵抗器R1の端
子T2は、演算増幅器A1の逆相入力と抵抗器R2の端
子T1とに接続され、抵抗器R2の端子T2は演算増幅
器A1の出力と出力端子OUTとに接続され、演算増幅
器A1の正相入力は接地される。
以下、第6図を用い本実施例の動作を説明する。
第6図において、入力端子INに信号電圧VINが印加
された場合を考える。この場合、抵抗器R3の端子T2
での電位は1/2VIN、抵抗器R1の端子T2での電
位はO■となり、抵抗器R2の端子T2および出力端子
OUTの電位は一1/2VINになることは周知である
。この場合の各抵抗器における接合電圧を考えると、各
抵抗器ともに、端子T1の接続点側での接合電圧はO■
、端子T2の接続点側での接合電圧は1 / 2 V 
INとなり、接合電圧は等しい。このことは、各抵抗器
が直列接続されており、各抵抗に流れる電流が等しいこ
とからも明白である。すなわち、本実施例においても抵
抗比が入力信号によらず一定に保たれる効果がある。
第7図は本発明の第5の実施例を示す回路図である。
同図において、C1,C2はコンデンサ、R4〜RIO
はそれぞれ抵抗器である。ここで、抵抗器R4〜RIO
は他の抵抗器R1〜R3と同一構造である。入力端子I
Nは抵抗器R5の端子T1に接続され、抵抗器R5の端
子T2は抵抗器R4の端子T1と接続され、同様に抵抗
器R4の端子T2と抵抗器R3の端子T1が、抵抗器R
3の端子T2と抵抗器R1の端子T1がそれぞれ接続さ
れる。さらに抵抗器R1の端子T2が抵抗器R2の端子
T1と抵抗器R9の端子T1とコンデンサC1の一端と
に接続され、コンデンサCIの他端は接地される。
さらに抵抗器R2の端子T2は、抵抗器R6゜R7,R
8の順で端子T1と端子T2とが順次直列接続され、抵
抗器R8の端子T2は出力端子OUTとコンデンサC2
の一端と、演算増幅器A1の出力とに接続される。また
抵抗器R9の端子T2は抵抗器RIOの端子T1と接続
され、抵抗器R10の端子T2はコンデンサC2の他端
と演算増幅器A1の逆相入力に接続され、演算増幅器の
正相入力は接地される。
以下、第7図を用い本実施例の動作を説明する。
本実施例が2次LPF回路であることは周知である。本
回路の直流利得は抵抗器R5,R4,R3、R1の直列
抵抗値と、抵抗器R2,R6,R7、R8の直列抵抗値
との抵抗比で決まる。
今、入力端子INに入力信号電圧VINが印加された場
合を考える。この場合、前記実施例の動作から明白であ
るように、抵抗器R5,R4,R3゜R1,R2,R6
,R7,R8の接合電圧は共に等しく、端子TIとの接
続点側での接合電圧がO■、端子T2との接続点側での
接合電圧が1/4VINとなり、抵抗比が入力信号電圧
によらず一定となる。
また、この様に、入力信号電圧によらず抵抗比が一定で
あることにより、入力信号電圧によらず直流利得も一定
となるので、出力信号に波形歪みを生じることもない。
第8図は第7図に示した実施例における歪み率特性を示
す特性図である。
第8図を見て明らかなように、従来例によると歪み率は
0.013%(約78dB)であるのに対して本実施例
では歪み率が0.0016%(約96dB)に改善され
た。
一方、入力信号電圧による抵抗値の絶対値変動を考える
。抵抗の絶対値は、接合電圧の変化が少ないほど少ない
ことは周知である。本実施例と第6図に示した実施例と
で接合電圧の変化を比較すると、第6図に示した実施例
では入力信号電圧が0■から■1Nに変化した場合接合
電圧は1/2V0変化する。これに対して本実施例では
1/4■、8しか変化せず、すなわち、本実施例によれ
ば、抵抗の絶対値変動を低減できる効果がある。なお、
抵抗器の直列接続数を増やすほど、抵抗の絶対値変動を
低減できることは明白であり、直列接続した抵抗器の数
が任意であることは明白である。
第9図は本発明の第6の実施例を示す回路図である。
同図において、R11〜R14は抵抗器である。
ここで、抵抗器R11〜R14は前述の抵抗器R1〜R
IOと同一構造である。また、RUI、RU2は組抵抗
、TUI、TU2は端子である。抵抗器R11の端子T
1は抵抗器R12の端子T1と接続され、抵抗器R11
の端子T2は組抵抗RU1の端子TUIに接続され、抵
抗器R12の端子T2は組抵抗RUIの端子TU2に接
続される。
抵抗器R13の端子T1は抵抗器R14の端子T1と接
続され、抵抗器R13の端子T2は組抵抗RU2の端子
TUIと接続され、抵抗器R14の端子T2は組抵抗R
U2の端子TU2と接続される。さらに、入力端子IN
は組抵抗RUIの端子TUIと接続され、組抵抗RUI
の端子TU2は出力端子OUTと組抵抗RU2の端子T
UIに接続され、組抵抗RU2の端子TU2は接地され
る。
以下、第9図を用いて本実施例の動作を説明する。
今、入力端子INに信号電圧v1,4が印加された場合
を考える。この場合、各端子での電位は、抵抗器R11
の端子T2でVIN、抵抗器R11,R12の端子T1
では3/4VIN、抵抗器R12R13の端子T2およ
び出力端子OUTでは1/2VIN、抵抗器R13,R
14の端子Tlでは1/4VIN、抵抗器R14の端子
T2では接地電位となることは前記実施例の動作説明よ
り明白である。
ここで、各抵抗器における端子T2との接続点側での接
合電圧(以下、単に抵抗器の接合電圧という)について
考える。抵抗器R11の接合電圧は前記端子電位から明
白であり、+1/4VIN、抵抗器R12の接合電圧は
一1/4VIN、抵抗器R13の接合電圧は+1/4V
IN、抵抗器R14の接合電圧は一1/4VINである
。抵抗器R11と抵抗器R12とは接合電圧が正負逆方
向であり異なるため抵抗値が異なり、抵抗器R13と抵
抗器R14は同様に接合電圧が異なり抵抗値が異なる。
しかし、抵抗器R11と抵抗器R13とは接合電圧が等
しく、抵抗比も入力信号電圧によらず一定となり、抵抗
器R12と抵抗器R14は同様に接合電圧が等しく、抵
抗比が入力信号電圧によらず一定である。すなわち、組
抵抗RUIと組抵抗RU2との抵抗比を考えると、上記
説明から明白であるように信号電圧によらず一定となる
ところで、各抵抗器において、端子T2との接続点側の
PN接合部分は寄生ダイオードを構成することになる。
従って、第9図に示すような構成にした場合、岨抵抗を
構成する2つの抵抗器においては、互いにその寄生ダイ
オードの向きが逆になるため、入力信号電圧に対し、一
方の抵抗器は必ずその寄生ダイオードの向きが順方向と
なる。
従って、その抵抗器に所定電圧以上の電圧が印加される
と、その寄生ダイオードがオンすることとなる。しかし
、例え、その様にオンしたとしても、他方の抵抗器は必
ずその寄生ダイオードの向きが逆方向となるので、その
寄生ダイオードの働きにより、過大な電流が流れるのを
防ぐことができる。
なお、本実施例において、直列接続した組抵抗は2個で
あったが接続数は任意であってよいことは明白である。
第10図は本発明の第7の実施例を示す回路図である。
同図において、R15,R16は抵抗器である。
ここで、抵抗器R15,R16は前述の抵抗器R1〜R
14と同一構造である。また、RU3は岨抵抗である。
抵抗器R11の端子T1は抵抗器R12の端子Tlと接
続され、抵抗器R11の端子T2は組抵抗RUIの端子
TUIと接続され、抵抗器R12の端子T2は岨抵抗R
UIの端子TU2に接続される。抵抗器R13の端子T
1は抵抗器R14の端子T1と接続され、抵抗器R13
の端子T2は組抵抗RU2の端子TUIに接続され、抵
抗器R14の端子T2は岨抵抗RU2の端子TU2と接
続される。抵抗器R15の端子T1は抵抗器R16の端
子T1と接続され、抵抗器R15の端子T2は組抵抗R
U3の端子TUIと接続され、抵抗器R16の端子T2
は岨抵抗RU3の端子TU2と接続される。
入力端子INは組抵抗RUIの端子TUIに接続され、
組抵抗RUIの端子TU2は演算増幅器A1の逆相入力
と組抵抗RU2の端子TUIに接続され、組抵抗RU2
の端子TU2は組抵抗RU3の端子TUIに接続され、
組抵抗RU3の端子TU2は演算増幅器A1の出力と出
力端子OUTとに接続され、演算増幅器AIの正相入力
は接地されている。
以下、第10図を用いて本実施例の動作を説明する。
第10図の回路が2倍の反転増幅器として動作すること
は周知である。今、入力端子INに入力信号電圧v1.
4が印加された場合を考える。この場合、各端子の電位
は抵抗器R11,R12の端子T1で1 / 2 V 
IN、演算増幅器A1の逆相入力で接地電位、抵抗器R
13,R14の端子TIT:  1/2VIN、抵抗器
R14,R15(7)端子T2で−VIN、抵抗器R1
5,R16の端子Tlでs / 2 V +H,演算増
幅器A1の出力で一2VINとなる。
ここで、各抵抗器における端子T2との接続点側での接
合電圧(以下、単に抵抗器の接合電圧という)について
考えると、各端子の電位から明白なように抵抗器R11
,R13,R15で+1/2VIN、抵抗器R12,R
14,R16で一1/2VINとなり、抵抗器R,11
,R13,R15(7)接合電圧は等しく抵抗比は信号
電圧によらず一定となる。また、抵抗器R12,R14
,R16の接合電圧が等しく抵抗比は信号電圧によらず
一定となり、すなわち、組抵抗RUI、RU2.RU3
の抵抗比を考えると、上記説明から明白であるように信
号電圧によらず一定となる。
なお、本実施例において、直列接続した組抵抗は3個で
あったが、接続数は任意であってよいことは明白である
第11図は本発明の第8の実施例を示す回路図である。
同図において、R17〜R25は抵抗器である。
ここで、抵抗器R17〜R25は前述の抵抗器R1〜R
16と同一構造である。入力端子INは抵抗器R17の
端子TIと接続され、抵抗器R17の端子T2は抵抗器
R1Bの端子T2と接続され、抵抗器R1Bの端子TI
は抵抗器R19の端子T1と接続され、抵抗器R19の
端子T2は演算増幅器A、1の逆相入力と抵抗器R20
の端子T2とに接続される。
抵抗器R20の端子TIは抵抗器R21の端子T1に接
続され、抵抗器R21の端子T2は抵抗器R22の端子
T2に接続され、抵抗器R22の端子T1は抵抗器R2
3の端子TIと接続され、抵抗器R23の端子T2は抵
抗器R24の端子T1と接続され、抵抗器R24の端子
T2は抵抗器R25の端子T1と接続され、抵抗器R2
5の端子T2は演算増幅器AIの出力と出力端子OUT
に接続され、演算増幅器AIの正相入力は接地される。
以下、第11図を用いて本実施例の動作を説明する。
第11図の回路が2倍の反転増幅器として動作すること
は周知である。今、入力端子INに入力信号電圧VIN
が印加された場合を考える。この場合の各端子での電位
は、入力端子INでVIN、抵抗器R17,RlBの端
子T2で2/3VIN、抵抗器R18,R19の端子T
1で1/3VIN、演算増幅器Alの逆相入力で接地電
位である。
さらに、抵抗器R20,R21の端子T1で1/3V+
s、抵抗器R21,R22の端子T2で一2/3VIN
、抵抗器R22,R23の端子T1で−VIN、抵抗器
R23の端子T2と抵抗器R24の端子T1で一4/3
VIN、抵抗器R24の端子T2と抵抗器R25の端子
T1で一5/3VIN、演算増幅器AIの出力で一2■
1、である。
ここで、各抵抗器における端子T2との接続点側での接
合電圧(以下、単に抵抗器の接合電圧という)について
考えると、各端子の電位から明白なように抵抗器R17
,R19,、R21,R23゜R24,R25で+1 
/ 3 V +H、抵抗器R18゜R20,R22で一
1/3VINとなり、抵抗器R17R19,R21,R
23,R24,R25の接合電圧は等しく抵抗比は信号
電圧によらず−定となり、また、抵抗器R18,R20
,R22の接合電圧は等しく抵抗比は信号電圧によらず
一定となる。
ここでさらに、抵抗器R17,RlB、R19からなる
直列抵抗と抵抗器R20,R21,R22、R23,R
24,R25からなる直列抵抗との抵抗比について考え
る。抵抗器R1Bと抵抗器R20,R22は前述した樺
に接合電圧が等しく、従って、抵抗器R1Bと抵抗器R
20,R22の直列抵抗との抵抗比は1対2である。ま
た、抵抗器R17,R19と抵抗器R21,R23,R
24、R25は前述した様に接合電圧が等しく、従って
、抵抗器R17,R19の直列抵抗とR21゜R23,
R24,R25の直列抵抗との抵抗比もまた1対2であ
る。よって、上記説明より、抵抗器R17,RlB、R
19の直列抵抗と抵抗器R20、R21,R22,R2
3,R24,R25の直列抵抗の抵抗比が1対2である
ことは明白であり、この抵抗比も信号電圧によらず一定
となる。
ところで、本実施例において、抵抗器R17゜RlB、
R19の直列抵抗および抵抗器R20゜R21,R22
,R23,R24,R25の直列抵抗の各抵抗器は上記
抵抗比関係が成り立っていれば、接続順序が任意であっ
てよい。すなわち、本実施例によれば抵抗の接続順序、
方向は任意であって、設計自由度が高いという効果があ
る。
第12図は本発明の第9の実施例を示す回路図である。
同図において、R26〜R28は抵抗器、■1〜■3は
電圧源である。ここで、抵抗器R26〜R28はそれぞ
れ前述の抵抗器R1〜R25と同様にP形(あるいはN
形)半導体上にN形(あるいはP形)半導体抵抗を形成
して構成されているが、前述の抵抗器R1〜R25と以
下の点で異なる。
すなわち、抵抗器R26の端子T1は抵抗器R26を構
成するN形(あるいはP形)半導体抵抗の一端と電圧源
■1の一端とに接続され、電圧源■1の他端はN形(あ
るいはP形)半導体抵抗とPN接合したP形(あるいは
N形)半導体に接続され、抵抗器R26の端子T2はN
形(あるいはP形)半導体抵抗の他端に接続される。ま
た、抵抗器R27,R2Bも、共に抵抗器R26と同一
構造であり、それぞれ、電圧源V2.V3を具備してい
る。
一方、入力端子INは抵抗器R26の端子T2に接続さ
れ、抵抗器R26の端子T1は抵抗器R27の端子T2
と接続され、抵抗器R27の端子T1は演算増幅器A1
の逆相入力と抵抗器R2Bの端子T2とに接続される。
抵抗器R27の端子T1は演算増幅器A1の出力と出力
端子OUTとに接続され、演算増幅器A1の正相入力は
接地される。
以下、第12図を用い本実施例の動作を説明する。
今、入力端子INに入力信号電圧VINが印加された場
合を考える。この場合、各端子の電位は入力端子INで
VIN、抵抗器R26の端子T1で1/2■0、演算増
幅器A1の逆相入力で接地電位、演算増幅器A1の出力
で一1/2VINであることは前記実施例の説明から明
らかである。
ここで、各抵抗器の接合電圧について考える。
抵抗器R26の各部の電位は端子Tlで1/2■1.4
、端子T2でVINであり、さらに電圧源■1の電圧を
■1とすると、抵抗器R26のP形(あるいはN形)半
導体の電位は端子T1の電位から電圧■1分下がったL
/2V+s  V+である。よって、抵抗器R26の接
合電圧は、端子T1との接続点側での接合電圧が■6、
端子T2との接続点側での接合電圧が1/2V+s+V
1である。
また、抵抗器R27の各部の電位は端子T1で接地電位
、端子T2で1/2VINであり、さらに電圧源■2の
電圧を■2とすると、抵抗器R27のP形(あるいはN
形)半導体の電位は端子T1の電位から電圧Vz分下が
った一■2である。よって、抵抗器R27の接合電圧は
、端子T1との接続点側での接合電圧が■2、端子T2
との接続点側での接合電圧が1/2V+s+VZである
さらに、抵抗器R2Bの各部の電位は端子T1で一1/
2VIN、端子T2で接地電位であり、電圧源■3の電
圧を■、とすると、抵抗器R28のP形半導体の電位は
端子T1の電位から電圧■。
分下がった一1/2VIN  V:Iである。よって、
抵抗器R28の接合電圧は、端子T1との接続点側での
接合電圧が■1、端子T2との接続点側での接合電圧が
1/2VIN+V3である。
ここで、電圧源Vl、V2.V3の電圧■1゜V2.V
、が共に等しくV+ であるとすると、この結果、各抵
抗器とも接合電圧は等しくなり、端子TIとの接続点側
での接合電圧が■1、端子T2との接続点側での接合電
圧がi / 2 V IN+ V +となる。すなわち
、抵抗器R26,R27,R28の抵抗値は等しく、そ
の抵抗比は入力信号電圧によらず一定となる。
ところで、本実施例において、入力端子INに接地電位
以下の信号電圧VINが印加された場合について考える
。前述したようにPN接合分離によって形成された半導
体抵抗にはダイオードが寄生する。この寄生ダイオード
はP形の半導体の電位がN形の半導体の電位より約0.
7■高くなった場合にオンする。
例えば、本実施例において、各抵抗器がP形半導体と、
N形半導体抵抗とで構成され、電圧源■1、V2.V3
の電圧が共に等しくOVであった場合、入力信号電圧V
INが約−1,4V以下になると、抵抗器R26,R2
7の寄生ダイオードがオンし誤動作してしまう。
ここで、電圧源Vl、V2.V3の電圧が共に等しく2
Vであった場合を考える。この場合、各抵抗器のP形半
導体の電位は前例に比較して2V低い電位が印加される
。このため、寄生ダイオードがオンする入力信号電圧は
−1,4V−2V−2Vで−5,4Vにまで下がる。す
なわち、本実施例によれば、回路の入力信号電圧範囲が
広がる効果がある。
なお、本実施例において、抵抗器の接続は、前記実施例
で示した他の接続においても同様な効果を有することは
明白である。また、電圧源Vl。
V2.V3の電圧は任意であってよいことは明白である
。さらに、本実施例において電圧源■1V2.V3を用
いた半導体への電位供給手段は、エミッタホロア回路、
ソースホロア回路、スイッチを接続し、ある期間に電圧
を印加し、その他の期間ではPN接合容量に蓄積された
電圧を利用し、電位を印加する回路等であってよく、任
意であることも明白である。
第13図は本発明の第10の実施例を示す回路図である
同図において、R1’ 、R2’ は抵抗器、T3゜T
4は端子である。抵抗器R1“の端子T3は入力端子I
Nに接続される。抵抗器R1’の端子T4は出力端子O
UTと抵抗器R2’の端子T3とに接続される。抵抗器
R2“の端子T4は接地される。
第14図は第13図に示した実施例の構造を示す断面図
である。
第14図において、LN5.LN6.LN7゜LN8は
N形半導体抵抗、WF2.WF2はP形半導体である。
抵抗器R1°の端子T3はN形半導体抵抗LN5に接続
される。抵抗器R1“の端子T4はN形半導体抵抗LN
6に接続される。また、N形半導体抵抗LN5の他端と
N形半導体抵抗LN6の他端とP形半導体WP4とは互
いに導体にて接続される。抵抗器R2’ の端子T3は
N形半導体抵抗LN7に接続される。抵抗器R2の端子
T4はN形半導体抵抗LN8に接続される。
また、N形半導体抵抗LN7の他端とN形半導体抵抗L
N8の他端とP形半導体WP5とは互いに導体にて接続
される。
前述の第9図に示した実施例においては、端子T1同士
の接続された2つの抵抗器によって、1組の組抵抗を構
成していた。この様に、組抵抗を構成する2つの抵抗器
は、端子T1同士が互いに接続されているため、各々の
抵抗器を構成する2つのP形(あるいはN形)半導体(
半導体抵抗がその上に構成される半導体)は、互いに電
位が等しいこと明白である。従って、それら2つの抵抗
器において、2つのP形(あるいはN形)半導体を分離
しておく必要はない。
そこで、本実施例では、それら2つのP形(あるいはN
形)半導体を接合して、第14図に示すように1つのP
形(あるいはN形;但し、本実施例ではP形)半導体で
構成するようにしている。
即ち、本実施例では、第9図に示した2つの抵抗器で構
成される組抵抗を、1つの抵抗器として構成するように
したものである。
従って、本実施例によれば、構造を簡略化することがで
き、ICチップサイプを低減し、チップコスI・を下げ
ることができる。
なお、本実施例における抵抗器は、当然のことながら、
第10図に示した実施例における組抵抗に代えて用いて
も差し支えない。
第15図は本発明の第11の実施例を示す回路図である
同図において、R3’ は抵抗器、■4は電圧源である
。ここで、抵抗器R3’ は、前述の抵抗器R1”、R
2“と同様に、P形(あるいはN形)半導体上に2つの
N形(あるいはP形)半導体抵抗を形成して構成されて
いるが、前述の抵抗器R1’ 、R2’ と以下の点で
異なる。
すなわち、抵抗器R3’の端子T3は第1のN形(ある
いはP形)半導体抵抗に接続され、抵抗器R3’の端子
T4は第2のN形(あるいはP形)半導体抵抗に接続さ
れ、第1のN形(あるいはP形)半導体抵抗の他端は第
2のN形(あるいはP形)半導体抵抗の他端と電圧源■
4とに接続され、電圧源■4の他端はP形(あるいはN
形)半導体に接続される。
本実施例においては、抵抗器R3’ として、第13図
、第14図に示した実施例における抵抗器に電圧源を設
けることにより、第12図に示した実施例と同様に、入
力信号電圧範囲を広げ、寄生ダイオードをオンし難くし
たものである。
従って、抵抗器R3’においては、第12図に示したよ
うな電圧源を有する抵抗器(R26〜R28)2つを、
第9図、第10図に示した様に、端子T1同士接続して
組抵抗とする場合に比べ、電圧源が1つで良い、P形(
あるいはN形)半導体を分離しなくて良い等、構造を簡
略化することができる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、入力信号電圧によらず抵抗比が一定な
半導体装置を実現することができる。
従って、抵抗比精度の要求されるA/D、D/A変換器
にも、本発明にかかる半導体装置は有効に利用すること
ができる。
また、本発明にかかる半導体装置では、上記の如く、入
力信号電圧によらず抵抗比を一定にすることができるた
め、入力信号電圧によらず利得を一定にすることができ
、よって、出力信号に波形歪みが生じることがない。
従って、低歪み率の要求されるオーディオ信号処理回路
にも、本発明にかかる半導体装置は有効に利用すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1の実施例を示す回路図、第2図は
第1図の実施例の構造を示す断面図、第3図は本発明の
第2の実施例を示す回路図、第4図は第3図の実施例の
構造を示す断面図、第5図は本発明の第3の実施例を示
す回路図、第6図は本発明の第4の実施例を示す回路図
、第7図は本発明の第5の実施例を示す回路図、第8図
は第7図の実施例における歪み率特性を示す特性図、第
9図は本発明の第6の実施例を示す回路図、第10図は
本発明の第7の実施例を示す回路図、第11図は本発明
の第8の実施例を示す回路図、第12図は本発明の第9
の実施例を示す回路図、第13図は本発明の第10の実
施例を示す回路図、第14図は第13図の実施例の構造
を示す断面図、第15図は本発明の第11の実施例を示
す回路図、第16図は従来の半導体装置を示す回路図、
第17図は第16図の従来例の構造を示す断面図、であ
る。 符号の説明 R1〜R2B、R30,R31,R1’〜R3’・・・
抵抗器、Tl−76・・・端子、LNI〜LN8・・・
N形半導体抵抗、WPI〜WP5・・・P形半導体、B
RI、BR2・・・P形半導体抵抗、EPII。 EP■2・・・N形半導体、A1・・・演算増幅器。 代理人 弁理士 並 木 昭 夫 第 1 図 @ 2 図 UB @ 3 図 第 図 第5 図 ll61!!!1 日2 第 8 図 出力1凧巾 [Vpp] 罵 図 第12IP!l 第15図 1g13 図 UB

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、第1の種類に属する半導体と、該第1の種類に属す
    る半導体上に形成される第2の種類に属する半導体と、
    前記第1の種類に属する半導体及び前記第2の種類に属
    する半導体にそれぞれ共通して接続される第1の端子と
    、前記第2の種類に属する半導体に前記第1の端子とは
    異なる位置で接続される第2の端子と、で構成され、前
    記第2の種類に属する半導体における前記第1の端子の
    接続された位置と前記第2の端子の接続された位置との
    間の部分が抵抗として動作する抵抗器を、複数個、直列
    に接続して成ることを特徴とする半導体装置。 2、請求項1に記載の半導体装置において、複数の前記
    抵抗器のうち、一部または全部は、それぞれ、前記第1
    の端子と前記第1の種類に属する半導体との間に電圧源
    を有することを特徴とする半導体装置。 3、請求項1または2に記載の半導体装置において、複
    数の前記抵抗器は、それぞれ、隣接する抵抗器と、前記
    第1の端子と前記第2の端子との接続でもって接続され
    ることを特徴とする半導体装置。 4、請求項1、2または3に記載の半導体装置において
    、演算増幅器を設け、複数の前記抵抗器のうち、少なく
    とも1個以上が前記演算増幅器の負帰還路に挿入される
    こと特徴とする半導体装置。 5、請求項4に記載の半導体装置において、複数の前記
    抵抗器のうち、1個以上が第1の抵抗器群として、入力
    端子または接地点と前記演算増幅器の逆相入力との間に
    接続され、前記第1の抵抗器群を構成する抵抗器の個数
    のN倍の個数が第2の抵抗器群として、前記演算増幅器
    の負帰還路である該演算増幅器の逆相入力と該演算増幅
    器の出力との間に接続されることを特徴とする半導体装
    置。 6、請求項5に記載の半導体装置において、前記第2の
    抵抗器群のうち、前記演算増幅器の出力側にその第1の
    端子が配置されている抵抗器の個数が、前記第1の抵抗
    器群のうち、前記演算増幅器の逆相入力側にその第1の
    端子が配置されている抵抗器の個数のN倍であることを
    特徴とする半導体装置。 7、請求項1または2に記載の半導体装置において、複
    数の前記抵抗器のうち、一部または全部は、それぞれ、
    隣接する抵抗器と、前記第1の端子同士の接続または前
    記第2の端子同士の接続でもって接続されると共に、互
    いに隣接する2個の抵抗器を1組として組分けされ、各
    組をそれぞれ組抵抗とすることを特徴とする半導体装置
    。 8、請求項7に記載の半導体装置において、演算増幅器
    を設け、複数の前記組抵抗のうち、少なくとも1組以上
    が前記演算増幅器の負帰還路に挿入されること特徴とす
    る半導体装置。 9、請求項1または2に記載の半導体装置において、複
    数の前記抵抗器(以下、第1の種類に属する抵抗器とい
    う)のうちの一部または全部に代えて、 第1の種類に属する半導体と、該第1の種類に属する半
    導体上の互いに異なる位置に形成される、第2の種類に
    属する第1及び第2の半導体と、該第2の種類に属する
    第1の半導体に接続される第1の端子と、前記第2の種
    類に属する第2の半導体に接続される第2の端子と、前
    記第1の種類に属する半導体に接続されると共に、前記
    第2の種類に属する第1の半導体に前記第1の端子とは
    異なる位置で接続され、且つ、前記第2の種類に属する
    第2の半導体に前記第2の端子とは異なる位置で接続さ
    れる導体と、で構成され、前記第2の種類に属する第1
    の半導体における前記第1の端子の接続された位置と前
    記導体の接続された位置との間の部分と、前記第2の種
    類に属する第2の半導体における前記第2の端子の接続
    された位置と前記導体の接続された位置との間の部分と
    、がそれぞれ抵抗として動作する抵抗器(以下、第2の
    種類に属する抵抗器という)を、設けたことを特徴とす
    る半導体装置。 10、請求項9に記載の半導体装置において、前記第2
    の種類に属する抵抗器のうち、一部または全部は、それ
    ぞれ、前記導体と前記第1の種類に属する半導体との間
    に電圧源を有することを特徴とする半導体装置。 11、請求項9または10に記載の半導体装置において
    、演算増幅器を設け、複数の前記抵抗器のうち、少なく
    とも1個以上が前記演算増幅器の負帰還路に挿入された
    こと特徴とする半導体装置。 12、請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、1
    0または11に記載の半導体装置において、前記第1の
    種類に属する半導体は、CMOSプロセスにおけるウェ
    ル層として形成され、前記第2の種類に属する半導体は
    、CMOSプロセスにおける拡散層として形成されるこ
    とを特徴とする半導体装置。
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