JPH04235520A - 光走査装置 - Google Patents

光走査装置

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JPH04235520A
JPH04235520A JP3013716A JP1371691A JPH04235520A JP H04235520 A JPH04235520 A JP H04235520A JP 3013716 A JP3013716 A JP 3013716A JP 1371691 A JP1371691 A JP 1371691A JP H04235520 A JPH04235520 A JP H04235520A
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JP
Japan
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light beam
scanning
optical
detection
detection light
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Application number
JP3013716A
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English (en)
Inventor
Toru Saito
亨 齋藤
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光走査装置に関し、特に
光源手段から射出した記録用の走査用光ビームを光偏向
器を介して被走査面上に導光し、該走査用光ビームで該
被走査面を高精度に光走査するようにした光走査装置に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より記録情報信号により光変調され
た光ビームを回転多面鏡等の光偏向器で偏向した後、感
光体ドラム等の被走査面に導光して、該被走査面上を光
走査する際、エンコーダ板等の光走査の位置及び速度を
検出することができる検出手段を用いて該被走査面上の
光ビームの走査位置及び速度を同時に検出し、該エンコ
ーダからの信号を用いて被走査面上を高精度に光走査す
るようにした光走査装置が例えば特開昭63−2895
22号公報で提案されている。
【0003】該公報で提案されている光走査装置では回
転多面鏡等の光偏向器の回転速度の変動(ムラ)を補正
し高精度の光走査を行なっている。
【0004】図5は従来の光走査装置の要部構成図であ
る。
【0005】同図においては光源手段としての半導体レ
ーザ51から射出された画像記録用の走査用光ビームを
レンズ52、ハーフミラー53そしてシリンドリカルレ
ンズ54を介し回転多面鏡から成る光偏向器55で反射
偏向させている。該光偏向器55で偏向した走査用光ビ
ームをf−θレンズ56で集光し、反射ミラー57を介
して記録媒体である感光体ドラム58面上に導光し、該
走査用光ビームで感光体ドラム58面上を光走査してい
る。
【0006】同図において半導体レーザ51から射出し
た走査用光ビームを不図示の文字発生器で画素クロック
に基づいて発生した信号により変調回路で光変調してい
る。
【0007】一方、半導体レーザ59から射出した検出
用光ビームは走査用光ビームの記録媒体58上での位置
を検出し、これより走査速度を検出する為に用いている
。即ち半導体レーザ59から射出した検出用光ビームを
レンズ50、ハーフミラー53そしてシリンドリカルレ
ンズ54を介して光偏向器55により反射偏向している
【0008】そして光偏向器55で偏向させた検出用光
ビームをf−θレンズ76を介しエンコーダ板61上の
一定間隔で連続的に配列した多数のスリット面上に導光
し、その面上を走査している。このスリットを透過した
検出用光ビームをレンズ62によって収束し、光検出器
63により光電変換している。光検出器63からはパル
ス状の信号を出力している。
【0009】そして光検出器63からのパルス信号は増
幅器64を介して不図示の波形整形器で波形整形されて
位相同期用の基準パルスとなり、この基準パルスを基に
画素クロックが作られる。
【0010】その後画素クロックを文字発生器へフィー
ドバックさせることで走査用光ビームを光変調する際の
タイミングを調整している。これにより感光体ドラム5
8面上に高精度な画像を記録している。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】図5に示した従来の光
走査装置においてはエンコーダ板61上における検出用
光ビームの主走査方向のビームスポット径が光学系の性
質より被走査面(記録媒体面)58上における走査用光
ビームの主走査方向のビームスポット径に比べ同程度又
は大きい場合には被走査面上における走査用光ビームの
主走査方向の光ビームの入射位置が正確に検出できない
という問題点があった。
【0012】本発明は走査用光ビームの被走査面上での
入射位置を高分解能に検出することができ、これにより
高精度の光走査を行なうことができる光走査装置の提供
を目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明の光走査装置は、
記録情報信号に基づいて光変調した走査用光ビームを導
光手段を用いて光偏向器に導光し、該光偏向器で偏向さ
せた後、該走査用光ビームにより被走査面を光走査する
際、該走査用光ビームの該被走査面上での走査速度を検
出する為の検出用光ビームをビーム変換手段を介して該
光偏向器に導光し、該光偏向器で偏向させた後、該検出
用光ビームを検出手段で検出し、該検出手段からの信号
に基づき補正手段により、該走査用光ビームを該記録情
報信号に基づき光変調する際のタイミングを補正するよ
うにしたことを特徴としている。
【0014】特に本発明においては、前記ビーム変換手
段は前記検出用光ビームのスポット径を主走査方向に短
軸を有する略楕円形状に変換していることを特徴として
いる。
【0015】
【実施例】図1は本発明の光走査装置の実施例1の要部
構成図である。
【0016】同図において1は第1光源手段としての半
導体レーザであり、記録用の走査用光ビームを射出して
いる。2はコリメーターレンズであり、半導体レーザ1
から射出された走査用光ビームを略平行光ビームとして
いる。3はハーフミラー、4はシリンドリカルレンズで
あり、副走査断面のみ所定の屈折力を有している。
【0017】5は光偏向器であり、回転多面鏡より成っ
ており、矢印A方向に所定の速度で回転している。16
は収束レンズであり、f−θレンズより成っており走査
用光ビームを反射ミラー24を介して記録媒体としての
感光体ドラム8面上に結像させている。
【0018】9は第2光源手段としての半導体レーザで
あり、走査用光ビームの感光体ドラム8面上での入射位
置、即ち走査速度を検出する為の検出用光ビームを射出
している。10はコリメーターレンズであり、半導体レ
ーザ9から射出した検出用光ビームを略平行光ビームと
している。
【0019】6はビーム変換手段であり、第2光源手段
9側より順に主走査断面内において屈折力を有する正の
屈折力のシリンドリカルレンズ6aと同じく主走査断面
内において屈折力を有する負の屈折力のシリンドリカル
レンズ6bの2枚のレンズより成っている。ビーム変換
手段6は第2光源手段9から射出された検出用光ビーム
の光強度分布を変換して検出用光ビームの主走査方向の
ビームスポット径が走査用光ビームの主走査方向のビー
ムスポット径より小さくなるようにしている。
【0020】尚、各要素2,3,4,10は導光手段の
一要素を構成している。
【0021】11はエンコーダ板であり、一定のピッチ
より成るスリット開口部を有しており、収束レンズ16
の焦点位置近傍に配置している。12は収束レンズであ
り、エンコーダ板11を通過した光束を集光している。 13は光検出器であり、収束レンズ12で集光した光束
を検出している。本実施例においてはエンコーダ板11
、収束レンズ12、そして光検出器13の各要素で検出
用光ビームを検出するための検出手段20を構成してい
る。
【0022】18は増幅器、14は同期信号生成回路、
15は記録情報信号発生回路である。
【0023】本実施例においては同期信号生成回路14
と記録情報信号発生回路15の各要素で補正手段30を
構成しており、検出手段20からの情報に基づき走査用
光ビームを記録情報信号により変調するタイミングを調
整(補正)している。
【0024】本実施例において半導体レーザ1から射出
した画像記録用の走査用光ビームはコリメータレンズ2
、ハーフミラー3そしてシリンドリカルレンズ4を経て
光偏向器5で反射偏向している。該光偏向器5で偏向し
た走査用光ビームは収束レンズ16で集光し、反射ミラ
ー24を介して記録媒体である感光体ドラム8面上に導
光し、該走査用光ビームで感光体ドラム8面上に導光し
、該走査用光ビームで感光体ドラム8面上画を光走査し
ている。
【0025】同図において半導体レーザー1から射出さ
れる走査用光ビームは不図示の光変調回路で光変調して
いる。
【0026】一方、半導体レーザ9から射出した検出用
光ビームはコリメータレンズ10を経てビーム変換手段
6に入射している。そして該ビーム変換手段6により検
出用光ビームの光強度分布を該検出用光ビームの主走査
方向のビームスポット径が走査用光ビームの主走査方向
のビームスポット径より小さくなるように変換している
【0027】該変換した検出用光ビームはハーフミラー
3、シリンドリカルレンズ4を経て光偏向器5により反
射偏向させている。そして光偏向器5で偏向させた検出
用光ビームはfθレンズ16を経てエンコーダ板11上
の一定間隔で連続的に配列された多数のスリットを走査
する。このスリットを透過した検出用光ビームは収束レ
ンズ12によって収束し、光検出器13により光電変換
し、該光検出器13からはエンコーダ板11のスリット
状パターンに対応したパルス状の信号を出力している。
【0028】そして光検出器13からのパルス信号を増
幅器18を介して同期信号生成回路14に入力し処理し
、該同期信号生成回路14で得た同期信号を記録情報信
号発生回路15に入力し該同期信号に基づいて記録情報
信号を出力している。
【0029】そして該記録情報信号を不図示の光変調回
路へフィードバックさせることで走査用光ビームを光変
調する際のタイミングを調整している。これにより感光
体ドラム8面上に高精度な画像を記録している。
【0030】以上のように本実施例においては検出用光
ビームの光路中に該検出用光ビームの光強度分布を変換
させるためのビーム変換手段を設け、該ビーム変換手段
により検出用光ビームの主走査方向のビームスポット径
が走査用光ビームの主走査方向のビームスポット径より
小さくなるように該検出用光ビームの光強度分布を変換
することにより走査用光ビームの被走査面上での入射位
置を高分解能に検出し、これにより高精度の画像記録を
行なっている。
【0031】図2は本発明の光走査装置の実施例2の要
部構成図である。同図において図1に示した要素と同一
要素には同符番を付している。
【0032】同図において21は第1光源手段としての
半導体レーザであり、例えば波長λ1 =780nmの
記録用の走査用光ビームを射出している。26は収束レ
ンズでありf−θレンズより成っており、走査用光ビー
ムを記録媒体としての感光体ドラム8面上に結像させて
いる。収束レンズ26は球面レンズ26aとトーリック
レンズ26bの2枚のレンズより構成しており、本実施
例においてはシリンドリカルレンズ4と該トーリックレ
ンズ26bとで光偏向器5の偏向面の面倒れ補正を行な
っている。
【0033】7は偏光分離手段であり、偏光ビームスプ
リッターより成っており、所定方向に偏光面を有してい
る走査用光ビームを反射させ後述する該走査用光ビーム
の偏光面とは異なった方向に偏光面を有する第2光源手
段29からの検出用光ビームを透過させる光学的特性を
有している。
【0034】29は第2光源手段としての半導体レーザ
である。該半導体レーザ29からは所定方向に偏光して
いる検出用光ビームが射出されており、その偏光面は第
1光源手段21から射出される走査用光ビームの偏光面
と直交するように設定されている。検出用光ビームは走
査用光ビームの感光体ドラム8面上での照射位置を検出
する為に用いられ、その波長λ2 はλ2 =780n
mである。
【0035】27はビーム変換手段であり、ビーム整形
プリズムより成っており、検出用光ビームの光強度分布
を主走査方向に短軸をもつ略楕円形又は略円形に変換し
、これにより該検出用光ビームの主走査方向のビームス
ポット径が走査用光ビームのビームスポット径より小さ
くなるようにしている。
【0036】本実施例においてのビーム整形プリズム2
7はハーフミラー3と一体化して構成しており、これに
より組立、調整等を容易にし、かつコストを低減してい
る。16,17は各々第1,第2光源手段21,29を
駆動させる為のレーザ駆動回路である。
【0037】本実施例においては半導体レーザ21から
射出した走査用光ビームはコリメーターレンズ2により
略平行光ビームとし、ハーフミラー3を通過しシリンド
リカルレンズ4を経て光偏向器5の偏向面に入射させて
いる。該光偏向器5の偏向面で反射偏向させた走査用光
ビームは収束レンズ26を経て波長分離手段7により反
射させ感光体ドラム8面上に導光している。
【0038】本実施例においては半導体レーザ21から
射出する走査用光ビームは記録情報信号により光変調し
ており、主走査方向は光偏向器5の回転(図中矢印A方
向)により、又副走査方向は感光体ドラム8が回動(図
中矢印B方向)することにより光走査し、これによって
感光体ドラム8面上に次々に記録情報を記録している。
【0039】一方、半導体レーザ29からは走査用光ビ
ーム(波長λ1 =780nm)の偏光面とは異る方向
に偏光面を有する検出用光ビーム(波長λ2 =780
nm)を射出している。この検出用光ビームはコリメー
ターレンズ10により略平行光ビームとし、ビーム変換
手段27に入射させ、該ビーム変換手段27により光強
度分布が主走査方向に短軸をもつ略楕円形又は略円形と
なるように変換している。これにより検出用光ビームの
主走査方向のビームスポット径が走査用光ビームの主走
査方向のビームスポット径より小さくなるようにしてい
る。
【0040】該変換された検出用光ビームはハーフミラ
ー3を通過し、走査用光ビームの光路と同一光路をとり
、シリンドリカルレンズ4を経て光偏向器5の偏向面に
入射する。該光偏向器5の偏向面で反射偏向した検出用
光ビームは収束レンズ26を経て偏光分離手段としての
偏光ビームスプリッター7を通過する。ここで偏光分離
手段としての偏光ビームスプリッター7は所定方向に偏
光面を有する走査用光ビームは反射し、該走査用光ビー
ムの偏光面とは異る方向(直交する方向)に偏光面を有
する検出用光ビームは透過する特性を有している。
【0041】偏光ビームスプリッター7を透過した検出
用光ビームは収束レンズ26の焦点位置近傍に配置した
エンコーダ板11に入射し、該エンコーダ板11面上を
感光体ドラム8面上と同様に光走査する。このとき収束
レンズ12により収束され該エンコーダ板11のスリッ
ト開口部を通過した検出用光ビームは光検出器13に入
射し光電変換される。該光検出器13からはエンコーダ
板11のスリット状パターンに対応したパルス状信号が
出力する。
【0042】このパルス信号を同期信号生成回路14に
入力し処理し、該同期信号生成回路14から得た同期信
号を記録情報信号発生回路15に入力し、該同期信号に
基づいて記録情報信号を得ている。
【0043】この記録情報信号をレーザ駆動回路16に
入力し、該レーザ駆動回路16はこのときの記録情報に
基づいて半導体レーザ21から射出する走査用光ビーム
を光変調している。
【0044】本実施例においては感光体ドラム8面上に
結像する走査用光ビームのスポット位置と同期信号生成
回路14で得た出力同期信号はエンコーダ板11のスリ
ット間隔の適正化及び同期信号生成回路14内での信号
補正等により常時対応関係を得ている。
【0045】従って同期信号に基づいた記録情報信号に
より半導体レーザ21から射出する走査用光ビームの光
変調を行ない、該光変調した走査用光ビームで感光体ド
ラム8面上を光走査することにより例えば光偏向器の回
転速度の変動やf−θレンズ(収束レンズ)のf−θ特
性の不完全さ等による悪影響を受けずに高精度の光走査
を行なっている。
【0046】本実施例においては走査用光ビームと検出
用光ビームの光路を一部同じにして構成しており、これ
により組立、調整等を容易にし、かつ装置全体を小型に
している。
【0047】尚、本実施例においては検出用光ビームを
射出する第2光源手段を、走査用光ビームを射出する第
1光源手段に対してその光ビームの偏光面が互いに異な
るように配置したが、その逆の構成でも良い。
【0048】又、本実施例においては光ビームを分離さ
せる手段として偏光ビームスプリッターを用いて互いに
偏光面の異なる走査用光ビームと検出用光ビームを分離
したが、これに限定することなく例えば分離手段として
ダイクロイックミラーを用いて構成し、互いに波長の異
なる走査用光ビームと検出用光ビームを分離させても良
い。
【0049】図3は本発明の光走査装置の実施例3の要
部構成図である。同図において図2に示した要素と同一
要素には同符番を付している。
【0050】同図において37はビーム変換手段であり
、2つの整形プリズム37a,37bより成っており、
検出用光ビームの光強度分布を小さな径の略円形又は主
走査方向に短軸を持つ略楕円形に変換している。
【0051】35は光偏向器であり、往復振動する2つ
のガルバノミラー35a,35bより構成している。3
6は収束レンズとしてのアークサインレンズである。3
7は偏光分離手段としての偏光ビームスプリッターであ
り、所定方向に偏光面を有する走査用光ビームを透過さ
せ、該走査用光ビームの偏光面とは異った方向に偏光面
を有する検出用光ビームを反射させる光学的特性を有し
ている。34は折曲げミラーであり、偏光ビームスプリ
ッター37で反射させた検出用光ビームを検出手段20
側へ反射させている。38は被走査面(記録媒体面)と
してのスクリーンである。
【0052】本実施例においてはこのような構成により
半導体レーザ21から射出した走査用光ビーム(可視光
の光ビーム)をコリメーターレンズ2により略平行光ビ
ームとし、ハーフミラー3を透過させてガルバノミラー
35aに入射させ副走査方向に偏向している。
【0053】そして副走査方向に偏向した走査用光ビー
ムをガルバノミラー35bに入射させ主走査方向に偏向
し、該偏向した走査用光ビームを収束レンズ36を介し
て偏光ビームスプリッター37に入射させている。そし
て該走査用光ビームを偏光ビームスプリッター37を透
過させスクリーン38面上に導光し、該スクリーン38
面上を光走査している。
【0054】一方、半導体レーザ29からは検出用光ビ
ームが射出し、コリメーターレンズ10を経てビーム変
換手段37に入射させている。そして該ビーム変換手段
37により検出用光ビームの光強度分布を小さな径の略
円形又は主走査方向に短軸を持つ略楕円形に変換してい
る。
【0055】これにより検出用光ビームの主走査方向の
ビームスポット径が走査用光ビームの主走査方向のビー
ムスポット径より小さくなるようにしている。
【0056】該変換した検出用光ビームはハーフミラー
3を経てガルバノミラー35a,35bにより各々偏向
し、収束レンズ36を経て偏光ビームスプリッター37
に入射する。
【0057】そして偏光ビームスプリッター37により
反射させた検出用光ビームは折り返しミラー34で反射
し光路を折曲げてエンコーダ板11に入射し収束レンズ
12で収束し、光検出器13に入射させ光電変換してい
る。該光検出器13からはエンコーダ板11のスリット
状の開口部を通過した光ビームに基づくパルス状の信号
が出力する。
【0058】このパルス信号を増幅器18により増幅し
た後、同期信号生成回路14に入力し処理し、該同期信
号生成回路14で得た同期信号を記録情報信号発生回路
15に入力している。そしてこの同期信号に基づいた記
録情報信号をレーザ駆動回路16に入力し、レーザ駆動
回路16により半導体レーザ21から射出する走査用光
ビームを該記録情報信号に基づいて光変調している。
【0059】そして同期信号に基づいて光変調した走査
用光ビームをガルバノミラー35a,35bの振動によ
り主走査方向及び副走査方向にそれぞれ走査し、これに
よりスクリーン38面上に文字、画像等を高精度に描い
ている。
【0060】このように本実施例においては検出用光ビ
ームの光強度分布を変換させる方法としてビーム整形プ
リズムを用い、又光偏向器としてガルバノミラーを用い
ることにより前述の実施例と同様な効果を得ている。
【0061】図4は本発明の光走査装置の実施例4の要
部構成図である。同図において図1,図2に示した要素
と同一要素には同符番を付している。
【0062】本実施例は1つの光源手段からの光ビーム
を2つに分割し、そのうち一方の光ビームの偏光面を偏
光面変換手段45で変換させ、全体として偏光方向が異
る2つの光ビームを得て走査用光ビーム及び検出用光ビ
ームとして用いている。
【0063】そして検出用光ビームの光強度分布を正と
負の屈折力を有する2枚のシリンドリカルレンズ6a,
6bより成るビーム変換手段6により主走査方向に短軸
をもつ略楕円形に変換している。これにより検出用光ビ
ームの主走査方向のビームスポット径が走査用光ビーム
の主走査方向のビームスポット径より小さくなるように
している。
【0064】即ち、同図において19は光源手段として
のレーザ発振器であり、本実施例においてはHe−Ne
ガスレーザを使用している。43は分割手段であり、ビ
ームスプリッターより成っている。ビームスプリッター
43はHe−Neガスレーザ19から射出した光ビーム
を反射光と透過光の2つの光ビームに分割している。同
図では透過光を走査用光ビームとし、反射光を検出用光
ビームとして用いている。
【0065】45は偏光面変換手段(偏光面変換部材)
であり、本実施例においては1/2波長板を使用してい
る。
【0066】偏光面変換手段45は入射した光ビームの
偏光面を所定方向に変換させて射出している。本実施例
においては走査用光ビームの偏光面を検出用光ビームの
偏光面の偏光方向と直交する方向に変換させている。
【0067】40は光変調器であり、音響光学素子等よ
り成っており、ドライバー21からの画像信号に基づい
て走査用光ビームを光変調している。レーザドライバー
21は補正手段30からの電気信号(記録情報信号)に
応じて光ビームの光変調を制御している。44a,44
bは各々ミラーである。
【0068】本実施例においてはこのような構成により
He−Neガスレーザ19から射出した光ビームをコリ
メーターレンズ2により略平行光ビームとし、ビームス
プリッター43に入射させている。そして該ビームスプ
リッター43により光ビームを走査用光ビームと検出用
光ビームとの2つの光ビームに分割している。
【0069】該分割した光ビームのうち走査用光ビーム
はレンズ42で収束し、偏光面変換手段45に入射し、
該走査用光ビームの偏光面を検出用光ビームの偏光面の
偏光方向と直交する方向に変換している。その後、該走
査用光ビームは光変調器40に入射し記録情報信号によ
り光変調している。
【0070】光変調器40により光変調した走査用光ビ
ームはスリットSLで1次回折光(回折された光ビーム
)のみを透過し0次回折光を遮光している。次にコリメ
ーターレンズ47により再度平行光ビームとした走査用
光ビームはハーフミラー3を透過しシリンドリカルレン
ズ4を経て光偏向器5の偏向面に入射する。
【0071】該光偏向器5で反射偏向した走査用光ビー
ムは収束レンズ26を経て所定方向に偏光面を有する走
査用光ビームを反射し、走査用光ビームの偏光面とは直
交する偏光面を有する検出用光ビームを透過するように
設定した偏光ビームスプリッター7に入射し、該偏光ビ
ームスプリッター7により反射させて感光体ドラム8面
上に導光し、これにより画像記録を行なっている。
【0072】又、一方ビームスプリッター43で反射分
割した検出用光ビームはミラー44aを介してビーム変
換手段6に入射させている。そして該ビーム変換手段6
により検出用光ビームの光強度分布を主走査方向に短軸
を持つ略楕円形に変換している。これにより検出用光ビ
ームの主走査方向のビームスポット径が走査用光ビーム
の主走査方向のビームスポット径より小さくなるように
している。該変換された検出用光ビームはミラー44b
を介してハーフミラー3で反射させシリンドリカルレン
ズ4を経て光偏向器5で反射偏向させて収束レンズ26
を経て偏光ビームスプリッター7を透過する。該偏光ビ
ームスプリッター7を透過した検出用光ビームはエンコ
ーダ板11に入射し、エンコーダ板11の光透過部を通
過した後、収束レンズ12で収束させて光検出器13に
入射し光電変換している。
【0073】その後光検出器13からエンコーダ板11
のスリット状開口部に対応したパルス状の信号を出力し
、増幅器18を介してこの信号を基に補正手段30によ
り同期信号を作り、記録情報信号を出力している。
【0074】そしてこの同期信号に基づいた記録情報信
号によりレーザドライバー21を駆動させてHe−Ne
ガスレーザ19から射出した走査用光ビームを該記録情
報信号によって光変調することにより高精度の光走査記
録を行なっている。
【0075】尚、本実施例においてのビームスプリッタ
ー43は光変調器40等での光量ロス等を考慮して透過
光(走査用光ビーム)と反射光(検出用光ビーム)の強
度分割比を決めている。
【0076】本実施例においてはビームスプリッター4
3で分割した光ビームのうち透過光を走査用光ビームと
して偏光面変換手段45に入射させ、これより該光ビー
ムの偏光面を変換させる代わりにビームスプリッター4
3で分割した反射光を検出用光ビームとして偏光面変換
手段45により同様な構成により偏光面を変化させるよ
うにしても良い。
【0077】尚、本発明においては光源手段としての半
導体レーザを複数の発光部(半導体レーザチップ)から
構成し、該複数の発光部をアレイ状に並置し、該複数の
発光部から射出する複数の光ビームのうち少なくとも1
本の光ビームを検出用光ビームとして用い、例えば発光
部のマウント方向を直交させる方法により該検出用光ビ
ームの偏光面とは異なる方向、特に直交する方向に偏光
面を有する少なくとも1本の光ビームを走査用光ビーム
として構成しても良い。
【0078】これによれば装置全体が小型化し、前述し
た実施例に比べハーフミラー3を用いることなく構成す
ることができるのでコストの点からも低減化することが
できるという特徴を有している。
【0079】尚、以上の各実施例においては記録媒体の
形状としてドラム状の媒体や巻取りロール状やカード状
などの他に他の形状の記録媒体も同様にして用いること
ができる。
【0080】又、偏向手段として回転多面鏡やガルバノ
ミラーの如くある軸を中心として回転又は回動する偏向
ミラー面を有する光偏向器の他に例えば回折格子を円板
状に配置して回転により光偏向するホログラム素子や音
響光学素子等を用いても良い。
【0081】又、各実施例においては同期信号を得る為
の検出手段の一要素としてエンコーダ板を用いた例を示
したがエンコーダ板に限らず同等の光学的作用を有する
他の検出手段を用いても本発明は同様に適用することが
できる。検出手段の一要素としてエンコーダ板を用いる
かわりに複数の光検出器を配置してもよい。
【0082】又、本発明の光走査装置は例えば光テープ
、光カードの読取り・書込み装置又はレーザーマーキン
グ装置、レーザーカティング装置等にも適用することが
できる。
【0083】
【発明の効果】本発明によれば前述の如く各要素を適切
に構成し、特にビーム変換手段により該検出用光ビーム
の主走査方向のビームスポット径が走査用光ビームのビ
ームスポット径より小さくなるように該検出用光ビーム
の光強度分布を変換することにより、走査用光ビームの
被走査面上での入射位置を高分解能に検出することがで
き、これにより高精度の光走査を行なうことができる光
走査装置を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】  本発明の光走査装置の実施例1の要部構成
図。
【図2】  本発明の光走査装置の実施例2の要部構成
図。
【図3】  本発明の光走査装置の実施例3の要部構成
図。
【図4】  本発明の光走査装置の実施例4の要部構成
図。
【図5】  従来の光走査装置の要部構成図。
【符号の説明】
1,9,21,29  光源手段(半導体レーザ)2,
10  コリメーターレンズ 3  ハーフミラー          4  シリン
ドリカルレンズ5  光偏向器(回転多面鏡) 66  収束レンズ(f−θレンズ) 7,37  偏光ビームスプリッター 8  感光体ドラム          11  エン
コーダ板12  収束レンズ          13
  光検出器20  検出手段           
 14  同期信号生成回路15  記録情報信号発生
回路 16,17  レーザ駆動回路 19  光源手段(レーザ発振器) 40  光変調器            21  レ
ーザドライバー42  レンズ           
   43  分割手段(ビームスプリッター) 44a,44b  ミラー    45  偏光面変換
手段SL  スリット            35 
 光偏向器(ガルバノミラー)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  記録情報信号に基づいて光変調した走
    査用光ビームを導光手段を用いて光偏向器に導光し、該
    光偏向器で偏向させた後、該走査用光ビームにより被走
    査面を光走査する際、該走査用光ビームの該被走査面上
    での走査速度を検出する為の検出用光ビームをビーム変
    換手段を介して該光偏向器に導光し、該光偏向器で偏向
    させた後、該検出用光ビームを検出手段で検出し、該検
    出手段からの信号に基づき補正手段により、該走査用光
    ビームを該記録情報信号に基づき光変調する際のタイミ
    ングを補正するようにしたことを特徴とする光走査装置
  2. 【請求項2】  前記走査用光ビームと前記検出用光ビ
    ームは複数の発光部をアレイ状に並置した光源手段より
    得ていることを特徴とする請求項1記載の光走査装置。
  3. 【請求項3】  前記ビーム変換手段はビーム整形プリ
    ズム又は正の屈折力を有するシリンドリカルレンズと負
    の屈折力を有するシリンドリカルレンズの少なくとも2
    枚のレンズより成っていることを特徴とする請求項1及
    び2記載の光走査装置。
  4. 【請求項4】  前記ビーム変換手段は前記検出用光ビ
    ームのスポット径を主走査方向に短軸を有する略楕円形
    状に変換していることを特徴とする請求項1記載の光走
    査装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002356097A (ja) * 2001-05-30 2002-12-10 Central Glass Co Ltd 着色膜付き板ガラスの描画方法
JP2011227279A (ja) * 2010-04-20 2011-11-10 Konica Minolta Business Technologies Inc レーザ走査光学装置
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WO2025105271A1 (ja) * 2023-11-13 2025-05-22 京セラ株式会社 電磁波照射装置及び電磁波照射方法

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