JPH04236291A - 超硬質針状砥粒の製造方法および超砥粒砥石 - Google Patents
超硬質針状砥粒の製造方法および超砥粒砥石Info
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- JPH04236291A JPH04236291A JP1953391A JP1953391A JPH04236291A JP H04236291 A JPH04236291 A JP H04236291A JP 1953391 A JP1953391 A JP 1953391A JP 1953391 A JP1953391 A JP 1953391A JP H04236291 A JPH04236291 A JP H04236291A
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- diamond
- cbn
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超砥粒砥石に用いられ
る砥粒、即ち超硬質針状砥粒の製造方法に関するもので
ある。
る砥粒、即ち超硬質針状砥粒の製造方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来の超砥粒砥石に用いられる砥粒は、
天然ダイヤモンド或いは高温高圧法、爆発成形法によっ
て製作された人工ダイヤモンド又はＣＢＮ砥粒が用いら
れていた。
天然ダイヤモンド或いは高温高圧法、爆発成形法によっ
て製作された人工ダイヤモンド又はＣＢＮ砥粒が用いら
れていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記砥粒の形状は、球
形状に近いものが多いため、研削時に砥粒が結合材から
脱落しやすい。また、天然ダイヤモンドでは形状をコン
トロールできない。これを解決するために大粒径のダイ
ヤモンドを複数の平板に分割し、さらに平板状のダイヤ
モンドを平面的に細かく切断した棒状のダイヤモンドが
用いられているが、作業効率が悪い。また、製造コスト
が高くつく問題があった。
形状に近いものが多いため、研削時に砥粒が結合材から
脱落しやすい。また、天然ダイヤモンドでは形状をコン
トロールできない。これを解決するために大粒径のダイ
ヤモンドを複数の平板に分割し、さらに平板状のダイヤ
モンドを平面的に細かく切断した棒状のダイヤモンドが
用いられているが、作業効率が悪い。また、製造コスト
が高くつく問題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】ダイヤモンド、ダイヤモ
ンドライクカーボン、ＣＢＮ又はＣＢＮ含有ＢＮ薄膜を
気相成長させる工程（Ａ）、このダイヤモンド、ダイヤ
モンドライクカーボン、ＣＢＮ又はＣＢＮ含有ＢＮ薄膜
を平面的に分割する工程（Ｂ）からなり、上記（Ａ）、
（Ｂ）の順番に製造する。
ンドライクカーボン、ＣＢＮ又はＣＢＮ含有ＢＮ薄膜を
気相成長させる工程（Ａ）、このダイヤモンド、ダイヤ
モンドライクカーボン、ＣＢＮ又はＣＢＮ含有ＢＮ薄膜
を平面的に分割する工程（Ｂ）からなり、上記（Ａ）、
（Ｂ）の順番に製造する。
【０００５】
【作用】気相合成によって基板にダイヤモンド、ダイヤ
モンドライクカーボン、ＣＢＮ又はＣＢＮ含有ＢＮ薄膜
を形成し、このダイヤモンド、ダイヤモンドライクカー
ボン、ＣＢＮ又はＣＢＮ含有ＢＮ薄膜を平面的に分割す
る。ダイヤモンド又はＣＢＮは最初から平板状に形成さ
れているため、平板状に分割する作業が不要になり、作
業効率が向上し、製造コストが安くなる。
モンドライクカーボン、ＣＢＮ又はＣＢＮ含有ＢＮ薄膜
を形成し、このダイヤモンド、ダイヤモンドライクカー
ボン、ＣＢＮ又はＣＢＮ含有ＢＮ薄膜を平面的に分割す
る。ダイヤモンド又はＣＢＮは最初から平板状に形成さ
れているため、平板状に分割する作業が不要になり、作
業効率が向上し、製造コストが安くなる。
【０００６】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、数十μｍから数十ｍｍの幅を有し、
例えば細長い銅泊の基板１０の表面にＣＶＤ法、ＰＶＤ
法又はＩＶＤ法によって膜厚数ｎμｍから数ｍｍ程度の
ダイヤモンド、ダイヤモンドライク、ＣＢＮ又はＣＢＮ
含有ＢＮの薄膜１１を形成する。次に図２に示すように
２つの加圧ローラ１２の間に基板１０を通過させると、
加圧ローラ１２の加圧力により薄膜１１に基板１０の長
手方向と直交する方向にスラックが入り、長さが数十μ
ｍから数十ｍｍ、幅が数ｎμｍから数ｍｍ程度の複数の
針状の砥粒に切断、即ち分割される。薄膜１１の分割方
法として、図３に示すように基板１０の表面に突起１３
を基板１０の長手方向と直交する方向に形成し、突起１
３を形成した基板１０の表面に薄膜１１を形成すること
によって薄膜１１の裏面に凹みを形成し、薄膜１１を折
り曲げることによって薄膜１１を凹みの部分で分割する
ようにしても良い。また、薄膜１１をレーザーカッター
を使用して細かく切断しても良い。さらに、第４図に示
すように薄膜１１と反対側の基板１０にレジスト（例え
ば紫外線硬化樹脂）を塗布し、このレジストに光（紫外
線）をマスクを通して照射し、光によって硬化した部分
以外３０を腐食剤によって基板１０の斜線部分３１を溶
かし、基板１０が溶けたところで薄膜１１を折り曲げる
ことによって基板付き超硬質針状砥粒を製作する。この
方法で分割を行えば、砥粒の形状を自由にコントロール
できる。いずれの場合も、砥粒としては基板１０が付い
たまま使用しても良いし、基板１０を取り除いて使用し
ても良い。基板１０の除去は、腐食剤を使って基板１０
を溶かすことによって行う。また、いずれの場合も、最
初から平板状の薄膜１１を形成するため、分割作業が容
易になる。なお、上述した実施例は、左右方向に幅広で
前後方向に幅狭の基板１０を用いて薄膜を左右方向に分
割した例について述べたが、図５に示すように左右並び
に前後方向に幅広の基板１０を用いて、薄膜を左右方向
並びに前後方向に分割すれば、多数の超硬質針状砥粒を
得ることができる。
例えば細長い銅泊の基板１０の表面にＣＶＤ法、ＰＶＤ
法又はＩＶＤ法によって膜厚数ｎμｍから数ｍｍ程度の
ダイヤモンド、ダイヤモンドライク、ＣＢＮ又はＣＢＮ
含有ＢＮの薄膜１１を形成する。次に図２に示すように
２つの加圧ローラ１２の間に基板１０を通過させると、
加圧ローラ１２の加圧力により薄膜１１に基板１０の長
手方向と直交する方向にスラックが入り、長さが数十μ
ｍから数十ｍｍ、幅が数ｎμｍから数ｍｍ程度の複数の
針状の砥粒に切断、即ち分割される。薄膜１１の分割方
法として、図３に示すように基板１０の表面に突起１３
を基板１０の長手方向と直交する方向に形成し、突起１
３を形成した基板１０の表面に薄膜１１を形成すること
によって薄膜１１の裏面に凹みを形成し、薄膜１１を折
り曲げることによって薄膜１１を凹みの部分で分割する
ようにしても良い。また、薄膜１１をレーザーカッター
を使用して細かく切断しても良い。さらに、第４図に示
すように薄膜１１と反対側の基板１０にレジスト（例え
ば紫外線硬化樹脂）を塗布し、このレジストに光（紫外
線）をマスクを通して照射し、光によって硬化した部分
以外３０を腐食剤によって基板１０の斜線部分３１を溶
かし、基板１０が溶けたところで薄膜１１を折り曲げる
ことによって基板付き超硬質針状砥粒を製作する。この
方法で分割を行えば、砥粒の形状を自由にコントロール
できる。いずれの場合も、砥粒としては基板１０が付い
たまま使用しても良いし、基板１０を取り除いて使用し
ても良い。基板１０の除去は、腐食剤を使って基板１０
を溶かすことによって行う。また、いずれの場合も、最
初から平板状の薄膜１１を形成するため、分割作業が容
易になる。なお、上述した実施例は、左右方向に幅広で
前後方向に幅狭の基板１０を用いて薄膜を左右方向に分
割した例について述べたが、図５に示すように左右並び
に前後方向に幅広の基板１０を用いて、薄膜を左右方向
並びに前後方向に分割すれば、多数の超硬質針状砥粒を
得ることができる。
【０００７】図６に示すように針状の砥粒１４とフェノ
ール系樹脂からなる結合材１５と酸化クロムからなる添
加剤を練り混ぜ、ビレット状に成形する。ビレット状に
成形されたものを２つの圧延ローラ１６によって板状に
伸ばし、複数個に切断する。切断されたものを重ね合わ
せ、重ね合わせたものを複数個用意して圧延を繰り返す
。圧延によって砥粒１４の方向が一方向に揃ったところ
で、チップ状に切断し、約１４０度で焼成し、砥石素材
２０とする。
ール系樹脂からなる結合材１５と酸化クロムからなる添
加剤を練り混ぜ、ビレット状に成形する。ビレット状に
成形されたものを２つの圧延ローラ１６によって板状に
伸ばし、複数個に切断する。切断されたものを重ね合わ
せ、重ね合わせたものを複数個用意して圧延を繰り返す
。圧延によって砥粒１４の方向が一方向に揃ったところ
で、チップ状に切断し、約１４０度で焼成し、砥石素材
２０とする。
【０００８】上記砥石素材２０を、図７に示すように、
針状の砥粒１４の長手方向が研削面に対して直角になる
ように円板状の砥石基盤２１の端面にセグメント状に並
べ、ボンド２２等で固着する。以上の工程を採ることに
より、針状の砥粒１４の向きが研削面に対して直交する
方向に揃った超砥粒砥石が製造される。
針状の砥粒１４の長手方向が研削面に対して直角になる
ように円板状の砥石基盤２１の端面にセグメント状に並
べ、ボンド２２等で固着する。以上の工程を採ることに
より、針状の砥粒１４の向きが研削面に対して直交する
方向に揃った超砥粒砥石が製造される。
【０００９】このように製造された超砥粒砥石を回転さ
せながら工作物の平面研削を行う。研削面と直交する方
向に砥石が摩耗するが、砥粒１４の長手方向が研削面に
対して直角になるように配列されているため、砥粒１４
が結合材１５によって保持される部分が多くあり、砥粒
１４は容易に脱落しない。
せながら工作物の平面研削を行う。研削面と直交する方
向に砥石が摩耗するが、砥粒１４の長手方向が研削面に
対して直角になるように配列されているため、砥粒１４
が結合材１５によって保持される部分が多くあり、砥粒
１４は容易に脱落しない。
【００１０】
【発明の効果】以上述べたように本発明は、超硬チップ
を、基板にダイヤモンド、ダイヤモンドライクカーボン
、ＣＢＮ又はＣＢＮ含有ＢＮ薄膜を気相成長させる工程
（Ａ）、このダイヤモンド、ダイヤモンドライクカーボ
ン、ＣＢＮ又はＣＢＮ含有ＢＮ薄膜を平面的に分割する
工程（Ｂ）の順に製造したので、ダイヤモンド、ダイヤ
モンドライクカーボン、ＣＢＮ又はＣＢＮ含有ＢＮ薄膜
を平板状に分割する作業が不要となり、作業効率が向上
する。また、製造コストが安くなる効果が得られる。
を、基板にダイヤモンド、ダイヤモンドライクカーボン
、ＣＢＮ又はＣＢＮ含有ＢＮ薄膜を気相成長させる工程
（Ａ）、このダイヤモンド、ダイヤモンドライクカーボ
ン、ＣＢＮ又はＣＢＮ含有ＢＮ薄膜を平面的に分割する
工程（Ｂ）の順に製造したので、ダイヤモンド、ダイヤ
モンドライクカーボン、ＣＢＮ又はＣＢＮ含有ＢＮ薄膜
を平板状に分割する作業が不要となり、作業効率が向上
する。また、製造コストが安くなる効果が得られる。
【図１】基板にダイヤンド薄膜を形成した状態図。
【図２】ダイヤモンド薄膜を加圧ローラによって分割す
る状態図。
る状態図。
【図３】ダイヤモンド薄膜を凹みを使って分割する他の
変形例。
変形例。
【図４】ダイヤモンド薄膜を腐食剤を使って分割する他
の変形例。
の変形例。
【図５】ダイヤモンド薄膜を左右方向並びに前後方向に
分割する他の変形例。
分割する他の変形例。
【図６】砥石素材を製作する工程図。
【図７】砥石素材を砥石基盤に固着した状態図。
１０ 基板
１１ ダイヤモンド薄膜
１４ 砥粒
１５ 結合材
２０ 砥石素材
２１ 砥石基盤
Claims (1)
- 【請求項１】 基板にダイヤモンド、ダイヤモンドラ
イクカーボン、ＣＢＮ又はＣＢＮ含有ＢＮ薄膜を気相成
長させる工程（Ａ）、このダイヤモンド、ダイヤモンド
ライクカーボン、ＣＢＮ又はＣＢＮ含有ＢＮ薄膜を平面
的に分割する工程（Ｂ）、からなるもので、上記（Ａ）
、（Ｂ）の順番に従って遂行されることを特徴とする超
硬質針状砥粒の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3019533A JP3024707B2 (ja) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | 超硬質針状砥粒の製造方法および超砥粒砥石 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3019533A JP3024707B2 (ja) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | 超硬質針状砥粒の製造方法および超砥粒砥石 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04236291A true JPH04236291A (ja) | 1992-08-25 |
| JP3024707B2 JP3024707B2 (ja) | 2000-03-21 |
Family
ID=12001971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3019533A Expired - Fee Related JP3024707B2 (ja) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | 超硬質針状砥粒の製造方法および超砥粒砥石 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3024707B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020536043A (ja) * | 2017-10-02 | 2020-12-10 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 細長い研磨粒子、その製造方法、及びそれを含む研磨物品 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US12554014B2 (en) | 2021-07-06 | 2026-02-17 | Sloan Valve Company | Determining restroom occupancy |
-
1991
- 1991-01-18 JP JP3019533A patent/JP3024707B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020536043A (ja) * | 2017-10-02 | 2020-12-10 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 細長い研磨粒子、その製造方法、及びそれを含む研磨物品 |
| JP2021191730A (ja) * | 2017-10-02 | 2021-12-16 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 細長い研磨粒子、その製造方法、及びそれを含む研磨物品 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3024707B2 (ja) | 2000-03-21 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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