JPH04236876A - バルブ装置 - Google Patents
バルブ装置Info
- Publication number
- JPH04236876A JPH04236876A JP555691A JP555691A JPH04236876A JP H04236876 A JPH04236876 A JP H04236876A JP 555691 A JP555691 A JP 555691A JP 555691 A JP555691 A JP 555691A JP H04236876 A JPH04236876 A JP H04236876A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve device
- emitting element
- light emitting
- valve
- open
- Prior art date
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- Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、遠隔制御により弁体が
動いて流体の流路を開閉するバルブ装置に関する。
動いて流体の流路を開閉するバルブ装置に関する。
【０００２】上記バルブ装置は、半導体製造装置のガス
供給開閉用など、流体供給・排出の開閉を要する装置に
使用されており、一般に使用装置の制御盤から遠隔制御
される。
供給開閉用など、流体供給・排出の開閉を要する装置に
使用されており、一般に使用装置の制御盤から遠隔制御
される。
【０００３】そのため、操作盤から離れた場所に配置さ
れた場合、そのバルブ装置の点検の際にその場で開閉状
態を確認できると極めて便利である。
れた場合、そのバルブ装置の点検の際にその場で開閉状
態を確認できると極めて便利である。
【０００４】
【従来の技術】上述した遠隔制御型のバルブ装置には、
従来、そのバルブ装置自体で開閉状態を確認できるもの
がなかった。
従来、そのバルブ装置自体で開閉状態を確認できるもの
がなかった。
【０００５】ちなみに、手操作により開閉するバルブ装
置では、それ自体に開閉状態を表示する表示機構を有す
るものが少なく、その表示機構を有するもののその機構
は、弁体の動きに連動する指針とその指針の位置を表示
する文字板とによって構成されるものである。
置では、それ自体に開閉状態を表示する表示機構を有す
るものが少なく、その表示機構を有するもののその機構
は、弁体の動きに連動する指針とその指針の位置を表示
する文字板とによって構成されるものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このことから従来の遠
隔制御型のバルブ装置は、使用装置の流体供給・排出系
に異常が生じた際に、その異常の原因が当該バルブ装置
の動作不良によるものか否かの確認が困難であり、その
流体供給・排出系のメンテナンス時間を長引かせる問題
を引き起こしている。
隔制御型のバルブ装置は、使用装置の流体供給・排出系
に異常が生じた際に、その異常の原因が当該バルブ装置
の動作不良によるものか否かの確認が困難であり、その
流体供給・排出系のメンテナンス時間を長引かせる問題
を引き起こしている。
【０００７】この問題を解消するためには、当該バルブ
装置に開閉状態を表示する表示機構が設けられてあれば
良い。しかし、このように使用されるバルブ装置は一般
にさほど明るくない場所に配置されるので、その表示機
構を先の手操作型のバルブ装置で述べた表示機構にする
と、開閉の状態判別が不確実になり易い。
装置に開閉状態を表示する表示機構が設けられてあれば
良い。しかし、このように使用されるバルブ装置は一般
にさほど明るくない場所に配置されるので、その表示機
構を先の手操作型のバルブ装置で述べた表示機構にする
と、開閉の状態判別が不確実になり易い。
【０００８】そこで本発明は、遠隔制御型のバルブ装置
において、暗がりであってもそれ自体の視認によって開
閉状態を判別できるようにすることを目的とする。
において、暗がりであってもそれ自体の視認によって開
閉状態を判別できるようにすることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のバルブ装置は、遠隔制御により弁体が動い
て流体の流路を開閉するバルブ装置であって、前記弁体
の動きに連動して作動する電気接点と該接点に接続され
た発光素子とを備えることを特徴としている。
に、本発明のバルブ装置は、遠隔制御により弁体が動い
て流体の流路を開閉するバルブ装置であって、前記弁体
の動きに連動して作動する電気接点と該接点に接続され
た発光素子とを備えることを特徴としている。
【００１０】そして、前記発光素子は、バルブ装置本体
に配置されていることが望ましく、また透光性の保護カ
バーで覆われていることが望ましい。
に配置されていることが望ましく、また透光性の保護カ
バーで覆われていることが望ましい。
【００１１】
【作用】上記電気接点は、上記弁体の動きに連動して作
動するので、バルブ装置が開状態（上記流路が開いた状
態）または閉状態（上記流路が閉じた状態）の際に閉じ
て反対状態の際に開く。
動するので、バルブ装置が開状態（上記流路が開いた状
態）または閉状態（上記流路が閉じた状態）の際に閉じ
て反対状態の際に開く。
【００１２】従ってこの接点に接続された上記発光素子
は、電源を接続することにより該接点が閉じている際に
のみ発光するので、バルブ装置の開閉状態を表示する。 然もその表示が発光素子の発光有無であることから、こ
のバルブ装置は、暗がりであってもそれ自体の視認によ
って開閉状態を判別することができる。
は、電源を接続することにより該接点が閉じている際に
のみ発光するので、バルブ装置の開閉状態を表示する。 然もその表示が発光素子の発光有無であることから、こ
のバルブ装置は、暗がりであってもそれ自体の視認によ
って開閉状態を判別することができる。
【００１３】そして、発光素子はバルブ装置本体の最上
部に配置されていれば視認が容易であり、上記透光性の
保護カバーは発光素子の発光有無の判別を阻害すること
なく発光素子を外界から保護する。
部に配置されていれば視認が容易であり、上記透光性の
保護カバーは発光素子の発光有無の判別を阻害すること
なく発光素子を外界から保護する。
【００１４】
【実施例】以下本発明によるバルブ装置の実施例につい
て図１及び図２を用いて説明する。図１は第１実施例の
閉状態断面図（ａ） と開状態断面図（ｂ） 、図２は
第２実施例の開状態断面図（ａ） と閉状態断面図（ｂ
） であり、全図を通し同一符号は同一対象物を示す。
て図１及び図２を用いて説明する。図１は第１実施例の
閉状態断面図（ａ） と開状態断面図（ｂ） 、図２は
第２実施例の開状態断面図（ａ） と閉状態断面図（ｂ
） であり、全図を通し同一符号は同一対象物を示す。
【００１５】図１において、この第１実施例はノーマリ
・クローズである遠隔制御型のバルブ装置であり、１は
本体、２は流体流路、３はシリンダ、４は弁体、５はピ
ストン、６は弁棒、７は電気接触子、８ はパッキン、
９は閉塞リング、１０は絶縁部材、１１は圧縮コイルバ
ネ、１２，１３ は接点、１４は圧縮ガス、１５は発光
素子、１６は保護カバー、を示す。
・クローズである遠隔制御型のバルブ装置であり、１は
本体、２は流体流路、３はシリンダ、４は弁体、５はピ
ストン、６は弁棒、７は電気接触子、８ はパッキン、
９は閉塞リング、１０は絶縁部材、１１は圧縮コイルバ
ネ、１２，１３ は接点、１４は圧縮ガス、１５は発光
素子、１６は保護カバー、を示す。
【００１６】本体１は、流体配管に接続する流体流路２
を下部に有して、上部がシリンダ３を構成しており、下
端部が弁体４となり上端部にシリンダ３と嵌合するピス
トン５を設けた弁棒６が嵌挿されて、ピストン５の上下
動に伴う弁体４の上下動が流体流路２を開閉する。
を下部に有して、上部がシリンダ３を構成しており、下
端部が弁体４となり上端部にシリンダ３と嵌合するピス
トン５を設けた弁棒６が嵌挿されて、ピストン５の上下
動に伴う弁体４の上下動が流体流路２を開閉する。
【００１７】シリンダ３は、上端部が、図示省略の第１
端子に接続された電気接触子７，ゴムのパッキン８，絶
縁部材１０で蓋された閉塞リング９が嵌め込まれて密閉
され、絶縁部材１０とピストン５との間にはノーマリ・
クローズとするための圧縮コイルバネ１１が挿入されて
いる。
端子に接続された電気接触子７，ゴムのパッキン８，絶
縁部材１０で蓋された閉塞リング９が嵌め込まれて密閉
され、絶縁部材１０とピストン５との間にはノーマリ・
クローズとするための圧縮コイルバネ１１が挿入されて
いる。
【００１８】また、ピストン５は金属からなり上面中央
に接点１２を備え、絶縁部材１０は下面中央に接点１３
が設けられて、ピストン５が上昇した際にその上面が電
気接触子７に当接すると共に接点１２が接点１３に接触
するようになっている。
に接点１２を備え、絶縁部材１０は下面中央に接点１３
が設けられて、ピストン５が上昇した際にその上面が電
気接触子７に当接すると共に接点１２が接点１３に接触
するようになっている。
【００１９】流体流路２を開状態にさせるピストン５の
上昇は、シリンダ３の下部に圧縮ガス１４を送り込むこ
とによって行われる。シリンダ３上部のガスは図示省略
の孔からリークしてピストン５の上昇を妨げない。そし
て流体流路２を閉状態にさせるピストン５の下降は、圧
縮ガス１４の送り込みを開放することにより、コイルバ
ネ１１の付勢が作用して行われる。このことによりこの
バルブ装置は遠隔制御型となっている。なお、図中の１
７はピストン５にかけたＯリングでありシリンダ３との
嵌合を気密にさせる。
上昇は、シリンダ３の下部に圧縮ガス１４を送り込むこ
とによって行われる。シリンダ３上部のガスは図示省略
の孔からリークしてピストン５の上昇を妨げない。そし
て流体流路２を閉状態にさせるピストン５の下降は、圧
縮ガス１４の送り込みを開放することにより、コイルバ
ネ１１の付勢が作用して行われる。このことによりこの
バルブ装置は遠隔制御型となっている。なお、図中の１
７はピストン５にかけたＯリングでありシリンダ３との
嵌合を気密にさせる。
【００２０】そして、絶縁部材１０の上面には接点１３
と図示省略の第２端子に接続された発光素子１５が配設
されており、その発光素子１５を覆う透光性樹脂の保護
カバー１６が本体１に取付けられている。発光素子１５
は、ＬＥＤまたはランプなどであり、前記第１及び第２
端子に電源を接続すれば、ピストン５が上昇した際に即
ち流体流路２が開状態となった際に発光し、ピストン５
が下降した際に即ち流体流路２が閉状態となった際に発
光を停止する。カバー１６は発光素子１５の発光の視認
を阻害することなく発光素子１５を外界から保護する。
と図示省略の第２端子に接続された発光素子１５が配設
されており、その発光素子１５を覆う透光性樹脂の保護
カバー１６が本体１に取付けられている。発光素子１５
は、ＬＥＤまたはランプなどであり、前記第１及び第２
端子に電源を接続すれば、ピストン５が上昇した際に即
ち流体流路２が開状態となった際に発光し、ピストン５
が下降した際に即ち流体流路２が閉状態となった際に発
光を停止する。カバー１６は発光素子１５の発光の視認
を阻害することなく発光素子１５を外界から保護する。
【００２１】従ってこの実施例は、発光素子１５がその
発光の有無により流体流路２の開閉状態を表示するので
、暗がりであってもそれ自体の視認によりバルブ装置と
しての開閉状態を判別することができる。然もその視認
は発光素子１５が本体１の最上部に配置されているので
極めて容易である。
発光の有無により流体流路２の開閉状態を表示するので
、暗がりであってもそれ自体の視認によりバルブ装置と
しての開閉状態を判別することができる。然もその視認
は発光素子１５が本体１の最上部に配置されているので
極めて容易である。
【００２２】なお、本体１が金属からなり接地される場
合は、本体１を上記第１端子にして上記電源の配線を簡
素化することができる。次に図２において、この第２実
施例である遠隔制御型のバルブ装置は、ノーマリ・クロ
ーズである第１実施例をノーマリ・オープンに変えたも
のであり、ノーマリ・オープンとするために第１実施例
とは圧縮コイルバネ１１の配置と圧縮ガス１４の送り込
み箇所が異なっている。
合は、本体１を上記第１端子にして上記電源の配線を簡
素化することができる。次に図２において、この第２実
施例である遠隔制御型のバルブ装置は、ノーマリ・クロ
ーズである第１実施例をノーマリ・オープンに変えたも
のであり、ノーマリ・オープンとするために第１実施例
とは圧縮コイルバネ１１の配置と圧縮ガス１４の送り込
み箇所が異なっている。
【００２３】即ち、圧縮コイルバネ１１は、シリンダ３
内でピストン５の下側に挿入されており、ピストン５を
上昇させて流体流路２を開状態にしておく。そして、流
体流路２を閉状態にさせるピストン５の下降は、圧縮ガ
ス１４をシリンダ３の上部に送り込むことによって行わ
れる。
内でピストン５の下側に挿入されており、ピストン５を
上昇させて流体流路２を開状態にしておく。そして、流
体流路２を閉状態にさせるピストン５の下降は、圧縮ガ
ス１４をシリンダ３の上部に送り込むことによって行わ
れる。
【００２４】しかし、発光素子１５の発光有無がピスト
ン５の上昇・下降により切り替わる機構は、第１実施例
と同じである。従って、この第２実施例も、第１実施例
と同様に、流体流路２が開状態となった際に発光素子１
５が発光し、流体流路２が閉状態となった際にその発光
を停止して、暗がりであってもそれ自体の視認によりバ
ルブ装置としての開閉状態を判別することができる。
ン５の上昇・下降により切り替わる機構は、第１実施例
と同じである。従って、この第２実施例も、第１実施例
と同様に、流体流路２が開状態となった際に発光素子１
５が発光し、流体流路２が閉状態となった際にその発光
を停止して、暗がりであってもそれ自体の視認によりバ
ルブ装置としての開閉状態を判別することができる。
【００２５】なお、図２ではシリンダ３下部の図１に示
される段差が無くなっているが、この段差は、ノーマリ
・クローズの場合に圧縮ガス１４が入る容積を小さくさ
せるもので、ノーマリ・オープンの場合には有っても無
くとも良いものである。
される段差が無くなっているが、この段差は、ノーマリ
・クローズの場合に圧縮ガス１４が入る容積を小さくさ
せるもので、ノーマリ・オープンの場合には有っても無
くとも良いものである。
【００２６】上述したこれらの実施例は、その開閉状態
をそれ自体の視認により判別できることから、遠隔制御
型でありながら使用装置の流体供給・排出系のメンテナ
ンス時間を長引かせることがななくなる。また、上記視
認が多少離れたところからでも可能であるので、それを
多数使用して配管が輻輳している使用装置を説明する場
合、操作盤と配管との関係の説明を容易にさせる。
をそれ自体の視認により判別できることから、遠隔制御
型でありながら使用装置の流体供給・排出系のメンテナ
ンス時間を長引かせることがななくなる。また、上記視
認が多少離れたところからでも可能であるので、それを
多数使用して配管が輻輳している使用装置を説明する場
合、操作盤と配管との関係の説明を容易にさせる。
【００２７】以上の説明では遠隔制御に圧縮ガス１４を
用いたバルブ装置を実施例としたが、本発明は遠隔制御
に電気または油圧などを用いたバルブ装置にも適用し得
るものである。また、実施例では開状態の際に発光素子
１６が発光し閉状態の際に発光停止するようにしたが、
その逆にしても良いことはいうまでもない。
用いたバルブ装置を実施例としたが、本発明は遠隔制御
に電気または油圧などを用いたバルブ装置にも適用し得
るものである。また、実施例では開状態の際に発光素子
１６が発光し閉状態の際に発光停止するようにしたが、
その逆にしても良いことはいうまでもない。
【００２８】そして、実施例では発光素子１６を本体１
の最上部に配置したが、その発光素子の配置箇所はバル
ブ装置の外側から視認し易いところであれば適宜で良い
。 更に、発光素子が外界からの物のぶつかりなどに対して
十分に強固なものである場合には、発光素子を覆う保護
カバーは必ずしも必要としない。
の最上部に配置したが、その発光素子の配置箇所はバル
ブ装置の外側から視認し易いところであれば適宜で良い
。 更に、発光素子が外界からの物のぶつかりなどに対して
十分に強固なものである場合には、発光素子を覆う保護
カバーは必ずしも必要としない。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、遠
隔制御により弁体が動いて流体の流路を開閉するバルブ
装置に関し、暗がりであってもそれ自体の視認によって
開閉状態を判別できるようになり、例えば遠隔制御型で
ありながら使用装置の流体供給・排出系のメンテナンス
時間を長引かせることがなくなるといったように、使用
上極めて便利なものとなる効果がある。
隔制御により弁体が動いて流体の流路を開閉するバルブ
装置に関し、暗がりであってもそれ自体の視認によって
開閉状態を判別できるようになり、例えば遠隔制御型で
ありながら使用装置の流体供給・排出系のメンテナンス
時間を長引かせることがなくなるといったように、使用
上極めて便利なものとなる効果がある。
【図１】 第１実施例の閉状態断面図（ａ） と開状
態断面図（ｂ）である。
態断面図（ｂ）である。
【図２】 第２実施例の開状態断面図（ａ） と閉状
態断面図（ｂ） である。
態断面図（ｂ） である。
１ 本体
２ 流体流路
３ シリンダ
４ 弁体
５ ピストン
６ 弁棒
７ 電気接触子
８ パッキン
９ 閉塞リング
１０ 絶縁部材
１１ 圧縮コイルバネ
１２， １３ 接点
１４ 圧縮ガス
１５ 発光素子
１６ 保護カバー
１７ Ｏリング
Claims (3)
- 【請求項１】 遠隔制御により弁体が動いて流体の流
路を開閉するバルブ装置であって、前記弁体の動きに連
動して作動する電気接点と該接点に接続された発光素子
とを備えることを特徴とするバルブ装置。 - 【請求項２】 前記発光素子はバルブ装置本体に配置
されいることを特徴とする請求項１記載のバルブ装置。 - 【請求項３】 前記発光素子は透光性の保護カバーで
覆われていることを特徴とする請求項１または２記載の
バルブ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP555691A JPH04236876A (ja) | 1991-01-22 | 1991-01-22 | バルブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP555691A JPH04236876A (ja) | 1991-01-22 | 1991-01-22 | バルブ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04236876A true JPH04236876A (ja) | 1992-08-25 |
Family
ID=11614475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP555691A Withdrawn JPH04236876A (ja) | 1991-01-22 | 1991-01-22 | バルブ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04236876A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10130955B4 (de) * | 2000-07-07 | 2005-02-10 | Smc K.K. | Durchgangsventil |
-
1991
- 1991-01-22 JP JP555691A patent/JPH04236876A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10130955B4 (de) * | 2000-07-07 | 2005-02-10 | Smc K.K. | Durchgangsventil |
| KR100471674B1 (ko) * | 2000-07-07 | 2005-03-08 | 에스엠씨 가부시키 가이샤 | 두방향밸브 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |