JPH04237174A - イオンレーザ管 - Google Patents
イオンレーザ管Info
- Publication number
- JPH04237174A JPH04237174A JP547791A JP547791A JPH04237174A JP H04237174 A JPH04237174 A JP H04237174A JP 547791 A JP547791 A JP 547791A JP 547791 A JP547791 A JP 547791A JP H04237174 A JPH04237174 A JP H04237174A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capillary tube
- diameter
- tube
- ion laser
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はイオンレーザ管に関し、
特に大電流の放電により高出力のレーザが得られるセラ
ミック製細管を有したイオンレーザ管に関する。
特に大電流の放電により高出力のレーザが得られるセラ
ミック製細管を有したイオンレーザ管に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、アルゴン，クリプトンなどのイ
オン化したガスのエネルギー準位間の遷移によりレーザ
発振を行うイオンレーザは、高出力化に伴いイオン密度
を上げる必要があり、放電細管部に２０Ａを越える大電
流を流す場合もある。このため、プラズマ細管材料およ
び外囲器には、大電流によりプラズマ細管部に発生する
熱を効率良く排除できる熱伝導性の高い物質、さらには
高イオン密度プラズマに耐え得る細管材料が必要とされ
た。このような条件を満足する材料として、炭化ケイ素
（以下ＳｉＣと略称）と窒化アルミニウム（以下ＡｌＮ
と略称）が用いられてきた。
オン化したガスのエネルギー準位間の遷移によりレーザ
発振を行うイオンレーザは、高出力化に伴いイオン密度
を上げる必要があり、放電細管部に２０Ａを越える大電
流を流す場合もある。このため、プラズマ細管材料およ
び外囲器には、大電流によりプラズマ細管部に発生する
熱を効率良く排除できる熱伝導性の高い物質、さらには
高イオン密度プラズマに耐え得る細管材料が必要とされ
た。このような条件を満足する材料として、炭化ケイ素
（以下ＳｉＣと略称）と窒化アルミニウム（以下ＡｌＮ
と略称）が用いられてきた。
【０００３】従来のイオンレーザ管の縦断面図を図２に
示す。中心に放電路用の細管孔を持ち、かつ一端につば
部を有するＳｉＣ細管部品１１は、軸方向にガス帰還用
の孔を有するＡｌＮ製外囲器２に挿入され、細管部品１
１と外囲器２はフリットガラス１２により接合され、細
管複合部品１３ができる。
示す。中心に放電路用の細管孔を持ち、かつ一端につば
部を有するＳｉＣ細管部品１１は、軸方向にガス帰還用
の孔を有するＡｌＮ製外囲器２に挿入され、細管部品１
１と外囲器２はフリットガラス１２により接合され、細
管複合部品１３ができる。
【０００４】次に、細管複合部品１３は、適当な治具（
図示せず）およびフリットガラス５を用いることにより
、軸方向に複数個接合され、両端にＫＢガラス部品６が
接合される。さらに、アノード７およびカソード８を具
備した金属封入皿９ａ，９ｂが接合され、最後に封入皿
９ａ，９ｂの先端にブリュースタ窓１０が接続された後
アルゴンガスを所定の量だけ封入し、イオンレーザ管が
完成する。
図示せず）およびフリットガラス５を用いることにより
、軸方向に複数個接合され、両端にＫＢガラス部品６が
接合される。さらに、アノード７およびカソード８を具
備した金属封入皿９ａ，９ｂが接合され、最後に封入皿
９ａ，９ｂの先端にブリュースタ窓１０が接続された後
アルゴンガスを所定の量だけ封入し、イオンレーザ管が
完成する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
のイオンレーザ管は、細管材料としてＳｉＣを用いてい
るために、ＳｉＣが放電時のＡｒイオン等によりスパッ
タ，侵食されやすく、このＳｉＣのスパッタ物が細管孔
内周面に付着，堆積するため、細管孔の内径が徐々に小
さくなってしまい、その結果放電電流−電圧特性の経時
変化および出力の低下という問題点があった。
のイオンレーザ管は、細管材料としてＳｉＣを用いてい
るために、ＳｉＣが放電時のＡｒイオン等によりスパッ
タ，侵食されやすく、このＳｉＣのスパッタ物が細管孔
内周面に付着，堆積するため、細管孔の内径が徐々に小
さくなってしまい、その結果放電電流−電圧特性の経時
変化および出力の低下という問題点があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のイオンレーザ管
は、放電細管部が、炭化ホウ素セラミック（以下Ｂ４
Ｃと略称）製細管部品とＡｌＮ製外囲器から構成されて
いることを特徴としている。Ｂ４ Ｃは、Ａｒイオン等
に対するスパッタ率が非常に小さく、ＳｉＣの約１／２
倍となっているばかりか、アルミナ，ベリリアセラミッ
クと比較してもそのスパッタ率は約３０％少ないことが
最大の利点である。
は、放電細管部が、炭化ホウ素セラミック（以下Ｂ４
Ｃと略称）製細管部品とＡｌＮ製外囲器から構成されて
いることを特徴としている。Ｂ４ Ｃは、Ａｒイオン等
に対するスパッタ率が非常に小さく、ＳｉＣの約１／２
倍となっているばかりか、アルミナ，ベリリアセラミッ
クと比較してもそのスパッタ率は約３０％少ないことが
最大の利点である。
【０００７】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図１は本発明の一実施例を示すイオンレーザ管の縦断
面図である。まず、放電路はＢ４ Ｃ製細管部品１とＡ
ｌＮ製外囲器２から構成されている。細管部品１は、一
端に直径２０ｍｍ，幅２ｍｍのつば部と直径１０ｍｍの
胴体部から成り、長さ２５ｍｍで、中心に直径２．５ｍ
ｍのレーザビーム通過用の孔が開けられている。この細
管部品１は、外径３５ｍｍφ，長さ４０ｍｍの円筒状で
、その両端中央部に直径３０ｍｍ，深さ８ｍｍの凹部と
直径３０ｍｍ，高さ２ｍｍの凸部を有し、かつ中央部に
直径１０ｍｍの穴が開けられた外囲器２に挿入後、フリ
ットガラス３により固定・一体化され、細管複合部品４
ができあがる。
。図１は本発明の一実施例を示すイオンレーザ管の縦断
面図である。まず、放電路はＢ４ Ｃ製細管部品１とＡ
ｌＮ製外囲器２から構成されている。細管部品１は、一
端に直径２０ｍｍ，幅２ｍｍのつば部と直径１０ｍｍの
胴体部から成り、長さ２５ｍｍで、中心に直径２．５ｍ
ｍのレーザビーム通過用の孔が開けられている。この細
管部品１は、外径３５ｍｍφ，長さ４０ｍｍの円筒状で
、その両端中央部に直径３０ｍｍ，深さ８ｍｍの凹部と
直径３０ｍｍ，高さ２ｍｍの凸部を有し、かつ中央部に
直径１０ｍｍの穴が開けられた外囲器２に挿入後、フリ
ットガラス３により固定・一体化され、細管複合部品４
ができあがる。
【０００８】次に、細管複合部品４は所望のレーザ出力
が得られる細管長（５００〜６００ｍｍ）になるまで、
フリットガラス５と適用治具（図示せず）を用いて同軸
上に接合，連結された後、両端にＫＢガラス６が接合さ
れる。さらに、アノード７およびカソード８を具備した
金属封入皿９ａ，９ｂが接続され、最後に封入皿９ａ，
９ｂの先端にブリュースタ窓１０が接続された後アルゴ
ンガスを所定の量だけ封入してイオンレーザ管が完成す
る。
が得られる細管長（５００〜６００ｍｍ）になるまで、
フリットガラス５と適用治具（図示せず）を用いて同軸
上に接合，連結された後、両端にＫＢガラス６が接合さ
れる。さらに、アノード７およびカソード８を具備した
金属封入皿９ａ，９ｂが接続され、最後に封入皿９ａ，
９ｂの先端にブリュースタ窓１０が接続された後アルゴ
ンガスを所定の量だけ封入してイオンレーザ管が完成す
る。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、放電細管
部材としてＢ４ Ｃ製セラミックを用いたことにより、
Ａｒイオン等によるスパッタリングが従来の約１／２倍
と非常に少なくなる。したがって、スパッタリングによ
る細管内径小がなくなり放電電流−電圧特性の経時変化
並びに出力小を防ぐことが可能となる上に、スパッタリ
ングによるガス消耗が非常に少なくなり、長寿命のレー
ザ管が得られる効果がある。
部材としてＢ４ Ｃ製セラミックを用いたことにより、
Ａｒイオン等によるスパッタリングが従来の約１／２倍
と非常に少なくなる。したがって、スパッタリングによ
る細管内径小がなくなり放電電流−電圧特性の経時変化
並びに出力小を防ぐことが可能となる上に、スパッタリ
ングによるガス消耗が非常に少なくなり、長寿命のレー
ザ管が得られる効果がある。
【図１】本発明のイオンレーザ管の一実施例を示す縦断
面図。
面図。
【図２】従来のイオンレーザ管の縦断面図。
１ Ｂ４ Ｃ製細管部品
２ ＡｌＮ製外囲器
３ ＡｌＮ−Ｂ４ Ｃ用フリットガラス４
Ｂ４ Ｃ＋ＡｌＮ細管複合部品５ ＡｌＮ−Ａ
ｌＮ用フリットガラス６ ＫＢガラス部品 ７ アノード ８ カソード ９ａ，９ｂ 金属封入皿 １０ ブリュースタ窓 １１ ＳｉＣ細管部品
Ｂ４ Ｃ＋ＡｌＮ細管複合部品５ ＡｌＮ−Ａ
ｌＮ用フリットガラス６ ＫＢガラス部品 ７ アノード ８ カソード ９ａ，９ｂ 金属封入皿 １０ ブリュースタ窓 １１ ＳｉＣ細管部品
Claims (1)
- 【請求項１】 放電路用貫通孔を軸方向に備えた円筒
状細管部材と該細管部材を内側に収納し、かつガス帰還
路用の貫通孔を軸方向に備えた窒化アルミニウムから成
る円筒状部材が軸方向に複数個接合されることにより放
電路が形成され、該放電路の両端に陽極と陰極とが設け
られたイオンレーザ管において、前記円筒状細管部材が
炭化ホウ素セラミックから成ることを特徴とするイオン
レーザ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP547791A JPH04237174A (ja) | 1991-01-22 | 1991-01-22 | イオンレーザ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP547791A JPH04237174A (ja) | 1991-01-22 | 1991-01-22 | イオンレーザ管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04237174A true JPH04237174A (ja) | 1992-08-25 |
Family
ID=11612332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP547791A Pending JPH04237174A (ja) | 1991-01-22 | 1991-01-22 | イオンレーザ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04237174A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08274387A (ja) * | 1995-03-30 | 1996-10-18 | Nec Corp | イオンレーザ管 |
-
1991
- 1991-01-22 JP JP547791A patent/JPH04237174A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08274387A (ja) * | 1995-03-30 | 1996-10-18 | Nec Corp | イオンレーザ管 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2725493B2 (ja) | 空冷式アルゴンイオンレーザ管 | |
| JPH04237174A (ja) | イオンレーザ管 | |
| JP7507615B2 (ja) | 放電ランプおよび放電ランプ用電極の製造方法 | |
| JP4454527B2 (ja) | 発光管及び高圧放電灯 | |
| JPS63184378A (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| JPH05275774A (ja) | イオンレーザ管 | |
| JPH0711476Y2 (ja) | イオンレーザ管 | |
| JP4548212B2 (ja) | 閃光放電ランプ | |
| JPH05145145A (ja) | イオンレーザ管 | |
| JPH04361577A (ja) | イオンレーザ管 | |
| JPH0453010Y2 (ja) | ||
| JPS62226678A (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| JPS6056350A (ja) | ガス放電ランプおよびその製作方法 | |
| JPH04262584A (ja) | イオンレーザ管 | |
| JPH08274387A (ja) | イオンレーザ管 | |
| JPH05110163A (ja) | レ−ザ−管 | |
| JPH02116182A (ja) | レーザ細管 | |
| JPH066520Y2 (ja) | イオンレーザ管 | |
| JPS61185984A (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| JPH079399Y2 (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| JPS6211284A (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| JP2006060256A (ja) | セラミックス製電極部材 | |
| JPH0231473A (ja) | 金属蒸気レーザ装置 | |
| JPS63258086A (ja) | ガスレ−ザ−管用プラズマ細管 | |
| JPS60219783A (ja) | ガスレ−ザ管 |