JPH04238247A - 液中微粒子計 - Google Patents
液中微粒子計Info
- Publication number
- JPH04238247A JPH04238247A JP3020267A JP2026791A JPH04238247A JP H04238247 A JPH04238247 A JP H04238247A JP 3020267 A JP3020267 A JP 3020267A JP 2026791 A JP2026791 A JP 2026791A JP H04238247 A JPH04238247 A JP H04238247A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- purge air
- cell
- air
- liquid
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- Pending
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、液中微粒子計に関し
、特に、液体試料が高温の場合に着目した液体微粒子計
に関するものである。
、特に、液体試料が高温の場合に着目した液体微粒子計
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、高温の液体試料を対象としたもの
ではないが、液中微粒子計として、例えば、特開平１−
１４００４４号公報に示されたものがある。
ではないが、液中微粒子計として、例えば、特開平１−
１４００４４号公報に示されたものがある。
【０００３】一方、半導体などの電子工業の製造分野で
は、洗浄手段として高温の洗浄水や高温の洗浄用薬品が
用いられている。このように温度を高くすることにより
、媒質液体の溶解度が高まり、洗浄効果を増大すること
が、その利点である。また、最近、フレオンが規制され
、その代替品として温純水に対する関心が高まつている
。以上のような背景から、高温の液体試料を測定可能な
液中微粒子計の潜在市場は高いと予想される。
は、洗浄手段として高温の洗浄水や高温の洗浄用薬品が
用いられている。このように温度を高くすることにより
、媒質液体の溶解度が高まり、洗浄効果を増大すること
が、その利点である。また、最近、フレオンが規制され
、その代替品として温純水に対する関心が高まつている
。以上のような背景から、高温の液体試料を測定可能な
液中微粒子計の潜在市場は高いと予想される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の液中微粒子計で
は、高温の液体試料の測定を保証したものは実現してい
ない。これには、気泡や、高温に耐える材料が得られな
いという問題もあるが、一つの大きな問題として、検出
部の測定セルと周囲の空気との温度差によつて生じるゆ
らぎの問題が未解決であつたからである。すなわち、試
料液体に対するレーザビームの照射領域が形成されてい
る測定セルの周辺は空気がよどんだ状況にあり、測定セ
ルに高温液体を導入したときの温度分布が図４に示すよ
うに、セル外壁の温度は試料温度とはほとんど等しく、
セル外壁面から周囲の空気への熱伝達に、ゆらぎを伴う
ことになる。
は、高温の液体試料の測定を保証したものは実現してい
ない。これには、気泡や、高温に耐える材料が得られな
いという問題もあるが、一つの大きな問題として、検出
部の測定セルと周囲の空気との温度差によつて生じるゆ
らぎの問題が未解決であつたからである。すなわち、試
料液体に対するレーザビームの照射領域が形成されてい
る測定セルの周辺は空気がよどんだ状況にあり、測定セ
ルに高温液体を導入したときの温度分布が図４に示すよ
うに、セル外壁の温度は試料温度とはほとんど等しく、
セル外壁面から周囲の空気への熱伝達に、ゆらぎを伴う
ことになる。
【０００５】このようなゆらぎは、光散乱方式など、光
を利用した液中微粒子計の場合、空気分子の屈折率をラ
ンダムに変えるため、ノイズの増大などの悪影響を招く
。
を利用した液中微粒子計の場合、空気分子の屈折率をラ
ンダムに変えるため、ノイズの増大などの悪影響を招く
。
【０００６】この発明は上記の課題を解決するためにな
されたもので、測定セルからの熱伝達によるゆらぎの発
生を防止することができる液中微粒子計を得ることを目
的とするものである。
されたもので、測定セルからの熱伝達によるゆらぎの発
生を防止することができる液中微粒子計を得ることを目
的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明の第一の発明に
係る液中微粒子計は、測定セルにパージエアーを一定流
量で吹きつける手段を備えている。
係る液中微粒子計は、測定セルにパージエアーを一定流
量で吹きつける手段を備えている。
【０００８】また、第二の発明に係る液中微粒子計は、
測定セルの外囲にインシユレータを介して外囲体を設け
て二重構造とし、二重構造の間の空間は真空になつてい
る。
測定セルの外囲にインシユレータを介して外囲体を設け
て二重構造とし、二重構造の間の空間は真空になつてい
る。
【０００９】
【作用】この発明の第一の発明においては、測定セルの
表面にパージエアーが吹きつけられているので、熱容量
の点から、測定セル表面付近の空気温度はほとんど変動
しない。
表面にパージエアーが吹きつけられているので、熱容量
の点から、測定セル表面付近の空気温度はほとんど変動
しない。
【００１０】また、第二の発明においては、測定セルの
周囲が真空であることから、ゆらぎは発生しない。
周囲が真空であることから、ゆらぎは発生しない。
【００１１】
【実施例】図１は第一の発明の一実施例を示し、試料液
体に対する光の照射領域が形成されている測定セル（１
）にパージエアーを吹きつけるためのパージエアー手段
（２）は、ポンプ（３）、フイルタ（４）、ノズル（５
）からなつている。
体に対する光の照射領域が形成されている測定セル（１
）にパージエアーを吹きつけるためのパージエアー手段
（２）は、ポンプ（３）、フイルタ（４）、ノズル（５
）からなつている。
【００１２】以上の構成により、十分な量のパージエア
ーを、パージエアー手段（２）により、一定流量で常時
測定セル（１）に吹きつけたときの温度分布は、図２の
ようになる。図２からわかるように、高温試料を流した
ときの温度匂配は、主としてセル内壁と外壁との間に形
成され、セル外壁の温度は空気温度にきわめて近くなる
。測定セル（１）の表面には十分多量なパージエアーが
吹きつけられているため、熱容量の点から、セル表面付
近の空気温度の変動はほとんどなく、従つて、ゆらぎは
発生しない。
ーを、パージエアー手段（２）により、一定流量で常時
測定セル（１）に吹きつけたときの温度分布は、図２の
ようになる。図２からわかるように、高温試料を流した
ときの温度匂配は、主としてセル内壁と外壁との間に形
成され、セル外壁の温度は空気温度にきわめて近くなる
。測定セル（１）の表面には十分多量なパージエアーが
吹きつけられているため、熱容量の点から、セル表面付
近の空気温度の変動はほとんどなく、従つて、ゆらぎは
発生しない。
【００１３】また、パージエアーに清浄な空気を用いる
ことにより、二次効果として、セルの外表面の汚染を防
止することができる。
ことにより、二次効果として、セルの外表面の汚染を防
止することができる。
【００１４】図３は第二の発明の一実施例を示し、測定
セル（１）の外周に、熱伝導度の低いインシユレータ（
６）を介して外囲体（７）を装着して二重構造とし、こ
の二重構造の空間（８）を真空とする。
セル（１）の外周に、熱伝導度の低いインシユレータ（
６）を介して外囲体（７）を装着して二重構造とし、こ
の二重構造の空間（８）を真空とする。
【００１５】以上の構成により、ゆらぎは熱伝導に伴つ
て発生する空気分子の疎密によるものであるが、液体を
流す測定セル（１）の周囲は真空であるため、試料液体
が高温であつても、ゆらぎは発生しない。
て発生する空気分子の疎密によるものであるが、液体を
流す測定セル（１）の周囲は真空であるため、試料液体
が高温であつても、ゆらぎは発生しない。
【００１６】ただし、部分的ではあるが、測定セル（１
）の両端部は真空で囲まれていないためゆらぎは発生す
る。しかし、この部分はレーザビームの光路から大きく
離れているため、粒子検出上の問題にはならない。
）の両端部は真空で囲まれていないためゆらぎは発生す
る。しかし、この部分はレーザビームの光路から大きく
離れているため、粒子検出上の問題にはならない。
【００１７】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、この発
明の第一の発明は、パージエアー手段により測定セルに
パージエアーを吹きつけることにより、また、第二の発
明は、測定セルの外周を二重構造として真空層を形成し
たことにより、いずれも、測定セルと周囲空気との温度
差によるゆらぎの発生を防止し、高温の液体試料の場合
でも測定の信頼性を向上することができる。
明の第一の発明は、パージエアー手段により測定セルに
パージエアーを吹きつけることにより、また、第二の発
明は、測定セルの外周を二重構造として真空層を形成し
たことにより、いずれも、測定セルと周囲空気との温度
差によるゆらぎの発生を防止し、高温の液体試料の場合
でも測定の信頼性を向上することができる。
【図１】この発明の第一の発明に係る一実施例の要部側
面図である。
面図である。
【図２】同じく温度分布特性線図である。
【図３】第二の発明の一実施例の要部側断面図である。
【図４】従来の液中微粒子計における温度分布特性線図
である。
である。
（１）……測定セル、（２）……パージエアー手段、（
６）……インシユレータ、（７）……外囲体、（８）…
…真空空間。
６）……インシユレータ、（７）……外囲体、（８）…
…真空空間。
Claims (2)
- 【請求項１】試料液体に対する光の照射領域が形成され
ている測定セルと、この測定セルにパージエアーを一定
流量で吹きつけるパージエアー手段とを備えてなる液中
微粒子計。 - 【請求項２】試料液体に対する光の照射領域が形成され
ている測定セルと、この測定セルの外周にインシユレー
タを介して設けられた外囲体とを備え、前記測定セルと
前記外囲体間の空間を真空にしてなる液中微粒子計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3020267A JPH04238247A (ja) | 1991-01-22 | 1991-01-22 | 液中微粒子計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3020267A JPH04238247A (ja) | 1991-01-22 | 1991-01-22 | 液中微粒子計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04238247A true JPH04238247A (ja) | 1992-08-26 |
Family
ID=12022420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3020267A Pending JPH04238247A (ja) | 1991-01-22 | 1991-01-22 | 液中微粒子計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04238247A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4847876A (ja) * | 1971-10-19 | 1973-07-06 | ||
| JPS6263838A (ja) * | 1985-09-13 | 1987-03-20 | Fuji Electric Co Ltd | 光学的測定装置 |
| JPS63186123A (ja) * | 1987-01-29 | 1988-08-01 | Mazda Motor Corp | ヘツドライト光軸検査装置 |
-
1991
- 1991-01-22 JP JP3020267A patent/JPH04238247A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4847876A (ja) * | 1971-10-19 | 1973-07-06 | ||
| JPS6263838A (ja) * | 1985-09-13 | 1987-03-20 | Fuji Electric Co Ltd | 光学的測定装置 |
| JPS63186123A (ja) * | 1987-01-29 | 1988-08-01 | Mazda Motor Corp | ヘツドライト光軸検査装置 |
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