JPH04242095A - マイクロ波高電界中における加熱温度測定装置 - Google Patents

マイクロ波高電界中における加熱温度測定装置

Info

Publication number
JPH04242095A
JPH04242095A JP3001298A JP129891A JPH04242095A JP H04242095 A JPH04242095 A JP H04242095A JP 3001298 A JP3001298 A JP 3001298A JP 129891 A JP129891 A JP 129891A JP H04242095 A JPH04242095 A JP H04242095A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe
microwave
temperature
heater
fiber cable
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3001298A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2638311B2 (ja
Inventor
Isao Kondo
勲 近藤
Toru Suzuki
徹 鈴木
Yoshiyuki Kato
良幸 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Doryokuro Kakunenryo Kaihatsu Jigyodan
Power Reactor and Nuclear Fuel Development Corp
Original Assignee
Doryokuro Kakunenryo Kaihatsu Jigyodan
Power Reactor and Nuclear Fuel Development Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Doryokuro Kakunenryo Kaihatsu Jigyodan, Power Reactor and Nuclear Fuel Development Corp filed Critical Doryokuro Kakunenryo Kaihatsu Jigyodan
Priority to JP3001298A priority Critical patent/JP2638311B2/ja
Priority to US07/810,886 priority patent/US5241148A/en
Priority to FR9116300A priority patent/FR2671628B1/fr
Priority to CA002058904A priority patent/CA2058904C/en
Priority to DE4200462A priority patent/DE4200462C2/de
Publication of JPH04242095A publication Critical patent/JPH04242095A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2638311B2 publication Critical patent/JP2638311B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/05—Means for preventing contamination of the components of the optical system; Means for preventing obstruction of the radiation path
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/0044—Furnaces, ovens, kilns
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/04—Casings
    • G01J5/041—Mountings in enclosures or in a particular environment
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/05—Means for preventing contamination of the components of the optical system; Means for preventing obstruction of the radiation path
    • G01J5/051—Means for preventing contamination of the components of the optical system; Means for preventing obstruction of the radiation path using a gas purge
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
    • H05B6/64—Heating using microwaves
    • H05B6/6447—Method of operation or details of the microwave heating apparatus related to the use of detectors or sensors
    • H05B6/645—Method of operation or details of the microwave heating apparatus related to the use of detectors or sensors using temperature sensors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Control Of High-Frequency Heating Circuits (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Electric Ovens (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波高電界中に
おける被加熱物の加熱温度を測定する装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】マイクロ波加熱器内で被加熱物を加熱中
に、そのときの加熱温度を知りたい場合、発振出力が６
００Ｗから１ＫＷ程度の電界強度である一般家庭用電子
レンジならば、熱電対等のプローブをレンジ内に挿入し
ていてもなんら支障はないが、発振出力が１ＫＷを超え
るような高電界密度の工業用マイクロ波加熱器となると
、プローブは異状加熱を生じ、プローブケーブル部の放
電等によって断線等を生じるといった不都合が生じ、満
足な測定はできなかった。
【０００３】また、マイクロ波高電界による影響から避
けるため、赤外線放射温度計といった非接触式温度計を
用いて加熱器外部から温度測定しようとしても、加熱器
内が被加熱物から発生した水蒸気や分解ガス等の雰囲気
になっているような場合には、これも正確な温度測定が
できなかった。
【０００４】そこで従来はマイクロ波加熱を一旦停止さ
せてから、加熱器内に熱電対温度計を挿入し、測定して
いた。
【０００５】
【発明が解決しようとする問題点】高温環境下或いは高
放射線の環境下で、上記のように温度測定の都度マイク
ロ波加熱を停止させて行うのでは、非常に不便で問題が
多かったから、本発明はこのような問題点を解消するこ
とを目的としている。
【０００６】
【問題点を解決するための手段】本発明は、マイクロ波
高電界の影響を断つため、マイクロ波加熱器内にマイク
ロ波透過材質からなるプローブを設け、そのプローブに
よってファイバーケーブルを保持し、被加熱物からの赤
外線を該ファイバーケーブルに集光し、これを外部に伝
送して、赤外線放射温度測定を行うことを最も主要な特
徴とする。
【０００７】また、本発明は、被加熱物から放出する水
蒸気や分解ガス等を排除しながら温度測定を行うことが
できるように、上記したプローブにパージガスの流路を
形成し、これにによって測定精度を一段と良好なものに
した。
【０００８】
【実施例】本発明を図面に示した実施例で説明すると、
つぎのとおりである。
【０００９】図１において、導波管４を介してマイクロ
波発振器３を設置した加熱器１は該加熱器１内に収容し
た被加熱物２をマイクロ波加熱可能としている。加熱器
１の上面には監視用窓５が形成されている。
【００１０】この加熱器１内部には、被加熱物２の近傍
に、テフロン、石英、窒化珪素、アルミナといったマイ
クロ波透過材質によって製作されたプローブ６が設置さ
れている。このプローブ６は、図からわかるように、下
部に筒部７形成すると共に、その筒部７の軸線と一致し
て該筒部７と連通する取付孔８を穿設したプローブ本体
９と、被加熱物２から発せられる放射熱エネルギーを集
光するレンズ１０及びこの集光を加熱器１外に伝送する
ファイバーケーブル１１を装着する固定具１２と、その
固定具１２上端に取付くナット１３とから構成され、固
定具１２とナット１３の結合体が上記したローブ本体９
の取付孔８に取付く。
【００１１】加熱器１内にあるファイバーケーブル１１
は加熱器１の監視用窓５を通じて外部に取り出され、そ
の端末で放射温度計本体１４と接続され、放射温度計本
体１４で測定した温度は温度表示部１５に表示される。
【００１２】図示のプローブ６の場合、プローブ本体９
の側部にガスパージフード１６を形成している。このガ
スパージフード１６は、加熱器１の上面に形成されてい
る監視用窓５を通じ、外部のガスパージ源（図示するを
省略）及び流量調節器１７と連結されたガスパージ配管
１８と接続する一方、そのパージガスを上記した筒部７
内に放出可能とするためのパージガス流路１９を穿設し
ている。パージガスはプローブ６の筒部７から被加熱物
２の表面に向けて放出され、従って被加熱物２から放出
した水蒸気や分解ガスを放出していても、パージガスで
排除しながら上記した赤外線放射温度測定を行うことが
できる。
【００１３】
【発明の効果】上述のとおり、非接触式放射温度計の測
定用プローブをマイクロ波透過材質製としたことによっ
て、そのプローブをマイクロ波高電界中に置いたままの
状態にしても異状加熱を生じないから、適切なマイクロ
波透過材質の選択によって高温、高放射線環境下でも支
障なく使用できる。またプローブを被加熱物近傍に設置
することも可能となるので、正確な温度測定をする上で
効果的である。しかも、そのプローブの構造は至極単純
で小部品で構成されるからメンテナンスは容易である。
【００１４】更にプローブはパージガスを吹込めるよう
にしたから、集光レンズを保護できるだけでなく、被加
熱物の加熱で水蒸気や分解ガスを放出するような場合で
も、それらを排除しながらの赤外線計測ができ、赤外線
放射温度測定の精度をより良好なものとする。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るマイクロ波高電界中における加熱
温度測定装置の説明図。
【符号の説明】
１…加熱器、２…被加熱物、３…マイクロ波発振器、４
…導波管、５…監視用窓、６…プローブ、７…筒部、８
…取付孔、９…プローブ本体、１０…レンズ、１１…フ
ァイバーケーブル、１２…固定具、１３…ナット、１４
…放射温度計本体。、１５…温度表示部、１６…ガスパ
ージフード、１７…流量調節器、１８…ガスパージ配管
、１９…パージガス流路

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　マイクロ波加熱器内にマイクロ波透過
    材質からなるプローブを設け、そのプローブによってフ
    ァイバーケーブルを保持し、被加熱物からの赤外線を該
    ファイバーケーブルに集光し、これを外部に伝送して、
    赤外線放射温度測定を行うことを特徴とするマイクロ波
    高電界中での加熱温度測定装置。
  2. 【請求項２】　　マイクロ波加熱器内にマイクロ波透過
    材質からなるプローブを設け、そのプローブによってフ
    ァイバーケーブルを保持すると共に、そのプローブにパ
    ージガスの流路を形成し、該パージガスによって被加熱
    物からの水蒸気や分解ガスを排除しつつ、被加熱物から
    の赤外線を該ファイバーケーブルに集光し、これを外部
    に伝送して、赤外線放射温度測定を行うことを特徴とす
    るマイクロ波高電界中における加熱温度測定装置。
JP3001298A 1991-01-10 1991-01-10 マイクロ波高電界中における加熱温度測定装置 Expired - Lifetime JP2638311B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3001298A JP2638311B2 (ja) 1991-01-10 1991-01-10 マイクロ波高電界中における加熱温度測定装置
US07/810,886 US5241148A (en) 1991-01-10 1991-12-20 Apparatus for measuring heating temperature in high electric field of microwaves
FR9116300A FR2671628B1 (fr) 1991-01-10 1991-12-30 Appareil pour mesurer la temperature de chauffage dans un champ electrique intense de micro-ondes.
CA002058904A CA2058904C (en) 1991-01-10 1992-01-07 Apparatus for measuring heating temperature in high electric field of microwaves
DE4200462A DE4200462C2 (de) 1991-01-10 1992-01-10 Mikrowellenheizvorrichtung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3001298A JP2638311B2 (ja) 1991-01-10 1991-01-10 マイクロ波高電界中における加熱温度測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04242095A true JPH04242095A (ja) 1992-08-28
JP2638311B2 JP2638311B2 (ja) 1997-08-06

Family

ID=11497567

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3001298A Expired - Lifetime JP2638311B2 (ja) 1991-01-10 1991-01-10 マイクロ波高電界中における加熱温度測定装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5241148A (ja)
JP (1) JP2638311B2 (ja)
CA (1) CA2058904C (ja)
DE (1) DE4200462C2 (ja)
FR (1) FR2671628B1 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4412887C2 (de) * 1994-04-14 1998-10-29 Berghof Lab & Automation Vorrichtung zur In-Situ Temperaturmessung einer Probe im Druckbehälter
DE4414558C1 (de) * 1994-04-22 1995-11-09 Meyer Neontrafoproduktion Gmbh Verfahren und Anordnung zum Nachweis der Meßgenauigkeit und zur Dokumentation für die Qualitätssicherung bei der Herstellung von Leuchtröhrensystemen
US6132084A (en) * 1998-11-30 2000-10-17 General Electric Company Infrared non-contact temperature measurement for household appliances
CN101922971B (zh) * 2010-05-06 2012-09-05 袁国炳 一种用于红外测温仪的光学系统和调焦结构
CN102032948B (zh) * 2010-11-30 2012-05-23 电子科技大学 一种高微波辐射下的温度测量方法
DE202011105285U1 (de) 2011-09-02 2012-01-31 Mikrowellen-Systeme Mws Gmbh Druckbehälter
CN110749379A (zh) * 2019-11-08 2020-02-04 积成电子股份有限公司 一种基于非接触红外测温的电缆接头故障检测方法及装置
CN115949505A (zh) * 2021-10-07 2023-04-11 通用电气公司 火焰检测器镜头维护系统

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5877628A (ja) * 1981-11-04 1983-05-11 Sumitomo Rubber Ind Ltd 予熱温度測定方法
JPS6450384A (en) * 1987-06-02 1989-02-27 Philips Nv Microwave oven
JPH01180628U (ja) * 1988-05-30 1989-12-26

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU584195A1 (ru) * 1976-07-30 1977-12-15 Всесоюзный Научно-Исследовательский Институт Автоматизации Черной Металлургии Устройство дл защиты линз пирометров
JPS5813816B2 (ja) * 1977-07-15 1983-03-16 松下電器産業株式会社 高周波加熱装置
GB1589531A (en) * 1978-02-07 1981-05-13 Smiths Industries Ltd Optical devices and engine installations including such devices
JPS5759850Y2 (ja) * 1978-07-13 1982-12-21
US4367388A (en) * 1979-06-06 1983-01-04 Hitachi Heating Appliances Co., Ltd. Cooking heating apparatus
JPS58195128A (ja) * 1982-05-10 1983-11-14 Toshiba Corp 加熱調理装置
JPS58216921A (ja) * 1982-06-11 1983-12-16 Toshiba Corp 調理器の温度検知装置
JPS59125621A (ja) * 1982-12-28 1984-07-20 Fujitsu Ltd 半導体製造装置
US5134263A (en) * 1983-08-15 1992-07-28 Donald P. Smith Infrared heating control
FR2564970B1 (fr) * 1984-05-24 1986-09-26 Lafarge Coppee Dispositif de detection spectroradiometrique de la flamme et des parois d'un four et procede pour sa mise en oeuvre
US4626110A (en) * 1985-05-03 1986-12-02 Luxtron Corporation Technique for optically measuring the temperature of an ultrasonically heated object
SU1259116A1 (ru) * 1985-05-23 1986-09-23 Уральский Филиал Всесоюзного Научно-Исследовательского И Конструкторского Института "Цветметавтоматика" Устройство дл измерени температуры расплава
US4786188A (en) * 1986-02-27 1988-11-22 Rosemont Inc. Purge air system for a combustion instrument
US4836689A (en) * 1986-02-27 1989-06-06 Rosemount Inc. Asymmetric purge air system for cleaning a lens
JPS6358024A (ja) * 1986-08-27 1988-03-12 Toshiba Corp 電子レンジ
US4794619A (en) * 1986-12-05 1988-12-27 Conax Buffalo Corporation Optical fiber temperature sensor
GB8629492D0 (en) * 1986-12-10 1987-01-21 Smiths Industries Plc Optical radiation sensor apparatus
US4785824A (en) * 1987-06-22 1988-11-22 Luxtron Corporation Optical fiber probe for measuring the temperature of an ultrasonically heated object
SU1559437A1 (ru) * 1988-05-07 1990-04-23 Предприятие П/Я А-7840 Устройство дл измерени диэлектрических свойств материалов при нагреве

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5877628A (ja) * 1981-11-04 1983-05-11 Sumitomo Rubber Ind Ltd 予熱温度測定方法
JPS6450384A (en) * 1987-06-02 1989-02-27 Philips Nv Microwave oven
JPH01180628U (ja) * 1988-05-30 1989-12-26

Also Published As

Publication number Publication date
DE4200462A1 (de) 1992-09-10
CA2058904A1 (en) 1992-07-11
JP2638311B2 (ja) 1997-08-06
CA2058904C (en) 1999-07-27
FR2671628B1 (fr) 1997-04-18
DE4200462C2 (de) 1999-03-18
US5241148A (en) 1993-08-31
FR2671628A1 (fr) 1992-07-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4737038A (en) Immersion infrared thermometer for molten materials
Baba et al. Improvement of the laser flash method to reduce uncertainty in thermal diffusivity measurements
US9243958B2 (en) Immersion type sensor for measuring temperature
US5348396A (en) Method and apparatus for optical temperature measurement
JPH0528617B2 (ja)
JP4053130B2 (ja) 半導体ウエハ処理装置内でペデスタル温度を測定するための装置
Babič et al. Fiber optic catalytic probe for weakly ionized oxygen plasma characterization
JPH04242095A (ja) マイクロ波高電界中における加熱温度測定装置
EP1097356B1 (en) Method and equipment for measuring vapour flux from surfaces
GB2045921A (en) Improvements relating to the measurement of temperature
JPS62110127A (ja) 光加熱処理装置における被加熱処理物温度の測定方法
HOGAN et al. Development of a method of continuous temperature measurement for microwave denture processing
JP4158188B2 (ja) 分析装置
Lovas et al. Meeting RTP temperature accuracy requirements: measurement and calibrations at NIST
JPH0464015B2 (ja)
JPS6483124A (en) Apparatus and method for measuring and controlling temperature of wafer substrate of vacuum apparatus
CN117679009A (zh) 一种气体浓度检测装置
JPS55149814A (en) Infrared ray thermometer device
JPS5939697B2 (ja) 元素分析計用温度制御装置
JPS63149619A (ja) 赤外線ランプ加熱による高温顕微鏡加熱装置
JPH0363494A (ja) 高温加熱装置
JPS6013231A (ja) 赤外温度計
Sturm et al. Low Temperature (≥ 400° C) Silicon Pyrometry AT 1.1 μm with Emissivity Correction
JPS61182539A (ja) 放射温度計の検出部
JP2004279291A (ja) 放射温度計

Legal Events

Date Code Title Description
S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090425

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090425

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100425

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100425

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110425

Year of fee payment: 14