JPH04243217A - 光変調器 - Google Patents
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- JPH04243217A JPH04243217A JP472291A JP472291A JPH04243217A JP H04243217 A JPH04243217 A JP H04243217A JP 472291 A JP472291 A JP 472291A JP 472291 A JP472291 A JP 472291A JP H04243217 A JPH04243217 A JP H04243217A
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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- G02F1/035—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect in an optical waveguide structure
- G02F1/0356—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect in an optical waveguide structure controlled by a high-frequency electromagnetic wave component in an electric waveguide structure
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
- G02F2201/16—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 series; tandem
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2203/00—Function characteristic
- G02F2203/25—Frequency chirping of an optical modulator; Arrangements or methods for the pre-set or tuning thereof
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光変調器に関する。詳し
くは、電気光学効果を有する基板を用いて高速・高安定
に光変調を行い、かつ，実装上使い易く、素子の小型化
を実現するための，とくに、マッハツェンダ型の光変調
器の光導波路と変調用駆動電極の構成の改良に関する。
くは、電気光学効果を有する基板を用いて高速・高安定
に光変調を行い、かつ，実装上使い易く、素子の小型化
を実現するための，とくに、マッハツェンダ型の光変調
器の光導波路と変調用駆動電極の構成の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近の光通信システムの光送信系におい
て、たとえば、１．６ＧＨｚ 程度までの光通信システ
ムにおいては、レーザダイオード（ＬＤ）を直接変調す
る方式を用いてきたが、変調周波数がより高くなると、
変調光波長の時間的微小変動， いわゆる、チャーピン
グ現象と光ファイバの分散特性のために高速化と長距離
通信への限界が生じる。
て、たとえば、１．６ＧＨｚ 程度までの光通信システ
ムにおいては、レーザダイオード（ＬＤ）を直接変調す
る方式を用いてきたが、変調周波数がより高くなると、
変調光波長の時間的微小変動， いわゆる、チャーピン
グ現象と光ファイバの分散特性のために高速化と長距離
通信への限界が生じる。
【０００３】一方、高速光変調方式としては半導体レー
ザ光を外部で変調する外部変調方式がよく知られている
。とくに、電気光学効果を有する基板上に分岐光導波路
を設け、変調用駆動電極，たとえば、進行波信号電極を
用いて駆動するマッハツェンダ型外部変調器が有望視さ
れている。
ザ光を外部で変調する外部変調方式がよく知られている
。とくに、電気光学効果を有する基板上に分岐光導波路
を設け、変調用駆動電極，たとえば、進行波信号電極を
用いて駆動するマッハツェンダ型外部変調器が有望視さ
れている。
【０００４】図４は従来の光変調器の例を示す図（その
１）で、平面に加工した電気光学効果を有する基板１，
たとえば、ＬｉＮｂＯ３基板上に、たとえば，公知の
Ｔｉを拡散して光導波路２，分岐光導波路２ａ，２ｂ
および合流器， たとえば、３ｄＢカップラを形成する
。そして、分岐光導波路２ａ，２ｂ の上に図示したご
とく進行波型の変調用駆動電極３を形成した構成のもの
である。
１）で、平面に加工した電気光学効果を有する基板１，
たとえば、ＬｉＮｂＯ３基板上に、たとえば，公知の
Ｔｉを拡散して光導波路２，分岐光導波路２ａ，２ｂ
および合流器， たとえば、３ｄＢカップラを形成する
。そして、分岐光導波路２ａ，２ｂ の上に図示したご
とく進行波型の変調用駆動電極３を形成した構成のもの
である。
【０００５】この例の場合、接地側の電極３２は高周波
電気信号の伝達をよくするため、図に示したように、信
号側の電極３１よりも大きくしてあり， したがって、
駆動信号回路６から分岐光導波路２ａ，２ｂ に印加さ
れる電界分布は等しくなく、そのために、それぞれにお
ける光に作用する実効的な電界の大きさ Ｅ３１および
Ｅ３２は非対称で、通常 Ｅ３１は Ｅ３２の３〜６
倍程度になる。変調効率は（ Ｅ３１＋ Ｅ３２）に比
例するので、上記の如く、 Ｅ３２が Ｅ３１に比較し
て非常に小さいために変調効率が上がらず、プッシュプ
ル動作による駆動が困難であり，結局、変調用の駆動電
圧を大きくしなければならないことになる。
電気信号の伝達をよくするため、図に示したように、信
号側の電極３１よりも大きくしてあり， したがって、
駆動信号回路６から分岐光導波路２ａ，２ｂ に印加さ
れる電界分布は等しくなく、そのために、それぞれにお
ける光に作用する実効的な電界の大きさ Ｅ３１および
Ｅ３２は非対称で、通常 Ｅ３１は Ｅ３２の３〜６
倍程度になる。変調効率は（ Ｅ３１＋ Ｅ３２）に比
例するので、上記の如く、 Ｅ３２が Ｅ３１に比較し
て非常に小さいために変調効率が上がらず、プッシュプ
ル動作による駆動が困難であり，結局、変調用の駆動電
圧を大きくしなければならないことになる。
【０００６】さらに、信号側の電極３１と接地側の電極
３２にかゝる電界の非対称性のために、分岐光導波路２
ａ，２ｂ に温度差が生じ、それに基づく歪みによって
光変調特性の動作点がシフトしてしまうという欠点があ
る。
３２にかゝる電界の非対称性のために、分岐光導波路２
ａ，２ｂ に温度差が生じ、それに基づく歪みによって
光変調特性の動作点がシフトしてしまうという欠点があ
る。
【０００７】図５は従来の光変調器の例を示す図（その
２）で、この例は変調用駆動電極３ａ，３ｂを分岐光導
波路２ａ，２ｂ 上にバランスよく配置した， いわゆ
る、並列２信号電極型の場合である。
２）で、この例は変調用駆動電極３ａ，３ｂを分岐光導
波路２ａ，２ｂ 上にバランスよく配置した， いわゆ
る、並列２信号電極型の場合である。
【０００８】すなわち、２つの信号用の電極３１ａ，３
１ｂ が分岐光導波路２ａ，２ｂ 中を伝送される光に
位相差を生じさせるように配設されており、分岐光導波
路２ａ，２ｂ にかゝる電界 Ｅ３１ａと Ｅ３１ｂ
は等しくプッシュプル動作ができるので、前記例（ そ
の１）の非対称電極型の場合に比較して駆動電圧を６０
％ 程度に下げることができる。また、電極の対称配置
により分岐光導波路２ａ，２ｂ には温度差が生じない
ので、前記非対称電極型の場合のように光変調特性の動
作点シフトも生じない。
１ｂ が分岐光導波路２ａ，２ｂ 中を伝送される光に
位相差を生じさせるように配設されており、分岐光導波
路２ａ，２ｂ にかゝる電界 Ｅ３１ａと Ｅ３１ｂ
は等しくプッシュプル動作ができるので、前記例（ そ
の１）の非対称電極型の場合に比較して駆動電圧を６０
％ 程度に下げることができる。また、電極の対称配置
により分岐光導波路２ａ，２ｂ には温度差が生じない
ので、前記非対称電極型の場合のように光変調特性の動
作点シフトも生じない。
【０００９】しかし、このような並列２信号電極型構成
の光変調器においては、２つの信号用の電極３１ａ，３
１ｂ が近接・対向して配置されているので、電気的誘
導や基板１表面近傍での弾性波を介しての相互干渉が大
きく、変調信号のＳ／Ｎが劣化するという問題が生じ易
い。
の光変調器においては、２つの信号用の電極３１ａ，３
１ｂ が近接・対向して配置されているので、電気的誘
導や基板１表面近傍での弾性波を介しての相互干渉が大
きく、変調信号のＳ／Ｎが劣化するという問題が生じ易
い。
【００１０】図６は従来の光変調器の例を示す図（その
３）で、すでに本発明者らによって提案されているもの
である（特願平１−３２４６１０参照）。同図（イ）は
光変調器の概略構成図、同図（ロ）は変調信号波形、同
図（ハ）は変調特性である。
３）で、すでに本発明者らによって提案されているもの
である（特願平１−３２４６１０参照）。同図（イ）は
光変調器の概略構成図、同図（ロ）は変調信号波形、同
図（ハ）は変調特性である。
【００１１】この例の場合、２つの変調用駆動電極３ａ
，３ｂ は縦続的に配置されているので両者の距離は離
れている。したがって、電気的誘導や基板１表面近傍で
の弾性波を介しての相互干渉が小さくなり、高速光変調
器の変調信号のＳ／Ｎが大巾に向上する。
，３ｂ は縦続的に配置されているので両者の距離は離
れている。したがって、電気的誘導や基板１表面近傍で
の弾性波を介しての相互干渉が小さくなり、高速光変調
器の変調信号のＳ／Ｎが大巾に向上する。
【００１２】また、同図（ロ）に示したように駆動信号
回路６から信号Ｓを変調用駆動電極３ａに、また，その
相補信号Ｓ’を変調用駆動電極 ３ｂに印加する。かつ
、導波光が両信号用の電極の先頭部間の距離ｄ を伝播
するのに要する時間τ＝ｄｎ／ｃ （ｎは導波路の等価
屈折率，ｃは真空中の光速） だけ相補信号Ｓ’を信号
Ｓよりも遅延させて印加する。このような構成によって
分岐光導波路２ａ，２ｂ 中を伝播する光に位相変調を
かけたあと３ｄＢカップラで合流させると、よく知られ
たように同図（ ハ） に示したような光強度変調特性
が低電圧駆動によって得られるという利点がある。
回路６から信号Ｓを変調用駆動電極３ａに、また，その
相補信号Ｓ’を変調用駆動電極 ３ｂに印加する。かつ
、導波光が両信号用の電極の先頭部間の距離ｄ を伝播
するのに要する時間τ＝ｄｎ／ｃ （ｎは導波路の等価
屈折率，ｃは真空中の光速） だけ相補信号Ｓ’を信号
Ｓよりも遅延させて印加する。このような構成によって
分岐光導波路２ａ，２ｂ 中を伝播する光に位相変調を
かけたあと３ｄＢカップラで合流させると、よく知られ
たように同図（ ハ） に示したような光強度変調特性
が低電圧駆動によって得られるという利点がある。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例（その３）
の２つの変調用駆動電極３ａ，３ｂ を縦続的に配置す
る構成の光変調器は、電気的誘導や基板表面近傍での弾
性波を介しての相互干渉が小さくなって高速光変調器の
変調信号のＳ／Ｎが大巾に向上し、しかも，低電圧駆動
が可能になるという大きな長所がある。
の２つの変調用駆動電極３ａ，３ｂ を縦続的に配置す
る構成の光変調器は、電気的誘導や基板表面近傍での弾
性波を介しての相互干渉が小さくなって高速光変調器の
変調信号のＳ／Ｎが大巾に向上し、しかも，低電圧駆動
が可能になるという大きな長所がある。
【００１４】しかし、その一方で２つの変調用駆動電極
３ａ，３ｂ のそれぞれの給電端７ａ，７ｂ が基板１
の反対側に設けられており、実装上厄介で治具や作業性
の面で不都合があり，しかも、広い接地用の電極部を両
側に形成するために、基板１の巾がそれだけ大きくなっ
て光変調器の小型化を阻害するなどの問題がありその解
決が求められている。
３ａ，３ｂ のそれぞれの給電端７ａ，７ｂ が基板１
の反対側に設けられており、実装上厄介で治具や作業性
の面で不都合があり，しかも、広い接地用の電極部を両
側に形成するために、基板１の巾がそれだけ大きくなっ
て光変調器の小型化を阻害するなどの問題がありその解
決が求められている。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、電気光学
効果を有する基板１上に形成された光を分岐したあと再
び合流させる分岐光導波路２ａ，２ｂと、前記分岐光導
波路２ａ，２ｂを伝播する光の位相を変調する縦続的に
配置され，かつ、同一側に給電端７を有するように形成
された複数の変調用駆動電極３と、前記複数の変調用駆
動電極３の間に設けられ前記分岐光導波路２ａ，２ｂを
伝播する光を交差させる交差路型光回路４とを少なくと
も備えた光変調器によって解決することができる。具体
的には、前記交差路型光回路４が完全結合長を有する方
向性結合器であるか、異巾交差光導波路である光変調器
によって効果的に解決することができる。
効果を有する基板１上に形成された光を分岐したあと再
び合流させる分岐光導波路２ａ，２ｂと、前記分岐光導
波路２ａ，２ｂを伝播する光の位相を変調する縦続的に
配置され，かつ、同一側に給電端７を有するように形成
された複数の変調用駆動電極３と、前記複数の変調用駆
動電極３の間に設けられ前記分岐光導波路２ａ，２ｂを
伝播する光を交差させる交差路型光回路４とを少なくと
も備えた光変調器によって解決することができる。具体
的には、前記交差路型光回路４が完全結合長を有する方
向性結合器であるか、異巾交差光導波路である光変調器
によって効果的に解決することができる。
【００１６】
【作用】図１は本発明の原理を示す図である。図中、４
は交差型光回路で分岐光導波路２ａ，２ｂ の途中に挿
入されると、たとえば， 図の左側の光入力Ｉ１（２ａ
），Ｉ２（２ｂ） が右側の光出力としては入れ代わっ
て， すなわち、交差してＩ２（２ａ），Ｉ１（２ｂ）
として出力される機能を有している。３０ａ，３０ｂ
は信号線、 ＲＴ は終端抵抗、 Ｉｉ ， Ｉｏ
は光変調器への入射光強度および出射光強度をそれぞれ
示す。なお、前記の諸図面で説明したものと同等の部分
については同一符号を付し、かつ、同等部分についての
説明は省略する。
は交差型光回路で分岐光導波路２ａ，２ｂ の途中に挿
入されると、たとえば， 図の左側の光入力Ｉ１（２ａ
），Ｉ２（２ｂ） が右側の光出力としては入れ代わっ
て， すなわち、交差してＩ２（２ａ），Ｉ１（２ｂ）
として出力される機能を有している。３０ａ，３０ｂ
は信号線、 ＲＴ は終端抵抗、 Ｉｉ ， Ｉｏ
は光変調器への入射光強度および出射光強度をそれぞれ
示す。なお、前記の諸図面で説明したものと同等の部分
については同一符号を付し、かつ、同等部分についての
説明は省略する。
【００１７】すなわち、交差路型光回路４によって２つ
の変調用駆動電極３ａ，３ｂ の間で伝播光を入れ換え
ているので、それぞれの給電端７ａ，７ｂ を共に基板
１の同一側に設けることができる。したがって、光変調
器チップの実装において扱いが容易で作業性も向上し、
さらに，素子の巾も狭くすることが可能となるのである
。
の変調用駆動電極３ａ，３ｂ の間で伝播光を入れ換え
ているので、それぞれの給電端７ａ，７ｂ を共に基板
１の同一側に設けることができる。したがって、光変調
器チップの実装において扱いが容易で作業性も向上し、
さらに，素子の巾も狭くすることが可能となるのである
。
【００１８】
【実施例】図２は本発明の一実施例を示す図である。図
中、４ａは完全結合長を有する方向性結合器で、すでに
公知の通り設計を最適に行うことによって交差路型光回
路４としての機能を持たせることができる。
中、４ａは完全結合長を有する方向性結合器で、すでに
公知の通り設計を最適に行うことによって交差路型光回
路４としての機能を持たせることができる。
【００１９】なお、前記の諸図面で説明したものと同等
の部分については同一符号を付し、かつ、同等部分につ
いての説明は省略する。基板１ としては、たとえば，
大きさ６０ｍｍ×２ ｍｍ，厚さ１ｍｍのＬｉＮｂＯ３
のＺ板の表面を鏡面研磨して使用した。この基板の上に
Ｔｉを約９０ｎｍの厚さに真空蒸着し、分岐光導波路２
ａおよび２ｂ，完全結合長を有する方向性結合器４ａ，
３ｄＢカップラ５からなる光導波路２に相当する部分に
Ｔｉが残るように通常のホトエッチング法で処理したの
ち、約１０５００ＣでＴｉをＬｉＮｂＯ３中に熱拡散し
て全光導波路２を形成する。
の部分については同一符号を付し、かつ、同等部分につ
いての説明は省略する。基板１ としては、たとえば，
大きさ６０ｍｍ×２ ｍｍ，厚さ１ｍｍのＬｉＮｂＯ３
のＺ板の表面を鏡面研磨して使用した。この基板の上に
Ｔｉを約９０ｎｍの厚さに真空蒸着し、分岐光導波路２
ａおよび２ｂ，完全結合長を有する方向性結合器４ａ，
３ｄＢカップラ５からなる光導波路２に相当する部分に
Ｔｉが残るように通常のホトエッチング法で処理したの
ち、約１０５００ＣでＴｉをＬｉＮｂＯ３中に熱拡散し
て全光導波路２を形成する。
【００２０】分岐光導波路部分の長さは４５ｍｍ，光導
波路の幅は全て７μｍになるように調整した。次いで、
光の金属電極への吸収による伝播損失を抑えるためのバ
ッファ層としてＳｉＯ２を３００ 〜１０００ｎｍの厚
さにスパッタ法で形成した。
波路の幅は全て７μｍになるように調整した。次いで、
光の金属電極への吸収による伝播損失を抑えるためのバ
ッファ層としてＳｉＯ２を３００ 〜１０００ｎｍの厚
さにスパッタ法で形成した。
【００２１】変調用駆動電極３ａおよび３ｂは、図示し
たごとく完全結合長を有する方向性結合器４ａを挟んで
従属的に２つの進行波信号電極を構成するように配置す
るため、ＴｉーＡｕ合金膜を蒸着したのち、分岐光導波
路２ａおよび２ｂの上にそれぞれ給電端７ａ，７ｂ の
向きを揃えて同一形状に配置されるように、幅１０μｍ
の電極形状にパターンエッチングし、さらに、その上に
厚さ３μｍのＡｕをめっきにより被着して形成すれば、
本発明になる光変調器チップが作製される。
たごとく完全結合長を有する方向性結合器４ａを挟んで
従属的に２つの進行波信号電極を構成するように配置す
るため、ＴｉーＡｕ合金膜を蒸着したのち、分岐光導波
路２ａおよび２ｂの上にそれぞれ給電端７ａ，７ｂ の
向きを揃えて同一形状に配置されるように、幅１０μｍ
の電極形状にパターンエッチングし、さらに、その上に
厚さ３μｍのＡｕをめっきにより被着して形成すれば、
本発明になる光変調器チップが作製される。
【００２２】この光変調器チップを図示してない容器に
収容して、駆動信号回路６の信号Ｓを送信する信号線３
０ａ を変調用駆動電極３ａの給電端７ａに、一方，
相補信号Ｓ’を送信する信号線３０ｂ を変調用駆動電
極３ｂの給電端７ｂに結線する。この時、両者の信号遅
延時間が導波光が両信号用の電極の先頭部間の距離ｄ
を伝播するのに要する時間τ＝ｄｎ／ｃ （ｎは導波路
の透過屈折率，ｃは真空中の光速） だけ相補信号Ｓ’
を信号Ｓよりも遅延させるように， たとえば、信号線
３０ｂ の長さを信号線３０ｂ のそれよりも長くして
結線すれば本発明になる光変調器が構成される。
収容して、駆動信号回路６の信号Ｓを送信する信号線３
０ａ を変調用駆動電極３ａの給電端７ａに、一方，
相補信号Ｓ’を送信する信号線３０ｂ を変調用駆動電
極３ｂの給電端７ｂに結線する。この時、両者の信号遅
延時間が導波光が両信号用の電極の先頭部間の距離ｄ
を伝播するのに要する時間τ＝ｄｎ／ｃ （ｎは導波路
の透過屈折率，ｃは真空中の光速） だけ相補信号Ｓ’
を信号Ｓよりも遅延させるように， たとえば、信号線
３０ｂ の長さを信号線３０ｂ のそれよりも長くして
結線すれば本発明になる光変調器が構成される。
【００２３】以上に述べた本発明の構成により、光変調
器の実装は極めて容易になり作業性も向上し、さらに，
小型化が可能になった。図３は本発明の他の実施例を示
す図である。
器の実装は極めて容易になり作業性も向上し、さらに，
小型化が可能になった。図３は本発明の他の実施例を示
す図である。
【００２４】図中、４ｂは異巾交差光導波路で、交差す
る光導波路の伝播定数を変えることによって、２つの導
波光Ｉ１，Ｉ２ が結合することなく交差して交差路型
光回路４の機能を持つようにしている。
る光導波路の伝播定数を変えることによって、２つの導
波光Ｉ１，Ｉ２ が結合することなく交差して交差路型
光回路４の機能を持つようにしている。
【００２５】この実施例ではＩ１側の光導波路の巾を６
μｍにし、Ｉ２側の光導波路の巾を８μｍにして所期の
目的を達成しており、この光変調器チップを用いて光変
調器を構成したところ上記一実施例の場合と同様に実装
が容易で生産性が向上し、かつ，小型化が可能になった
。
μｍにし、Ｉ２側の光導波路の巾を８μｍにして所期の
目的を達成しており、この光変調器チップを用いて光変
調器を構成したところ上記一実施例の場合と同様に実装
が容易で生産性が向上し、かつ，小型化が可能になった
。
【００２６】上記実施例では光導波路の巾を変えて伝播
定数に差を持たせたが、巾は等しくして光導波路の等価
屈折率ｎに差を付けて伝播定数を変えるようにしてもよ
い。なお、以上の実施例は例を示したもので本発明の趣
旨に反しない限り、使用する素材や細部の構成，プロセ
スなど適宜他のものを選択使用してよいことは勿論であ
る。
定数に差を持たせたが、巾は等しくして光導波路の等価
屈折率ｎに差を付けて伝播定数を変えるようにしてもよ
い。なお、以上の実施例は例を示したもので本発明の趣
旨に反しない限り、使用する素材や細部の構成，プロセ
スなど適宜他のものを選択使用してよいことは勿論であ
る。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば交
差路型光回路４によって２つの変調用駆動電極３ａ，３
ｂ の間で伝播光を入れ換えているので、それぞれの給
電端７ａ，７ｂ を共に基板１の同一側に設けることが
できる。したがって、光変調器チップの実装において扱
いが容易で作業性も向上し、さらに，素子の巾も狭くす
ることが可能となり、光変調器の性能，実装性の向上と
小型化に寄与するところが極めて大きい。
差路型光回路４によって２つの変調用駆動電極３ａ，３
ｂ の間で伝播光を入れ換えているので、それぞれの給
電端７ａ，７ｂ を共に基板１の同一側に設けることが
できる。したがって、光変調器チップの実装において扱
いが容易で作業性も向上し、さらに，素子の巾も狭くす
ることが可能となり、光変調器の性能，実装性の向上と
小型化に寄与するところが極めて大きい。
【図１】本発明の原理を示す図である。
【図２】本発明の一実施例を示す図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す図である。
【図４】従来の光変調器の例を示す図（その１）である
。
。
【図５】従来の光変調器の例を示す図（その２）である
。
。
【図６】従来の光変調器の例を示す図（その３）である
。
。
１は電気光学効果を有する基板、
２は光導波路、２ａ，２ｂは分岐光導波路、３（３ａ，
３ｂ）は変調用駆動電極、 ４は交差路型光回路、 ５は３ｄＢカップラ、 ６は駆動信号回路、 ７（７ａ，７ｂ）は給電端、 ３０（３０ａ，３０ｂ）は信号線、
３ｂ）は変調用駆動電極、 ４は交差路型光回路、 ５は３ｄＢカップラ、 ６は駆動信号回路、 ７（７ａ，７ｂ）は給電端、 ３０（３０ａ，３０ｂ）は信号線、
Claims (3)
- 【請求項１】 電気光学効果を有する基板（１） 上
に形成された光を分岐したあと再び合流させる分岐光導
波路（２ａ，２ｂ） と、前記分岐光導波路（２ａ，２
ｂ） を伝播する光の位相を変調する縦続的に配置され
，かつ、同一側に給電端（７） を有するように形成さ
れた複数の変調用駆動電極（３） と、前記複数の変調
用駆動電極（３） の間に設けられ前記分岐光導波路（
２ａ，２ｂ） を伝播する光を交差させる交差路型光回
路（４） とを少なくとも備えることを特徴とした光変
調器。 - 【請求項２】 前記交差路型光回路（４）が完全結合
長を有する方向性結合器であることを特徴とした請求項
１記載の光変調器。 - 【請求項３】 前記交差路型光回路（４）が異巾交差
光導波路であることを特徴とした請求項１記載の光変調
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP472291A JP2564999B2 (ja) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | 光変調器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP472291A JP2564999B2 (ja) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | 光変調器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04243217A true JPH04243217A (ja) | 1992-08-31 |
| JP2564999B2 JP2564999B2 (ja) | 1996-12-18 |
Family
ID=11591785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP472291A Expired - Lifetime JP2564999B2 (ja) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | 光変調器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2564999B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008102451A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Fujitsu Ltd | 光変調器および送信装置 |
| JP2008242243A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光導波路素子、及び光導波路素子の光クロストーク抑止方法 |
| JP2014178480A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光変調器および光変調方法 |
| WO2022091980A1 (ja) * | 2020-10-30 | 2022-05-05 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子、光導波路デバイス、および光送信装置 |
| EP4625027A4 (en) * | 2023-02-10 | 2026-03-18 | Huawei Tech Co Ltd | ELECTRO-OPTIC MODULATOR AND TRANSMITTER |
-
1991
- 1991-01-18 JP JP472291A patent/JP2564999B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008102451A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Fujitsu Ltd | 光変調器および送信装置 |
| JP2008242243A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光導波路素子、及び光導波路素子の光クロストーク抑止方法 |
| JP2014178480A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光変調器および光変調方法 |
| WO2022091980A1 (ja) * | 2020-10-30 | 2022-05-05 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子、光導波路デバイス、および光送信装置 |
| JP2022073196A (ja) * | 2020-10-30 | 2022-05-17 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子、光導波路デバイス、および光送信装置 |
| CN116075771A (zh) * | 2020-10-30 | 2023-05-05 | 住友大阪水泥股份有限公司 | 光波导元件、光波导器件及光发送装置 |
| US12504656B2 (en) | 2020-10-30 | 2025-12-23 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical waveguide element, optical waveguide device, and optical transmission apparatus |
| EP4625027A4 (en) * | 2023-02-10 | 2026-03-18 | Huawei Tech Co Ltd | ELECTRO-OPTIC MODULATOR AND TRANSMITTER |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2564999B2 (ja) | 1996-12-18 |
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