JPH04246171A - 細目金網スクリーンの細孔サイズを縮小する方法 - Google Patents
細目金網スクリーンの細孔サイズを縮小する方法Info
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- JPH04246171A JPH04246171A JP25018491A JP25018491A JPH04246171A JP H04246171 A JPH04246171 A JP H04246171A JP 25018491 A JP25018491 A JP 25018491A JP 25018491 A JP25018491 A JP 25018491A JP H04246171 A JPH04246171 A JP H04246171A
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Classifications
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- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07B—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS BY SIEVING, SCREENING, SIFTING OR BY USING GAS CURRENTS; SEPARATING BY OTHER DRY METHODS APPLICABLE TO BULK MATERIAL, e.g. LOOSE ARTICLES FIT TO BE HANDLED LIKE BULK MATERIAL
- B07B1/00—Sieving, screening, sifting, or sorting solid materials using networks, gratings, grids, or the like
- B07B1/46—Constructional details of screens in general; Cleaning or heating of screens
- B07B1/4609—Constructional details of screens in general; Cleaning or heating of screens constructional details of screening surfaces or meshes
- B07B1/4618—Manufacturing of screening surfaces
-
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- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
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- B01D29/01—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with flat filtering elements
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- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
-
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- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
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- Textile Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【発明の分野】本発明は、全体的には、瀘材として用い
るような細目金網スクリーンを製造する技術に関し、特
に、スクリーンの細孔のサイズを縮小し、瀘材を通過で
きる粒子のサイズを縮小する方法に関する。
るような細目金網スクリーンを製造する技術に関し、特
に、スクリーンの細孔のサイズを縮小し、瀘材を通過で
きる粒子のサイズを縮小する方法に関する。
【０００２】
【発明の背景】細目金網スクリーンは、瀘材としての用
途からロケット・モータの推薬管理装置のような用途ま
でに及ぶ広範囲の用途で用いられている。このようなス
クリーンを製造する際の問題の１つは、スクリーンを構
成するワイヤ・クロスを製織する際に用いられるワイヤ
の金属あるいは合金材料の物理特性による網目寸法範囲
についての製造上の限界である。その結果、細孔サイズ
（たとえば、瀘材）が限られ、瀘材を通過できる粒子の
サイズを小さくしようとしても、ワイヤの物理特性と製
造あるいは織成過程に基づいてだけで限界に達する。
途からロケット・モータの推薬管理装置のような用途ま
でに及ぶ広範囲の用途で用いられている。このようなス
クリーンを製造する際の問題の１つは、スクリーンを構
成するワイヤ・クロスを製織する際に用いられるワイヤ
の金属あるいは合金材料の物理特性による網目寸法範囲
についての製造上の限界である。その結果、細孔サイズ
（たとえば、瀘材）が限られ、瀘材を通過できる粒子の
サイズを小さくしようとしても、ワイヤの物理特性と製
造あるいは織成過程に基づいてだけで限界に達する。
【０００３】従来、事後製造作業として、すなわち、基
本的なスクリーンを作るか織った後に、種々の金属蒸着
法によって細目金網スクリーンの細孔サイズを縮小する
試みが種々なされてきた。これらの方法の多くには、ス
クリーンの細孔を小さく閉じるのに比べてスクリーンの
厚さがかなりなものとなるという欠点がある。多くの用
途において、スクリーンの嵩高性をかなり変えたり、多
少なりとも重量を増加させることは望ましくない。
本的なスクリーンを作るか織った後に、種々の金属蒸着
法によって細目金網スクリーンの細孔サイズを縮小する
試みが種々なされてきた。これらの方法の多くには、ス
クリーンの細孔を小さく閉じるのに比べてスクリーンの
厚さがかなりなものとなるという欠点がある。多くの用
途において、スクリーンの嵩高性をかなり変えたり、多
少なりとも重量を増加させることは望ましくない。
【０００４】金属繊維の細目スクリーンを金属コーティ
ングで被覆する例が、１９８７年４ 月 ７日にＩｎｉ
ｏｔａｋｉｓ に与えられた米国特許第４，６５５，７
９７ 号に示されている。この米国特許では、ガルバニ
ック法が用いられている。すなわち、２つの電極を電解
液と一緒に用いている。２つの電極の電位差でイオンを
放出させ、高電位差の目標面に移動させる。理論的には
、スクリーンの多孔度が低下してその保持能力を高める
。しかしながら、このようなガルバニック法や化学金属
付着法では、溶液中のイオンは最短経路を移動し、この
直線移動は多孔度を低下させるのに比べてスクリーンを
かなり厚くする傾向がある。これらの方法は、スクリー
ンの嵩高性を大きく変えたり、スクリーンの重量を増大
させたりしてはいけない用途では望ましくないし、不適
である。
ングで被覆する例が、１９８７年４ 月 ７日にＩｎｉ
ｏｔａｋｉｓ に与えられた米国特許第４，６５５，７
９７ 号に示されている。この米国特許では、ガルバニ
ック法が用いられている。すなわち、２つの電極を電解
液と一緒に用いている。２つの電極の電位差でイオンを
放出させ、高電位差の目標面に移動させる。理論的には
、スクリーンの多孔度が低下してその保持能力を高める
。しかしながら、このようなガルバニック法や化学金属
付着法では、溶液中のイオンは最短経路を移動し、この
直線移動は多孔度を低下させるのに比べてスクリーンを
かなり厚くする傾向がある。これらの方法は、スクリー
ンの嵩高性を大きく変えたり、スクリーンの重量を増大
させたりしてはいけない用途では望ましくないし、不適
である。
【０００５】１９６０年 ６月１４日にＴｏｏｈｉｇに
許された米国特許第２，９４０，８７３ 号が、高い真
空中でスクリーンに金属を蒸着させることによって細目
金網スクリーン上に金属を付着させる方法を示している
。金属分子は、蒸発した金属が沸騰して蒸気圧を増大さ
せるポイント源から発生し、スクリーンへ直線状に移動
する。スクリーンに衝突した分子は蓄積してスクリーン
の厚みを増大させ、残りの分子はスクリーンをそのまま
通過し、反対側の表面に凝縮する。事実、Ｔｏｏｈｉｇ
の方法は、多孔度を多少とも低下させることなく細目金
網スクリーンの厚みを高めるように特に設計されている
。ここで再び、このような方法は、嵩高性を変えたり、
重量を増大させたりすることなく細目金網スクリーンの
多孔度を低下させる目的にはまったく適していない。
許された米国特許第２，９４０，８７３ 号が、高い真
空中でスクリーンに金属を蒸着させることによって細目
金網スクリーン上に金属を付着させる方法を示している
。金属分子は、蒸発した金属が沸騰して蒸気圧を増大さ
せるポイント源から発生し、スクリーンへ直線状に移動
する。スクリーンに衝突した分子は蓄積してスクリーン
の厚みを増大させ、残りの分子はスクリーンをそのまま
通過し、反対側の表面に凝縮する。事実、Ｔｏｏｈｉｇ
の方法は、多孔度を多少とも低下させることなく細目金
網スクリーンの厚みを高めるように特に設計されている
。ここで再び、このような方法は、嵩高性を変えたり、
重量を増大させたりすることなく細目金網スクリーンの
多孔度を低下させる目的にはまったく適していない。
【０００６】本発明は、上記の問題を解決することに向
けたものであり、スクリーンの嵩高性をほとんど変えた
り、スクリーンの重量を増大させたりすることなく細目
金網スクリーンの多孔度を小さくする方法を提供する。
けたものであり、スクリーンの嵩高性をほとんど変えた
り、スクリーンの重量を増大させたりすることなく細目
金網スクリーンの多孔度を小さくする方法を提供する。
【０００７】
【発明の概要】したがって、本発明の目的は、瀘材のよ
うな細目金網スクリーンの細孔サイズを均一に縮小して
、スクリーンを通過できる粒子のサイズを小さくする新
規で改良された方法を提供することにある。
うな細目金網スクリーンの細孔サイズを均一に縮小して
、スクリーンを通過できる粒子のサイズを小さくする新
規で改良された方法を提供することにある。
【０００８】大雑把に言って、本発明は、細目金網スク
リーンに原子をランダムに移動させてそこに薄いフィル
ム・コーティングを形成し、スクリーンの細孔サイズを
縮小する方法を意図している。
リーンに原子をランダムに移動させてそこに薄いフィル
ム・コーティングを形成し、スクリーンの細孔サイズを
縮小する方法を意図している。
【００１０】一層詳しく言えば、細目金網スクリーンお
よびターゲット材料は真空チャンバ内に置かれる。ター
ゲット材料にイオンを衝突させることによって、原子が
ターゲット材料からスクリーンにランダムに移り、ター
ゲット材料の表面から放出された原子がスクリーン上に
ランダムに集まって薄いフィルム・コーティングを形成
し、スクリーンの細孔サイズを縮小する。ここで用いて
いる「ランダム」なる用語は、上述した従来技術の単一
方向経路と異なり、全方向経路での原子の移動を意味し
ている。
よびターゲット材料は真空チャンバ内に置かれる。ター
ゲット材料にイオンを衝突させることによって、原子が
ターゲット材料からスクリーンにランダムに移り、ター
ゲット材料の表面から放出された原子がスクリーン上に
ランダムに集まって薄いフィルム・コーティングを形成
し、スクリーンの細孔サイズを縮小する。ここで用いて
いる「ランダム」なる用語は、上述した従来技術の単一
方向経路と異なり、全方向経路での原子の移動を意味し
ている。
【００１１】本発明の方法は、チタン、ステンレス鋼、
アルミのような金属の場合に有効であることが証明され
ている。
アルミのような金属の場合に有効であることが証明され
ている。
【００１２】もっと詳しく言えば、真空チャンバ内のタ
ーゲット材料は、負の電圧で帯電させられる。正イオン
がチャンバ内に供給され、ターゲット材料の負電荷が正
イオンをターゲット材料との衝突へ加速し、そこから原
子を遊離させ、スクリーン上に集める。たとえば、スク
リーンはチタン合金材料であってもよいし、ターゲット
材料は非合金チタンであってもよい。
ーゲット材料は、負の電圧で帯電させられる。正イオン
がチャンバ内に供給され、ターゲット材料の負電荷が正
イオンをターゲット材料との衝突へ加速し、そこから原
子を遊離させ、スクリーン上に集める。たとえば、スク
リーンはチタン合金材料であってもよいし、ターゲット
材料は非合金チタンであってもよい。
【００１３】本発明の実施例では、細目金網スクリーン
は、ターゲット材料を通って移動する連続ウェブによっ
て真空チャンバ内に置かれる。これは、スクリーンへの
原子のランダムな付着をさらに増大させる。またさらに
、真空チャンバは、いくつかの領域に分割し、これらの
領域を通して細目金網スクリーンを順次に移動させ、細
目金網スクリーンの移動経路に沿って少なくとも１つの
ターゲット材料ユニットが各領域に置かれるようにして
もよい。
は、ターゲット材料を通って移動する連続ウェブによっ
て真空チャンバ内に置かれる。これは、スクリーンへの
原子のランダムな付着をさらに増大させる。またさらに
、真空チャンバは、いくつかの領域に分割し、これらの
領域を通して細目金網スクリーンを順次に移動させ、細
目金網スクリーンの移動経路に沿って少なくとも１つの
ターゲット材料ユニットが各領域に置かれるようにして
もよい。
【００１４】好ましくは、細目金網スクリーンは、スク
ウェア製織ではなくて 「Ｄｕｔｃｈ ｔｗｉｌｌｅｄ
」製織を用いて製造する。換言すれば、ワイヤ・スクリ
ーンあるいはワイヤ・クロスの網目数はワープ・ワイヤ
よりもシュート・ワイヤが多い。シュート・ワイヤは移
動するウェブの横方向に延びており、ワープ・ワイヤは
ウェブの長さ方向に延びている。これは、また、嵩高性
を変えたり、重量を増大させたりすることなくスクリー
ンの多孔度を小さくするのに有効であることが証明され
ている。
ウェア製織ではなくて 「Ｄｕｔｃｈ ｔｗｉｌｌｅｄ
」製織を用いて製造する。換言すれば、ワイヤ・スクリ
ーンあるいはワイヤ・クロスの網目数はワープ・ワイヤ
よりもシュート・ワイヤが多い。シュート・ワイヤは移
動するウェブの横方向に延びており、ワープ・ワイヤは
ウェブの長さ方向に延びている。これは、また、嵩高性
を変えたり、重量を増大させたりすることなくスクリー
ンの多孔度を小さくするのに有効であることが証明され
ている。
【００１５】本発明の他の目的、特徴および利点は、添
付図面に関連した以下の詳しい説明から明らかとなろう
。
付図面に関連した以下の詳しい説明から明らかとなろう
。
【００１６】本発明の、新規であると考えられる特徴は
、特許請求の範囲に特に記載してある。本発明をその目
的と共に添付図面に関連して以下に説明するが、そこで
は、同様の参照符号が同様の構成要素を示していること
は了解されたい。
、特許請求の範囲に特に記載してある。本発明をその目
的と共に添付図面に関連して以下に説明するが、そこで
は、同様の参照符号が同様の構成要素を示していること
は了解されたい。
【００１７】
図面をより詳しく参照すると、図１には、中で本発明の
方法を実施する、全体的に１０で示す真空チャンバが示
してある。大雑把に言って、この方法は、細目金網スク
リーンとターゲット材料をチャンバ１０内に設置し、タ
ーゲット材料にイオンを衝突させることによってターゲ
ット材料からスクリーンにランダムに原子を移動させ、
ターゲット材料の表面から放出される原子をスクリーン
上にランダムに集めることを意図している。これにより
、スクリーン上に薄いフィルム・コーティングが形成さ
れ、スクリーンの細孔サイズを縮小し、しかも、スクリ
ーンの嵩高性を有意に変えたり、スクリーンの重量を感
知できるほども増大させたりすることがない。
方法を実施する、全体的に１０で示す真空チャンバが示
してある。大雑把に言って、この方法は、細目金網スク
リーンとターゲット材料をチャンバ１０内に設置し、タ
ーゲット材料にイオンを衝突させることによってターゲ
ット材料からスクリーンにランダムに原子を移動させ、
ターゲット材料の表面から放出される原子をスクリーン
上にランダムに集めることを意図している。これにより
、スクリーン上に薄いフィルム・コーティングが形成さ
れ、スクリーンの細孔サイズを縮小し、しかも、スクリ
ーンの嵩高性を有意に変えたり、スクリーンの重量を感
知できるほども増大させたりすることがない。
【００１８】図１の詳しい説明に進む前に、ここで、図
が大量生産用に連続ウェブとして移動する細目金網スク
リーンを示していることは了解されたい。明らかなよう
に、無数のサイズのスクリーンを真空チャンバ内に置く
ことができ、上述したように任意の時間にわたって本発
明の方法を実施することができる。
が大量生産用に連続ウェブとして移動する細目金網スク
リーンを示していることは了解されたい。明らかなよう
に、無数のサイズのスクリーンを真空チャンバ内に置く
ことができ、上述したように任意の時間にわたって本発
明の方法を実施することができる。
【００１９】特に、図１は供給ロール１２と巻取ロール
１４を示しており、これらは共に駆動され得るが、少な
くとも巻取ロール１４は矢印「Ａ」の方向に駆動されて
アイドラ・ロール１８と一対の間隔を置いた位置決めロ
ール２０のまわりに細目金網スクリーンのウェブ１６を
移動させる。位置決めロールは、矢印「Ｂ」で示すよう
に、スクリーンの移動経路を構成する。
１４を示しており、これらは共に駆動され得るが、少な
くとも巻取ロール１４は矢印「Ａ」の方向に駆動されて
アイドラ・ロール１８と一対の間隔を置いた位置決めロ
ール２０のまわりに細目金網スクリーンのウェブ１６を
移動させる。位置決めロールは、矢印「Ｂ」で示すよう
に、スクリーンの移動経路を構成する。
【００２０】真空チャンバ１０は、その内部を３つの領
域２４、２６、２８に分割する隔壁２２を有する。した
がって、ウェブ、すなわち、スクリーン１６が、供給ロ
ール１２から順次に隔壁の開口３０を通り、中間の領域
２６を通って領域２８に移動し、最後に巻取ロール１４
に巻き取られることは了解されたい。
域２４、２６、２８に分割する隔壁２２を有する。した
がって、ウェブ、すなわち、スクリーン１６が、供給ロ
ール１２から順次に隔壁の開口３０を通り、中間の領域
２６を通って領域２８に移動し、最後に巻取ロール１４
に巻き取られることは了解されたい。
【００２１】ターゲット材料のユニット３２が各領域２
４−２８内に配置してあり、各ターゲット材料ユニット
は陰極３４によって負電圧に帯電してある。図２に関連
して後にもっと詳しく説明するように、ターゲット材料
にイオンを衝突させることによって原子がターゲット材
料３２からスクリーンにランダムに移り、ターゲット材
料の表面から放出された原子はスクリーン上にランダム
に集まり、そこに薄いフィルム・コーティングを形成し
、スクリーンの細孔サイズを縮小する。各ターゲット材
料ユニット３２から出る破線３６は原子がスクリーン１
６に向かって放出される帯域を表わしている。均一にす
るために、隔壁２２に設けた開口３０はスクリーンの下
部で幾分拡大してあり、個々の領域２４−２８内でのタ
ーゲット材料ユニットの放出帯域が重なり合うオーバラ
ップ領域３８が設けてある。
４−２８内に配置してあり、各ターゲット材料ユニット
は陰極３４によって負電圧に帯電してある。図２に関連
して後にもっと詳しく説明するように、ターゲット材料
にイオンを衝突させることによって原子がターゲット材
料３２からスクリーンにランダムに移り、ターゲット材
料の表面から放出された原子はスクリーン上にランダム
に集まり、そこに薄いフィルム・コーティングを形成し
、スクリーンの細孔サイズを縮小する。各ターゲット材
料ユニット３２から出る破線３６は原子がスクリーン１
６に向かって放出される帯域を表わしている。均一にす
るために、隔壁２２に設けた開口３０はスクリーンの下
部で幾分拡大してあり、個々の領域２４−２８内でのタ
ーゲット材料ユニットの放出帯域が重なり合うオーバラ
ップ領域３８が設けてある。
【００２２】図１は、真空４０が領域２４−２８へ個別
に適用されている状態も示している。加えて、超低温ポ
ンプ４２が各領域と連絡しており、個々の領域に正イオ
ンを供給することによって正イオンを真空チャンバ１０
に供給する。イオンはアルゴン等から供給されてもよい
。
に適用されている状態も示している。加えて、超低温ポ
ンプ４２が各領域と連絡しており、個々の領域に正イオ
ンを供給することによって正イオンを真空チャンバ１０
に供給する。イオンはアルゴン等から供給されてもよい
。
【００２３】もちろん、真空チャンバ１０は、かばあを
持つことになるし、スクリーンの装填、取り出しのため
や、ターゲット材料の交換のため、他の保守および処理
のために真空チャンバの内部にアクセスできるように多
数の構成要素を組み立てて作っても良い。
持つことになるし、スクリーンの装填、取り出しのため
や、ターゲット材料の交換のため、他の保守および処理
のために真空チャンバの内部にアクセスできるように多
数の構成要素を組み立てて作っても良い。
【００２４】図２は、主として図１に破線３６で示す帯
域内で、ターゲット材料３２とスクリーン１６の間にお
いて生じ、それによって、原子がターゲット材料からス
クリーンへ移ることが何かを概略的に示している。一層
詳しくは、ターゲット材料１２は、４６のところで、負
電圧に帯電させられている。これは任意公知の手段、た
とえば、陰極３４（図１）によって行うことができる。 円４８ａはターゲット材料３２の表面原子を表わしてい
る。２つの円４８ｂは、破線矢印５０によって示すよう
に、ターゲット材料の表面からスクリーン１６に向かっ
て放出されつつある原子を表わしている。円４８ｃはス
クリーン１６上に集まって薄いフィルム・コーティング
を形成する原子を表わしている。この時点で、図２が本
発明の概念を示しているだけであり、スクリーン１６が
細孔を有し、スクリーンの両面が薄いフィルムで被覆さ
れることは了解されたい。
域内で、ターゲット材料３２とスクリーン１６の間にお
いて生じ、それによって、原子がターゲット材料からス
クリーンへ移ることが何かを概略的に示している。一層
詳しくは、ターゲット材料１２は、４６のところで、負
電圧に帯電させられている。これは任意公知の手段、た
とえば、陰極３４（図１）によって行うことができる。 円４８ａはターゲット材料３２の表面原子を表わしてい
る。２つの円４８ｂは、破線矢印５０によって示すよう
に、ターゲット材料の表面からスクリーン１６に向かっ
て放出されつつある原子を表わしている。円４８ｃはス
クリーン１６上に集まって薄いフィルム・コーティング
を形成する原子を表わしている。この時点で、図２が本
発明の概念を示しているだけであり、スクリーン１６が
細孔を有し、スクリーンの両面が薄いフィルムで被覆さ
れることは了解されたい。
【００２５】正イオン５２が真空チャンバ１０（すなわ
ち、各領域２４−２８のポンプ４２）へ供給される。そ
れによって、本質的には、正イオンのクラウドが負帯電
のターゲット材料３２とスクリーン１６の間に浮遊する
。これら正イオンは、矢印「Ｃ」で示すように、ターゲ
ット材料３２に向かって加速される。正イオンが負帯電
のターゲット材料に衝突した際、表面原子４８ａは、４
８ｂのところで無数の方向へ放出され、移動し、最終的
に、４８ｃのところでスクリーン１６上に集まる。もし
ターゲット材料とスクリーンが化学的に適合するならば
、非常に薄いコーティングがスクリーン上にランダムに
生じ、スクリーンの細孔を縮小する。たとえば、チタン
合金スクリーンは、チタンのターゲット材料を用いて被
覆され得る。コーティングは、ターゲット材料の露出面
すなわち衝突面上方の帯域、たとえば、図１において破
線３６で概略的に示す帯域内で全方向へターゲット材料
から原子がランダムに放出することにより、コーティン
グは極めて均一となる。この原子放出システムの場合、
スクリーンの細孔におけるワイヤの側面が、ターゲット
材料に直接向いているワイヤ側面とほぼ同様に被覆され
る。全コーティングの厚さは、主として、ターゲット材
料とスクリーンの間のイオン衝突／原子放出帯域を通っ
てスクリーン・ウェブ１６を移送する速度によって左右
される。
ち、各領域２４−２８のポンプ４２）へ供給される。そ
れによって、本質的には、正イオンのクラウドが負帯電
のターゲット材料３２とスクリーン１６の間に浮遊する
。これら正イオンは、矢印「Ｃ」で示すように、ターゲ
ット材料３２に向かって加速される。正イオンが負帯電
のターゲット材料に衝突した際、表面原子４８ａは、４
８ｂのところで無数の方向へ放出され、移動し、最終的
に、４８ｃのところでスクリーン１６上に集まる。もし
ターゲット材料とスクリーンが化学的に適合するならば
、非常に薄いコーティングがスクリーン上にランダムに
生じ、スクリーンの細孔を縮小する。たとえば、チタン
合金スクリーンは、チタンのターゲット材料を用いて被
覆され得る。コーティングは、ターゲット材料の露出面
すなわち衝突面上方の帯域、たとえば、図１において破
線３６で概略的に示す帯域内で全方向へターゲット材料
から原子がランダムに放出することにより、コーティン
グは極めて均一となる。この原子放出システムの場合、
スクリーンの細孔におけるワイヤの側面が、ターゲット
材料に直接向いているワイヤ側面とほぼ同様に被覆され
る。全コーティングの厚さは、主として、ターゲット材
料とスクリーンの間のイオン衝突／原子放出帯域を通っ
てスクリーン・ウェブ１６を移送する速度によって左右
される。
【００２６】証明テストでは、７００立方フィートのオ
ーダーの真空タンクが対象であった。スクリーン・ウェ
ブのロールは、直線走行距離にして１０，０００−２０
，０００ フィートである。スクリーン・ウェブの移動
速度は、毎分１００フィートまでであり、ここで、再び
、この速度が付着したフィルムの厚さを決めることに注
目されたい。スクリーン・ウェブは６２インチほどの幅
であってもよいし、陰極／ターゲット材料組立体のサイ
ズは７４×１２インチのオーダーであり得る。真空は１
０４ ｍｍＨｇのオーダーで用いられた。超低温ポンプ
４２は３０，０００リットル／Ｈ２ Ｏで作動すること
ができる。８００本のシュート・ワイヤあたり約１６５
本のワープ・ワイヤの網目数を有する細目金網スクリー
ン１６のためのＤｕｔｃｈ ｔｗｉｌｌ は有効である
ことが証明された。２３００本のシュート・ワイヤあた
り３２５本のワープ・ワイヤの網目数を有する織成物も
有効であることが証明された。チタン用途の場合、非合
金チタンのターゲット材料３２をＡＳＴＭ−Ｂ−３４８
、 等級１について用いた。ワイヤ・ファブリックはＲ
Ｒ−Ｗ−３６０、 タイプ２、クラス２の工業タイプで
あってもよい。
ーダーの真空タンクが対象であった。スクリーン・ウェ
ブのロールは、直線走行距離にして１０，０００−２０
，０００ フィートである。スクリーン・ウェブの移動
速度は、毎分１００フィートまでであり、ここで、再び
、この速度が付着したフィルムの厚さを決めることに注
目されたい。スクリーン・ウェブは６２インチほどの幅
であってもよいし、陰極／ターゲット材料組立体のサイ
ズは７４×１２インチのオーダーであり得る。真空は１
０４ ｍｍＨｇのオーダーで用いられた。超低温ポンプ
４２は３０，０００リットル／Ｈ２ Ｏで作動すること
ができる。８００本のシュート・ワイヤあたり約１６５
本のワープ・ワイヤの網目数を有する細目金網スクリー
ン１６のためのＤｕｔｃｈ ｔｗｉｌｌ は有効である
ことが証明された。２３００本のシュート・ワイヤあた
り３２５本のワープ・ワイヤの網目数を有する織成物も
有効であることが証明された。チタン用途の場合、非合
金チタンのターゲット材料３２をＡＳＴＭ−Ｂ−３４８
、 等級１について用いた。ワイヤ・ファブリックはＲ
Ｒ−Ｗ−３６０、 タイプ２、クラス２の工業タイプで
あってもよい。
【００２７】前記のことからわかるように、細目金網ス
クリーンの細孔サイズを均一に縮小する新規で改良され
た方法は、スクリーンを貫く細孔の低減と比べて厚さす
なわち嵩高性を有意に増大させることなくスクリーンを
通過できる粒子のサイズを小さくすることができる。イ
オン衝突／原子放出プロセスは、従来のシステムの単一
方向すなわち直線付着の限界なしに、ランダムまたは非
線形方向に、スクリーン上に付着あるいは収集するよう
に原子を送る。
クリーンの細孔サイズを均一に縮小する新規で改良され
た方法は、スクリーンを貫く細孔の低減と比べて厚さす
なわち嵩高性を有意に増大させることなくスクリーンを
通過できる粒子のサイズを小さくすることができる。イ
オン衝突／原子放出プロセスは、従来のシステムの単一
方向すなわち直線付着の限界なしに、ランダムまたは非
線形方向に、スクリーン上に付着あるいは収集するよう
に原子を送る。
【００２８】本発明がその精神あるいは真髄から逸脱す
ることなく他の特殊な形態で具体化することができるこ
とは了解されたい。したがって、本実施例は、あらゆる
点で説明のためのものであって限定の意味がなく、上記
の詳しい説明の細部に限定するつもりはない。
ることなく他の特殊な形態で具体化することができるこ
とは了解されたい。したがって、本実施例は、あらゆる
点で説明のためのものであって限定の意味がなく、上記
の詳しい説明の細部に限定するつもりはない。
【図１】本発明の方法を実施するための真空チャンバお
よびそれに組み合わせた装置の概略図である。
よびそれに組み合わせた装置の概略図である。
【図２】本発明で意図した方法のイオン衝突、原子転送
を説明する図である。
を説明する図である。
１０ 真空チャンバ
１２ 供給ロール
１４ 巻取ロール
１６ 細目金網スクリーン
１８ アイドラ・ロール
２０ 位置決めロール
２２ 隔壁
２４ 領域
２６ 領域
２８ 領域
３２ ターゲット材料
Claims (30)
- 【請求項１】細目金網スクリーンの細孔サイズを均一に
縮小してスクリーンを通過できる粒子のサイズを小さく
する方法であって、前記細目金網スクリーンとターゲッ
ト材料をチャンバ内に置く段階と、ターゲット材料にイ
オンを衝突させることによってランダムにターゲット材
料から原子をスクリーンに転送させ、ターゲット材料の
表面から放出される原子がスクリーン上にランダムに集
まって薄いフィルムを形成し、スクリーンの細孔サイズ
を縮小するようにした段階とを包含することを特徴とす
る方法。 - 【請求項２】請求項１記載の方法において、前記チャン
バを真空に維持することを特徴とする方法。 - 【請求項３】請求項１記載の方法において、前記スクリ
ーンおよび前記ターゲット材料がチタンで作ってあるこ
とを特徴とする方法。 - 【請求項４】請求項１記載の方法において、前記スクリ
ーンおよび前記ターゲット材料がステンレス鋼で作って
あることを特徴とする方法。 - 【請求項５】請求項１記載の方法において、前記スクリ
ーンおよび前記ターゲット材料がアルミニウムで作って
あることを特徴とする方法。 - 【請求項６】請求項１記載の方法において、前記ターゲ
ット材料が負の電圧で帯電してあり、正の電荷のイオン
をターゲット材料との衝突に加速するようになっている
ことを特徴とする方法。 - 【請求項７】請求項１記載の方法において、前記イオン
の供給源を前記チャンバに供給する段階を包含すること
を特徴とする方法。 - 【請求項８】請求項７記載の方法において、前記イオン
が正に帯電し、前記ターゲット材料が負電圧で帯電し、
正電荷のイオンをターゲット材料との衝突に加速するよ
うになっていることを特徴とする方法。 - 【請求項９】請求項１記載の方法において、前記細目金
網スクリーンが、ターゲット材料を通って移動する連続
ウェブによってチャンバ内に設置されていることを特徴
とする方法。 - 【請求項１０】請求項９記載の方法において、細目金網
スクリーンの移動経路に沿ってチャンバ内に複数の前記
ターゲット材料のユニットを設置する段階を包含するこ
とを特徴とする方法。 - 【請求項１１】請求項１０記載の方法において、前記チ
ャンバがいくつかの領域に分割されており、前記細目金
網スクリーンがこれらの領域を通して順次に移動させら
れ、さらに、各領域にターゲット材料の少なくとも１つ
のユニットを置くことを特徴とする方法。 - 【請求項１２】請求項９記載の方法において、前記スク
リーンが移動するウェブの横方向に延びるシュート・ワ
イヤと前記ウェブの長さ方向に延びるワープ・ワイヤと
で織られており、単位面積あたりワープ・ワイヤよりも
シュート・ワイヤが多いことを特徴とする方法。 - 【請求項１３】請求項１２記載の方法において、前記ス
クリーンが８００のシュート・ワイヤあたりほぼ１６５
のワープ・ワイヤを備えることを特徴とする方法。 - 【請求項１４】細目金網スクリーンの細孔サイズを均一
に縮小してスクリーンを通過できる粒子のサイズを小さ
くする方法であって、前記細目金網スクリーンとターゲ
ット材料を真空チャンバ内に設置し、このターゲット材
料を負電圧で帯電させる段階と、ターゲット材料に正電
荷のイオンを衝突させることによってターゲット材料か
らスクリーンへ原子をランダムに移動させ、ターゲット
材料の表面から放出される原子がスクリーン上にランダ
ムに集まって薄いフィルムを形成し、スクリーンの細孔
サイズを縮小する段階とを包含することを特徴とする方
法。 - 【請求項１５】請求項１４記載の方法において、前記ス
クリーンおよび前記ターゲット材料がチタンで作ってあ
ることを特徴とする方法。 - 【請求項１６】請求項１４記載の方法において、前記ス
クリーンおよび前記ターゲット材料がステンレス鋼で作
ってあることを特徴とする方法。 - 【請求項１７】請求項１４記載の方法において、前記ス
クリーンおよび前記ターゲット材料がアルミニウムで作
ってあることを特徴とする方法。 - 【請求項１８】請求項１４記載の方法において、前記イ
オンが正に帯電しており、前記ターゲット材料が負の電
圧で帯電させてあり、正電荷のイオンをターゲット材料
との衝突に加速することを特徴とする方法。 - 【請求項１９】請求項１８記載の方法において、前記チ
ャンバに前記イオンの供給源を供給することを特徴とす
る方法。 - 【請求項２０】請求項１４記載の方法において、前記細
目金網スクリーンが、ターゲット材料を通って移動する
連続ウェブによってチャンバ内に設置されていることを
特徴とする方法。 - 【請求項２１】請求項２０記載の方法において、細目金
網スクリーンの移動経路に沿ってチャンバ内に複数のタ
ーゲット材料ユニットを設置する段階を包含することを
特徴とする方法。 - 【請求項２２】請求項２１記載の方法において、前記チ
ャンバがいくつかの領域に分割されており、前記細目金
網スクリーンがこれらの領域を通して順次に動かされ、
各領域に少なくとも１つのターゲット材料ユニットを設
置することを特徴とする方法。 - 【請求項２３】細目金網スクリーンの細孔サイズを均一
に縮小してこのスクリーンを通ることのできる粒子のサ
イズを小さくする方法であって、前記細目金網スクリー
ンの連続ウェブとターゲット材料を真空チャンバ内に設
置する段階と、ターゲット材料を負の電圧で帯電する段
階と、前記チャンバに正のイオンの供給源を供給する段
階と、細目金網スクリーンの連続ウェブをターゲット材
料を通して移動させ、負荷電のターゲット材料に正イオ
ンを衝突させることによってターゲット材料からの原子
をランダムにスクリーンに移動させ、ターゲット材料の
表面から放出される原子をスクリーン上にランダムに集
めて薄いフィルム・コーティングを形成し、スクリーン
の細孔サイズを縮小する段階とを包含することを特徴と
する方法。 - 【請求項２４】請求項２３記載の方法において、前記ス
クリーンおよび前記ターゲット材料がチタンで作ってあ
ることを特徴とする方法。 - 【請求項２５】請求項２３記載の方法において、前記ス
クリーンおよび前記ターゲット材料がステンレス鋼で作
ってあることを特徴とする方法。 - 【請求項２６】請求項２３記載の方法において、前記ス
クリーンおよび前記ターゲット材料がアルミニウムで作
ってあることを特徴とする方法。 - 【請求項２７】請求項２７記載の方法において、細目金
網スクリーンの移動経路に沿ってチャンバ内に複数のタ
ーゲット材料ユニットを設置する段階を包含することを
特徴とする方法。 - 【請求項２８】請求項２７記載の方法において、前記チ
ャンバがいくつかの領域に分割されており、前記細目金
網スクリーンがこれらの領域を通して順次に動かされ、
各領域に少なくとも１つのターゲット材料ユニットを設
置することを特徴とする方法。 - 【請求項２９】細目金網スクリーンの細孔サイズを均一
に縮小してこのスクリーンを通ることのできる粒子のサ
イズを小さくする方法であって、細目金網スクリーンを
ターゲット材料に露出させ、ターゲット材料からスクリ
ーンに原子をランダムに移動させてスクリーン上に薄い
フィルム・コーティングを形成し、スクリーンの細孔の
サイズを縮小することを特徴とする方法。 - 【請求項３０】請求項２９記載の方法において、前記タ
ーゲット材料にイオンを衝突させて、ターゲット材料の
表面から放出される原子をスクリーンに向かって放射さ
せることを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US623686 | 1984-06-22 | ||
| US62368690A | 1990-12-07 | 1990-12-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04246171A true JPH04246171A (ja) | 1992-09-02 |
Family
ID=24499026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25018491A Withdrawn JPH04246171A (ja) | 1990-12-07 | 1991-09-04 | 細目金網スクリーンの細孔サイズを縮小する方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0490469A1 (ja) |
| JP (1) | JPH04246171A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115716157B (zh) * | 2022-11-09 | 2025-10-28 | 上海空间推进研究所 | 板网异种金属的连接方法和表面张力贮箱 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4474659A (en) * | 1982-05-28 | 1984-10-02 | Fazal Fazlin | Plated-through-hole method |
| FR2558485B1 (fr) * | 1984-01-25 | 1990-07-13 | Rech Applic Electrochimique | Structure metallique poreuse, son procede de fabrication et applications |
| DE3515025A1 (de) * | 1985-04-25 | 1986-10-30 | Altenburger Electronic Gmbh, 7633 Seelbach | Verfahren zur herstellung eines filters mit poren von vorbestimmter und etwa gleicher mikrogroesse sowie nach diesem verfahren hergestelltes filter |
| EP0392082B1 (en) * | 1989-04-14 | 1996-01-31 | Katayama Special Industries, Ltd. | Method for manufacturing a metallic porous sheet |
-
1991
- 1991-09-04 JP JP25018491A patent/JPH04246171A/ja not_active Withdrawn
- 1991-09-18 EP EP91308488A patent/EP0490469A1/en not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0490469A1 (en) | 1992-06-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981203 |