JPH04249271A - 電子写真装置の露光方法 - Google Patents
電子写真装置の露光方法Info
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- JPH04249271A JPH04249271A JP1533991A JP1533991A JPH04249271A JP H04249271 A JPH04249271 A JP H04249271A JP 1533991 A JP1533991 A JP 1533991A JP 1533991 A JP1533991 A JP 1533991A JP H04249271 A JPH04249271 A JP H04249271A
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- Discharging, Photosensitive Material Shape In Electrophotography (AREA)
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、感光体上で非画像部に
対応する部分の帯電電荷を除去するための光(以下、ブ
ランク露光という。)が照射した部分とブランク露光が
照射していない部分、すなわち、画像部とに対応して生
じる電子写真画像上での濃度むらを軽減する電子写真装
置の露光方法に関する。
対応する部分の帯電電荷を除去するための光(以下、ブ
ランク露光という。)が照射した部分とブランク露光が
照射していない部分、すなわち、画像部とに対応して生
じる電子写真画像上での濃度むらを軽減する電子写真装
置の露光方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、電子写真感光体の感光層には
、ポリビニルカルバゾール等の有機半導体を使用した単
層型または積層型の有機光導電性材料が広く使用されて
いる。
、ポリビニルカルバゾール等の有機半導体を使用した単
層型または積層型の有機光導電性材料が広く使用されて
いる。
【0003】しかし、近年、機械的耐久性、耐熱性、耐
湿性、耐コロナイオン性、感度等に優れ、さらに毒性も
ない非結晶シリコン(以下、a−Siという。)半導体
を光導電性材料として使用した電子写真感光体の開発が
盛んに行なわれ、実用化されている。こうしたa−Si
感光体を用いた複写装置および画像形成プロセスは、概
略以下のとおりのものである。
湿性、耐コロナイオン性、感度等に優れ、さらに毒性も
ない非結晶シリコン(以下、a−Siという。)半導体
を光導電性材料として使用した電子写真感光体の開発が
盛んに行なわれ、実用化されている。こうしたa−Si
感光体を用いた複写装置および画像形成プロセスは、概
略以下のとおりのものである。
【0004】図2はa−Si系感光体を用いた複写機の
画像形成プロセスを示す概略図である。
画像形成プロセスを示す概略図である。
【0005】すなわち、矢印Xの方向に回転し、感光体
ヒータ230により45℃程度に加温された感光体20
1の周辺には、主帯電器202、静電潜像形成部位20
3、現像器204、転写紙供給送系205、転写帯電器
206a、分離帯電器206b、クリーナ207、搬送
系208、除電光源209などが配置されている。
ヒータ230により45℃程度に加温された感光体20
1の周辺には、主帯電器202、静電潜像形成部位20
3、現像器204、転写紙供給送系205、転写帯電器
206a、分離帯電器206b、クリーナ207、搬送
系208、除電光源209などが配置されている。
【0006】以下、一例をもって画像プロセスを説明す
ると、感光体201の表面感光層は+6〜8KVの高電
圧を印加した主帯電器202によって一様に帯電され、
これに150〜300Wのハロゲンランプ等の光源21
0により発した光をプラテンガラス211上に照射し、
その反射光をミラー系213,214,215,216
、フィルタ218を内蔵したレンズ系217を介して感
光体表面上に導き、投影されて静電潜像が形成され、こ
の潜像に現像器204からネガ極性トナーが供給されて
トナー像となる。
ると、感光体201の表面感光層は+6〜8KVの高電
圧を印加した主帯電器202によって一様に帯電され、
これに150〜300Wのハロゲンランプ等の光源21
0により発した光をプラテンガラス211上に照射し、
その反射光をミラー系213,214,215,216
、フィルタ218を内蔵したレンズ系217を介して感
光体表面上に導き、投影されて静電潜像が形成され、こ
の潜像に現像器204からネガ極性トナーが供給されて
トナー像となる。
【0007】一方、転写紙通路219、レジストローラ
222からなる転写紙供給系205を通って感光体方向
に供給された転写材Pは+7〜8KVの高電圧を印加し
た転写帯電器206aと感光体201の間隙において背
面から、トナーとは反対極性の正電界が与えられ、これ
によって感光体201の表面のネガ極性トナー像は転写
材Pに転移する。
222からなる転写紙供給系205を通って感光体方向
に供給された転写材Pは+7〜8KVの高電圧を印加し
た転写帯電器206aと感光体201の間隙において背
面から、トナーとは反対極性の正電界が与えられ、これ
によって感光体201の表面のネガ極性トナー像は転写
材Pに転移する。
【0008】分離された転写材Pは、転写紙搬送系20
8を通って図示されていない定着装置に至ってトナー像
は定着されて装置外に排出される。また感光体201上
の非画像域には、ブランク露光光源223からブランク
露光が与えらえ、感光体201上の電荷を除電し、トナ
ーの転写を防ぐ。
8を通って図示されていない定着装置に至ってトナー像
は定着されて装置外に排出される。また感光体201上
の非画像域には、ブランク露光光源223からブランク
露光が与えらえ、感光体201上の電荷を除電し、トナ
ーの転写を防ぐ。
【0009】なお転写部位に至って転写に寄与せず、感
光体表面に残る残留トナーは、クリーナ207に至り、
クリーニングブレード221によってクリーニングされ
る。
光体表面に残る残留トナーは、クリーナ207に至り、
クリーニングブレード221によってクリーニングされ
る。
【0010】上記クリーニングによって更新された感光
体表面は、さらに、除電光源209から全面に一様な除
電露光を与えられて再び同様のサイクルに供せられる。
体表面は、さらに、除電光源209から全面に一様な除
電露光を与えられて再び同様のサイクルに供せられる。
【0011】電子写真における感光体の帯電手段機器と
しては均一な帯電性に優れるコロナ放電器(コロトロン
、スコトロン)が広く利用されている。
しては均一な帯電性に優れるコロナ放電器(コロトロン
、スコトロン)が広く利用されている。
【0012】しかし、コロナ放電器はコロナ放電に伴な
い、オゾンの発生をみる。発生オゾンは空気中の窒素を
酸化して窒素酸化物等を生成する。さらには、その生成
窒素酸化物等は空気中の水分と反応して硝酸などを生じ
させる。
い、オゾンの発生をみる。発生オゾンは空気中の窒素を
酸化して窒素酸化物等を生成する。さらには、その生成
窒素酸化物等は空気中の水分と反応して硝酸などを生じ
させる。
【0013】コロナ生成物は吸湿性が強く、その付着を
生じた像担持体面は付着コロナ生成物の吸湿による低抵
抗化によって表面の電荷保持能力(表面抵抗)が全面的
にあるいは部分的に実質的に低下した状態になりやすく
、その結果として出力画像の画像ぼけや、いわゆる画像
流れ、つまり、像担持体面の電荷が面方向に移動(リー
ク)して静電荷潜像パターンが崩れるかあるいは形成さ
れない等の現象をみる。
生じた像担持体面は付着コロナ生成物の吸湿による低抵
抗化によって表面の電荷保持能力(表面抵抗)が全面的
にあるいは部分的に実質的に低下した状態になりやすく
、その結果として出力画像の画像ぼけや、いわゆる画像
流れ、つまり、像担持体面の電荷が面方向に移動(リー
ク)して静電荷潜像パターンが崩れるかあるいは形成さ
れない等の現象をみる。
【0014】このような画像流れを防止するために、感
光体の内面に加熱ヒータを設けることにより、感光体表
面を加温ないし加熱して乾燥状態に保たせることにより
付着コロナ生成物の吸湿による感光体面の実質的な低抵
抗化を制御する。
光体の内面に加熱ヒータを設けることにより、感光体表
面を加温ないし加熱して乾燥状態に保たせることにより
付着コロナ生成物の吸湿による感光体面の実質的な低抵
抗化を制御する。
【0015】いま、代表的なa−Si感光体の模式的な
断面図を図3に示す。図3(a)は最も基本的な構成を
示すものである。同図において、301はAl(アルミ
ニウム)等の導電性支持体を示している。302は少な
くともシリコン原子を含む非晶質材料で構成され、光導
電性を示す光導電層である。303はシリコン原子と炭
素原子および必要により水素原子またはハロゲン原子あ
るいはその両方の原子を含み、顕像を保持する能力を持
つ顕像保持層である。
断面図を図3に示す。図3(a)は最も基本的な構成を
示すものである。同図において、301はAl(アルミ
ニウム)等の導電性支持体を示している。302は少な
くともシリコン原子を含む非晶質材料で構成され、光導
電性を示す光導電層である。303はシリコン原子と炭
素原子および必要により水素原子またはハロゲン原子あ
るいはその両方の原子を含み、顕像を保持する能力を持
つ顕像保持層である。
【0016】図3(b)は感光体の好ましい態様を示す
もので、同図において、304は前記導電性支持体30
1と光導電層302の間に必要に応じて設けられ、導電
性支持体301からの電荷の注入を阻止するための電荷
注入阻止層である。
もので、同図において、304は前記導電性支持体30
1と光導電層302の間に必要に応じて設けられ、導電
性支持体301からの電荷の注入を阻止するための電荷
注入阻止層である。
【0017】光導電層302はシリコン原子を含有する
非晶質材料を母体とし、必要により水素原子またはハロ
ゲン原子あるいはその両方の原子を含有し、さらには、
必要に応じて周期律第III族に属する原子(以下、第
III族原子という。)、周期律表第V族に属する原子
(以下、第V族原子という。)および周期律第VI族に
属する原子(以下、第VI族原子という。)のうち、少
なくとも一種を含有してもよい。
非晶質材料を母体とし、必要により水素原子またはハロ
ゲン原子あるいはその両方の原子を含有し、さらには、
必要に応じて周期律第III族に属する原子(以下、第
III族原子という。)、周期律表第V族に属する原子
(以下、第V族原子という。)および周期律第VI族に
属する原子(以下、第VI族原子という。)のうち、少
なくとも一種を含有してもよい。
【0018】光導電層302に含有される水素原子また
はハロゲン原子あるいはその両方の原子の含有量は0.
1〜40原子%とされるのが望ましい。さらに、炭素原
子を含有してもよく、炭素原子の含有量はシリコン原子
と炭素原子の和に対してその上限が100原子ppm以
下とされるのが好ましい。また光導電層302の層厚は
1〜100μmとされるのが望ましい。
はハロゲン原子あるいはその両方の原子の含有量は0.
1〜40原子%とされるのが望ましい。さらに、炭素原
子を含有してもよく、炭素原子の含有量はシリコン原子
と炭素原子の和に対してその上限が100原子ppm以
下とされるのが好ましい。また光導電層302の層厚は
1〜100μmとされるのが望ましい。
【0019】顕像保持層303はシリコン原子と炭素原
子および必要により水素原子またはハロゲン原子あるい
はその両方の原子を含有し、さらには、必要に応じてゲ
ルマニウム原子、すず原子、第III 族原子、第V族
原子および第VI原子のうちの少なくとも一種を含有し
てもよい。顕像保持層303に含有される炭素原子の含
有量は1〜90原子%とされるのが望ましく、また水素
原子またはハロゲン原子あるいはその両方の原子の含有
量は0.1〜70原子ppmとされるのが望ましい。
子および必要により水素原子またはハロゲン原子あるい
はその両方の原子を含有し、さらには、必要に応じてゲ
ルマニウム原子、すず原子、第III 族原子、第V族
原子および第VI原子のうちの少なくとも一種を含有し
てもよい。顕像保持層303に含有される炭素原子の含
有量は1〜90原子%とされるのが望ましく、また水素
原子またはハロゲン原子あるいはその両方の原子の含有
量は0.1〜70原子ppmとされるのが望ましい。
【0020】必要に応じて設ける電荷注入阻止層304
はa−Siを母体とし、必要により水素原子またはハロ
ゲン原子あるいはその両方の原子を含有し、さらには必
要に応じて炭素原子、第III族原子、第V族原子、お
よび第VI族原子のうち、少なくとも一種を含有し、ま
た電荷注入阻止層306の層厚は3×10−2〜15μ
mとされるのが望ましい。
はa−Siを母体とし、必要により水素原子またはハロ
ゲン原子あるいはその両方の原子を含有し、さらには必
要に応じて炭素原子、第III族原子、第V族原子、お
よび第VI族原子のうち、少なくとも一種を含有し、ま
た電荷注入阻止層306の層厚は3×10−2〜15μ
mとされるのが望ましい。
【0021】前記第III族原子としては、具体的には
B(ほう素)、Al(アルミニウム)、Ga(ガリウム
)、In(インジウム)、Tl(タリウム)等があり、
とくに、B、Al、Gaが好適である。
B(ほう素)、Al(アルミニウム)、Ga(ガリウム
)、In(インジウム)、Tl(タリウム)等があり、
とくに、B、Al、Gaが好適である。
【0022】前記第V族原子としては、具体的には、N
(窒素)、P(りん)、As(ひ素)、Sb(アンチモ
ン)、Bi(ビスマス)等があり、とくに、N、P、A
sが好適である。
(窒素)、P(りん)、As(ひ素)、Sb(アンチモ
ン)、Bi(ビスマス)等があり、とくに、N、P、A
sが好適である。
【0023】前記第VI族原子としては、具体的には、
O(酸素)、S(硫黄)、Se(セレン)、Te(テル
ル)、Po(ポロニウム)等があり、とくに、O、S、
Seが好適である。
O(酸素)、S(硫黄)、Se(セレン)、Te(テル
ル)、Po(ポロニウム)等があり、とくに、O、S、
Seが好適である。
【0024】また感光体は、真空堆積膜形成方法によっ
て所望特性が得られるように適宜成膜パラメータの数値
条件を設定して作成される。
て所望特性が得られるように適宜成膜パラメータの数値
条件を設定して作成される。
【0025】前記真空堆積膜形成方法としては、具体的
には、たとえば、クロー放電法(低周波プラズマCVD
、高周波プラズマCVD、またはマイクロ波プラズマC
VD等の交流放電プラズマCVD、あるいは直流放電プ
ラズマCVD等)、スパッタリング法、光CVD法、真
空蒸着法、インオンプレーティング法、材料の原料ガス
を分解することにより生成される活性種Aと、該活性種
Aと化学的相互作用をする成膜用の化学物質より生成さ
れる活性種Bとを、各々別々に堆積膜を形するための成
膜空間内に導入し、これらを化学反応させることによっ
て材料を形成する方法(以下、FOCVD法という。)
等の方法が適宜選択使用できる。
には、たとえば、クロー放電法(低周波プラズマCVD
、高周波プラズマCVD、またはマイクロ波プラズマC
VD等の交流放電プラズマCVD、あるいは直流放電プ
ラズマCVD等)、スパッタリング法、光CVD法、真
空蒸着法、インオンプレーティング法、材料の原料ガス
を分解することにより生成される活性種Aと、該活性種
Aと化学的相互作用をする成膜用の化学物質より生成さ
れる活性種Bとを、各々別々に堆積膜を形するための成
膜空間内に導入し、これらを化学反応させることによっ
て材料を形成する方法(以下、FOCVD法という。)
等の方法が適宜選択使用できる。
【0026】これらの真空堆積膜形成方法は、製造条件
、設備資本投資下の負荷程度、製造規模、作成される感
光体に所望される特性等によって適宜選択されて採用さ
れるが、所望の特性を有する感光体を製造するためにあ
たっての条件の制御が比較的容易に行ない得ることから
、グロー放電法、スパッタリング法、HRCVD法、F
OCVD法が好適である。そして、これらの方法を同一
装置内で併用して形成してもよい。
、設備資本投資下の負荷程度、製造規模、作成される感
光体に所望される特性等によって適宜選択されて採用さ
れるが、所望の特性を有する感光体を製造するためにあ
たっての条件の制御が比較的容易に行ない得ることから
、グロー放電法、スパッタリング法、HRCVD法、F
OCVD法が好適である。そして、これらの方法を同一
装置内で併用して形成してもよい。
【0027】図4は感光体の形成を行なう際の堆積膜形
成装置の1つである高周波(以下、RFという。)プラ
ズマCVD装置の一例を示している。
成装置の1つである高周波(以下、RFという。)プラ
ズマCVD装置の一例を示している。
【0028】同図のガスボンベ471,472,473
,474,475,476,477には、感光体を形成
するための原料ガス、たとえば、各々SiH4 ,H2
,CH4 ,B2 H6 ,NO,Ar等が密封され
ており、あらかじめ、ガスボンベ471〜477を取り
付ける際に、各々のガスを、バルブ451,452,4
53,454,455,456,457から流入バルブ
431,432,433,434,435,436,4
37のガス配管内に導入してある。
,474,475,476,477には、感光体を形成
するための原料ガス、たとえば、各々SiH4 ,H2
,CH4 ,B2 H6 ,NO,Ar等が密封され
ており、あらかじめ、ガスボンベ471〜477を取り
付ける際に、各々のガスを、バルブ451,452,4
53,454,455,456,457から流入バルブ
431,432,433,434,435,436,4
37のガス配管内に導入してある。
【0029】同図の405は支持体、406は支持体ホ
ルダであり、414は該支持体405を加熱するための
ヒータである。
ルダであり、414は該支持体405を加熱するための
ヒータである。
【0030】まず、たとえば、表面に旋盤を用いて鏡面
加工を施した支持体405を支持体ホルダ405に挿入
し、成膜炉401の上蓋407を開けて、成膜炉401
の加熱ヒータ414に支持体ホルダ406を挿入する。
加工を施した支持体405を支持体ホルダ405に挿入
し、成膜炉401の上蓋407を開けて、成膜炉401
の加熱ヒータ414に支持体ホルダ406を挿入する。
【0031】つぎに、ガスボンベ471〜477のバル
ブ451〜457、流入バルブ431〜437、成膜炉
401のリークバルブ415が閉じられていることを確
認し、また流出バルブ441,442,443,444
,445,446,447,補助バルブ418が開かれ
ていることを確認して、まず、メインバルブ416を開
いて不図示の真空ポンプにより、成膜炉401およびガ
ス配管内を排気する。
ブ451〜457、流入バルブ431〜437、成膜炉
401のリークバルブ415が閉じられていることを確
認し、また流出バルブ441,442,443,444
,445,446,447,補助バルブ418が開かれ
ていることを確認して、まず、メインバルブ416を開
いて不図示の真空ポンプにより、成膜炉401およびガ
ス配管内を排気する。
【0032】その後、ガスボンベ471〜477から各
々のガスを、バルブ451〜457を開けて導入し、圧
力調整器461,462,463,464,465,4
66,467により各ガス圧力を所望の圧力に調整する
。
々のガスを、バルブ451〜457を開けて導入し、圧
力調整器461,462,463,464,465,4
66,467により各ガス圧力を所望の圧力に調整する
。
【0033】つぎに、流入バルブ4431〜437を徐
々に開けて、以上の各ガスをマスフローコントローラ4
21,422,423,424,425,426,42
7内に導入する。
々に開けて、以上の各ガスをマスフローコントローラ4
21,422,423,424,425,426,42
7内に導入する。
【0034】そして、流出バルブ447および補助バル
ブ418を徐々に開いてArガスをガス導入管408の
ガス放出孔409を通じて成膜炉401内に流入させる
。このとき、Arガス流量が所望の流量となるようにマ
スフローコントローラ427で調整する。
ブ418を徐々に開いてArガスをガス導入管408の
ガス放出孔409を通じて成膜炉401内に流入させる
。このとき、Arガス流量が所望の流量となるようにマ
スフローコントローラ427で調整する。
【0035】成膜炉401内の圧力は、所望の圧力にな
るようになるように真空計417を見ながら、不図示の
真空排気装置の排気速度を調整する。その後、不図示の
温度コントローラを作動させて、支持体405を加熱ヒ
ータ414により加熱し、支持体405が所望の温度に
加熱されたところで、流出バルブ447および補助バル
ブ418を閉じて、成膜炉401内へのガス流入を止め
る。
るようになるように真空計417を見ながら、不図示の
真空排気装置の排気速度を調整する。その後、不図示の
温度コントローラを作動させて、支持体405を加熱ヒ
ータ414により加熱し、支持体405が所望の温度に
加熱されたところで、流出バルブ447および補助バル
ブ418を閉じて、成膜炉401内へのガス流入を止め
る。
【0036】つぎに、各々の層を形成するのに必要な原
料ガスの流出バルブ441〜447と補助バルブ418
を徐々に開いて、原料ガスを導入管408のガス放出孔
409を通じて成膜炉401内に流入させる。このとき
、各原料ガスの流量が所望の流量となるように各々のマ
スフローコントローラ421〜427で調整する。成膜
炉401内の圧力は、所望の圧力となるように真空計4
17を見ながら、不図示の真空排気装置の排気速度を調
整する。
料ガスの流出バルブ441〜447と補助バルブ418
を徐々に開いて、原料ガスを導入管408のガス放出孔
409を通じて成膜炉401内に流入させる。このとき
、各原料ガスの流量が所望の流量となるように各々のマ
スフローコントローラ421〜427で調整する。成膜
炉401内の圧力は、所望の圧力となるように真空計4
17を見ながら、不図示の真空排気装置の排気速度を調
整する。
【0037】その後、不図示のRF電源の電力を所望の
電力に設定し、高周波マッチングボックス412を通じ
て成膜炉401内にRF電力を導入し、RFグロー放電
を生起させ、支持体405上またはすでに成膜した層上
に所望の層の形成を開始し、所望の層厚を形成したとこ
ろで、RFグロー放電を止め、また流出バルブ441〜
447および補助バルブ418を閉じて、成膜炉401
内へのガス流入を止め、層の形成を終える。
電力に設定し、高周波マッチングボックス412を通じ
て成膜炉401内にRF電力を導入し、RFグロー放電
を生起させ、支持体405上またはすでに成膜した層上
に所望の層の形成を開始し、所望の層厚を形成したとこ
ろで、RFグロー放電を止め、また流出バルブ441〜
447および補助バルブ418を閉じて、成膜炉401
内へのガス流入を止め、層の形成を終える。
【0038】それぞれの層を形成する際に必要なガス以
外の流出バルブは完全に閉じられており、またそれぞれ
のガスが成膜炉401に至る配管内に残留することを避
けるために流出バルブ441〜447を閉じ、補助バル
ブ418を開き、さらにメインバルブ416を全開にし
て系内を、いったん、高真空に排気する操作を必要に応
じて行なう。
外の流出バルブは完全に閉じられており、またそれぞれ
のガスが成膜炉401に至る配管内に残留することを避
けるために流出バルブ441〜447を閉じ、補助バル
ブ418を開き、さらにメインバルブ416を全開にし
て系内を、いったん、高真空に排気する操作を必要に応
じて行なう。
【0039】また必要に応じて、層形成を行なっている
間に層形成の均一化を図るために、支持体405および
支持体ホルダ406を不図示の駆動装置によって所望さ
れる速度で回転させる。
間に層形成の均一化を図るために、支持体405および
支持体ホルダ406を不図示の駆動装置によって所望さ
れる速度で回転させる。
【0040】図5および図6は感光体の形成を行なう際
の堆積膜形成装置のもう1つのマイクロ波プラズマCV
D装置の一例を示している。
の堆積膜形成装置のもう1つのマイクロ波プラズマCV
D装置の一例を示している。
【0041】そして、図は概略縦断面図、図6は図5の
切断線B−Bに沿う概略横断面図である。
切断線B−Bに沿う概略横断面図である。
【0042】円筒形状の反応容器501の側面には排気
管504が一体的に形成され、排気管504の他端は不
図示の排気装置に接続されている。反応容器501の上
面と下面にはそれぞれ導波管503が取り付けられ、各
導波管503の他端は不図示のマイクロ波電源に接続さ
れている。各導波管503の反応容器501側の端部に
はそれぞれ誘電体窓502が気密封止めされている。
管504が一体的に形成され、排気管504の他端は不
図示の排気装置に接続されている。反応容器501の上
面と下面にはそれぞれ導波管503が取り付けられ、各
導波管503の他端は不図示のマイクロ波電源に接続さ
れている。各導波管503の反応容器501側の端部に
はそれぞれ誘電体窓502が気密封止めされている。
【0043】反応容器501の中心部を切り囲むように
、堆積膜の形成される6個の円筒状基体505が互いに
並行になるように配置されている。各円筒状基体505
は回転軸508によって保持され、発熱体507によっ
て加熱されるようになっている。モータ509を駆動す
ると、減速ギア510を介して回転軸508が回転し、
円筒状基体505がその母線方向中心軸のまわりを自転
するようになっている。
、堆積膜の形成される6個の円筒状基体505が互いに
並行になるように配置されている。各円筒状基体505
は回転軸508によって保持され、発熱体507によっ
て加熱されるようになっている。モータ509を駆動す
ると、減速ギア510を介して回転軸508が回転し、
円筒状基体505がその母線方向中心軸のまわりを自転
するようになっている。
【0044】反応容器501内の円筒状基体505と各
誘電体窓502で囲まれた空間があり、この空間、つま
り、放電空間506のほぼ中央部に円筒状基体505と
並行になるようにバイアス電極552が設けられている
。バイアス電極552はケーブル513によってバイア
ス電源512に接続されている。また隣接する2個の円
筒状基体505の間の隙間には、それぞれ原料ガス導入
管551が設けられている。原料ガス導入管551は、
くし状の形状であり、原料ガスを放電空間506に導入
するようになっている。
誘電体窓502で囲まれた空間があり、この空間、つま
り、放電空間506のほぼ中央部に円筒状基体505と
並行になるようにバイアス電極552が設けられている
。バイアス電極552はケーブル513によってバイア
ス電源512に接続されている。また隣接する2個の円
筒状基体505の間の隙間には、それぞれ原料ガス導入
管551が設けられている。原料ガス導入管551は、
くし状の形状であり、原料ガスを放電空間506に導入
するようになっている。
【0045】この装置を用いて電子写真用感光体を作成
するときは、まず、反応容器501内を10−7以下ま
で排気し、ついで、発熱体507により円筒状基体50
5を所望の温度に加熱保持する。
するときは、まず、反応容器501内を10−7以下ま
で排気し、ついで、発熱体507により円筒状基体50
5を所望の温度に加熱保持する。
【0046】そして、原料ガス導入管551を介して、
原料ガスを反応容器501内に導入する。これと同時並
行的に周波数500MHz以上の好ましくは2.45G
Hzのマイクロ波を導波管503、誘電体窓502を経
て反応容器501内に入射させる。その結果、放電空間
506においてグロー放電が開始し、原料ガスは励起解
離して円筒状基体505上に堆積膜が形成される。
原料ガスを反応容器501内に導入する。これと同時並
行的に周波数500MHz以上の好ましくは2.45G
Hzのマイクロ波を導波管503、誘電体窓502を経
て反応容器501内に入射させる。その結果、放電空間
506においてグロー放電が開始し、原料ガスは励起解
離して円筒状基体505上に堆積膜が形成される。
【0047】このとき、モータ509を駆動して円筒状
基体505を自転させることにより、円筒状基体505
の全周にわたって堆積膜を形成することができる。
基体505を自転させることにより、円筒状基体505
の全周にわたって堆積膜を形成することができる。
【0048】
【発明が解決しようとする課題】電子写真装置、すなわ
ち、複写機の出現により、きわめて用意に書類の複写が
可能となり、また複写機の性能向上、コピーコストの低
減といった要因も加わり、一般事務用、官公庁の証明書
類、申請書類、また書籍、会議資料、ちらし、ビラ類に
至るまで、複写物(コピー)の需要は大きく伸び、もは
や無くてはならないものとなっている。
ち、複写機の出現により、きわめて用意に書類の複写が
可能となり、また複写機の性能向上、コピーコストの低
減といった要因も加わり、一般事務用、官公庁の証明書
類、申請書類、また書籍、会議資料、ちらし、ビラ類に
至るまで、複写物(コピー)の需要は大きく伸び、もは
や無くてはならないものとなっている。
【0049】現在、全世界で年間1兆枚ものコピーがと
られており、今後も6%程度の伸びを示すものと考えら
れている。
られており、今後も6%程度の伸びを示すものと考えら
れている。
【0050】官公庁はじめ、各企業や商店等も、コピー
量の増大に対し、ペーパーレス化を図り、一方、事務機
業界もペーパーレス化を提唱し、さまざまな機器を上市
してきたが、現在も前述のように、総複写枚数は増加の
一途をたどっている。
量の増大に対し、ペーパーレス化を図り、一方、事務機
業界もペーパーレス化を提唱し、さまざまな機器を上市
してきたが、現在も前述のように、総複写枚数は増加の
一途をたどっている。
【0051】前記従来方法によっても良好な電子写真画
像が得られるが、上記のような状況下で電子写真画像に
は、より一層の高画質化、低コスト化が求められている
。
像が得られるが、上記のような状況下で電子写真画像に
は、より一層の高画質化、低コスト化が求められている
。
【0052】前記従来法において、高画質化、低コスト
化にむけて改善の余地が残されているものとして、感光
体上のブランク露光照射部(非画像部)と非照射部(画
像部)に対応して電子写真画像上で生じる濃度むらが挙
げられる。
化にむけて改善の余地が残されているものとして、感光
体上のブランク露光照射部(非画像部)と非照射部(画
像部)に対応して電子写真画像上で生じる濃度むらが挙
げられる。
【0053】この濃度むらはブランク露光が照射した部
分で光キャリアが生成し、感光体膜中の局在準位に捕獲
(トラップ)されたキャリアが残り、潜像形成工程の帯
電による表面電位にブランク露光が照射しなかった部分
との差が光メモリとして生ずることによる。また根本原
因はa−Si感光体がダングリングボンド(未結合手)
を有していることにあり、これが局在準位となって光キ
ャリアの一部を補足してその走行性を低下させ、あるい
は光生成キャリアの再結合確率を低下させる。光キャリ
アの一部は次工程の帯電時に感光体に電界が掛かると同
時に局在準位から開放され、露光部と非露光部で感光体
表面電位に差が生じて(光メモリ)、これが最終的に画
像濃度むらとなって現われる。
分で光キャリアが生成し、感光体膜中の局在準位に捕獲
(トラップ)されたキャリアが残り、潜像形成工程の帯
電による表面電位にブランク露光が照射しなかった部分
との差が光メモリとして生ずることによる。また根本原
因はa−Si感光体がダングリングボンド(未結合手)
を有していることにあり、これが局在準位となって光キ
ャリアの一部を補足してその走行性を低下させ、あるい
は光生成キャリアの再結合確率を低下させる。光キャリ
アの一部は次工程の帯電時に感光体に電界が掛かると同
時に局在準位から開放され、露光部と非露光部で感光体
表面電位に差が生じて(光メモリ)、これが最終的に画
像濃度むらとなって現われる。
【0054】この光メモリ(以下、ブランクメモリとい
う。)を除電工程において均一に露光を行なうことによ
り、感光体内部に潜在するキャリアを過多にし、全面均
一になるようにして、消去することが一般的である。こ
の光量を増やすことより、ある程度まではブランクメモ
リを消去することが可能である。
う。)を除電工程において均一に露光を行なうことによ
り、感光体内部に潜在するキャリアを過多にし、全面均
一になるようにして、消去することが一般的である。こ
の光量を増やすことより、ある程度まではブランクメモ
リを消去することが可能である。
【0055】しかし、この除電光をあまり強くしすぎる
と、感光体内部に潜在する過多となったキャリアが、再
結合するまえに、主帯電工程に突入し、帯電能率を著し
く低下させるといった弊害がある。すなわち、帯電工程
においては、初期はキャリアの再結合過程であり、つい
で表面電位の上昇工程といったステップを踏むため、帯
電工程直前の感光体内のキャリア量がその後の表面電位
上昇の工程、すなわち、帯電能に大きく影響する。この
ため、除電光はある程度以上は強くすることはできなか
った。
と、感光体内部に潜在する過多となったキャリアが、再
結合するまえに、主帯電工程に突入し、帯電能率を著し
く低下させるといった弊害がある。すなわち、帯電工程
においては、初期はキャリアの再結合過程であり、つい
で表面電位の上昇工程といったステップを踏むため、帯
電工程直前の感光体内のキャリア量がその後の表面電位
上昇の工程、すなわち、帯電能に大きく影響する。この
ため、除電光はある程度以上は強くすることはできなか
った。
【0056】そこで、従来は、帯電能に大きな影響を及
ぼさない範囲で除電光を全面に均一に照射していたが、
この方法では、感光体上で、ブランク露光が照射された
部分のほうが照射されていない部分よりも、局在準位に
トラップされるキャリアの数が多く、この差が濃度むら
として現われてしまうという問題点があった。
ぼさない範囲で除電光を全面に均一に照射していたが、
この方法では、感光体上で、ブランク露光が照射された
部分のほうが照射されていない部分よりも、局在準位に
トラップされるキャリアの数が多く、この差が濃度むら
として現われてしまうという問題点があった。
【0057】上記のブランクメモリは各種条件、たとえ
ば、除電光の光量や、感光体の構成、特性等によってそ
の現われる強さが異なる。したがって、従来は、ブラン
クメモリを抑えるために、除電光の光量や感光体の特性
を厳密に検査し、ブランクメモリに悪影響を及ぼすもの
は他の特性に何等問題がなくても不良品として扱われ、
コスト低下の障害となっていた。また感光体の構成もブ
ランクメモリを抑えるために、その自由度が制限されて
しまうという問題点があった。
ば、除電光の光量や、感光体の構成、特性等によってそ
の現われる強さが異なる。したがって、従来は、ブラン
クメモリを抑えるために、除電光の光量や感光体の特性
を厳密に検査し、ブランクメモリに悪影響を及ぼすもの
は他の特性に何等問題がなくても不良品として扱われ、
コスト低下の障害となっていた。また感光体の構成もブ
ランクメモリを抑えるために、その自由度が制限されて
しまうという問題点があった。
【0058】本発明は、上記のような問題点を解決しよ
うとするものである。すなわち、本発明は、電子写真画
像上で感光体上のブランク露光照射部と、非照射部に対
応する部分との間で生じる濃度差を軽減することができ
る電子写真装置の露光方法を提供することを目的とする
ものである。
うとするものである。すなわち、本発明は、電子写真画
像上で感光体上のブランク露光照射部と、非照射部に対
応する部分との間で生じる濃度差を軽減することができ
る電子写真装置の露光方法を提供することを目的とする
ものである。
【0059】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、少なくとも非結晶シリコン感光体と帯電
手段と光による除電手段と現像手段とを有する電子写真
装置において、画像形成に供せられる部位に照射する除
電光の光量が画像形成に供せられない部位に照射する除
電光の光量よりも多くするようにした。
に、本発明は、少なくとも非結晶シリコン感光体と帯電
手段と光による除電手段と現像手段とを有する電子写真
装置において、画像形成に供せられる部位に照射する除
電光の光量が画像形成に供せられない部位に照射する除
電光の光量よりも多くするようにした。
【0060】
【作用】本発明によれば、画像形成に供せられる部位に
照射する除電光の光量が画像形成に供せられない部位に
照射する除電光の光量よりも多くするので、感光体中の
局在準位にトラップされるキャリアの数が等しくなり、
前記両者間で生じる濃度むらが軽減される。
照射する除電光の光量が画像形成に供せられない部位に
照射する除電光の光量よりも多くするので、感光体中の
局在準位にトラップされるキャリアの数が等しくなり、
前記両者間で生じる濃度むらが軽減される。
【0061】
【実施例】図1は本発明の一実施例を示したもので、す
なわち、電子写真画像形成時における除電光とブランク
露光の光量変化を示したものである。
なわち、電子写真画像形成時における除電光とブランク
露光の光量変化を示したものである。
【0062】図1において、Iの期間は、ブランク露光
が照射されてから次にブランク露光が照射されるまでの
時間、すなわち、電子写真画像形成工程の1サイクルの
時間を示し、IIの期間は、ブランク露光が照射されて
いる時間、すなわち、画像域と次の画像域の間の非画像
域の部分に対応する時間を示し、IIIの期間は、感光
体上でブランク露光が照射された部分が次に除電工程に
到達するのに要する時間を示している。
が照射されてから次にブランク露光が照射されるまでの
時間、すなわち、電子写真画像形成工程の1サイクルの
時間を示し、IIの期間は、ブランク露光が照射されて
いる時間、すなわち、画像域と次の画像域の間の非画像
域の部分に対応する時間を示し、IIIの期間は、感光
体上でブランク露光が照射された部分が次に除電工程に
到達するのに要する時間を示している。
【0063】感光体上でブランク露光が照射された部分
は、除電工程では除電光の照射光量を適当な値だけ弱め
る。
は、除電工程では除電光の照射光量を適当な値だけ弱め
る。
【0064】以下に、実験例、実施例、比較例を具体的
に述べるが、ここで用いた感光体は、無作為に抽出した
200本の感光体の中から、最もブランクメモリの出や
すい感光体を5本選別し、適宜その中の1本を選んで用
いた。
に述べるが、ここで用いた感光体は、無作為に抽出した
200本の感光体の中から、最もブランクメモリの出や
すい感光体を5本選別し、適宜その中の1本を選んで用
いた。
【0065】(実験例1)図1に示した除電光とブラン
ク露光の光量変化が可能なように改造したキヤノン株式
会社製の複写機NP−6150にRFプラズマCVD装
置で作成した図3(a)に示す構成のa−Si感光体を
設置して、感光体上のブランク露光非照射部に対応する
電子写真画像上での反射濃度を調べた。
ク露光の光量変化が可能なように改造したキヤノン株式
会社製の複写機NP−6150にRFプラズマCVD装
置で作成した図3(a)に示す構成のa−Si感光体を
設置して、感光体上のブランク露光非照射部に対応する
電子写真画像上での反射濃度を調べた。
【0066】原稿には全面が0.3の反射濃度の原稿(
以下、ハーフトーン原稿という。)を用い、複写倍率1
00%でA3サイズ画像20枚を複写した。
以下、ハーフトーン原稿という。)を用い、複写倍率1
00%でA3サイズ画像20枚を複写した。
【0067】この際、非照射部に相当する部分の複写画
上での反射濃度が0.5となるように濃度を調整した。
上での反射濃度が0.5となるように濃度を調整した。
【0068】また電子写真画像上でのブランク露光照射
部とブランク露光非照射部の濃度差は電子写真画像20
枚の平均により求めた。
部とブランク露光非照射部の濃度差は電子写真画像20
枚の平均により求めた。
【0069】図7(a)はブランク露光照射部の除電光
の光量を3.0(1ux・sec)とした場合、図7(
b)はブランク露光照射部の除電光の光量を4(1ux
・sec)とした場合、図7(c)はブランク露光照射
部の除電光の光量を5.0(1ux・sec)とした場
合のブランク露光非照射部での除電光の光量と濃度差の
関係を示したものである。
の光量を3.0(1ux・sec)とした場合、図7(
b)はブランク露光照射部の除電光の光量を4(1ux
・sec)とした場合、図7(c)はブランク露光照射
部の除電光の光量を5.0(1ux・sec)とした場
合のブランク露光非照射部での除電光の光量と濃度差の
関係を示したものである。
【0070】反射濃度の差が「+」であるものはブラン
ク露光非照射部の反射濃度がブランク露光照射部の反射
濃度よりも高いことを示し、反射濃度の差が「−」であ
るものはブンラク露光非照射部の反射濃度がブランク露
光照射部の反射濃度よりも低いことを示す。
ク露光非照射部の反射濃度がブランク露光照射部の反射
濃度よりも高いことを示し、反射濃度の差が「−」であ
るものはブンラク露光非照射部の反射濃度がブランク露
光照射部の反射濃度よりも低いことを示す。
【0071】ブランク露光の光量は図7(a)〜(c)
を通じて3.0(1ux・sec)とした。
を通じて3.0(1ux・sec)とした。
【0072】また図8は図7の場合と同じようにしてブ
ランク露光の光量を3.5(1ux・sec)とした場
合の実験結果を示したものであり、図9はブランク露光
の光量を4.0(1ux・sec)とした。
ランク露光の光量を3.5(1ux・sec)とした場
合の実験結果を示したものであり、図9はブランク露光
の光量を4.0(1ux・sec)とした。
【0073】図7、図8、図9より、ブランク露光照射
部とブランク露光非照射部、ブランク露光の光量を適当
な値とすることにより、ブランク露光照射部とブランク
露光非照射部の濃度差を+0.02〜−0.02程度の
範囲に抑えることができることがわかった。
部とブランク露光非照射部、ブランク露光の光量を適当
な値とすることにより、ブランク露光照射部とブランク
露光非照射部の濃度差を+0.02〜−0.02程度の
範囲に抑えることができることがわかった。
【0074】複写機で縮小コピーを行なう場合、転写紙
上に非画像域が生じるので、この部分にトナーが転写す
るのを防ぐため、ブランク露光を照射し、感光体上に蓄
積された電荷を除去するのが、その後、直ちに等倍率で
コピーする場合、その部分で濃度差が生じてしまう。
上に非画像域が生じるので、この部分にトナーが転写す
るのを防ぐため、ブランク露光を照射し、感光体上に蓄
積された電荷を除去するのが、その後、直ちに等倍率で
コピーする場合、その部分で濃度差が生じてしまう。
【0075】図10に50%縮小コピー後、直ちに等倍
コピーを行なった場合にブランク露光が原因で生じてし
まう濃度むらの分布を示した。
コピーを行なった場合にブランク露光が原因で生じてし
まう濃度むらの分布を示した。
【0076】図10中、AとBの部分はブランク露光照
射が原因となって他の部分より濃度が薄い領域である。 これらのうち、Aの部分は50%縮小コピーの画像域後
端から次の50%縮小コピーの画像域先端までの非画像
域に対応する。またBの部分は縮小コピーにより画像域
の横幅が狭くなったために生じた非画像域に対応するも
のである。Aの部分は実験例1に示したように、除去可
能であることがわかった。Bの部分の除去に関して以下
の実験を行なった。
射が原因となって他の部分より濃度が薄い領域である。 これらのうち、Aの部分は50%縮小コピーの画像域後
端から次の50%縮小コピーの画像域先端までの非画像
域に対応する。またBの部分は縮小コピーにより画像域
の横幅が狭くなったために生じた非画像域に対応するも
のである。Aの部分は実験例1に示したように、除去可
能であることがわかった。Bの部分の除去に関して以下
の実験を行なった。
【0077】(実験例2)キヤノン株式会社製の複写機
NP−6150を、50%縮小コピー後、0.5秒で1
00%等倍コピーが可能なように改造し、また除電光源
を図11に示すように、LEDアレイを電気回路的に2
分割した。
NP−6150を、50%縮小コピー後、0.5秒で1
00%等倍コピーが可能なように改造し、また除電光源
を図11に示すように、LEDアレイを電気回路的に2
分割した。
【0078】図中、1001は50%縮小コピー時には
常に非画像部となる部分を照射するためのLEDアレイ
であり、印加電圧V1 を調整することで、その照射光
量が制御される。また図中1002は50%縮小コピー
時でも画像域と非画像域が交互に現われる部分を照射す
るためのLEDアレイであり、印加電圧V2 を制御す
ることで照射光量が制御される。
常に非画像部となる部分を照射するためのLEDアレイ
であり、印加電圧V1 を調整することで、その照射光
量が制御される。また図中1002は50%縮小コピー
時でも画像域と非画像域が交互に現われる部分を照射す
るためのLEDアレイであり、印加電圧V2 を制御す
ることで照射光量が制御される。
【0079】感光体はマイクロ波プラズマCVD装置で
作成された図3(b)に示す構成のものを用いた。
作成された図3(b)に示す構成のものを用いた。
【0080】以上のように改造された複写機NP−61
50を用いて50%縮小コピー5枚複写後、100%等
倍で5枚複写し、その他は実験例1と同様にして感光体
上のブランク露光照射部とブランク露光非照射部の反射
濃度差を調べた。
50を用いて50%縮小コピー5枚複写後、100%等
倍で5枚複写し、その他は実験例1と同様にして感光体
上のブランク露光照射部とブランク露光非照射部の反射
濃度差を調べた。
【0081】ブランク露光の光量は3.0(1ux・s
ec)とした。またLEDアレイ1001の光量が感光
体上で常に5.7(1ux・sec)となるようにし、
LEDアレイ1002の光量を調整する印加電圧V2
はブランク露光照射部に対応する部分に対しては4.0
(1ux・sec)、ブランク露光非照射部に対応する
部分に対しては5.7(1ux・sec)となるように
した。その結果、ブランク露光照射部とブランク露光非
照射部の濃度差は0.03以内に収まっていた。
ec)とした。またLEDアレイ1001の光量が感光
体上で常に5.7(1ux・sec)となるようにし、
LEDアレイ1002の光量を調整する印加電圧V2
はブランク露光照射部に対応する部分に対しては4.0
(1ux・sec)、ブランク露光非照射部に対応する
部分に対しては5.7(1ux・sec)となるように
した。その結果、ブランク露光照射部とブランク露光非
照射部の濃度差は0.03以内に収まっていた。
【0082】(実施例1)キヤノン株式会社製の複写機
NP−6150に実験例1に述べた改造を施し、図3(
a)に示した構成のa−Si感光体を設置し、電子写真
画像特性を評価した。
NP−6150に実験例1に述べた改造を施し、図3(
a)に示した構成のa−Si感光体を設置し、電子写真
画像特性を評価した。
【0083】ブランク露光の光量は3.0(1ux・s
ec)とし、ブランク露光照射部での除電光の光量は5
.0(1ux・sec)、ブランク露光非照射部での除
電光の光量は6.7(1ux・sec)とした。A3サ
イズで50枚の連続コピーを行ない、コピー画像を評価
したところ、原稿の種類によらず、濃度むらのない鮮明
なものであった。
ec)とし、ブランク露光照射部での除電光の光量は5
.0(1ux・sec)、ブランク露光非照射部での除
電光の光量は6.7(1ux・sec)とした。A3サ
イズで50枚の連続コピーを行ない、コピー画像を評価
したところ、原稿の種類によらず、濃度むらのない鮮明
なものであった。
【0084】(比較例1)キヤノン株式会社製の複写機
NP−6150に実施例1で用いたa−Si感光体を設
置し、その他は改造しないで、A3サイズで50枚の連
続コピーを行ない、コーピー画像を評価した。ブランク
露光の光量は3.0(12ux・sec)、除電光の光
量は5.0(1ux・sec)であった。原稿に中間色
の多い写真を用いたところ、コピー画像上で中間色部に
相当するところで濃度むらが現われた。また1枚目から
50枚目の間で僅かに濃度の変動が認められた。その他
の画像特性は全く問題なく良好なものであった。
NP−6150に実施例1で用いたa−Si感光体を設
置し、その他は改造しないで、A3サイズで50枚の連
続コピーを行ない、コーピー画像を評価した。ブランク
露光の光量は3.0(12ux・sec)、除電光の光
量は5.0(1ux・sec)であった。原稿に中間色
の多い写真を用いたところ、コピー画像上で中間色部に
相当するところで濃度むらが現われた。また1枚目から
50枚目の間で僅かに濃度の変動が認められた。その他
の画像特性は全く問題なく良好なものであった。
【0085】(実施例2)キヤノン株式会社製の複写機
NP−6150に実験例2に述べた改造を施し、図3(
a)に示した構成のa−Si感光体を設置し、電子写真
画像特性を評価した。
NP−6150に実験例2に述べた改造を施し、図3(
a)に示した構成のa−Si感光体を設置し、電子写真
画像特性を評価した。
【0086】ブランク露光の光量は3.0(1ux・s
ec)とし、ブランク露光照射部での除電光の光量は4
.0(1ux・sec)、ブランク露光非照射部での除
電光の光量は5.7(1ux・sec)とした。
ec)とし、ブランク露光照射部での除電光の光量は4
.0(1ux・sec)、ブランク露光非照射部での除
電光の光量は5.7(1ux・sec)とした。
【0087】A3サイズで50%の縮小コピーを10枚
連続で行なった後、直ちに100%の等倍コピーを50
枚連続で行ない、コピー画像を評価したところ、原稿の
種類によらず、濃度むらのない鮮明なものであった。
連続で行なった後、直ちに100%の等倍コピーを50
枚連続で行ない、コピー画像を評価したところ、原稿の
種類によらず、濃度むらのない鮮明なものであった。
【0088】(比較例2)キヤノン株式会社製の複写機
NP−6150を50%の縮小コピー後、0.5秒で1
00%の等倍コピーが可能なように改造し、実施例2で
用いたa−Si感光体を設置し、その他は改造しないで
、50%の縮小コピーを10枚連続で行なった後、直ち
に100%の等倍コピーを50枚連続で行ない、コピー
画像を評価した。
NP−6150を50%の縮小コピー後、0.5秒で1
00%の等倍コピーが可能なように改造し、実施例2で
用いたa−Si感光体を設置し、その他は改造しないで
、50%の縮小コピーを10枚連続で行なった後、直ち
に100%の等倍コピーを50枚連続で行ない、コピー
画像を評価した。
【0089】ブランク露光の光量は3.0(1ux・s
ec)、除電光の光量は4.0(1ux・sec)であ
った。原稿に中間色の多い写真を用いたところ、コピー
画像上で中間色部に相当するところで濃度むらが現われ
た。また1枚目から50枚目の間で僅かに濃度の変動が
認められた。その他の画像特性は全く問題なく良好なも
のであった。
ec)、除電光の光量は4.0(1ux・sec)であ
った。原稿に中間色の多い写真を用いたところ、コピー
画像上で中間色部に相当するところで濃度むらが現われ
た。また1枚目から50枚目の間で僅かに濃度の変動が
認められた。その他の画像特性は全く問題なく良好なも
のであった。
【0090】(実施例3)図1に示した除電光とブラン
ク露光の光量変化が可能なように改造したキヤノン株式
会社製の複写機NP−8580に図3(b)に示した構
成のa−Si感光体を設置し、電子写真画像特性を評価
した。
ク露光の光量変化が可能なように改造したキヤノン株式
会社製の複写機NP−8580に図3(b)に示した構
成のa−Si感光体を設置し、電子写真画像特性を評価
した。
【0091】ブランク露光の光量は3.5(1ux・s
ec)とし、ブランク露光照射部での除電光の光量は4
.0(1ux・sec)、ブランク露光非照射部での除
電光の光量は6.2(1ux・Sec)とした。A3サ
イズで50枚の連続コピーを行ない、コピー画像を評価
したところ、原稿の種類によらず、濃度むらのない鮮明
なものであった。
ec)とし、ブランク露光照射部での除電光の光量は4
.0(1ux・sec)、ブランク露光非照射部での除
電光の光量は6.2(1ux・Sec)とした。A3サ
イズで50枚の連続コピーを行ない、コピー画像を評価
したところ、原稿の種類によらず、濃度むらのない鮮明
なものであった。
【0092】(比較例3)キャノン株式会社製の複写機
NP−8580に、実施例3で用いたa−Si感光体を
設置し、その他は改造しないで、A3サイズで50枚の
連続コピーを行ない、コピー画像を評価した。
NP−8580に、実施例3で用いたa−Si感光体を
設置し、その他は改造しないで、A3サイズで50枚の
連続コピーを行ない、コピー画像を評価した。
【0093】ブランク露光の光量は3.5(1ux・s
ec)、除電光の光量は4.0(1ux・sec)であ
った。原稿に中間色の多い写真を用いたところ、コピー
画像上で中間色部に相当するところで濃度むらが現われ
た。また1枚目から50枚目の間で僅かに濃度の変動が
認められた。その他の画像特性は全く問題なく良好なも
のであった。
ec)、除電光の光量は4.0(1ux・sec)であ
った。原稿に中間色の多い写真を用いたところ、コピー
画像上で中間色部に相当するところで濃度むらが現われ
た。また1枚目から50枚目の間で僅かに濃度の変動が
認められた。その他の画像特性は全く問題なく良好なも
のであった。
【0094】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
非結晶シリコン原子を含む光導電性をもつ感光体を用い
た電子写真装置において、感光体上のブランク露光照射
よりもブランク露光非照射部のほうが除電光の照射光量
を多くするので、ブランク露光照射部と非照射部で、感
光体中の局在準位にトラップされるキャリアの数が等し
くなり、これらの間で生じる濃度むらを軽減できる効果
がある。
非結晶シリコン原子を含む光導電性をもつ感光体を用い
た電子写真装置において、感光体上のブランク露光照射
よりもブランク露光非照射部のほうが除電光の照射光量
を多くするので、ブランク露光照射部と非照射部で、感
光体中の局在準位にトラップされるキャリアの数が等し
くなり、これらの間で生じる濃度むらを軽減できる効果
がある。
【0095】さらには、本発明を用いることにより、従
来の技術では連続コピー時に生じていた濃度変化につい
ても、それを減少させることができる効果がある。
来の技術では連続コピー時に生じていた濃度変化につい
ても、それを減少させることができる効果がある。
【0096】したがって、これらの効果により、これま
で濃度むらのため、使用困難であると判断され、不良品
として扱われてきたような感光体をも使いこなせるため
、a−Si感光体の製造工程での不良率が向上し、複写
機の低コスト化に寄与するうえに、連続コピー時の濃度
変動も減少し、高画質化にもつながるという利点がある
。
で濃度むらのため、使用困難であると判断され、不良品
として扱われてきたような感光体をも使いこなせるため
、a−Si感光体の製造工程での不良率が向上し、複写
機の低コスト化に寄与するうえに、連続コピー時の濃度
変動も減少し、高画質化にもつながるという利点がある
。
【図1】本発明の露光方法の一実施例の光量変化を示し
た説明図である。
た説明図である。
【図2】a−Si感光体を用いた複写機の一例を示した
断面図である。
断面図である。
【図3】代表的なa−Si感光体を示した模式的断面図
である。
である。
【図4】a−Si感光体の形式を行なう際の堆積膜形成
装置の1つを示した説明図である。
装置の1つを示した説明図である。
【図5】a−Si感光体の形成を行なう際の堆積膜形成
装置のもう1つを示した縦断面図である。
装置のもう1つを示した縦断面図である。
【図6】図5の切断線B−Bに沿う横断面図である。
【図7】電子写真画像上の濃度差についての1つの説明
図である。
図である。
【図8】電子写真画像上の濃度差についてのも1つの説
明図である。
明図である。
【図9】電子写真画像上の濃度差についてのさらにもう
1つの説明図である。
1つの説明図である。
【図10】50%縮小コピー時のブランクメモリの現わ
れる位置を示した説明図である。
れる位置を示した説明図である。
【図11】50%縮小コピー時に用いた除電光源の模式
的説明図である。
的説明図である。
I…ブランク露光が照射されてから次のブランク露光が
照射されるまでの時間 II…ブランク露光が照射されている時間III…感光
体上でブランク露光が照射された部分が次に除電工程の
場所に到達するのに要する時間201…感光体
301…導
電性支持体 302…光導電層
303…顕像保持層 304…電荷注入阻止層
照射されるまでの時間 II…ブランク露光が照射されている時間III…感光
体上でブランク露光が照射された部分が次に除電工程の
場所に到達するのに要する時間201…感光体
301…導
電性支持体 302…光導電層
303…顕像保持層 304…電荷注入阻止層
Claims (1)
- 【請求項1】 少なくとも非結晶シリコン感光体と帯
電手段と光による除電手段と現像手段とを有する電子写
真装置において、画像形成に供せられる部位に照射する
除電光の光量が画像形成に供せられない部位に照射する
除電光の光量よりも多くすることを特徴とする電子写真
装置の露光方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1533991A JPH04249271A (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 電子写真装置の露光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1533991A JPH04249271A (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 電子写真装置の露光方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04249271A true JPH04249271A (ja) | 1992-09-04 |
Family
ID=11886032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1533991A Pending JPH04249271A (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 電子写真装置の露光方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04249271A (ja) |
-
1991
- 1991-02-06 JP JP1533991A patent/JPH04249271A/ja active Pending
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