JPH04249702A - 測定装置 - Google Patents

測定装置

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JPH04249702A
JPH04249702A JP3013206A JP1320691A JPH04249702A JP H04249702 A JPH04249702 A JP H04249702A JP 3013206 A JP3013206 A JP 3013206A JP 1320691 A JP1320691 A JP 1320691A JP H04249702 A JPH04249702 A JP H04249702A
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JP
Japan
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comparator
line
charge amplifier
amplifier
multiplier
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JP3013206A
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English (en)
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Walton Heiman
ハイマン ウォルトン
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UK Atomic Energy Authority
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UK Atomic Energy Authority
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Publication date
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/001Constructional details of gauge heads
    • GPHYSICS
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    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ペレット、筒、管、ま
たは棒、あるいは、非円形物体、または平板の表面など
の物理的寸法、または物体の表面を測定する測定装置に
関する。
【0002】
【実施例】本発明により、容量形変換器と差動荷電増幅
器とより成る測定装置において、差動荷電増幅器は、可
変振動電圧により励起されるように構成されており、こ
れにより、被測定部品は、接地された電位に保持される
。ここで、図1に関して、測定装置が示されており、装
置は容量形変位変換器10より成り、変換器10は差動
荷電増幅器12へ接続しており、増幅器12は、英国特
許明細書No. t340703(米国特許No. 3
742349)に記載された増幅器の改造型である。増
幅器12からのDC出力線路14は、比較器16として
動作する加算増幅器へ接続している。電圧V+ は、接
地された可変抵抗体18を経て、測定装置からの信号を
構成する出力部を有する比較器16へも接続している。 増幅器12は、2つの信号線路22と24とを有する。 線路22は、変換器10の測定電極26へ接続し、線路
24は、変換器10の金属製ガード28へ接続している
。発振器30は、乗算器32を経て線路24へ接続し、
乗算器32の出力は、線路34を経て送られる比較器1
6の出力に応答して、変化する。接地したスクリーン2
5は、線路22と24とを取り巻いて、増幅器12から
の接地線路27と接続している。
【0003】増幅器12において、荷電増幅器38と4
0は、それぞれ、差動増幅器42に並行に接続している
。詳細な内容に関しては、本明細書に添付された前述の
英国特許明細書No. 1340703を参照のこと。 荷電増幅38は、線路22へ接続し、また連結線路44
により線路24へも接続している。荷電増幅器40は、
線路24と、連結線路24を経て荷電増幅器38とへ接
続し、また基準コンデンサー46を経て線路24へも接
続している。
【0004】図2と図3に関して、変換器10は、本明
細書に参考に添付された英国特許明細書No. 214
5231(米国特許No. 4658254)に記載さ
れた種類のものである。変換器10は、金属製ガード2
8を構成する円筒状銅製ガード50より成っており、ガ
ード50は、その円筒状境界の間に直径方向に伸長して
いる横断した、円筒状空洞52を有する。2つの電気的
に絶縁された(例えば、シェラック塗布)、非常に細い
銅線54(拡大して明確に図示)が空洞52を通って伸
長しており、その各正面55は、ガード50の円筒状境
界で中心方向へ向い合っている。その正面において、測
定電極26に相当する線54は、鉛半田の栓により空洞
52内に保持されて、ガード50内の縦軸方向の穴57
を通って伸長し、個々の測定装置(図1では1つだけ示
されている)の各荷電増幅器38へ接続し、これによっ
て、各測定装置の線路22を構成している。トウッフノ
ル(TUFNOL)などの電気絶縁材の段付スリーブ5
8は、ガード50の中空状伸長部60に配置されている
。伸長部60は線54を収容し、線路24の部分を構成
しており、これにより、荷電増幅器38と40へ接続し
ている。図1のスクリーン25を構成する金属管(例え
ばステンレス・スチール)62は、スリーブ58上に位
置して、増幅器12からの接地接続線路へ接続するよう
に伸長している。試験される部品66、例えば管または
筒は、接地されて、変換器10に隣接して配置されてい
る。
【0005】作動状態において、異なる周波数で作動す
るように構成された2つの各測定装置において、変換器
10は、部品66(例えば、穴に沿って)に沿って横に
移動し、測定電極26と部品66との間のキャパシタン
スは、比較器16からの直線出力を表す。測定装置の理
論的根拠は、本明細書に参考に記載された英国特許明細
書No. 1517364(米国特許No. 4086
528)から得られる。しかし、差動荷電増幅器12が
、乗算器32からの変化する信号により駆動されるので
、部品66が接地電位に保持される。これは、部品をそ
のままの位置で測定する場合、非常な利点である。
【0006】電導と抵抗の基本的機能が認められるなら
ば、ほかの材料も、測定装置に使用出来る。例えば、線
路22と24、及びスクリーン25は3軸ケーブルによ
り構成されている。ケーブルの長さは、変換器10の較
正感度に実質的影響を与えるべきでないので、このよう
なケーブルが比較的に長い(例えば、数メータ)という
ことは、本発明の利点でもある。
【0007】正面54を有する2本の線54が示された
が、線54がほかの本数で使用される場合、必ずしも組
で使用されず、各線54は、ガード50内の横断した穴
を通って伸長し、図1の各測定装置へ接続している。こ
れによって、部分の大きい面積を、変換器10が横移動
している間に走査することが出来るという点で、これは
有利である。本発明の測定装置が、寸法測定に関して説
明されたが、本装置が、表面仕上げの評価などのほかの
用途に使用出来ることは評価されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】測定装置の構成図を示す。
【図2】図1の本装置に使用される変換器の中間部の断
面図である。
【図3】図2のIII−III線に関してとられた断面
図である。
【符号の説明】
12  差動荷電増幅器 16  比較器 18  可変抵抗体 30  可変振動電圧 38、40  荷電増幅器 44  連結線路 66  部品

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  容量形変換器と差動荷電増幅器とより
    成る測定装置において、前記差動荷電増幅器(12)が
    、可変振動電圧(30)により励起されるように構成さ
    れており、これにより測定される部品(66)が接地さ
    れた電位に保持されることを特徴とする測定装置。
  2. 【請求項2】  前記差動荷電増幅器(12)が、差動
    増幅器42へ並行にそれぞれ接続して放電する第1と第
    2の荷電増幅器(38、40)と、前記可変振動電圧が
    印加されるように構成されている前記の第1と第2の荷
    電増幅器(38、40)の間の連結線路(44)とより
    構成されていることを特徴とする請求項1に記載の装置
  3. 【請求項3】  前記差動荷電増幅器(12)が比較器
    (16)へ放電するように接続し、前記比較器(16)
    が、接地した可変抵抗体(18)が接続している加算増
    幅器より成り、前記比較器(16)の出力は前記装置の
    出力を構成していることを特徴とする請求項2に記載の
    装置。
  4. 【請求項4】  前記可変振動電圧が発振器(30)よ
    り成る手段により生成されることを特徴とする前記請求
    項のいずれかの1つの項に記載の装置。
  5. 【請求項5】  前記発振器(30)が、連結線路(4
    4)へ放電する乗算器(32)へ放電することを特徴と
    する請求項4に記載の装置。
  6. 【請求項6】  前記乗算器(32)が、前記比較器(
    16)の出力に応答して前記乗算器の出力を変化するよ
    うに前記比較器(16)の出力部へ接続されていること
    を特徴とする請求項5に記載の装置。
  7. 【請求項7】  前記変換器(10)が、第1連結線路
    (22)により第1荷電増幅器(38)へ接続可能な電
    極(26)と、第2連結線路(24)により連結線路(
    44)へ接続可能な金属製ガード(28)とより構成さ
    れていることを特徴とする前記請求項のいずれかの1つ
    の項に記載の装置。
  8. 【請求項8】  基準コンデンサ(46)が、前記連結
    線路(24)と前記荷電増幅器(40)との間で接続可
    能であることを特徴とする請求項7に記載の装置。
  9. 【請求項9】  前記金属製ガード(28)が、一端で
    縦軸方向に伸長している穴(57)に接合しまた他端で
    前記金属製円筒(50)の円筒状の境界へ伸長している
    横断した穴(52)を有する前記金属製円筒より成って
    おり、前記電極(26)が横断した穴の他端に位置し、
    前記第1連結線路(22)が縦軸に伸長している穴(5
    7)と横断した穴(52)とを通って前記電極(26)
    へ伸長しており、前記電極(26)と前記第1連結線路
    (22)が前記金属製円筒(50)から電気的に絶縁し
    ていることを特徴とする請求項7または請求項8に記載
    の装置。
  10. 【請求項10】  複数の前記横断した穴(52)が前
    記金属製円筒(50)に形成され、前記の各横方向の穴
    (52)が前記第1連結線路(22)へ接続した前記電
    極(26)を有し、前記第1連結線路(22)が前記の
    各測定装置へ接続可能であることを特徴とする請求項9
    に記載の複数の測定装置。
  11. 【請求項11】  前記第2連結線路(24)が、可撓
    性金属スクリーン(62)を通って伸長し、前記スクリ
    ーン(62)が金属製円筒(50)、前記第1連結線路
    (22)、及び前記第2連結線路(24)とから電気的
    に絶縁していることを特徴とする請求項7から請求項1
    0のうちのいずれかの1つの項に記載の1個以上の装置
JP3013206A 1990-02-07 1991-02-04 測定装置 Pending JPH04249702A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB90027012 1990-02-07
GB909002701A GB9002701D0 (en) 1990-02-07 1990-02-07 A gauging system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04249702A true JPH04249702A (ja) 1992-09-04

Family

ID=10670545

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3013206A Pending JPH04249702A (ja) 1990-02-07 1991-02-04 測定装置

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EP (1) EP0441479A3 (ja)
JP (1) JPH04249702A (ja)
KR (1) KR910021580A (ja)
AU (1) AU6944891A (ja)
CA (1) CA2034626A1 (ja)
GB (1) GB9002701D0 (ja)
NO (1) NO910434L (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19511646C2 (de) * 1995-03-30 1999-01-07 Fife Gmbh Vorrichtung zum berührungslosen Erfassen der Lage eines laufenden Materialbandes
JP6718622B2 (ja) * 2017-05-26 2020-07-08 株式会社京岡 隙間センサおよび隙間測定方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB638115A (en) * 1941-10-15 1950-05-31 Skoda Works Nat Corp A gauge for the accurate measurement of linear dimensions
US3048755A (en) * 1959-05-07 1962-08-07 Westinghouse Electric Corp Synchronous motor control
GB1032215A (en) * 1962-10-08 1966-06-08 Ass Elect Ind Improvements relating to capacitive clearance measurements
US4067225A (en) * 1977-03-21 1978-01-10 Mechanical Technology Incorporated Capacitance type non-contact displacement and vibration measuring device and method of maintaining calibration
FR2608751B1 (fr) * 1986-12-19 1990-11-30 Onera (Off Nat Aerospatiale) Chaine de mesure dimensionnelle capacitive

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EP0441479A3 (en) 1992-10-14
EP0441479A2 (en) 1991-08-14
KR910021580A (ko) 1991-12-20
CA2034626A1 (en) 1991-08-08
NO910434L (no) 1991-08-08
GB9002701D0 (en) 1990-04-04
NO910434D0 (no) 1991-02-05
AU6944891A (en) 1991-08-08

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