JPH0424978A - 光半導体素子 - Google Patents
光半導体素子Info
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- JPH0424978A JPH0424978A JP2125023A JP12502390A JPH0424978A JP H0424978 A JPH0424978 A JP H0424978A JP 2125023 A JP2125023 A JP 2125023A JP 12502390 A JP12502390 A JP 12502390A JP H0424978 A JPH0424978 A JP H0424978A
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- optical
- semiconductor laser
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- semiconductor device
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/02208—Mountings; Housings characterised by the shape of the housings
- H01S5/02212—Can-type, e.g. TO-CAN housings with emission along or parallel to symmetry axis
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/023—Mount members, e.g. sub-mount members
- H01S5/02325—Mechanically integrated components on mount members or optical micro-benches
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/0683—Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
Landscapes
- Optical Head (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は光ヘツド装置などに使用される、発光素子や受
光素子を内蔵した光半導体素子に関する。
光素子を内蔵した光半導体素子に関する。
従来の技術
近年、光デイスク装置の主要部品としての光ヘッドの開
発には目ざましい進歩があるが、記録または再生の基本
性能の向上のほかに光ヘッドの小型化が重要になってき
ている。小型化のための技術には様々な提案があるが、
その中でも光学素子としてホログラム素子を用いること
により、光源と光検出器とを一体に構成した光半導体素
子が最も有力視されている。
発には目ざましい進歩があるが、記録または再生の基本
性能の向上のほかに光ヘッドの小型化が重要になってき
ている。小型化のための技術には様々な提案があるが、
その中でも光学素子としてホログラム素子を用いること
により、光源と光検出器とを一体に構成した光半導体素
子が最も有力視されている。
第3図((a)および(b))は、特開平l−1139
33号公報に見られる従来の光半導体素子の縦断面図、
平面図である。
33号公報に見られる従来の光半導体素子の縦断面図、
平面図である。
同図において、1は半導体レーザ、16は半導体レーザ
1から後述する窓ガラス12を介して図示しない光記録
媒体に出射される前面出射光束、17は図示しない光記
録媒体からの戻り光から分離された分離光束、18は半
導体レーザ1の前面出射光束16が出射される面とは反
対の面から出射される後面出射光束、2は半導体レーザ
1をマウントするためのシリコン基板、3は分離光束1
7を受光するために複数の光検出部を有する光検出器、
4は光検出器3をマウントするための絶縁板、5はシリ
コン基板2を介して半導体レーザ1を保持するとともに
絶縁板4を介して光検出器3を保持し、半導体レーザ1
からの発熱を放出すべく放熱のよい材料で構成された放
熱ブロック、6はリード線、7は光検出器3上に配置さ
れたポンディングパッド、8は後述するステムに同心円
上の位置にマウントされリード線6と接続される接続端
子、9は前述の後面出射光束18が入射するように後述
するステム上で半導体レーザ1の下方に設置されたモニ
タ用光検出器、10は放熱ブロック5およびモニタ用光
検出器9を保持するとともに接続端子8を外部に導出し
て保持するステム、11はステム10上に設置された各
部品を収納し外界から密閉するためのキャップ、12は
キャップ11の上面に開けられた窓に取り付けられる窓
ガラス、15は従来の光半導体素子本体である。
1から後述する窓ガラス12を介して図示しない光記録
媒体に出射される前面出射光束、17は図示しない光記
録媒体からの戻り光から分離された分離光束、18は半
導体レーザ1の前面出射光束16が出射される面とは反
対の面から出射される後面出射光束、2は半導体レーザ
1をマウントするためのシリコン基板、3は分離光束1
7を受光するために複数の光検出部を有する光検出器、
4は光検出器3をマウントするための絶縁板、5はシリ
コン基板2を介して半導体レーザ1を保持するとともに
絶縁板4を介して光検出器3を保持し、半導体レーザ1
からの発熱を放出すべく放熱のよい材料で構成された放
熱ブロック、6はリード線、7は光検出器3上に配置さ
れたポンディングパッド、8は後述するステムに同心円
上の位置にマウントされリード線6と接続される接続端
子、9は前述の後面出射光束18が入射するように後述
するステム上で半導体レーザ1の下方に設置されたモニ
タ用光検出器、10は放熱ブロック5およびモニタ用光
検出器9を保持するとともに接続端子8を外部に導出し
て保持するステム、11はステム10上に設置された各
部品を収納し外界から密閉するためのキャップ、12は
キャップ11の上面に開けられた窓に取り付けられる窓
ガラス、15は従来の光半導体素子本体である。
また、第3図(b)は、キャップ12を取り外したとき
の図である。
の図である。
以上のように構成された光半導体素子について、以下そ
の動作を説明する。半導体レーザ1から射出された前面
出射光束16は窓ガラスエ2を介して図示しない光記録
媒体上に集光され、この光記録媒体に記録された情報お
よび焦点位置誤差やトラック位置誤差の情報を持って反
射される。光記録媒体からの戻り光は出射光軸から分離
光束18に分離され、再び窓ガラス12を介して光検出
器3で受光され、光記録媒体上に記録された情報信号お
よび焦点位置誤差やトラック位置誤差の信号が、ポンデ
ィングパッド7、 リード線6.接続端子8を通じて出
力される。モニタ用光検出器9は、半導体レーザ1の後
面出射光束18を受光し、半導体レーザ1の前面出射光
束16の光量が間接的にモニタされる。また半導体レー
ザ1は発光中は多量の熱を発生するが、発生した熱は薄
いシリコン基板2および放熱ブロック5を介してステム
1Oへ伝えられ外部に放出される。
の動作を説明する。半導体レーザ1から射出された前面
出射光束16は窓ガラスエ2を介して図示しない光記録
媒体上に集光され、この光記録媒体に記録された情報お
よび焦点位置誤差やトラック位置誤差の情報を持って反
射される。光記録媒体からの戻り光は出射光軸から分離
光束18に分離され、再び窓ガラス12を介して光検出
器3で受光され、光記録媒体上に記録された情報信号お
よび焦点位置誤差やトラック位置誤差の信号が、ポンデ
ィングパッド7、 リード線6.接続端子8を通じて出
力される。モニタ用光検出器9は、半導体レーザ1の後
面出射光束18を受光し、半導体レーザ1の前面出射光
束16の光量が間接的にモニタされる。また半導体レー
ザ1は発光中は多量の熱を発生するが、発生した熱は薄
いシリコン基板2および放熱ブロック5を介してステム
1Oへ伝えられ外部に放出される。
第4図は以上のような動作を可能にするために上記の光
半導体素子を用いた光ヘツド装置の概略図である。同図
において、15は上述の光半導体素子、16は光半導体
装置15から射出される前面出射光束、20は前面出射
光束16を反射して方向を変え後述する対物レンズ21
へ導くミラーであり、対物レンズ21は前面出射光束1
6を後述する光記録媒体25上の情報面に集光し、ある
いは情報面からの戻り光を集光しミラー20に導く。そ
して、対物レンズ21は図示しないアクチュエータを介
して後述する基台23に取り付けられている。22は対
物レンズ21とミラー20の間に設置され、前述の戻り
光を出射光軸から分離するためのホログラム素子、17
は前述の戻り光からホログラム素子22によって分離さ
れた分離光束、23は光半導体装置15、ミラー20お
よびホログラム素子22を保持する基台であり、図示し
ないアクチュエータを介して対物レンズ2工をも固定し
ている。24は従来の光半導体素子15を用いた光ヘツ
ド装置本体であり、25は光記録媒体である。
半導体素子を用いた光ヘツド装置の概略図である。同図
において、15は上述の光半導体素子、16は光半導体
装置15から射出される前面出射光束、20は前面出射
光束16を反射して方向を変え後述する対物レンズ21
へ導くミラーであり、対物レンズ21は前面出射光束1
6を後述する光記録媒体25上の情報面に集光し、ある
いは情報面からの戻り光を集光しミラー20に導く。そ
して、対物レンズ21は図示しないアクチュエータを介
して後述する基台23に取り付けられている。22は対
物レンズ21とミラー20の間に設置され、前述の戻り
光を出射光軸から分離するためのホログラム素子、17
は前述の戻り光からホログラム素子22によって分離さ
れた分離光束、23は光半導体装置15、ミラー20お
よびホログラム素子22を保持する基台であり、図示し
ないアクチュエータを介して対物レンズ2工をも固定し
ている。24は従来の光半導体素子15を用いた光ヘツ
ド装置本体であり、25は光記録媒体である。
ホログラム素子22は戻り光を出射光軸から分離する機
能だけでなく、前述の誤差信号を得るためにいろいろな
方式が提案されているが、例えば非点収差を発生させ焦
点位置誤差信号を得ることが考えられる。
能だけでなく、前述の誤差信号を得るためにいろいろな
方式が提案されているが、例えば非点収差を発生させ焦
点位置誤差信号を得ることが考えられる。
このような構成において、光半導体素子15に内蔵され
た半導体レーザ1から放射された前面出射光束16はミ
ラー20.ホログラム素子22゜対物レンズ21を介し
て光記録媒体25上に集光され、光記録媒体25に記録
された情報によって強度変調されて反射された戻り光は
再び対物レンズ21を介してホログラム素子22に入射
する。
た半導体レーザ1から放射された前面出射光束16はミ
ラー20.ホログラム素子22゜対物レンズ21を介し
て光記録媒体25上に集光され、光記録媒体25に記録
された情報によって強度変調されて反射された戻り光は
再び対物レンズ21を介してホログラム素子22に入射
する。
このホログラム素子22で戻り光は回折効果により出射
光束の光軸から分離され、分離光束17として光半導体
装置15に内蔵された光検出器3に入射する。光検出器
3は例えば4分割された検出部を有しており、ホログラ
ム素子22で生じた分離光束の非点収差を利用して焦点
位置誤差信号を出力し、また、いわゆるプッシュプル法
を用いてトラック位置誤差信号を出力するとともに、分
離光束17全体の変調強度を検出することによって光記
録媒体25に記録された情報信号を出力する。
光束の光軸から分離され、分離光束17として光半導体
装置15に内蔵された光検出器3に入射する。光検出器
3は例えば4分割された検出部を有しており、ホログラ
ム素子22で生じた分離光束の非点収差を利用して焦点
位置誤差信号を出力し、また、いわゆるプッシュプル法
を用いてトラック位置誤差信号を出力するとともに、分
離光束17全体の変調強度を検出することによって光記
録媒体25に記録された情報信号を出力する。
発明が解決しようとする課題
ところで、第4図のような構成の光ヘツド装置において
はその小型化のためには、光半導体素子15自体の小型
化も必要である。特に光ヘツド装置の厚さは同じ対物レ
ンズを用いた場合基台23の厚さ(図でIで示す)に左
右され、基台23の厚さは光半導体素子15のステム1
0の幅(図でrで示す)で決ってしまう。通常ステム1
0は熱伝導性のよい金属で形成される必要があるため、
金属の加工性を考慮すると円盤上のものを用いざるを得
ない。ところが、第4図に示すように前述の構成の光半
導体素子では、放熱ブロック5とモニタ用光検出器9が
並んで配置されており、両者の並ぶ方向(以下y方向と
呼ぶ)の幅(Llで示す)がこれとは垂直な方向(以下
X方向と呼ぶ)の幅(L2で示す)に比べて著しく大き
く、前述のステム10の幅rを小さくできない。すなわ
ち、従来の構成の光半導体素子では光ヘツド装置の小型
化、とりわけ薄型化には限界があるという問題がある。
はその小型化のためには、光半導体素子15自体の小型
化も必要である。特に光ヘツド装置の厚さは同じ対物レ
ンズを用いた場合基台23の厚さ(図でIで示す)に左
右され、基台23の厚さは光半導体素子15のステム1
0の幅(図でrで示す)で決ってしまう。通常ステム1
0は熱伝導性のよい金属で形成される必要があるため、
金属の加工性を考慮すると円盤上のものを用いざるを得
ない。ところが、第4図に示すように前述の構成の光半
導体素子では、放熱ブロック5とモニタ用光検出器9が
並んで配置されており、両者の並ぶ方向(以下y方向と
呼ぶ)の幅(Llで示す)がこれとは垂直な方向(以下
X方向と呼ぶ)の幅(L2で示す)に比べて著しく大き
く、前述のステム10の幅rを小さくできない。すなわ
ち、従来の構成の光半導体素子では光ヘツド装置の小型
化、とりわけ薄型化には限界があるという問題がある。
そこで本発明は、上述のステムの幅rを小さくでき、し
たがって従来よりも薄型化された光ヘツド装置を実現で
きる光半導体素子を提供するものである。
たがって従来よりも薄型化された光ヘツド装置を実現で
きる光半導体素子を提供するものである。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために本発明の光半導体素子は、半
導体レーザと、半導体レーザを保持するための熱伝導性
材料からなる放熱ブロックと、半導体レーザの出力光量
をモニタするモニタ用光検出器と、半導体レーザに電力
を供給しまたは光検出器の検出電流を外部に出力するた
めの接続端子と、放熱ブロックと光検出器および接続端
子を固定するための一体成形可能な樹脂より成る支持基
板とを備え、しかも放熱ブロックは、支持基板を貫通し
て底面を前記支持基板の底面から露出して固定された構
成を有している。
導体レーザと、半導体レーザを保持するための熱伝導性
材料からなる放熱ブロックと、半導体レーザの出力光量
をモニタするモニタ用光検出器と、半導体レーザに電力
を供給しまたは光検出器の検出電流を外部に出力するた
めの接続端子と、放熱ブロックと光検出器および接続端
子を固定するための一体成形可能な樹脂より成る支持基
板とを備え、しかも放熱ブロックは、支持基板を貫通し
て底面を前記支持基板の底面から露出して固定された構
成を有している。
作用
以上のような構成によれば、本発明の光半導体素子の外
形寸法を決定する支持基板を一体成形可能な樹脂で成形
することにより、支持基板の形状を自由に設計できる。
形寸法を決定する支持基板を一体成形可能な樹脂で成形
することにより、支持基板の形状を自由に設計できる。
したがって、放熱ブロック等の形状に合わせて支持基板
の形状を設計することにより、本発明の光半導体素子自
体の小型化を図ることができ、その結果本発明の光半導
体素子を用いた光ヘツド装置の小型化、とりわけ薄型化
が可能となる。
の形状を設計することにより、本発明の光半導体素子自
体の小型化を図ることができ、その結果本発明の光半導
体素子を用いた光ヘツド装置の小型化、とりわけ薄型化
が可能となる。
実施例
以下、本発明の第1の実施例について図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
第1図(a)、 (b)および(c)は本発明の第1
の実施例における光半導体素子の縦断面図、平面図。
の実施例における光半導体素子の縦断面図、平面図。
底面図である。
同図に示す本実施例の光半導体素子は、基本的には第3
図に示した従来の光半導体素子と同じ構成であるので、
同一構成部分には同一番号を付して詳細な説明を省略す
る。
図に示した従来の光半導体素子と同じ構成であるので、
同一構成部分には同一番号を付して詳細な説明を省略す
る。
従来例と異なる部分について説明すると、30はシリコ
ン基板2を介して半導体レーザ1を保持するとともに絶
縁板4を介して光検出器3を保持し、半導体レーザ1か
らの発熱を放出すべく熱伝導性のよい材料で構成された
放熱ブロック・であり、第1図(C)に示すように、後
述するステム31の底面を貫通して設置されている。ま
た、31は放熱ブロック30およびモニタ用光検出器9
を保持するとともに、接続端子8を外部に導出するため
のステムであり、放熱ブロック30と一体成形可能な樹
脂で形成されている。32はステム31上に設置された
各部品を収納し外界から密閉するためのキャップであり
、ステム31と同様の樹脂で形成されている。33は本
実施例の光半導体素子本体である。
ン基板2を介して半導体レーザ1を保持するとともに絶
縁板4を介して光検出器3を保持し、半導体レーザ1か
らの発熱を放出すべく熱伝導性のよい材料で構成された
放熱ブロック・であり、第1図(C)に示すように、後
述するステム31の底面を貫通して設置されている。ま
た、31は放熱ブロック30およびモニタ用光検出器9
を保持するとともに、接続端子8を外部に導出するため
のステムであり、放熱ブロック30と一体成形可能な樹
脂で形成されている。32はステム31上に設置された
各部品を収納し外界から密閉するためのキャップであり
、ステム31と同様の樹脂で形成されている。33は本
実施例の光半導体素子本体である。
以上のように構成された本実施例の光半導体素子につい
て、その基本的な動作は前述した従来の光半導体素子の
動作と同じであるが、本実施例の光半導体素子では、ス
テム31が樹脂製であるために自由な形状が設計可能で
ある。しがも放熱ブロック30はステム31を貫通して
その底面をステム31の底面から露出させて固定されて
いる六めに、半導体レーザ1が発生した熱を放熱ブロッ
ク30を介して直接外部に放熱することができおしたが
って一般に熱伝導性の悪い樹脂を用いてステム31を形
成しても、熱伝導不良による半導付レーザ1の破損は生
じない。
て、その基本的な動作は前述した従来の光半導体素子の
動作と同じであるが、本実施例の光半導体素子では、ス
テム31が樹脂製であるために自由な形状が設計可能で
ある。しがも放熱ブロック30はステム31を貫通して
その底面をステム31の底面から露出させて固定されて
いる六めに、半導体レーザ1が発生した熱を放熱ブロッ
ク30を介して直接外部に放熱することができおしたが
って一般に熱伝導性の悪い樹脂を用いてステム31を形
成しても、熱伝導不良による半導付レーザ1の破損は生
じない。
もちろんキャップ32も同様な樹脂製であるCでステム
31に応じた形状に形成することができる。
31に応じた形状に形成することができる。
また、通常本実施例のような光半導体素子で(謔外部の
電気回路との接続のために、プリント基板をステム31
の裏面に直接密着させ、プリント遅板上の銅箔に接続端
子8を半田付けするが、このときにプリント基板上の接
地側の銅箔に放熱ブロック30を接触させれば、放熱を
一層確実にすることができる。
電気回路との接続のために、プリント基板をステム31
の裏面に直接密着させ、プリント遅板上の銅箔に接続端
子8を半田付けするが、このときにプリント基板上の接
地側の銅箔に放熱ブロック30を接触させれば、放熱を
一層確実にすることができる。
さらに、本実施例の光半導体素子はステム30およびキ
ャップ32を樹脂で形成したことにより軽量化でき、こ
れを用いた光ヘツド装置のシークタイムの短縮が期待で
きる。
ャップ32を樹脂で形成したことにより軽量化でき、こ
れを用いた光ヘツド装置のシークタイムの短縮が期待で
きる。
第2図(a)、 (b)および(c)は本発明の第2
の実施例における光半導体素子の縦断面図、平面図。
の実施例における光半導体素子の縦断面図、平面図。
底面図である。
同図に示す本実施例の光半導体素子は、第1図に示した
本発明の第1の実施例の光半導体素子と同じ構成である
ので、同一構成部分には同一番号を付してその構成およ
び動作の詳細な説明を省略する。第1の実施例と異なる
のは、第2図に示すように34はステムであるが、この
ステム34の形状が、放熱ブロック30およびモニタ用
光検出器9の設置された部分を残して円周の両側を正弦
状に前述のX方向に切取られた形状をしていることと、
接続端子8を放熱ブロック30およびモニタ用光検出器
9の両側に配したことである。また、キャップ37はス
テム34上に設置された各部品を収納し外界から密閉す
るために、ステム34と同様の樹脂で形成されている。
本発明の第1の実施例の光半導体素子と同じ構成である
ので、同一構成部分には同一番号を付してその構成およ
び動作の詳細な説明を省略する。第1の実施例と異なる
のは、第2図に示すように34はステムであるが、この
ステム34の形状が、放熱ブロック30およびモニタ用
光検出器9の設置された部分を残して円周の両側を正弦
状に前述のX方向に切取られた形状をしていることと、
接続端子8を放熱ブロック30およびモニタ用光検出器
9の両側に配したことである。また、キャップ37はス
テム34上に設置された各部品を収納し外界から密閉す
るために、ステム34と同様の樹脂で形成されている。
36は本実施例の光半導体素子本体である。
このような構成にすることにより、円盤状の形状に比べ
てステム34のX方向の幅rを小さくすることができ、
したがってこれを用いた光ヘツド装置の薄型化が可能と
なる。
てステム34のX方向の幅rを小さくすることができ、
したがってこれを用いた光ヘツド装置の薄型化が可能と
なる。
ステム34をこのような形状にするには、従来の光半導
体素子のように金属性のステムでは加工が難しく、量産
性およびコストの点で問題がある。
体素子のように金属性のステムでは加工が難しく、量産
性およびコストの点で問題がある。
一方、本実施例のように樹脂で一体成形すると鋳型を作
製するだけで低コストで量産が可能である。
製するだけで低コストで量産が可能である。
なお以上の実施例では、同一パッケージ内に半導体レー
ザ1とモニタ用光検出器9と光記録媒体からの戻り光を
受光する光検出器3とを配した、いわゆるハイブリッド
型の光半導体素子について述べたが、半導体レーザとモ
ニタ用光検出器のみを同一パッケージ内に配した光半導
体素子についても同様の効果がある。
ザ1とモニタ用光検出器9と光記録媒体からの戻り光を
受光する光検出器3とを配した、いわゆるハイブリッド
型の光半導体素子について述べたが、半導体レーザとモ
ニタ用光検出器のみを同一パッケージ内に配した光半導
体素子についても同様の効果がある。
発明の効果
以上のように本発明によれば、放熱ブロックと光検出器
と接続端子とを固定するための支持基板を、一体成形可
能な樹脂で形成することにより支持基板の形状を自由に
設計でき、本光半導体素子の薄型化が可能となり、これ
を用いた光ヘツド装置も薄型化を図ることができる。
と接続端子とを固定するための支持基板を、一体成形可
能な樹脂で形成することにより支持基板の形状を自由に
設計でき、本光半導体素子の薄型化が可能となり、これ
を用いた光ヘツド装置も薄型化を図ることができる。
しかも、放熱ブロックは支持基板の底面から露出して固
定されているので、半導体レーザが発生する熱は本光半
導体素子の底面から外部へ放出され、発熱による半導体
レーザの破損の問題はない。
定されているので、半導体レーザが発生する熱は本光半
導体素子の底面から外部へ放出され、発熱による半導体
レーザの破損の問題はない。
第1図(a)、 (b)および(c)は本発明の第1
の実施例における光半導体素子の縦断面図、平面図。 底面図、第2図(a)、 (b)および(C)は本発
明の第2の実施例における光半導体素子の縦断面図。 平面図、底面図、第3図(a)および(b)は従来の光
半導体素子の縦断面図、平面図、第4図は従来の光半導
体素子を用いた光ヘツド装置の概略図である。 1・・・半導体レーザ、 3・・・光検出器、 8
・・・接続端子、 9・・・モニタ用光検出器、
3o・・・放熱ブロック、 31.34・・・ステム
。 代理人の氏名 弁理士 粟野 重孝 はか1名按車先幅
子 族黙ブロック ステA
の実施例における光半導体素子の縦断面図、平面図。 底面図、第2図(a)、 (b)および(C)は本発
明の第2の実施例における光半導体素子の縦断面図。 平面図、底面図、第3図(a)および(b)は従来の光
半導体素子の縦断面図、平面図、第4図は従来の光半導
体素子を用いた光ヘツド装置の概略図である。 1・・・半導体レーザ、 3・・・光検出器、 8
・・・接続端子、 9・・・モニタ用光検出器、
3o・・・放熱ブロック、 31.34・・・ステム
。 代理人の氏名 弁理士 粟野 重孝 はか1名按車先幅
子 族黙ブロック ステA
Claims (3)
- (1)半導体レーザと、前記半導体レーザを保持するた
めの熱伝導性材料からなる放熱ブロックと、前記半導体
レーザの出力光量をモニタするための光検出器と、前記
半導体レーザに電力を供給しまたは前記光検出器の検出
電流を外部に出力するための接続端子と、前記放熱ブロ
ックと前記光検出器および前記接続端子を固定するため
の支持基板とを備え、前記支持基板は一体成形可能な樹
脂より成ることを特徴とする光半導体素子。 - (2)前記放熱ブロックは、前記支持基板を貫通して底
面を前記支持基板の底面から露出していることを特徴と
する請求項1記載の光半導体素子。 - (3)前記支持基板は、円盤の少なくとも1箇所を正弦
状に切り取った形状であることを特徴とする請求項1記
載の光半導体素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2125023A JPH0424978A (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | 光半導体素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2125023A JPH0424978A (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | 光半導体素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0424978A true JPH0424978A (ja) | 1992-01-28 |
Family
ID=14899945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2125023A Pending JPH0424978A (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | 光半導体素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0424978A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH065990A (ja) * | 1992-06-22 | 1994-01-14 | Sharp Corp | 半導体レーザ用パッケージ |
| US5519720A (en) * | 1993-03-04 | 1996-05-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor light emitting device |
| JP2001284700A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体レーザモジュール |
| JP2003158327A (ja) * | 2001-11-20 | 2003-05-30 | Sharp Corp | 半導体レーザ装置及びその製造方法 |
| JP2006351728A (ja) * | 2005-06-14 | 2006-12-28 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 光半導体素子用ステム及び光半導体装置 |
-
1990
- 1990-05-15 JP JP2125023A patent/JPH0424978A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH065990A (ja) * | 1992-06-22 | 1994-01-14 | Sharp Corp | 半導体レーザ用パッケージ |
| US5519720A (en) * | 1993-03-04 | 1996-05-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor light emitting device |
| JP2001284700A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体レーザモジュール |
| JP2003158327A (ja) * | 2001-11-20 | 2003-05-30 | Sharp Corp | 半導体レーザ装置及びその製造方法 |
| JP2006351728A (ja) * | 2005-06-14 | 2006-12-28 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 光半導体素子用ステム及び光半導体装置 |
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