JPH0425074B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0425074B2 JPH0425074B2 JP61181599A JP18159986A JPH0425074B2 JP H0425074 B2 JPH0425074 B2 JP H0425074B2 JP 61181599 A JP61181599 A JP 61181599A JP 18159986 A JP18159986 A JP 18159986A JP H0425074 B2 JPH0425074 B2 JP H0425074B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- piston
- discharge
- ball screw
- screw shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F11/00—Apparatus requiring external operation adapted at each repeated and identical operation to measure and separate a predetermined volume of fluid or fluent solid material from a supply or container, without regard to weight, and to deliver it
- G01F11/02—Apparatus requiring external operation adapted at each repeated and identical operation to measure and separate a predetermined volume of fluid or fluent solid material from a supply or container, without regard to weight, and to deliver it with measuring chambers which expand or contract during measurement
- G01F11/021—Apparatus requiring external operation adapted at each repeated and identical operation to measure and separate a predetermined volume of fluid or fluent solid material from a supply or container, without regard to weight, and to deliver it with measuring chambers which expand or contract during measurement of the piston type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、ペースト状粘性流体吐出装置、特に
微量の粘性流体を吐出するペースト吐出ノズルを
有するこの種の液体微量吐出装置に関するもので
ある。
微量の粘性流体を吐出するペースト吐出ノズルを
有するこの種の液体微量吐出装置に関するもので
ある。
[従来技術]
例えば接着剤や各特殊用途ペースト剤等のこの
種の粘性流体は、広範囲の産業分野に使用されて
おり、その吐出装置も、従来、種々の形式のもの
利用されている。
種の粘性流体は、広範囲の産業分野に使用されて
おり、その吐出装置も、従来、種々の形式のもの
利用されている。
一例として、半導体産業において、アルミナ基
板等の耐熱性セラミツク基板上に、厚膜回路パタ
ーンを形成する場合には、高温焼成用導体ペース
トをスクリーン印刷し、これを高温で焼成するこ
とにより導体回路とし、各導体路間にグレース抵
抗ペーストをスクリーン印刷し、同様に、これを
高温焼成して低抗体を形成するという方法が採用
されている。
板等の耐熱性セラミツク基板上に、厚膜回路パタ
ーンを形成する場合には、高温焼成用導体ペース
トをスクリーン印刷し、これを高温で焼成するこ
とにより導体回路とし、各導体路間にグレース抵
抗ペーストをスクリーン印刷し、同様に、これを
高温焼成して低抗体を形成するという方法が採用
されている。
しかしながら、以上のような方法は、同一パタ
ーンの導体回路を、大量に生産するのには適して
いるが、回路パターンが変るたびにスクリーン版
を制作する必要がある。さらに、パターンの変更
が、基板サイズの変更を伴うことも多く、電子回
路の多種少量生産に迅速に対応することができな
いとか、試作検討、あるいは、納期遅れ等の問題
を包蔵していた。
ーンの導体回路を、大量に生産するのには適して
いるが、回路パターンが変るたびにスクリーン版
を制作する必要がある。さらに、パターンの変更
が、基板サイズの変更を伴うことも多く、電子回
路の多種少量生産に迅速に対応することができな
いとか、試作検討、あるいは、納期遅れ等の問題
を包蔵していた。
そこで、描画ヘツドを、プログラミングされた
コンピユータ制御により、所定の回路パターンを
回路の設計情報に基づいて、直接的に自由に描画
し得るようにした装置が使用されるようになり、
多種少量生産や試作検討あるいは納期の大幅短縮
等に貢献している。
コンピユータ制御により、所定の回路パターンを
回路の設計情報に基づいて、直接的に自由に描画
し得るようにした装置が使用されるようになり、
多種少量生産や試作検討あるいは納期の大幅短縮
等に貢献している。
第4図に、従来のこの種の装置の一実施例の要
部縦断面図を示す。1は、描画ヘツドとして垂直
上/下方向(Z方向)に移動可能にノズルホルダ
6に搭載されたペースト吐出ノズル、10はプロ
グラム制御によるX−Y駆動装置のテーブルT上
に載置された前記基板(ワーク)である。ノズル
1の円筒状の本体は、頂部を、カバー3により閉
鎖され、内部には、例えば回路要素形成粉体と樹
脂成分ならびに溶剤等とより成るペースト状粘成
流体9が充填され、上部にはノズル1の円筒状本
体の内壁とOリングによりシールされているフロ
ート2が配設されている。フロート2の上部室1
1には、カバー3上の継手4を介してフレキシブ
ルホース5により外部源Aから圧縮空気が導入さ
れ、フロート2を押すことにより、流体(ペース
ト)9を、ノズル1の先端のオリフイスから基板
10上へ吐出させるよう構成されている。この種
の描画すべきパターンの線幅は、少くとも0.5mm
以下、0.2〜0.3mm程度が望ましいため、吐出量は
極めて微量である。また、ノズル1のZ方向上下
運動は、ノズルホルダ6部のボールねじ軸7を回
転駆動してボールナツト8の直線運動に転換する
ことによつて行われる。
部縦断面図を示す。1は、描画ヘツドとして垂直
上/下方向(Z方向)に移動可能にノズルホルダ
6に搭載されたペースト吐出ノズル、10はプロ
グラム制御によるX−Y駆動装置のテーブルT上
に載置された前記基板(ワーク)である。ノズル
1の円筒状の本体は、頂部を、カバー3により閉
鎖され、内部には、例えば回路要素形成粉体と樹
脂成分ならびに溶剤等とより成るペースト状粘成
流体9が充填され、上部にはノズル1の円筒状本
体の内壁とOリングによりシールされているフロ
ート2が配設されている。フロート2の上部室1
1には、カバー3上の継手4を介してフレキシブ
ルホース5により外部源Aから圧縮空気が導入さ
れ、フロート2を押すことにより、流体(ペース
ト)9を、ノズル1の先端のオリフイスから基板
10上へ吐出させるよう構成されている。この種
の描画すべきパターンの線幅は、少くとも0.5mm
以下、0.2〜0.3mm程度が望ましいため、吐出量は
極めて微量である。また、ノズル1のZ方向上下
運動は、ノズルホルダ6部のボールねじ軸7を回
転駆動してボールナツト8の直線運動に転換する
ことによつて行われる。
[発明が解決しようとする問題点]
しかしながら、以上のような従来例にあつて
は、吐出すべき流体は温度に対して指数関数的に
粘度が変化するため、図例のようなエヤーによる
方式の場合、同一の空気送給量においても、周囲
温度やノズルの径や長さ、もしくはオリフイス形
状等によつて吐出量が大きく影響を受けるため、
微少量の安定吐出を行うためにはエヤーの圧力/
流量制御が極めて微妙となり制御が困難である。
また、吐出量を変化させたいとき、エヤーの信号
と吐出量とは一時遅れ系(エヤー信号に対して吐
出量が時間的に遅れて立上がること)となるため
時間制御が困難であるという問題点があつた。
は、吐出すべき流体は温度に対して指数関数的に
粘度が変化するため、図例のようなエヤーによる
方式の場合、同一の空気送給量においても、周囲
温度やノズルの径や長さ、もしくはオリフイス形
状等によつて吐出量が大きく影響を受けるため、
微少量の安定吐出を行うためにはエヤーの圧力/
流量制御が極めて微妙となり制御が困難である。
また、吐出量を変化させたいとき、エヤーの信号
と吐出量とは一時遅れ系(エヤー信号に対して吐
出量が時間的に遅れて立上がること)となるため
時間制御が困難であるという問題点があつた。
本発明は、以上のような従来例の問題点にかん
がみてなされたもので、エヤー方式による不安定
要素を取除くため、ピストン(あるいはプランジ
ヤ)ストロークによる容積制御方式によつて、吐
出ピストン(プランジヤ)をペースト状粘性流体
方向に微少移動させれば周囲温度と無関係にスト
ローク量に比例する実質的に遅れのない安定吐出
が可能である。
がみてなされたもので、エヤー方式による不安定
要素を取除くため、ピストン(あるいはプランジ
ヤ)ストロークによる容積制御方式によつて、吐
出ピストン(プランジヤ)をペースト状粘性流体
方向に微少移動させれば周囲温度と無関係にスト
ローク量に比例する実質的に遅れのない安定吐出
が可能である。
更に、ノズルホルダ6上に吐出ピストン駆動機
構(モータ、ピストン連結部材等)を搭載して、
ノズル1を保持するノズルホルダ6をノズル上下
駆動機構(モータ、ボールねじ軸7、ボールナツ
ト8等)により垂直上下運動させると、ノズル上
下駆動機構が吐出ピストン駆動機構ごと垂直に上
下させるから、ノズル上下駆動機構の負荷が増大
し、慣性抵抗が大となり、生産性向上に必要な高
速の上下駆動が困難となる。従つて、本発明にお
いては、ノズル上下動時にも実質的に余分の負荷
増加を招来することのないような手段を備えた液
体微量吐出装置の提供を目的としている。
構(モータ、ピストン連結部材等)を搭載して、
ノズル1を保持するノズルホルダ6をノズル上下
駆動機構(モータ、ボールねじ軸7、ボールナツ
ト8等)により垂直上下運動させると、ノズル上
下駆動機構が吐出ピストン駆動機構ごと垂直に上
下させるから、ノズル上下駆動機構の負荷が増大
し、慣性抵抗が大となり、生産性向上に必要な高
速の上下駆動が困難となる。従つて、本発明にお
いては、ノズル上下動時にも実質的に余分の負荷
増加を招来することのないような手段を備えた液
体微量吐出装置の提供を目的としている。
[問題点を解決するための手段]
テーブル上に載置された被描画体にペーストを
吐出させるノズルと、該ノズルに内蔵するペース
トを押圧する吐出ピストンと、ノズルを保持する
ノズル保持部材と、ノズルを鉛直方向に上下動す
るようにノズル保持部材に連結しフレームに支持
された移動手段と、フレームに固定され前記移動
手段を駆動するノズル上下駆動手段と、前記ノズ
ル保持部材またはフレームに回転可能に支持され
吐出ピストンに連結したボールねじ軸を有しその
回転により吐出ピストンを上下動させてノズルか
らペーストを吐出させる吐出手段と、フレームに
固定され前記ボールねじ軸を回転するためのピス
トン駆動手段と、ノズル上下動手段によるノズル
保持部材の上下動に上記吐出手段が追従するよう
に上記吐出手段の上下動を許容する吸収手段とを
設けたことにより、前記目的を達成するものであ
る。
吐出させるノズルと、該ノズルに内蔵するペース
トを押圧する吐出ピストンと、ノズルを保持する
ノズル保持部材と、ノズルを鉛直方向に上下動す
るようにノズル保持部材に連結しフレームに支持
された移動手段と、フレームに固定され前記移動
手段を駆動するノズル上下駆動手段と、前記ノズ
ル保持部材またはフレームに回転可能に支持され
吐出ピストンに連結したボールねじ軸を有しその
回転により吐出ピストンを上下動させてノズルか
らペーストを吐出させる吐出手段と、フレームに
固定され前記ボールねじ軸を回転するためのピス
トン駆動手段と、ノズル上下動手段によるノズル
保持部材の上下動に上記吐出手段が追従するよう
に上記吐出手段の上下動を許容する吸収手段とを
設けたことにより、前記目的を達成するものであ
る。
[作用]
ノズル保持部材をノズル上下駆動モータにより
上下動させたときに、吸収手段により吐出手段も
上下するようにしたので、フレームに固定したピ
ストン駆動手段により吐出を制御でき、ノズル上
下駆動手段によるノズルの上下動を高速にでき
る。
上下動させたときに、吸収手段により吐出手段も
上下するようにしたので、フレームに固定したピ
ストン駆動手段により吐出を制御でき、ノズル上
下駆動手段によるノズルの上下動を高速にでき
る。
[実施例]
以下に、本発明を実施例に基づいて説明する。
第1図aは、本発明に係る液体微量吐出装置のピ
ストン15およびノズル(本体)1の全体組立体
の鉛直上下方向(BおよびZ方向)駆動機構を示
す要部側面図である。前出従来例第4図における
と同一(または相当)構成要素は同一符号で表わ
す。
第1図aは、本発明に係る液体微量吐出装置のピ
ストン15およびノズル(本体)1の全体組立体
の鉛直上下方向(BおよびZ方向)駆動機構を示
す要部側面図である。前出従来例第4図における
と同一(または相当)構成要素は同一符号で表わ
す。
(構成)
本実施例においては、吐出ピストン(プランジ
ヤ)15の駆動モータM2および減速機R(特に、
極く少量の吐出を必要とする場合には減速機等を
必要とする)とをノズルホルダ6部材上に代え
て、装置本体フレーム20上に載置し、その出力
軸Sを、たわみ継手Cを介して、スプライン軸2
8をフレーム20上に軸支し、一方、ノズルホル
ダ6上に軸支したピストン駆動用のボールねじ軸
23の先端部を、前記スプライン軸28と摺動的
に係合するめすスプライン穴を有する部材27を
キーで固設した円筒部材26の下端に固定する。
従つて両部材28,27により、円筒部材26は
回転運動をボールねじ軸23に伝達し、ボールね
じ軸23の鉛直方向の上下動は円筒部材26を介
してめすスプライン27がスプライン軸28に沿
つて摺動するように吸収手段を構成してある。
ヤ)15の駆動モータM2および減速機R(特に、
極く少量の吐出を必要とする場合には減速機等を
必要とする)とをノズルホルダ6部材上に代え
て、装置本体フレーム20上に載置し、その出力
軸Sを、たわみ継手Cを介して、スプライン軸2
8をフレーム20上に軸支し、一方、ノズルホル
ダ6上に軸支したピストン駆動用のボールねじ軸
23の先端部を、前記スプライン軸28と摺動的
に係合するめすスプライン穴を有する部材27を
キーで固設した円筒部材26の下端に固定する。
従つて両部材28,27により、円筒部材26は
回転運動をボールねじ軸23に伝達し、ボールね
じ軸23の鉛直方向の上下動は円筒部材26を介
してめすスプライン27がスプライン軸28に沿
つて摺動するように吸収手段を構成してある。
また、16はノズル(本体)1をノズルホルダ
6に固定するためのレバーである。ノズルホルダ
6は、装置本体フレーム20上の鉛直移動ガイド
19と、フレーム20に鉛直に回転可能に立設さ
れたボールねじ軸17と、このボールねじ軸17
と係合するノズルホルダ6上のボールナツト18
とを介してフレーム20に支持され、ボールねじ
軸17の上部軸受の頂部は、たわみ継手を介して
フレーム20上に載置したノズル上下動モータ
M1に結合されている。
6に固定するためのレバーである。ノズルホルダ
6は、装置本体フレーム20上の鉛直移動ガイド
19と、フレーム20に鉛直に回転可能に立設さ
れたボールねじ軸17と、このボールねじ軸17
と係合するノズルホルダ6上のボールナツト18
とを介してフレーム20に支持され、ボールねじ
軸17の上部軸受の頂部は、たわみ継手を介して
フレーム20上に載置したノズル上下動モータ
M1に結合されている。
一方、吐出ピストン15は、たわみ継手21を
介して、ピストン駆動部材22に連結される。ピ
ストン駆動部材22は、ノズルホルダ6上の鉛直
リニアガイド25およびピストン駆動部材22に
配設した相手ボールナツト24とを介してボール
ねじ軸23に支持される。尚、第1図bは、この
種の方式のノズル部要部縦断面図を示す。1はノ
ズル(本体)、1aはノズルの円筒状バレル部、
1bはノズル取付け金具、3aは頂部カバー、1
5は吐出ピストン(プランジヤ)、9は流体(ペ
ースト)、15aおよび9aはシール用Oリング
である。また、9bはノズルの円筒状バレル部内
壁と吐出ピストン15とにより形成される流体バ
イパスである。尚、ノズル上下モータM1、出力
軸、たわみ継手等でノズル上下駆動手段を、ピス
トン駆動モータM2、減速機R、出力軸S、たわ
み継手C等でピストン駆動手段を、ボールねじ軸
17、ボールナツト18、鉛直移動ガイド19等
で移動手段をそれぞれ形成する。
介して、ピストン駆動部材22に連結される。ピ
ストン駆動部材22は、ノズルホルダ6上の鉛直
リニアガイド25およびピストン駆動部材22に
配設した相手ボールナツト24とを介してボール
ねじ軸23に支持される。尚、第1図bは、この
種の方式のノズル部要部縦断面図を示す。1はノ
ズル(本体)、1aはノズルの円筒状バレル部、
1bはノズル取付け金具、3aは頂部カバー、1
5は吐出ピストン(プランジヤ)、9は流体(ペ
ースト)、15aおよび9aはシール用Oリング
である。また、9bはノズルの円筒状バレル部内
壁と吐出ピストン15とにより形成される流体バ
イパスである。尚、ノズル上下モータM1、出力
軸、たわみ継手等でノズル上下駆動手段を、ピス
トン駆動モータM2、減速機R、出力軸S、たわ
み継手C等でピストン駆動手段を、ボールねじ軸
17、ボールナツト18、鉛直移動ガイド19等
で移動手段をそれぞれ形成する。
(動作)
以上のような構成からなるこの実施例の動作を
説明する。
説明する。
X−Y駆動装置のテーブルT上に載置した基板
10の描画すべき表面は一般に凹凸(うねり)が
あるため、ノズル1はこの凹凸に追従しながら鉛
直に上下運動する必要がある。従つて、ノズル上
下駆動モータM1が正方向および逆方向に回転す
ると、ボールねじ軸17/ボールナツト18を介
してノズルホルダ6が矢符Zに示される鉛直上下
方向(鉛直方向)に上下動するとともにノズル1
(ボールねじ軸23)も鉛直上下動するから、ボ
ールねじ軸23は円筒部材26を介して吸収手段
としてのめすスプライン27がスプライン軸28
に沿つて摺動する。そして、ピストン摺動モータ
M2が逆方向に回転すると、ピストン駆動モータ
M2の回転は、スプライン部28/27を介して、
ボールねじ軸23/ナツト24、ピストン駆動部
材22により吐出ピストン15を駆動でき、かく
してノズル1からペースト9の微量を吐出させ
る。従つて、ボールねじ軸23の軸方向位置は、
ノズル1に対して常に一定の相対位置を保ち、ノ
ズル上下駆動モータM1、ボールねじ軸17、ボ
ールナツト18によりノズルホルダ6を鉛直運動
させ、このときスプライン部27,28はノズル
ホルダ6と共に上下動するボールねじ軸23、ピ
ストン駆動部材22のその上下動を許容するよう
に、即ちピストン駆動モータM2に影響させない
ように吸収する。従つて、前記発明の目的が達成
される。
10の描画すべき表面は一般に凹凸(うねり)が
あるため、ノズル1はこの凹凸に追従しながら鉛
直に上下運動する必要がある。従つて、ノズル上
下駆動モータM1が正方向および逆方向に回転す
ると、ボールねじ軸17/ボールナツト18を介
してノズルホルダ6が矢符Zに示される鉛直上下
方向(鉛直方向)に上下動するとともにノズル1
(ボールねじ軸23)も鉛直上下動するから、ボ
ールねじ軸23は円筒部材26を介して吸収手段
としてのめすスプライン27がスプライン軸28
に沿つて摺動する。そして、ピストン摺動モータ
M2が逆方向に回転すると、ピストン駆動モータ
M2の回転は、スプライン部28/27を介して、
ボールねじ軸23/ナツト24、ピストン駆動部
材22により吐出ピストン15を駆動でき、かく
してノズル1からペースト9の微量を吐出させ
る。従つて、ボールねじ軸23の軸方向位置は、
ノズル1に対して常に一定の相対位置を保ち、ノ
ズル上下駆動モータM1、ボールねじ軸17、ボ
ールナツト18によりノズルホルダ6を鉛直運動
させ、このときスプライン部27,28はノズル
ホルダ6と共に上下動するボールねじ軸23、ピ
ストン駆動部材22のその上下動を許容するよう
に、即ちピストン駆動モータM2に影響させない
ように吸収する。従つて、前記発明の目的が達成
される。
(第2実施例)
第2図に、他の実施例の第1図a相当図を示
す。この実施例は、第1図aにおけるピストン駆
動部材22と、リニヤガイド25との構成に代え
て、ボールねじ軸23a、直接、ノズルホルダ6
に固定された上/下のボールねじ軸ガイド25
a/25bによつてリニヤガイド機能を持たせた
ものであり、第1実施例(第1図a)と同様の動
作/効果を有する。
す。この実施例は、第1図aにおけるピストン駆
動部材22と、リニヤガイド25との構成に代え
て、ボールねじ軸23a、直接、ノズルホルダ6
に固定された上/下のボールねじ軸ガイド25
a/25bによつてリニヤガイド機能を持たせた
ものであり、第1実施例(第1図a)と同様の動
作/効果を有する。
(さらに他の実施例)
前記、第1/第2実施例(第1図a/第2図)
においては、ピストン駆動モータM2軸と、ボー
ルねじ軸23/23a′との回転運動を伝達し、吸
収手段としてスプライン機構を用いたが、この目
的を達する機構は、スプライン機構のみに限定さ
れることがなく、例えば、フエザーキー等を用い
るものであつてもよいことはもちろんであり、ま
た、図示は省略するが、一方の歯幅を広くした一
対のすぐ歯歯車の噛み合わせ機構、もしくは遊星
歯車機構等を使用すれば、上記機能を達成し得る
と同時に、ピストン駆動モータM2の減速装置R
を兼ねさせることも可能である。
においては、ピストン駆動モータM2軸と、ボー
ルねじ軸23/23a′との回転運動を伝達し、吸
収手段としてスプライン機構を用いたが、この目
的を達する機構は、スプライン機構のみに限定さ
れることがなく、例えば、フエザーキー等を用い
るものであつてもよいことはもちろんであり、ま
た、図示は省略するが、一方の歯幅を広くした一
対のすぐ歯歯車の噛み合わせ機構、もしくは遊星
歯車機構等を使用すれば、上記機能を達成し得る
と同時に、ピストン駆動モータM2の減速装置R
を兼ねさせることも可能である。
さらにまた、これらの吸収手段としては、上記
のような機械的手段に代つて、例えば第3図に示
すように、前記第1例(第1図a)におけるスプ
ライン機構26,27,28を省略して、ピスト
ン駆動モータM2の出力軸Sを、たわみ継手Cを
介して、フレームに支持されるボールねじ軸23
と直結し、ノズル上下駆動用モータM1とピスト
ン駆動モータM2とを電気回路的に制御して、ノ
ズル上下駆動手段によりノズル1を鉛直方向に上
下動させるとき、同期してノズル1を有するノズ
ル本体に内蔵するペーストを押圧する吐出ピスト
ン15に一端を連結し他端をボールねじ軸23に
連結するピストン駆動部材22を鉛直方向に上下
動させるようにピストン駆動手段を作用させても
同様の効果が得られる。この方法により、機械式
による吸収手段を簡素化することができる。
のような機械的手段に代つて、例えば第3図に示
すように、前記第1例(第1図a)におけるスプ
ライン機構26,27,28を省略して、ピスト
ン駆動モータM2の出力軸Sを、たわみ継手Cを
介して、フレームに支持されるボールねじ軸23
と直結し、ノズル上下駆動用モータM1とピスト
ン駆動モータM2とを電気回路的に制御して、ノ
ズル上下駆動手段によりノズル1を鉛直方向に上
下動させるとき、同期してノズル1を有するノズ
ル本体に内蔵するペーストを押圧する吐出ピスト
ン15に一端を連結し他端をボールねじ軸23に
連結するピストン駆動部材22を鉛直方向に上下
動させるようにピストン駆動手段を作用させても
同様の効果が得られる。この方法により、機械式
による吸収手段を簡素化することができる。
[発明の効果]
以上、説明してきたように、本発明によれば、
テーブル上に載置された被描画体にペーストを吐
出させるノズルと、ノズルに内蔵するペーストを
押圧する吐出ピストンと、ノズルを保持するノズ
ル保持部材と、ノズルを鉛直方向に上下動するよ
うにノズル保持部材に連結しフレームに支持され
た移動手段と、フレームに固定され前記移動手段
を駆動するノズル上下駆動手段と、前記ノズル保
持部材またはフレームに回転可能に支持され吐出
ピストンに連結したボールねじ軸を有しその回転
により吐出ピストンを上下動させてノズルからペ
ーストを吐出させる吐出手段と、フレームに固定
され前記ボールねじ軸を回転するためのピストン
駆動手段と、ノズル上下駆動手段によるノズル保
持部材の上下動に上記吐出手段が追従するように
上記吐出手段の上下動を許容する吸収手段とを設
けたことにより、ノズル上下運動手段の負荷が軽
減され慣性抵抗が小さくなるので、ノズルの上下
駆動を高速化して生産性を向上させることができ
るようになつた。
テーブル上に載置された被描画体にペーストを吐
出させるノズルと、ノズルに内蔵するペーストを
押圧する吐出ピストンと、ノズルを保持するノズ
ル保持部材と、ノズルを鉛直方向に上下動するよ
うにノズル保持部材に連結しフレームに支持され
た移動手段と、フレームに固定され前記移動手段
を駆動するノズル上下駆動手段と、前記ノズル保
持部材またはフレームに回転可能に支持され吐出
ピストンに連結したボールねじ軸を有しその回転
により吐出ピストンを上下動させてノズルからペ
ーストを吐出させる吐出手段と、フレームに固定
され前記ボールねじ軸を回転するためのピストン
駆動手段と、ノズル上下駆動手段によるノズル保
持部材の上下動に上記吐出手段が追従するように
上記吐出手段の上下動を許容する吸収手段とを設
けたことにより、ノズル上下運動手段の負荷が軽
減され慣性抵抗が小さくなるので、ノズルの上下
駆動を高速化して生産性を向上させることができ
るようになつた。
第1図a,bは、本発明に係る液体微量吐出装
置の第1実施例の要部側面図とノズル部要部縦断
面図、第2図及び第3図は、それぞれ同第2およ
び他の実施例図、第4図は、従来のノズル部の要
部縦断面図である。 1……ノズル(本体)、6……ノズルホルダ
(ノズル保持部材)、15……吐出ピストン、1
7,23,23a……ボールねじ軸、18,24
……ボールナツト、{27……めすスプライン部
材、28……スプライン軸}吸収手段、M1……
ノズル上下駆動モータ、M2……ピストン駆動モ
ータ(吐出モータ)、S……出力軸。
置の第1実施例の要部側面図とノズル部要部縦断
面図、第2図及び第3図は、それぞれ同第2およ
び他の実施例図、第4図は、従来のノズル部の要
部縦断面図である。 1……ノズル(本体)、6……ノズルホルダ
(ノズル保持部材)、15……吐出ピストン、1
7,23,23a……ボールねじ軸、18,24
……ボールナツト、{27……めすスプライン部
材、28……スプライン軸}吸収手段、M1……
ノズル上下駆動モータ、M2……ピストン駆動モ
ータ(吐出モータ)、S……出力軸。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 テーブル上に載置された被描画体にペースト
を吐出させるノズル1と、 該ノズルに内蔵するペーストを押圧する吐出ピ
ストン15と、 ノズルを保持するノズル保持部材6と、ノズル
を鉛直方向に上下動するようにノズル保持部材に
連結しフレーム20に支持された移動手段17,
18,19と、 フレームに固定され前記移動手段を駆動するノ
ズル上下駆動手段M1と、 前記ノズル保持部材またはフレームに回転可能
に支持され吐出ピストンに連結したボールねじ軸
を有しその回転により吐出ピストンを上下動させ
てノズルからペーストを吐出させる吐出手段2
2,23,23aと、 フレームに固定され前記ボールねじ軸を回転す
るためのピストン駆動手段M2と、 ノズル上下駆動手段によるノズル保持部材の上
下動に上記吐出手段が追従するように上記吐出手
段の上下動を許容する吸収手段26,27,2
8,M2、 とを備えたことを特徴とする液体微量吐出装置。 2 前記吸収手段は、前記ピストン駆動手段に連
結されたスプライン軸28と、前記ボールねじ軸
に連結され前記スプライン軸に沿つて鉛直方向に
摺動するめすスプライン27であることを特徴と
する特許請求の範囲第1項に記載の液体微量吐出
装置。 3 前記吸収手段は、前記ノズル上下駆動手段に
同期して駆動制御されるピストン駆動手段である
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の
液体微量吐出装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18159986A JPS6336870A (ja) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | 液体微量吐出装置 |
| US07/076,707 US4848606A (en) | 1986-07-31 | 1987-07-23 | Apparatus for dispensing a predetermined volume of paste-like fluid |
| DE19873725143 DE3725143A1 (de) | 1986-07-31 | 1987-07-29 | Vorrichtung zum abgeben eines vorgegebenen volumens eines pastoesen fluids |
| FR878710836A FR2602330B1 (fr) | 1986-07-31 | 1987-07-30 | Appareil pour distribuer un volume predetermine de fluide analogue a une pate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18159986A JPS6336870A (ja) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | 液体微量吐出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6336870A JPS6336870A (ja) | 1988-02-17 |
| JPH0425074B2 true JPH0425074B2 (ja) | 1992-04-28 |
Family
ID=16103625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18159986A Granted JPS6336870A (ja) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | 液体微量吐出装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6336870A (ja) |
| DE (1) | DE3725143A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2671361B2 (ja) * | 1988-03-24 | 1997-10-29 | 松下電器産業株式会社 | 非接触描画装置 |
| JPH02130993A (ja) * | 1988-11-11 | 1990-05-18 | Juki Corp | ペースト吐出用ディスペンサー装置 |
| DE9115872U1 (de) * | 1991-12-20 | 1992-03-05 | hhs Leimauftrags-Systeme GmbH, 40885 Ratingen | Dosierventil zur Portionierung von fließfähigen Stoffen |
| DE4220048A1 (de) * | 1992-06-19 | 1993-12-23 | Fft Flexible Fertigungstechnik | Regel- und steuerbares Auftragssystem für viskose Medien |
| US20040247775A1 (en) * | 2003-06-06 | 2004-12-09 | Boulais Dennis R. | Positive displacement coating deposition apparatus and method |
| JP5235430B2 (ja) * | 2008-01-30 | 2013-07-10 | 三菱電機株式会社 | 溶融金属吐出装置 |
| JP4927920B2 (ja) * | 2009-09-25 | 2012-05-09 | ノードソン株式会社 | 液状物の吐出装置 |
| CN102794248B (zh) * | 2012-08-21 | 2014-09-10 | 深圳市科信通信技术股份有限公司 | 一种光纤插芯自动装夹点胶系统 |
| CN112221844B (zh) * | 2020-09-23 | 2022-12-27 | 唐山卫源电子科技有限公司 | 一种安全性高的点胶设备 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH447637A (de) * | 1964-09-18 | 1967-11-30 | Ceskoslovenska Akademie Ved | Vorrichtung zur genauen Dosierung von Flüssigkeiten |
| GB1317708A (en) * | 1969-05-21 | 1973-05-23 | Beckman Instruments Ltd | Apparatus for injecting or withdrawing liquids from containers |
| DD158310A3 (de) * | 1980-10-13 | 1983-01-12 | Ralf Guenther | Vorrichtung zum abmessen kleiner fluessigkeitsmengen |
| JPS5811063A (ja) * | 1981-07-14 | 1983-01-21 | Mitsubishi Electric Corp | ポツテング装置 |
| IT1174815B (it) * | 1983-09-08 | 1987-07-01 | Mg 2 Spa | Macchina per il dosaggio di una quantita' prefissata di polvere all'interno di un contenitore |
| DE3411204C2 (de) * | 1984-03-27 | 1986-06-05 | Telefonbau Und Normalzeit Gmbh, 6000 Frankfurt | Dosiervorrichtung für die Abgabe einer genau vorgegebenen Flüssigkeitsmenge |
| JPS6121715A (ja) * | 1984-07-09 | 1986-01-30 | Hitachi Zosen Corp | 粒子凝集装置 |
-
1986
- 1986-07-31 JP JP18159986A patent/JPS6336870A/ja active Granted
-
1987
- 1987-07-29 DE DE19873725143 patent/DE3725143A1/de not_active Ceased
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3725143A1 (de) | 1988-02-04 |
| JPS6336870A (ja) | 1988-02-17 |
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