JPH04255105A - 厚みすべり水晶振動子 - Google Patents
厚みすべり水晶振動子Info
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- JPH04255105A JPH04255105A JP1666591A JP1666591A JPH04255105A JP H04255105 A JPH04255105 A JP H04255105A JP 1666591 A JP1666591 A JP 1666591A JP 1666591 A JP1666591 A JP 1666591A JP H04255105 A JPH04255105 A JP H04255105A
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- Japan
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- Pending
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は、高周波数化に進ん
できた各種通信機器や、今後、期待されるＩＣカード等
の携帯機器に使用される小型厚みすべり水晶振動子で、
特に周波数の調整幅の確保に関するものである。
できた各種通信機器や、今後、期待されるＩＣカード等
の携帯機器に使用される小型厚みすべり水晶振動子で、
特に周波数の調整幅の確保に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】 図５は、従来の円板型ＡＴカッ
ト水晶振動子の正面図である。図５の１は、水晶振動子
、６は水晶振動子を支持するためのスリットを持つ電極
端子、２は水晶振動子のほぼ中央に配置された励振電極
であり、裏面にも同様に配置されている、３は周波数調
整を行う調整用の２次パターンの錘３であり蒸着により
形成される。従来のＡＴカット水晶振動子は、図５に示
したように小型化するには、その径を充分小さくする必
要があるが小さくすると特性の劣化を招くため小型化は
難しかった。また、小型でなかった代わりに振動子の持
つエネルギーは大きく、片面のみの調整用２次パターン
の錘３で数千（ｐｐｍ）もの周波数調整量が確保できて
いた。
ト水晶振動子の正面図である。図５の１は、水晶振動子
、６は水晶振動子を支持するためのスリットを持つ電極
端子、２は水晶振動子のほぼ中央に配置された励振電極
であり、裏面にも同様に配置されている、３は周波数調
整を行う調整用の２次パターンの錘３であり蒸着により
形成される。従来のＡＴカット水晶振動子は、図５に示
したように小型化するには、その径を充分小さくする必
要があるが小さくすると特性の劣化を招くため小型化は
難しかった。また、小型でなかった代わりに振動子の持
つエネルギーは大きく、片面のみの調整用２次パターン
の錘３で数千（ｐｐｍ）もの周波数調整量が確保できて
いた。
【０００３】図６は、上記した円板形状では大きすぎる
ので更に小型化した矩形ＡＴカット水晶振動子の斜視図
である。長さｘ０ は、水晶の電気軸Ｘ軸方向に選ばれ
る、すなわち、Ｘ軸方向に最大の寸法を有する振動子で
ある。更に、厚みｙ０ 、幅ｚ０ の方向は、Ｘ軸を回
転軸として回転したとき、機械軸Ｙ、光軸Ｚの作る新軸
Ｙ′、Ｚ′の方向とそれぞれ一致している。この振動の
変位方向は、Ｘ軸と平行であるので、Ｘ軸方向の水晶端
部で支持するとエネルギー損失が多く特性の劣化を招く
等の欠点を有し、特に小型化にする長さｘ０ について
顕著に現れる。また、円板形状を小型化した矩形ＡＴカ
ット水晶振動子でも片面の周波数調整で数千（ｐｐｍ）
もの周波数調整量の確保が可能であった。
ので更に小型化した矩形ＡＴカット水晶振動子の斜視図
である。長さｘ０ は、水晶の電気軸Ｘ軸方向に選ばれ
る、すなわち、Ｘ軸方向に最大の寸法を有する振動子で
ある。更に、厚みｙ０ 、幅ｚ０ の方向は、Ｘ軸を回
転軸として回転したとき、機械軸Ｙ、光軸Ｚの作る新軸
Ｙ′、Ｚ′の方向とそれぞれ一致している。この振動の
変位方向は、Ｘ軸と平行であるので、Ｘ軸方向の水晶端
部で支持するとエネルギー損失が多く特性の劣化を招く
等の欠点を有し、特に小型化にする長さｘ０ について
顕著に現れる。また、円板形状を小型化した矩形ＡＴカ
ット水晶振動子でも片面の周波数調整で数千（ｐｐｍ）
もの周波数調整量の確保が可能であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】 上記した円板形状
および矩形形状のＡＴカット水晶振動子を最近の市場の
要請の動向から、高い周波数であって、かつ、表面実装
に適した小型化にする場合、水晶振動子を小さくすると
次のような弊害がある。すなわち、振動部の面積が小さ
くなることから振動子のもつエネルギーが小さくなり、
共振周波数の周波数調整時に錘を付加した場合、錘によ
るエネルギーの損失が多く周波数調整量が少なくなって
しまい、周波数調整の出来ないものが多くなり、その結
果歩留まりが低下してしまう。
および矩形形状のＡＴカット水晶振動子を最近の市場の
要請の動向から、高い周波数であって、かつ、表面実装
に適した小型化にする場合、水晶振動子を小さくすると
次のような弊害がある。すなわち、振動部の面積が小さ
くなることから振動子のもつエネルギーが小さくなり、
共振周波数の周波数調整時に錘を付加した場合、錘によ
るエネルギーの損失が多く周波数調整量が少なくなって
しまい、周波数調整の出来ないものが多くなり、その結
果歩留まりが低下してしまう。
【０００５】本発明は、厚みすべり振動子であって、板
の厚みｙ０ だけで決定され、厚みと周波数は、高い周
波数になればなるほど急峻な関係をもち、厚み精度を上
げて共振周波数の確度を高くすることは限度があり、周
波数調整用の錘をどのように付加して周波数調整範囲の
量を多くとることができるかが本発明の課題である。
の厚みｙ０ だけで決定され、厚みと周波数は、高い周
波数になればなるほど急峻な関係をもち、厚み精度を上
げて共振周波数の確度を高くすることは限度があり、周
波数調整用の錘をどのように付加して周波数調整範囲の
量を多くとることができるかが本発明の課題である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】 本発明は上記課題を
解決するために、Ｙ板をＸ軸を回転軸として約３５°回
転し切り出された水晶板から、フォトリソグラフィ法に
より形成される振動部と支持部からなる厚みすべり水晶
振動子に於いて、振動部に励振電極を設け、この励振電
極のほぼ全面に周波数調整用の錘を振動部の両面に設け
たことを特徴とする厚みすべり水晶振動子である。
解決するために、Ｙ板をＸ軸を回転軸として約３５°回
転し切り出された水晶板から、フォトリソグラフィ法に
より形成される振動部と支持部からなる厚みすべり水晶
振動子に於いて、振動部に励振電極を設け、この励振電
極のほぼ全面に周波数調整用の錘を振動部の両面に設け
たことを特徴とする厚みすべり水晶振動子である。
【０００７】
【作用】 厚みすべり水晶振動子の形状を小型化し、
厚さに対し十分小さい振動子であっても輪郭振動の影響
を受けないための方法として、単一電極によるエネルギ
ーとじ込めが有効であり、この方法を用いて形状を決定
し、水晶振動子の励振電極のほぼ全面に周波数調整用の
錘を振動部の両面に設けることにより周波数調整するも
のである。
厚さに対し十分小さい振動子であっても輪郭振動の影響
を受けないための方法として、単一電極によるエネルギ
ーとじ込めが有効であり、この方法を用いて形状を決定
し、水晶振動子の励振電極のほぼ全面に周波数調整用の
錘を振動部の両面に設けることにより周波数調整するも
のである。
【０００８】
【実施例】 本発明の基本的な技術的背景について説
明すると、図３は、水晶振動子の周波数調整について、
励振電極のほぼ全面に蒸着により錘をつけたときの周波
数変化と等価直列抵抗変化を示している。図３のＡ点の
周波数では単一電極によるエネルギーとじ込めが完全な
状態で特性も良好値を示す、周波数を片面蒸着の錘によ
り変化させていくと特性は破線のように劣化するが、両
面均等に錘を蒸着すると実線のように片面の約１／２程
度の傾きで劣化していく。よって、片面による調整より
も劣化する傾きが小さいため周波数調整量は増加する。
明すると、図３は、水晶振動子の周波数調整について、
励振電極のほぼ全面に蒸着により錘をつけたときの周波
数変化と等価直列抵抗変化を示している。図３のＡ点の
周波数では単一電極によるエネルギーとじ込めが完全な
状態で特性も良好値を示す、周波数を片面蒸着の錘によ
り変化させていくと特性は破線のように劣化するが、両
面均等に錘を蒸着すると実線のように片面の約１／２程
度の傾きで劣化していく。よって、片面による調整より
も劣化する傾きが小さいため周波数調整量は増加する。
【０００９】図４は、板厚みのばらつきに対する、所定
の共振周波数に調整するための周波数調整量を示す。本
発明により、周波数調整量は増加し、厚みのばらつきに
対してルーズなスペックになり製造上簡単化される。以
上のような背景に沿って、具体的に実施した例を以下に
述べる。図１（Ａ）、（Ｂ）は本発明の水晶振動子の平
面図と側面図である。１は水晶振動子、２は水晶振動子
１のほぼ中央に配置された励振電極であり、裏面にも対
象に配置されている、３は励振電極２のほぼ全面に周波
数調整用の錘であり、これを振動部の両面に設けている
。
の共振周波数に調整するための周波数調整量を示す。本
発明により、周波数調整量は増加し、厚みのばらつきに
対してルーズなスペックになり製造上簡単化される。以
上のような背景に沿って、具体的に実施した例を以下に
述べる。図１（Ａ）、（Ｂ）は本発明の水晶振動子の平
面図と側面図である。１は水晶振動子、２は水晶振動子
１のほぼ中央に配置された励振電極であり、裏面にも対
象に配置されている、３は励振電極２のほぼ全面に周波
数調整用の錘であり、これを振動部の両面に設けている
。
【００１０】図２（Ａ）、（Ｂ）は本発明の水晶振動子
１を台座にマウントした平面図と側面図である。１は水
晶振動子、２は水晶振動子１のほぼ中央に配置された励
振電極２であり、裏面にも対象に配置されている、３は
励振電極２のほぼ全面に周波数調整用の錘３を振動部の
両面に設けている、４は水晶振動子を支持するための台
座でありセラミック等でできている、５は水晶振動子１
と台座４とを固定し、電気的接続を得るための導電性接
着剤である。台座４の中央部には、穴４ａが開けられて
いて、その形状等は励振電極の形状とほぼ同形であり、
この穴４ａを通して錘３の蒸着を行う。もう片方の面に
は、台座４の穴４ａと同形の開口部を有するマスク（図
示せず）をたてて、このマスクを通して錘３の蒸着を行
う、これにより振動部の両面から周波数の調整を行う、
この調整は両面同時でもよいし、必要に応じて片面から
の調整を繰り返してもよい。
１を台座にマウントした平面図と側面図である。１は水
晶振動子、２は水晶振動子１のほぼ中央に配置された励
振電極２であり、裏面にも対象に配置されている、３は
励振電極２のほぼ全面に周波数調整用の錘３を振動部の
両面に設けている、４は水晶振動子を支持するための台
座でありセラミック等でできている、５は水晶振動子１
と台座４とを固定し、電気的接続を得るための導電性接
着剤である。台座４の中央部には、穴４ａが開けられて
いて、その形状等は励振電極の形状とほぼ同形であり、
この穴４ａを通して錘３の蒸着を行う。もう片方の面に
は、台座４の穴４ａと同形の開口部を有するマスク（図
示せず）をたてて、このマスクを通して錘３の蒸着を行
う、これにより振動部の両面から周波数の調整を行う、
この調整は両面同時でもよいし、必要に応じて片面から
の調整を繰り返してもよい。
【００１１】
【発明の効果】 以上、述べてきたように本発明によ
る厚みすべり水晶振動子において、小型化した際に、周
波数調整量が減少してしまう影響を、励振電極のほぼ全
面に周波数調整用の錘を振動部の両面に設けたことで、
周波数調整量を増加し、厚み精度をルーズにすることが
でき、厚みの精度を厳しくしなくても所定の共振周波数
が得られ、歩留まりが向上し、量産でき安価で小型の厚
みすべり水晶振動子を提供するものである。
る厚みすべり水晶振動子において、小型化した際に、周
波数調整量が減少してしまう影響を、励振電極のほぼ全
面に周波数調整用の錘を振動部の両面に設けたことで、
周波数調整量を増加し、厚み精度をルーズにすることが
でき、厚みの精度を厳しくしなくても所定の共振周波数
が得られ、歩留まりが向上し、量産でき安価で小型の厚
みすべり水晶振動子を提供するものである。
【図１】（Ａ）、（Ｂ）は本発明の水晶振動子の平面図
（Ａ）と側面図（Ｂ）である。
（Ａ）と側面図（Ｂ）である。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）は本発明の水晶振動子を台座に
マウントした平面図（Ａ）と側面図（Ｂ）である。
マウントした平面図（Ａ）と側面図（Ｂ）である。
【図３】錘を蒸着した時の周波数変化と等価直列抵抗変
化を示す特性図である。
化を示す特性図である。
【図４】板厚みのばらつきに対する、所定の共振周波数
に調整するための周波数調整量を示す特性図である。
に調整するための周波数調整量を示す特性図である。
【図５】従来の円板型厚みすべり水晶振動子の正面図を
示すものである。
示すものである。
【図６】従来の矩形厚みすべり水晶振動子の斜視図を示
すものである。
すものである。
１ 水晶振動子
２ 励振電極
３ 錘
４ 台座
５ 導電性接着剤
６ 電極リード
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｙ板をＸ軸を回転軸として約３５°回
転し切り出された水晶板から、フォトリソグラフィ法に
より形成される振動部と支持部からなる厚みすべり水晶
振動子に於いて、振動部に励振電極を設け、この励振電
極のほぼ全面に周波数調整用の錘を振動部の両面に設け
たことを特徴とする厚みすべり水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1666591A JPH04255105A (ja) | 1991-02-07 | 1991-02-07 | 厚みすべり水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1666591A JPH04255105A (ja) | 1991-02-07 | 1991-02-07 | 厚みすべり水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04255105A true JPH04255105A (ja) | 1992-09-10 |
Family
ID=11922622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1666591A Pending JPH04255105A (ja) | 1991-02-07 | 1991-02-07 | 厚みすべり水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04255105A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010074840A (ja) * | 2009-11-06 | 2010-04-02 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片及びその製造方法 |
| US7902721B2 (en) * | 2005-09-15 | 2011-03-08 | Daishinku Corporation | Crystal resonator |
-
1991
- 1991-02-07 JP JP1666591A patent/JPH04255105A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7902721B2 (en) * | 2005-09-15 | 2011-03-08 | Daishinku Corporation | Crystal resonator |
| JP2010074840A (ja) * | 2009-11-06 | 2010-04-02 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片及びその製造方法 |
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