JPH04256414A - オゾン分解除去装置 - Google Patents
オゾン分解除去装置Info
- Publication number
- JPH04256414A JPH04256414A JP3113916A JP11391691A JPH04256414A JP H04256414 A JPH04256414 A JP H04256414A JP 3113916 A JP3113916 A JP 3113916A JP 11391691 A JP11391691 A JP 11391691A JP H04256414 A JPH04256414 A JP H04256414A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxygen
- ozone
- image
- ultraviolet
- pressure mercury
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Control Or Security For Electrophotography (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、オゾン分解除去装置に関し、よ
り詳細には、情報記録媒体の光洗浄の排気処理における
オゾン分解除去装置に関する。例えば、電子写真複写装
置の光源、殺菌、環境維持装置に適用されるものである
。
り詳細には、情報記録媒体の光洗浄の排気処理における
オゾン分解除去装置に関する。例えば、電子写真複写装
置の光源、殺菌、環境維持装置に適用されるものである
。
【０００２】
【従来技術】一般に、コロナ放電処理は高周波（数千〜
数万Ｈｚ）高電圧（数千〜数万Ｖ）の発生装置により電
極よりアースロールに向けコロナを放電させ、アースロ
ールに沿って搬送されるフィルムをコロナ放電処理する
ものである。このコロナ放電処理を空気中あるいは酸素
中等の酸素含有雰囲気下で行った場合、オゾンが発生す
るが、オゾンは周囲の設備や機器等を腐食させ、また作
業者に対する環境も悪くするという問題点を有する。し
たがって、オゾンを除去することが必要となり、例えば
、コロナ放電処理装置の電極部分にフードを設け、該フ
ード内に下端より乾燥空気を送り、上部より吸引除去す
ることによりオゾンを除去する方法が提案されている。 しかしながら、この方法ではオゾン除去の効果は不十分
であり、特に処理速度が速い場合にはオゾンが充分に排
気されず、随伴気流としてフィルムに沿って流れ、その
後周囲に拡散することが問題となっている。
数万Ｈｚ）高電圧（数千〜数万Ｖ）の発生装置により電
極よりアースロールに向けコロナを放電させ、アースロ
ールに沿って搬送されるフィルムをコロナ放電処理する
ものである。このコロナ放電処理を空気中あるいは酸素
中等の酸素含有雰囲気下で行った場合、オゾンが発生す
るが、オゾンは周囲の設備や機器等を腐食させ、また作
業者に対する環境も悪くするという問題点を有する。し
たがって、オゾンを除去することが必要となり、例えば
、コロナ放電処理装置の電極部分にフードを設け、該フ
ード内に下端より乾燥空気を送り、上部より吸引除去す
ることによりオゾンを除去する方法が提案されている。 しかしながら、この方法ではオゾン除去の効果は不十分
であり、特に処理速度が速い場合にはオゾンが充分に排
気されず、随伴気流としてフィルムに沿って流れ、その
後周囲に拡散することが問題となっている。
【０００３】この点を解決するために、特開平１−２４
６５４０号公報に「コロナ放電処理におけるオゾン除去
方法」が提案されている。この公報のものは、放電電極
とアースロールからなり、放電電極の周囲にフードを設
け、フード内の大気を吸引排除するプラスチックフィル
ムのコロナ放電処理方法において、該フードの形状を、
フード先端とフィルム面との間隔がフィルム入り側で狭
く、出側で広くした構成のものである。
６５４０号公報に「コロナ放電処理におけるオゾン除去
方法」が提案されている。この公報のものは、放電電極
とアースロールからなり、放電電極の周囲にフードを設
け、フード内の大気を吸引排除するプラスチックフィル
ムのコロナ放電処理方法において、該フードの形状を、
フード先端とフィルム面との間隔がフィルム入り側で狭
く、出側で広くした構成のものである。
【０００４】しかしながら、光ディスク複製用スタンパ
の製造工程において、プリフォーマットピット列を形成
後スタンパ上の残留フォトレジストを有機溶剤で除去後
、紫外線・オゾン（ＵＶ／Ｏ３）照射等のアッシングに
より完全除去している。このアッシングの際に発生する
オゾンは人体に有害であり、ＵＶランプの放射照度の低
下が著しかった。また、コロナ放電手段を備えた電子写
真複写装置において、感光体を帯電する際にオゾンが発
生し、人体に悪影響を及ぼす上に、感光体の永久的な劣
化と感度低下を生じ、複写像にカブりを生じたり不均一
な画質の原因となっていた。
の製造工程において、プリフォーマットピット列を形成
後スタンパ上の残留フォトレジストを有機溶剤で除去後
、紫外線・オゾン（ＵＶ／Ｏ３）照射等のアッシングに
より完全除去している。このアッシングの際に発生する
オゾンは人体に有害であり、ＵＶランプの放射照度の低
下が著しかった。また、コロナ放電手段を備えた電子写
真複写装置において、感光体を帯電する際にオゾンが発
生し、人体に悪影響を及ぼす上に、感光体の永久的な劣
化と感度低下を生じ、複写像にカブりを生じたり不均一
な画質の原因となっていた。
【０００５】このように、光ディスク複製用スタンパの
製造工程の残留フォトレジスト除去工程の最終工程でＵ
Ｖ／Ｏ３照射によるアッシングを行なうが、高濃度のオ
ゾンが発生する。活性炭吸着等がなされているが、その
補集能力も完全なものではなく、こまめに取り替えが必
要であり、作業性が悪かった。
製造工程の残留フォトレジスト除去工程の最終工程でＵ
Ｖ／Ｏ３照射によるアッシングを行なうが、高濃度のオ
ゾンが発生する。活性炭吸着等がなされているが、その
補集能力も完全なものではなく、こまめに取り替えが必
要であり、作業性が悪かった。
【０００６】レジストアッシング反応は、近紫外の２波
長の光を利用して行なうもので近紫外域の光は、酸素と
の反応性が豊かである。 例えば、λ＝１８５ｎｍの紫外線は酸素を吸収し、オゾ
ンを発生する。 又、λ＝２５４ｎｍの紫外線はオゾンを吸収し、活性酸
素を遊離し、再びオゾンを発生する。
長の光を利用して行なうもので近紫外域の光は、酸素と
の反応性が豊かである。 例えば、λ＝１８５ｎｍの紫外線は酸素を吸収し、オゾ
ンを発生する。 又、λ＝２５４ｎｍの紫外線はオゾンを吸収し、活性酸
素を遊離し、再びオゾンを発生する。
【０００７】この様な紫外線光源としては、３００ｎｍ
以下の波長を有するものとしては、低圧水銀灯が一般的
である（２９０ｎｍ以上の光はオゾンを吸収しない）。 又、同じ低圧水銀灯でも管材に何を用いるかによって、
ランプの分光エネルギ（透過波長）が異なってくる。溶
融石英を管材として用いると２５４ｎｍの他に１８５ｎ
ｍの光を透過する。高シリカガラスを管材として用いる
と１８５ｎｍは管材に吸収されて外部には透過していな
い（２５４ｎｍの光のみ透過する）。
以下の波長を有するものとしては、低圧水銀灯が一般的
である（２９０ｎｍ以上の光はオゾンを吸収しない）。 又、同じ低圧水銀灯でも管材に何を用いるかによって、
ランプの分光エネルギ（透過波長）が異なってくる。溶
融石英を管材として用いると２５４ｎｍの他に１８５ｎ
ｍの光を透過する。高シリカガラスを管材として用いる
と１８５ｎｍは管材に吸収されて外部には透過していな
い（２５４ｎｍの光のみ透過する）。
【０００８】
【目的】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされた
もので、紫外線・オゾン（ＵＶ／Ｏ３）装置の排気系に
、オゾン吸収線である波長２５４ｎｍの紫外線と酸素回
収手段と、酸素吸収剤および酸素以外のガスを強制排気
する排気手段とを具備すること、すなわち、管材を高シ
リカガラスとする低圧水銀灯を装備しオゾンを分解発生
した酸素ガス状物を酸素回収手段を用いて回収し、酸素
吸収剤で吸収し、酸素以外ガスを強制排気することによ
り、オゾンの量を大きく低減させ、装置の耐久性、安全
性を向上させるようにしたオゾン分解除去装置を提供す
ることを目的としてなされたものである。
もので、紫外線・オゾン（ＵＶ／Ｏ３）装置の排気系に
、オゾン吸収線である波長２５４ｎｍの紫外線と酸素回
収手段と、酸素吸収剤および酸素以外のガスを強制排気
する排気手段とを具備すること、すなわち、管材を高シ
リカガラスとする低圧水銀灯を装備しオゾンを分解発生
した酸素ガス状物を酸素回収手段を用いて回収し、酸素
吸収剤で吸収し、酸素以外ガスを強制排気することによ
り、オゾンの量を大きく低減させ、装置の耐久性、安全
性を向上させるようにしたオゾン分解除去装置を提供す
ることを目的としてなされたものである。
【０００９】
【構成】本発明は、上記目的を達成するために、（１）
酸素ガスを通気する通気孔と該酸素ガスが分解されて酸
素ガス状物を排出する排気孔とを有するチャンバーと、
該チャンバー内に配置され、前記通気孔からの酸素ガス
に紫外線を照射して原子状活性酸素を発生させ、発生し
た原子状活性酸素を再び紫外線照射によりオゾンに変え
る第１の紫外線ランプと、前記チャンバーの排気孔付近
に配置され、該第１の紫外線ランプにより発生したオゾ
ンを再び酸素ガス状物にする第２の紫外線ランプと酸素
回収手段と、酸素吸収剤及び酸素以外のガスを強制排気
する排気手段とから成ること、更には、（２）前記第１
の紫外線ランプが、溶融石英などを管材とする低圧水銀
灯により波長が１８５ｎｍある紫外線を照射してオゾン
を発生させ、前記第２の紫外線ランプが、高シリカガラ
スなどを管材とする低圧水銀灯により波長が２５４ｎｍ
である紫外線を照射してオゾンを分解し、発生した酸素
ガス状物を酸素回収手段を用いて回収後、酸素吸収剤で
吸収し、酸素以外のガスを強制排気すること、或いは、
（３）コロナ電極の放電により感光体を帯電させる帯電
装置と、露光光源による原稿からの反射光を投射して静
電潜像を形成する感光体と、該感光体上の静電潜像を粉
体像にする現像装置と、該粉体像を普通紙に転写する転
写装置と、該転写装置による転写像を定着する定着装置
とから成る電子写真複写装置に用い、前記静電潜像を形
成する際に露光光源を高シリカガラスを管材とする低圧
水銀灯を用い、かつ、酸素回収手段と、酸素吸収剤およ
び酸素以外のガスを強制排気する排気手段を具備するこ
とを特徴としたものである。以下、本発明の実施例に基
づいて説明する。
酸素ガスを通気する通気孔と該酸素ガスが分解されて酸
素ガス状物を排出する排気孔とを有するチャンバーと、
該チャンバー内に配置され、前記通気孔からの酸素ガス
に紫外線を照射して原子状活性酸素を発生させ、発生し
た原子状活性酸素を再び紫外線照射によりオゾンに変え
る第１の紫外線ランプと、前記チャンバーの排気孔付近
に配置され、該第１の紫外線ランプにより発生したオゾ
ンを再び酸素ガス状物にする第２の紫外線ランプと酸素
回収手段と、酸素吸収剤及び酸素以外のガスを強制排気
する排気手段とから成ること、更には、（２）前記第１
の紫外線ランプが、溶融石英などを管材とする低圧水銀
灯により波長が１８５ｎｍある紫外線を照射してオゾン
を発生させ、前記第２の紫外線ランプが、高シリカガラ
スなどを管材とする低圧水銀灯により波長が２５４ｎｍ
である紫外線を照射してオゾンを分解し、発生した酸素
ガス状物を酸素回収手段を用いて回収後、酸素吸収剤で
吸収し、酸素以外のガスを強制排気すること、或いは、
（３）コロナ電極の放電により感光体を帯電させる帯電
装置と、露光光源による原稿からの反射光を投射して静
電潜像を形成する感光体と、該感光体上の静電潜像を粉
体像にする現像装置と、該粉体像を普通紙に転写する転
写装置と、該転写装置による転写像を定着する定着装置
とから成る電子写真複写装置に用い、前記静電潜像を形
成する際に露光光源を高シリカガラスを管材とする低圧
水銀灯を用い、かつ、酸素回収手段と、酸素吸収剤およ
び酸素以外のガスを強制排気する排気手段を具備するこ
とを特徴としたものである。以下、本発明の実施例に基
づいて説明する。
【００１０】図１は、本発明によるオゾン分解除去装置
の一実施例を説明するための構成図で、図中、１はスタ
ンバ、２は第１の紫外線ランプ、３は酸素ボンベ、４は
載置台、５はチャンバー、６は第２の紫外線ランプで、
第１の紫外線ランプ２はその管材が溶融石英である低圧
水銀灯を用い、第２の紫外線ランプ６はその管材が高シ
リカガラスである低圧水銀灯、７は酸素吸収剤、８はエ
アーボンベ、９はフード、１０はゴム栓、１１は排気ポ
ンプである。図１に示したものは、排気系にオゾン吸収
線を照射するＵＶ／Ｏ３照射装置である。ＵＶ／Ｏ３照
射装置、すなわち、ＵＶ／Ｏ３クリーニングとは、紫外
線（Ｕｌｔｒａ Ｖｉｏｌｅｔ ｒａｙ）による有機化
合物の化学結合の切断効果とオゾンの強力な酸化効果と
を組み合せることにより、有機質汚れを揮発性の物質（
たとえば、炭酸ガス、水、窒素など）に分解除去する洗
浄方法である。
の一実施例を説明するための構成図で、図中、１はスタ
ンバ、２は第１の紫外線ランプ、３は酸素ボンベ、４は
載置台、５はチャンバー、６は第２の紫外線ランプで、
第１の紫外線ランプ２はその管材が溶融石英である低圧
水銀灯を用い、第２の紫外線ランプ６はその管材が高シ
リカガラスである低圧水銀灯、７は酸素吸収剤、８はエ
アーボンベ、９はフード、１０はゴム栓、１１は排気ポ
ンプである。図１に示したものは、排気系にオゾン吸収
線を照射するＵＶ／Ｏ３照射装置である。ＵＶ／Ｏ３照
射装置、すなわち、ＵＶ／Ｏ３クリーニングとは、紫外
線（Ｕｌｔｒａ Ｖｉｏｌｅｔ ｒａｙ）による有機化
合物の化学結合の切断効果とオゾンの強力な酸化効果と
を組み合せることにより、有機質汚れを揮発性の物質（
たとえば、炭酸ガス、水、窒素など）に分解除去する洗
浄方法である。
【００１１】本発明におけるオゾン分解除去装置は、酸
素ボンベ３から通気された酸素ガスが第１の紫外線ラン
プ２が照射されるλ＝１８５ｎｍの紫外線に吸収され、
オゾンを発生する。発生したオゾンを、排気口に設けら
れる第２の紫外線ランプ６（λ＝２５４ｎｍ以上の光の
み透過）で分解して、酸素ガス状にして酸素吸収剤で吸
収する。このような、本発明のオゾン発生装置において
、発生するオゾンを波長２５４ｎｍの紫外線を照射し、
分解して酸素ガス状にし、これを酸素回収手段で回収後
、酸素吸収剤で吸収し、酸素以外のガスを強制排気し、
オゾンの量を大きく低減することにより、装置の耐久性
、安全性を向上させることを可能とする。前述したオゾ
ン分解除去装置を、光ディスク複製用スタンパ製造工程
における残留フォトレジスト除去工程に適用する場合に
は、排気系に、管材を高シリカガラスとする低圧水銀灯
を配置させ、照射することにより、発生オゾンを分解し
て酸素ガス状にし、これを酸素回収手段で回収後、酸素
吸収剤で吸収し、酸素以外のガスを強制排気し、オゾン
の量を大きく低減化できる。
素ボンベ３から通気された酸素ガスが第１の紫外線ラン
プ２が照射されるλ＝１８５ｎｍの紫外線に吸収され、
オゾンを発生する。発生したオゾンを、排気口に設けら
れる第２の紫外線ランプ６（λ＝２５４ｎｍ以上の光の
み透過）で分解して、酸素ガス状にして酸素吸収剤で吸
収する。このような、本発明のオゾン発生装置において
、発生するオゾンを波長２５４ｎｍの紫外線を照射し、
分解して酸素ガス状にし、これを酸素回収手段で回収後
、酸素吸収剤で吸収し、酸素以外のガスを強制排気し、
オゾンの量を大きく低減することにより、装置の耐久性
、安全性を向上させることを可能とする。前述したオゾ
ン分解除去装置を、光ディスク複製用スタンパ製造工程
における残留フォトレジスト除去工程に適用する場合に
は、排気系に、管材を高シリカガラスとする低圧水銀灯
を配置させ、照射することにより、発生オゾンを分解し
て酸素ガス状にし、これを酸素回収手段で回収後、酸素
吸収剤で吸収し、酸素以外のガスを強制排気し、オゾン
の量を大きく低減化できる。
【００１２】図２は、コロナ放電手段による電子写真複
写装置に本発明によるオゾン分解除去装置を適用した例
を示す図で、図中、９は本体、１０は原稿載置台、１１
は駆動モータ、１２は感光体ドラム、１３はランプ、１
４は集束性光伝送体、１５は露光系、１６は現像装置、
１７は転写装置、１８は清掃装置、１９は帯電装置、２
０はカセット、２１は給紙ローラ、２２は給紙装置、２
３は転写ローラ、２４はガイドローラ、２５は転写ベル
ト、２６は転写用帯電装置、２７はクリーニングブレー
ド、２８は定着装置、２９は搬出ローラ、３０はトレイ
、３１は制御装置、３２は酸素吸収剤、３３はエアーボ
ンベ、３４はフード、３５はゴム栓、３６は排気ポンプ
で、露光系の露光光源１５としてその管材を高シリカガ
ラスである低圧水銀灯が使用されている。
写装置に本発明によるオゾン分解除去装置を適用した例
を示す図で、図中、９は本体、１０は原稿載置台、１１
は駆動モータ、１２は感光体ドラム、１３はランプ、１
４は集束性光伝送体、１５は露光系、１６は現像装置、
１７は転写装置、１８は清掃装置、１９は帯電装置、２
０はカセット、２１は給紙ローラ、２２は給紙装置、２
３は転写ローラ、２４はガイドローラ、２５は転写ベル
ト、２６は転写用帯電装置、２７はクリーニングブレー
ド、２８は定着装置、２９は搬出ローラ、３０はトレイ
、３１は制御装置、３２は酸素吸収剤、３３はエアーボ
ンベ、３４はフード、３５はゴム栓、３６は排気ポンプ
で、露光系の露光光源１５としてその管材を高シリカガ
ラスである低圧水銀灯が使用されている。
【００１３】露光光源１５に設けられた高シリカガラス
管材の低圧水銀灯から照射されるλ＝２５４ｎｍの紫外
線により、感光体ドラム１２を帯電した時に発生するオ
ゾンを下記の式（１）の様に分解して発生した酸素ガス
状物を酸素回収手段で回収し、酸素吸収剤で吸収するこ
とにより下記の式（２）の反応を抑制し、酸素以外のガ
スを強制排気する。 すなわち、コロナ放電手段による電子写真複写装置にお
いて、コロナ電極から放電することにより感光体ドラム
１２を帯電させ、該感光体ドラム１２上に原稿からの反
射光を投射して静電潜像を形成し、現像装置１６により
現像して粉体像に変換した後、該粉体像を転写装置１７
により普通紙に転写し、転写像１５を定着装置２８によ
り定着することにより複写物を得る。この際の、静電潜
像を形成する露光光源１５として高シリカガラスを管材
とする低圧水銀灯を用いている。
管材の低圧水銀灯から照射されるλ＝２５４ｎｍの紫外
線により、感光体ドラム１２を帯電した時に発生するオ
ゾンを下記の式（１）の様に分解して発生した酸素ガス
状物を酸素回収手段で回収し、酸素吸収剤で吸収するこ
とにより下記の式（２）の反応を抑制し、酸素以外のガ
スを強制排気する。 すなわち、コロナ放電手段による電子写真複写装置にお
いて、コロナ電極から放電することにより感光体ドラム
１２を帯電させ、該感光体ドラム１２上に原稿からの反
射光を投射して静電潜像を形成し、現像装置１６により
現像して粉体像に変換した後、該粉体像を転写装置１７
により普通紙に転写し、転写像１５を定着装置２８によ
り定着することにより複写物を得る。この際の、静電潜
像を形成する露光光源１５として高シリカガラスを管材
とする低圧水銀灯を用いている。
【００１４】
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明による
と、以下のような効果がある。 （１）オゾン発生装置において、波長２５４ｎｍの紫外
線（オゾン吸収線）照射と酸素回収手段と、酸素回収剤
および酸素以外のガスを強制排気する排気手段とを具備
することにより、発生オゾンの分解除去が可能となる。 （２）ＵＶ／Ｏ３照射装置において、排気系に波長２５
４ｎｍのオゾン吸収線を照射して、発生オゾンを分解し
、発生した酸素ガス状物をエアーを通気することにより
回収後、アルカリ性ピロガロール水溶液などの酸素吸収
剤で吸収し、酸素以外のガスを強制排気することにより
、オゾンの量が大幅に低減化され、装置の耐久性、安全
性が向上する。 （３）コロナ放電手段を備えた電子写真装置において、
帯電された感光体に静電潜像を形成する際の露光光源に
管材を高シリカガラスとする低圧水銀灯を用いて照射し
、酸素回収手段と、酸素吸収剤および酸素以外のガスを
強制排気する排気手段とを具備することにより、帯電時
に発生したオゾンを波長２５４ｎｍの紫外線で分解し、
発生した酸素ガス状物を酸素回収手段で回収後、酸素吸
収剤で吸収し、酸素以外のガスを強制排気することによ
りオゾンの量が大きく低減化され、設備や機器の腐食を
軽減し、人体への影響度も殆どなくすことが可能となり
、耐久性、安全性が向上する。
と、以下のような効果がある。 （１）オゾン発生装置において、波長２５４ｎｍの紫外
線（オゾン吸収線）照射と酸素回収手段と、酸素回収剤
および酸素以外のガスを強制排気する排気手段とを具備
することにより、発生オゾンの分解除去が可能となる。 （２）ＵＶ／Ｏ３照射装置において、排気系に波長２５
４ｎｍのオゾン吸収線を照射して、発生オゾンを分解し
、発生した酸素ガス状物をエアーを通気することにより
回収後、アルカリ性ピロガロール水溶液などの酸素吸収
剤で吸収し、酸素以外のガスを強制排気することにより
、オゾンの量が大幅に低減化され、装置の耐久性、安全
性が向上する。 （３）コロナ放電手段を備えた電子写真装置において、
帯電された感光体に静電潜像を形成する際の露光光源に
管材を高シリカガラスとする低圧水銀灯を用いて照射し
、酸素回収手段と、酸素吸収剤および酸素以外のガスを
強制排気する排気手段とを具備することにより、帯電時
に発生したオゾンを波長２５４ｎｍの紫外線で分解し、
発生した酸素ガス状物を酸素回収手段で回収後、酸素吸
収剤で吸収し、酸素以外のガスを強制排気することによ
りオゾンの量が大きく低減化され、設備や機器の腐食を
軽減し、人体への影響度も殆どなくすことが可能となり
、耐久性、安全性が向上する。
【図１】 本発明によるオゾン分解除去装置の一実施
例を説明するための構成図である。
例を説明するための構成図である。
【図２】 コロナ放電手段による電子写真複写装置に
オゾン分解除去装置を適用した例を示す図である。
オゾン分解除去装置を適用した例を示す図である。
１…スタンバ、２…第１の紫外線ランプ、３…酸素ボン
ベ、４…載置台、５…チャンバー、６…第２の紫外線ラ
ンプ、７…酸素吸収剤、８…エアーボンベ、９…フード
、１０…ゴム栓、１１…排気ポンプ。
ベ、４…載置台、５…チャンバー、６…第２の紫外線ラ
ンプ、７…酸素吸収剤、８…エアーボンベ、９…フード
、１０…ゴム栓、１１…排気ポンプ。
Claims (3)
- 【請求項１】 酸素ガスを通気する通気孔と該酸素ガ
スが分解されて酸素ガス状物を排出する排気孔とを有す
るチャンバーと、該チャンバー内に配置され、前記通気
孔からの酸素ガスに紫外線を照射して原子状活性酸素を
発生させ、発生した原子状活性酸素を再び紫外線照射に
よりオゾンに変える第１の紫外線ランプと、前記チャン
バーの排気孔付近に配置され、該第１の紫外線ランプに
より発生したオゾンを再び酸素ガス状物にする第２の紫
外線ランプと、酸素回収手段と、酸素吸収剤および酸素
以外のガスを強制排気する排気手段とから成ることを特
徴とするオゾン分解除去装置。 - 【請求項２】 前記第１の紫外線ランプが、溶融石英
などを管材とする低圧水銀灯により波長が１８５ｎｍで
、ある紫外線を照射してオゾンを発生させ、前記第２の
紫外線ランプが、高シリカガラスなどを管材とする低圧
水銀灯により波長が２５４ｎｍである紫外線を照射して
オゾンを分解し、発生した酸素ガス状物をエアーを通気
してフード内に回収してアルカリ性ピロガロール水溶液
などの酸素吸収剤で吸収し、酸素以外のガスを強制排気
することを特徴とする請求項１記載のオゾン分解除去装
置。 - 【請求項３】 コロナ電極の放電により感光体を帯電
させる帯電装置と、露光光源による原稿からの反射光を
投射して静電潜像を形成する感光体と、該感光体上の静
電潜像を粉体像にする現像装置と、該粉体像を普通紙に
転写する転写装置と、該転写装置による転写像を定着す
る定着装置とから成る電子写真複写装置に用い、前記静
電潜像を形成する際に露光光源を高シリカガラスを管材
とする低圧水銀灯を用い、かつ、酸素回収手段と、酸素
吸収剤および酸素以外のガスを強制排気する排気手段を
具備することを特徴とするオゾン分解除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11391691A JP3224402B2 (ja) | 1990-12-28 | 1991-04-17 | オゾン分解除去装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2-416059 | 1990-12-28 | ||
| JP41605990 | 1990-12-28 | ||
| JP11391691A JP3224402B2 (ja) | 1990-12-28 | 1991-04-17 | オゾン分解除去装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04256414A true JPH04256414A (ja) | 1992-09-11 |
| JP3224402B2 JP3224402B2 (ja) | 2001-10-29 |
Family
ID=26452793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11391691A Expired - Fee Related JP3224402B2 (ja) | 1990-12-28 | 1991-04-17 | オゾン分解除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3224402B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994024043A1 (fr) * | 1993-04-14 | 1994-10-27 | Wada, Tetsuro | Procede et dispositif permettant la decomposition de l'ozone par emission stimulee d'ondes magnetiques |
| WO2000069477A1 (en) * | 1999-04-01 | 2000-11-23 | Kunchong Hi-Tech Co., Ltd. | Process for preventing air pollution by using ultraviolet ray |
| JP2004275330A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Iwasaki Electric Co Ltd | 活性酸素殺菌装置 |
| US11968341B2 (en) | 2021-05-18 | 2024-04-23 | Ricoh Company, Ltd. | Image reading device, image forming apparatus, and feed tray comprising a sterilizing light source to sterilize a sheet |
-
1991
- 1991-04-17 JP JP11391691A patent/JP3224402B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994024043A1 (fr) * | 1993-04-14 | 1994-10-27 | Wada, Tetsuro | Procede et dispositif permettant la decomposition de l'ozone par emission stimulee d'ondes magnetiques |
| WO2000069477A1 (en) * | 1999-04-01 | 2000-11-23 | Kunchong Hi-Tech Co., Ltd. | Process for preventing air pollution by using ultraviolet ray |
| JP2004275330A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Iwasaki Electric Co Ltd | 活性酸素殺菌装置 |
| US11968341B2 (en) | 2021-05-18 | 2024-04-23 | Ricoh Company, Ltd. | Image reading device, image forming apparatus, and feed tray comprising a sterilizing light source to sterilize a sheet |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3224402B2 (ja) | 2001-10-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7027752B2 (en) | Wet-type electrophotographic printer with photocatalystic filter | |
| JP2008508562A (ja) | 画像転写装置の汚染を低減する装置及び方法 | |
| JPH04256414A (ja) | オゾン分解除去装置 | |
| JP2003043894A (ja) | 画像形成装置 | |
| JP2598363B2 (ja) | 静電気除去装置 | |
| JPH02273764A (ja) | 画像形成装置 | |
| JPH01265513A (ja) | 縮小投影露光装置 | |
| JP2004101868A (ja) | フォトマスクの製造方法 | |
| EP2249213B1 (en) | Reduction of contamination on image members by UV ozone treatment | |
| JPH06343938A (ja) | 付着物の洗浄方法及びその装置 | |
| JP2006039168A (ja) | 画像形成装置 | |
| JPH06348099A (ja) | 電子写真装置のオゾン除去方法 | |
| JPH02297572A (ja) | 画像形成装置 | |
| JP2775359B2 (ja) | 画像形成装置 | |
| JPH0619263A (ja) | 画像形成装置 | |
| JPH07253736A (ja) | 記録紙再生方法および記録装置 | |
| JP2002196478A (ja) | フォトマスクユニット、フォトマスク装置、投影露光装置、投影露光方法及び半導体装置 | |
| JPH0511665A (ja) | ペーパーイレースマシン | |
| JPS63261294A (ja) | 電子複写機 | |
| JPH07128955A (ja) | 画像形成装置 | |
| JPH06167855A (ja) | 画像形成装置 | |
| JP2001265179A (ja) | 画像形成装置及び画像形成装置の有害物質除去方法 | |
| JPH11282318A (ja) | 画像形成装置 | |
| JP2004356403A (ja) | パターン転写マスク用収納容器、パターン転写マスクの洗浄装置およびその洗浄方法 | |
| JP2006251738A (ja) | 画像形成装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080824 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080824 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090824 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |