JPH04259691A - メカニカルポンプ - Google Patents
メカニカルポンプInfo
- Publication number
- JPH04259691A JPH04259691A JP25808991A JP25808991A JPH04259691A JP H04259691 A JPH04259691 A JP H04259691A JP 25808991 A JP25808991 A JP 25808991A JP 25808991 A JP25808991 A JP 25808991A JP H04259691 A JPH04259691 A JP H04259691A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- shaft
- body part
- mechanical
- shafts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 5
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 6
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 4
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 3
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical group [AlH3] AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/123—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially or approximately radially from the rotor body extending tooth-like elements, co-operating with recesses in the other rotor, e.g. one tooth
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
- F04C2220/12—Dry running
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2240/00—Components
- F04C2240/50—Bearings
- F04C2240/51—Bearings for cantilever assemblies
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、メカニカルポンプに
関し、更に詳しくは、少なくとも一対の互いに嵌まり合
うロータ、特に「クロー」（ｃｌａｗ）ロータとして知
られた型の、すなわち「ノルゼイ」（Ｎｏｒｔｈｅｙ）
形状を有するロータ、を組み込むメカニカル真空ポン
プに関する。
関し、更に詳しくは、少なくとも一対の互いに嵌まり合
うロータ、特に「クロー」（ｃｌａｗ）ロータとして知
られた型の、すなわち「ノルゼイ」（Ｎｏｒｔｈｅｙ）
形状を有するロータ、を組み込むメカニカル真空ポン
プに関する。
【０００２】
【従来の技術】上記種類のメカニカル真空ポンプは、第
１の共通シャフトに取付けられた各対の一方のロータと
、第２の共通シャフトに取付けられた各対の他方のロー
タとを一般に有する。シャフトはポンプ本体内に位置決
めされ、シャフトに取付けられたロータは、各シャフト
の一端の歯車によって、かつ各シャフトの両端に一般に
位置決めされるベアリングによって、正しい位相関係で
保持されている。従って、シャフトは、反対方向に同期
して回転できるように配列され、各対のロータ間に、通
常接触することなく嵌まり合う。
１の共通シャフトに取付けられた各対の一方のロータと
、第２の共通シャフトに取付けられた各対の他方のロー
タとを一般に有する。シャフトはポンプ本体内に位置決
めされ、シャフトに取付けられたロータは、各シャフト
の一端の歯車によって、かつ各シャフトの両端に一般に
位置決めされるベアリングによって、正しい位相関係で
保持されている。従って、シャフトは、反対方向に同期
して回転できるように配列され、各対のロータ間に、通
常接触することなく嵌まり合う。
【０００３】一段ポンプでは、一対のロータは単一チャ
ンバ内で上述の仕方で回転するように強いられる。しか
し、一般には、この型のポンプは多段であり、各対のロ
ータが、隣接したチャンバの壁のポートにより連結され
たそれぞれのチャンバ内で作動する。英国特許明細書第
２，１１１，１２６ 号の開示によれば、隣接したチャ
ンバ内のロータ対は、次のチャンバ内の対に対して逆向
きにそれぞれのシャフトに取付けられるのが有用であり
、これにより、ロータ対を同じ向きにシャフト内に取付
けるポンプと比較して、ポート、特にロータの全長及び
ポンプ内の位置決めを良くする。
ンバ内で上述の仕方で回転するように強いられる。しか
し、一般には、この型のポンプは多段であり、各対のロ
ータが、隣接したチャンバの壁のポートにより連結され
たそれぞれのチャンバ内で作動する。英国特許明細書第
２，１１１，１２６ 号の開示によれば、隣接したチャ
ンバ内のロータ対は、次のチャンバ内の対に対して逆向
きにそれぞれのシャフトに取付けられるのが有用であり
、これにより、ロータ対を同じ向きにシャフト内に取付
けるポンプと比較して、ポート、特にロータの全長及び
ポンプ内の位置決めを良くする。
【０００４】通常、この型のポンプは、オイル及び潤滑
油のないポンプチャンバで作動され、シャフトの一方を
駆動するモータ、シャフトの同期した回転を行うタイミ
ング歯車（又は他のなにか）、シャフトをポンプ本体内
の正しい位置に保持するベアリング、と関連するオイル
すなわち潤滑油を、ポンプチャンバに近ずけない。一般
に、ポンプは水平に配置されたシャフトで、或いは垂直
に配置されたシャフトで作動される。ある場合に、例え
ば、ＣＶＤ及びその他の粒子を発生する工程のような半
導体真空工程において、長期間の運転中、信頼性を高め
るので、水平作動が好まれる。他の場合に、例えば、ポ
ンピング工程中、凝縮し又は液化する傾向がある蒸気を
排気するとき、シャフトを垂直に配置することがしばし
ば好まれる。
油のないポンプチャンバで作動され、シャフトの一方を
駆動するモータ、シャフトの同期した回転を行うタイミ
ング歯車（又は他のなにか）、シャフトをポンプ本体内
の正しい位置に保持するベアリング、と関連するオイル
すなわち潤滑油を、ポンプチャンバに近ずけない。一般
に、ポンプは水平に配置されたシャフトで、或いは垂直
に配置されたシャフトで作動される。ある場合に、例え
ば、ＣＶＤ及びその他の粒子を発生する工程のような半
導体真空工程において、長期間の運転中、信頼性を高め
るので、水平作動が好まれる。他の場合に、例えば、ポ
ンピング工程中、凝縮し又は液化する傾向がある蒸気を
排気するとき、シャフトを垂直に配置することがしばし
ば好まれる。
【０００５】この型のポンプでは、一般にモータ及びタ
イミング歯車と関連した各シャフトの端にベアリングが
あり、かつロータをそれぞれのベアリングの組の間に位
置決めするように、各シャフトの他端に更にベアリング
がある。本発明は、垂直に配置されたシャフトで作動さ
せるように主に設計されたポンプを特に使用する、改良
された真空ポンプに関する。
イミング歯車と関連した各シャフトの端にベアリングが
あり、かつロータをそれぞれのベアリングの組の間に位
置決めするように、各シャフトの他端に更にベアリング
がある。本発明は、垂直に配置されたシャフトで作動さ
せるように主に設計されたポンプを特に使用する、改良
された真空ポンプに関する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この型の真空
ポンプは、特に、所望の真空を得るために３段またはそ
れ以上の段を必要とするとき、一般に製造するのにコス
トがかかる。コストのかなりの部分は、ロータの各対が
接触することなく密接して嵌まり合うようにロータの各
対をそれぞれのシャフトに正確に取付け、ポンプハウジ
ング内の関連したチャンバの容積内で作動させる必要性
による。
ポンプは、特に、所望の真空を得るために３段またはそ
れ以上の段を必要とするとき、一般に製造するのにコス
トがかかる。コストのかなりの部分は、ロータの各対が
接触することなく密接して嵌まり合うようにロータの各
対をそれぞれのシャフトに正確に取付け、ポンプハウジ
ング内の関連したチャンバの容積内で作動させる必要性
による。
【０００７】本発明はまた、製造及び組立を簡単にし、
これによりコストを低減することができる、改良された
ポンプの提供に関する。
これによりコストを低減することができる、改良された
ポンプの提供に関する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、少なく
とも２つの段からなり、一対の互いに嵌まり合うロータ
が各段と関連するポンプチャンバ内で作動するメカニカ
ル真空ポンプであって、ロータの各対は、チャンバを貫
通し反対の角方向に回転可能に配置されたそれぞれのシ
ャフト上にあり、ポンプはシャフトを反対方向に同期し
て駆動するための支持・制御・駆動手段を収容する第１
本体部分を有し、該シャフトはこの第１本体部分からポ
ンプチャンバが位置する第２本体部分に突出する、こと
を特徴とするメカニカル真空ポンプが提供される。
とも２つの段からなり、一対の互いに嵌まり合うロータ
が各段と関連するポンプチャンバ内で作動するメカニカ
ル真空ポンプであって、ロータの各対は、チャンバを貫
通し反対の角方向に回転可能に配置されたそれぞれのシ
ャフト上にあり、ポンプはシャフトを反対方向に同期し
て駆動するための支持・制御・駆動手段を収容する第１
本体部分を有し、該シャフトはこの第１本体部分からポ
ンプチャンバが位置する第２本体部分に突出する、こと
を特徴とするメカニカル真空ポンプが提供される。
【０００９】好ましくは、支持・制御・駆動手段は、そ
れぞれベアリング、歯車、及びモータからなる。有利に
は、支持・制御・駆動手段はすべて、第１本体部分内に
収容され、そこに第２本体部分に対してシールされる。 好ましくは、駆動手段はモータからなる。かかるシール
構造は、どのような型又は構成のロータを使用しても、
ポンプチャンバの付近に「クリーン」環境を維持するこ
とに関して有益である。
れぞれベアリング、歯車、及びモータからなる。有利に
は、支持・制御・駆動手段はすべて、第１本体部分内に
収容され、そこに第２本体部分に対してシールされる。 好ましくは、駆動手段はモータからなる。かかるシール
構造は、どのような型又は構成のロータを使用しても、
ポンプチャンバの付近に「クリーン」環境を維持するこ
とに関して有益である。
【００１０】本発明のポンプは、各シャフトと関係し、
互いに間隔を隔てた２つ（又はそれ以上の）ベアリング
を有し、シャフトの部分は第１本体部分内に収容される
のが好ましい。通常、これらのベアリング手段の一方（
下側）はシャフトの一端に位置決めされ、特に熱膨張が
できるようにシャフトの軸方向移動を許容し、他方（上
側）はできる限り第２本体部分に近ずけ、（しかし、第
１本体部分内に）位置決めし、特にシャフトの軸方向位
置を正確に位置決めする。
互いに間隔を隔てた２つ（又はそれ以上の）ベアリング
を有し、シャフトの部分は第１本体部分内に収容される
のが好ましい。通常、これらのベアリング手段の一方（
下側）はシャフトの一端に位置決めされ、特に熱膨張が
できるようにシャフトの軸方向移動を許容し、他方（上
側）はできる限り第２本体部分に近ずけ、（しかし、第
１本体部分内に）位置決めし、特にシャフトの軸方向位
置を正確に位置決めする。
【００１１】かかる場合に、第２本体部分内のシャフト
の部分を支持せず、（従って、ベアリングと関連して不
可欠である潤滑等を避ける）ことが好ましく、従って、
シャフト構成は、「片持ち」すなわち「オーバハング」
の設計のものと考えることができる。製造の容易性に関
して、本発明のポンプは、各シャフトと関連した一体ロ
ータ組立体を有するのが好ましい。
の部分を支持せず、（従って、ベアリングと関連して不
可欠である潤滑等を避ける）ことが好ましく、従って、
シャフト構成は、「片持ち」すなわち「オーバハング」
の設計のものと考えることができる。製造の容易性に関
して、本発明のポンプは、各シャフトと関連した一体ロ
ータ組立体を有するのが好ましい。
【００１２】ある好ましい実施例において、多段ロータ
組立体とそのシャフトは、例えばアルミニウム合金本体
から単一部品として一体成形される。ある他の好ましい
実施例において、多段ロータ組立体は、鋼のような材料
でできた非一体成形シャフトに、例えば、圧入、焼嵌め
、又はボルト止めによって取付けられる。
組立体とそのシャフトは、例えばアルミニウム合金本体
から単一部品として一体成形される。ある他の好ましい
実施例において、多段ロータ組立体は、鋼のような材料
でできた非一体成形シャフトに、例えば、圧入、焼嵌め
、又はボルト止めによって取付けられる。
【００１３】本発明の好ましい実施例では、少なくとも
いくつかの分割壁をポンプチャンバ間に構成するように
個々の内壁部品を有し、かつ好ましくは、ポンプチャン
バの外壁の少なくとも一部を構成するように個々のステ
ータ部品を有するように、ポンプ本体をロータすなわち
第２本体部分の近くにすることによって、ポンプの組立
を容易にする。
いくつかの分割壁をポンプチャンバ間に構成するように
個々の内壁部品を有し、かつ好ましくは、ポンプチャン
バの外壁の少なくとも一部を構成するように個々のステ
ータ部品を有するように、ポンプ本体をロータすなわち
第２本体部分の近くにすることによって、ポンプの組立
を容易にする。
【００１４】本発明のかかる好ましい実施例では、内壁
部品とステータ部品とは、ポンプの組立中、それぞれ整
合したシャフトの個々のロータ対のまわりに交互に組立
てられるのが便利である。各内壁部品は、例えば２つの
部品に分割され、ポンプの組立中、各内壁部品を整合し
たシャフトのまわりにそのまま取付けることができるの
が最も好ましい。
部品とステータ部品とは、ポンプの組立中、それぞれ整
合したシャフトの個々のロータ対のまわりに交互に組立
てられるのが便利である。各内壁部品は、例えば２つの
部品に分割され、ポンプの組立中、各内壁部品を整合し
たシャフトのまわりにそのまま取付けることができるの
が最も好ましい。
【００１５】最も好ましい実施例において、ポンプは垂
直に向けられたシャフトで作動できるように設計される
。すなわち、下方（第１）本体部分は、これと関連した
支持・制御手段を、ベアリング，タイミング歯車、及び
シャフトを反対方向に同期して駆動する手段を収容し、
このシャフトはこの下方本体部分から上方（第２）本体
部分に突出している。従って、内壁部品とステータ外壁
部品とからなる上方ポンプ本体の組立は、関連したシー
ル部品と一緒にそのまま行われ、次いで、上部分が取付
けられる。
直に向けられたシャフトで作動できるように設計される
。すなわち、下方（第１）本体部分は、これと関連した
支持・制御手段を、ベアリング，タイミング歯車、及び
シャフトを反対方向に同期して駆動する手段を収容し、
このシャフトはこの下方本体部分から上方（第２）本体
部分に突出している。従って、内壁部品とステータ外壁
部品とからなる上方ポンプ本体の組立は、関連したシー
ル部品と一緒にそのまま行われ、次いで、上部分が取付
けられる。
【００１６】ポンプ流入口をかかる上部分に収容するの
が有用であり、内壁部品はポンプの個々のチャンバを通
って、ポンプ本体の下方領域にあるのが好ましい流出口
まで、排気ガスが流れるスロット又は他のポートを一般
に有する。全体として、本発明のポンプは、好ましい実
施例において、逆向きの隣接した対を有するロータ対と
関連して、最適の作動特性を有するように設計され、ポ
ンプの隣接したチャンバ間に単純で、一般に短い、ダク
ト構成を可能にする。本発明のポンプを、ロータ対が完
全に「クロー」型の形状からなる多段ポンプについて、
主に設計するのが良いが、これに限定されるものではな
い。
が有用であり、内壁部品はポンプの個々のチャンバを通
って、ポンプ本体の下方領域にあるのが好ましい流出口
まで、排気ガスが流れるスロット又は他のポートを一般
に有する。全体として、本発明のポンプは、好ましい実
施例において、逆向きの隣接した対を有するロータ対と
関連して、最適の作動特性を有するように設計され、ポ
ンプの隣接したチャンバ間に単純で、一般に短い、ダク
ト構成を可能にする。本発明のポンプを、ロータ対が完
全に「クロー」型の形状からなる多段ポンプについて、
主に設計するのが良いが、これに限定されるものではな
い。
【００１７】本発明の説明だけの目的で、添付図面を参
照して本発明を今説明する。
照して本発明を今説明する。
【００１８】
【実施例】図面を参照すると、本発明のポンプは、下方
本体部分１を備え、この中にシャフト２及び３が、それ
ぞれ端ベアリング４、５と、定位ベアリング６、７とに
よって位置決めされている。シャフト２の上端部分が、
４つの個々の「クロー」（爪）形ロータ８，９，１０，
１１と一体成形され、更に、シャフト３の上端部分が、
４つの個々の「クロー」形ロータ８′，９′，１０′，
１１′と一体成形されている。各対のロータ８，８′；
９，９′；１０，１０′及び１１，１１′は、「ノルゼ
イ」（Ｎｏｒｔｈｅ）型の対として知られる仕方でそれ
ぞれのシャフトのまわりに回転可能に配列される。それ
ぞれベアリング４；５及び６；７内のシャフト２，３の
回転は、一対のタイミング歯車１２によって制御され、
かつ駆動手段１３によりシャフト２を介して駆動され、
この駆動手段１３は、駆動手段の環状溝１４に係合する
ベルト手段（図示せず）によって作動される。
本体部分１を備え、この中にシャフト２及び３が、それ
ぞれ端ベアリング４、５と、定位ベアリング６、７とに
よって位置決めされている。シャフト２の上端部分が、
４つの個々の「クロー」（爪）形ロータ８，９，１０，
１１と一体成形され、更に、シャフト３の上端部分が、
４つの個々の「クロー」形ロータ８′，９′，１０′，
１１′と一体成形されている。各対のロータ８，８′；
９，９′；１０，１０′及び１１，１１′は、「ノルゼ
イ」（Ｎｏｒｔｈｅ）型の対として知られる仕方でそれ
ぞれのシャフトのまわりに回転可能に配列される。それ
ぞれベアリング４；５及び６；７内のシャフト２，３の
回転は、一対のタイミング歯車１２によって制御され、
かつ駆動手段１３によりシャフト２を介して駆動され、
この駆動手段１３は、駆動手段の環状溝１４に係合する
ベルト手段（図示せず）によって作動される。
【００１９】環状中央本体部分１５が、下方本体部分１
に位置決めされ、ベアリング手段６，７を取り囲み、か
つＯリングにより下方本体部分１に対してシールされる
。上方本体部分が、個々の内壁部品１７と交互に個々の
円形ステータ部品１６から形成され、個々の内壁部品は
、中央本体部分１５に、及び互いに、一連のＯリングに
より固定される。
に位置決めされ、ベアリング手段６，７を取り囲み、か
つＯリングにより下方本体部分１に対してシールされる
。上方本体部分が、個々の内壁部品１７と交互に個々の
円形ステータ部品１６から形成され、個々の内壁部品は
、中央本体部分１５に、及び互いに、一連のＯリングに
より固定される。
【００２０】個々のステータ部品１６の形状は、ロータ
１１，１１′の対と共に図２に最もはっきり示されてお
り、このロータは、内壁部品１７を隣接するステータ部
品の間に「サンドイッチ」するためにあるフランジと交
差する孔１８内でそれぞれのシャフト２，３のまわりに
回転できるように位置する。個々の内壁部品１７の形状
は、図３に最もはっきり示される。各内壁部品１７は、
組立中、それらをシャフト２，３のまわりに挿入し、そ
の後、隣接するステータ部品１６の間に「サンドイッチ
」するように、２つの部品である。シャフト２を受け入
れるための分割円形孔１９に加えて、内壁部品は他のシ
ャフト３を受け入れるための、部品の各側のチャンバ間
の輸送ポートとして作用するように拡大された別の孔２
０を有する。
１１，１１′の対と共に図２に最もはっきり示されてお
り、このロータは、内壁部品１７を隣接するステータ部
品の間に「サンドイッチ」するためにあるフランジと交
差する孔１８内でそれぞれのシャフト２，３のまわりに
回転できるように位置する。個々の内壁部品１７の形状
は、図３に最もはっきり示される。各内壁部品１７は、
組立中、それらをシャフト２，３のまわりに挿入し、そ
の後、隣接するステータ部品１６の間に「サンドイッチ
」するように、２つの部品である。シャフト２を受け入
れるための分割円形孔１９に加えて、内壁部品は他のシ
ャフト３を受け入れるための、部品の各側のチャンバ間
の輸送ポートとして作用するように拡大された別の孔２
０を有する。
【００２１】この拡大孔２０の位置は、隣接する内壁部
品の小さい孔１９と逆であり、使用中、拡大孔２０によ
り提供されるポートにより図１の矢印の方向に排出流体
の流れが可能になる。別のステータ構造において、個々
のステータ１６と内壁部品１７はすべて、一体でも良く
、２部品のステータを形成するように（部品１７のよう
に）軸方向に分割されてもよい。
品の小さい孔１９と逆であり、使用中、拡大孔２０によ
り提供されるポートにより図１の矢印の方向に排出流体
の流れが可能になる。別のステータ構造において、個々
のステータ１６と内壁部品１７はすべて、一体でも良く
、２部品のステータを形成するように（部品１７のよう
に）軸方向に分割されてもよい。
【００２２】上本体部分２１が、最も上のステータ部品
１６の上に位置決めされ、そこに別のＯリングによりシ
ールされる。この上本体部分は、そこに構成されたポン
プ流入口２２を有する。従って、この構成は、内壁部品
１７で分離された４つのポンプチャンバを形成し、その
中でロータ対が作動する。流入口から液送された排気ガ
スは、４つのチャンバの各々を通って中央本体部分１５
にある流出口２３から出る。特に、上方本体部分と関連
して、すなわちポンプチャンバ内に、潤滑（又は他のな
にか）を必要とするベアリング又は他の部品はない。
１６の上に位置決めされ、そこに別のＯリングによりシ
ールされる。この上本体部分は、そこに構成されたポン
プ流入口２２を有する。従って、この構成は、内壁部品
１７で分離された４つのポンプチャンバを形成し、その
中でロータ対が作動する。流入口から液送された排気ガ
スは、４つのチャンバの各々を通って中央本体部分１５
にある流出口２３から出る。特に、上方本体部分と関連
して、すなわちポンプチャンバ内に、潤滑（又は他のな
にか）を必要とするベアリング又は他の部品はない。
【００２３】次ぎに図６を参照すると、この図は図１な
いし図５に全体として示す構成とほぼ同様の構成の本発
明の別のポンプを示す。しかし、このポンプでは、第１
シャフト３１と関連するロータ組立体３０は、やはり一
体成形されるが、シャフト３１とは一体でない。その代
わりに、ロータ組立体３０は、ロータ組立体３０の上面
の円形キャビティ３４に係合しシャフト３１のねじ孔に
螺合するボルト３２及びワッシャ３３によってシャフト
３１に取付けられる。やはり、シャフトの上端と関連す
るベアリングはない。
いし図５に全体として示す構成とほぼ同様の構成の本発
明の別のポンプを示す。しかし、このポンプでは、第１
シャフト３１と関連するロータ組立体３０は、やはり一
体成形されるが、シャフト３１とは一体でない。その代
わりに、ロータ組立体３０は、ロータ組立体３０の上面
の円形キャビティ３４に係合しシャフト３１のねじ孔に
螺合するボルト３２及びワッシャ３３によってシャフト
３１に取付けられる。やはり、シャフトの上端と関連す
るベアリングはない。
【００２４】第２シャフト３６と関連する別のロータ組
立体３５は、同様に構成され、別のボルト３７及びワッ
シャ３８によって第２シャフト３６に同様に取付けられ
る。図７に関して、この図は図６のポンプに非常によく
似ているが、シャフトのベアリング、タイミング歯車及
び駆動モータのすべてが下方本体部分１に収容され、そ
の中にポンプチャンバを収容する上方本体部分に対して
シールされる、本発明の別のポンプを示す。
立体３５は、同様に構成され、別のボルト３７及びワッ
シャ３８によって第２シャフト３６に同様に取付けられ
る。図７に関して、この図は図６のポンプに非常によく
似ているが、シャフトのベアリング、タイミング歯車及
び駆動モータのすべてが下方本体部分１に収容され、そ
の中にポンプチャンバを収容する上方本体部分に対して
シールされる、本発明の別のポンプを示す。
【００２５】図７は特に、下方（第１）本体部分１の内
部を、シャフト２のまわりのピストンリング３９の形態
のシャフトシール手段によって、かつシャフト３のまわ
りのピストンリング４０の形態のシャフトシール手段に
よって、第２本体部分に対してシールする。下方本体部
分１内には、それぞれのシャフトに取付けられたタイミ
ング歯車１２の対が位置決めされ、シャフト２を駆動す
るように配置されたモータ４１が、環状固定ワインディ
ング４２を供え、使用中、部品４３を回転する。
部を、シャフト２のまわりのピストンリング３９の形態
のシャフトシール手段によって、かつシャフト３のまわ
りのピストンリング４０の形態のシャフトシール手段に
よって、第２本体部分に対してシールする。下方本体部
分１内には、それぞれのシャフトに取付けられたタイミ
ング歯車１２の対が位置決めされ、シャフト２を駆動す
るように配置されたモータ４１が、環状固定ワインディ
ング４２を供え、使用中、部品４３を回転する。
【００２６】かかるシールされた下部本体部分の使用に
より、上部本体部分は、ベアリング４，５，６，７、タ
イミング歯車１２及び電動モータ４１と関連するオイル
すなわち潤滑油の全くない４つのポンプチャンバを収容
することができる。全体的に、本発明のポンプは、特に
簡単な構造と保守の乾式真空ポンプの効果的な設計を提
供する。種々の部品に用いられる材料は、ポンプの寸法
及び最終用途により変化しても良い。しかし、一般的に
、鉄、鋼及びアルミニウム又はアルミニウム合金は、ロ
ータ組立体、及び関連するケース、並びにシャフトに適
している。しかし、アルミニウム又はアルミニウム合金
の場合に、特に重負荷ポンプの場合には、シャフトの下
端、すなわち一体成形ロータ組立体から離れた部分を、
鋼のような強い材料で作ることが必要である。鋼（又は
その他の）部品とアルミニウム部品とを周知の種々の仕
方で互いにキー止めする。
より、上部本体部分は、ベアリング４，５，６，７、タ
イミング歯車１２及び電動モータ４１と関連するオイル
すなわち潤滑油の全くない４つのポンプチャンバを収容
することができる。全体的に、本発明のポンプは、特に
簡単な構造と保守の乾式真空ポンプの効果的な設計を提
供する。種々の部品に用いられる材料は、ポンプの寸法
及び最終用途により変化しても良い。しかし、一般的に
、鉄、鋼及びアルミニウム又はアルミニウム合金は、ロ
ータ組立体、及び関連するケース、並びにシャフトに適
している。しかし、アルミニウム又はアルミニウム合金
の場合に、特に重負荷ポンプの場合には、シャフトの下
端、すなわち一体成形ロータ組立体から離れた部分を、
鋼のような強い材料で作ることが必要である。鋼（又は
その他の）部品とアルミニウム部品とを周知の種々の仕
方で互いにキー止めする。
【００２７】あらゆる場合に、本発明は、各段に「クロ
ー」型ロータを用いる多段ポンプに使用するのに特に適
している。しかし、特に、一体ロータ組立体が各シャフ
トに作られていないポンプ内において、例えば、（特に
、ポンプ流入口に隣接するルートチャンバを有する）ル
ートチャンバとクローチャンバの組合せを含む、ロータ
の組合せを本発明に使用することができる。
ー」型ロータを用いる多段ポンプに使用するのに特に適
している。しかし、特に、一体ロータ組立体が各シャフ
トに作られていないポンプ内において、例えば、（特に
、ポンプ流入口に隣接するルートチャンバを有する）ル
ートチャンバとクローチャンバの組合せを含む、ロータ
の組合せを本発明に使用することができる。
【図１】本発明のポンプの概略縦断面図である。
【図２】一対のロータを特に示す、図１の線ＩＩ−ＩＩ
における（尺度の異なる）断面図である。
における（尺度の異なる）断面図である。
【図３】２部品の内壁部品を特に示す、図１の線ＩＩＩ
−ＩＩＩ における（ 図２の尺度の）断面図である。
−ＩＩＩ における（ 図２の尺度の）断面図である。
【図４】図１のポンプの単一シャフトと一体成形ロータ
の斜視図を単独に示す図である。
の斜視図を単独に示す図である。
【図５】図１のポンプの同期位置の２つのシャフトとこ
れに対応する一体成形ロータを単独に示す図である。
れに対応する一体成形ロータを単独に示す図である。
【図６】本発明の第２のポンプの縦断面図である。
【図７】本発明の第３のポンプの縦断面図である。
１ 下方本体部分
２、３ シャフト
４、５ 端ベアリング
６、７ 低位ベアリング
８、９、１０、１１ ロータ
１２ タイミング歯車
１３ 駆動手段
１４ 環状溝
１５ 環状中央本体部分
１６ ステータ部品
１７ 内壁部品
１８ ボア
１９、２０ 孔
２１ 上本体部分
２２ ポンプ流入口
２３ 流出口
３０ ロータ組立体
３１ 第１シャフト
３５ ロータ組立体
３６ 第２シャフト
３９、４０ ピストンリング
Claims (9)
- 【請求項１】 少なくとも２つの段からなり、一対の
互いに嵌まり合うロータが各段と関連するポンプチャン
バ内で作動するメカニカル真空ポンプであって、ロータ
の各対は、チャンバを貫通し反対の角方向に回転可能に
配置されたそれぞれのシャフト上にあり、ポンプはシャ
フトを反対方向に同期して駆動するための支持・制御・
駆動手段を収容する第１本体部分を有し、該シャフトは
この第１本体部分からポンプチャンバが位置する第２本
体部分に突出する、ことを特徴とするメカニカル真空ポ
ンプ。 - 【請求項２】 支持・制御・駆動手段は、ベアリング
、歯車、及びモータからなる、請求項１に記載のメカニ
カルポンプ。 - 【請求項３】 支持・制御・駆動手段はすべて、第１
本体部分内に収容され、そこに第２本体部分に対してシ
ールされる、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の
メカニカルポンプ。 - 【請求項４】 ポンプは各シャフトと関連した一体ロ
ータ組立体を有する、請求項１乃至３のいずれかに記載
のメカニカルポンプ。 - 【請求項５】 ロータ組立体とそのシャフトが単一部
品として一体成形される、ことを特徴とする請求項１乃
至４のいずれかに記載のメカニカルポンプ。 - 【請求項６】 ロータ組立体が非一体的に成形された
シャフトに取付けられる、ことを特徴とする請求項１乃
至５のいずれかに記載のメカニカルポンプ。 - 【請求項７】 第２本体部分の内壁部品とステータ部
品とが、ポンプの組立中、それぞれ整合したシャフトの
個々のロータ対のまわりに交互に組立てられる、ことを
特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のメカニカ
ルポンプ。 - 【請求項８】 各内壁部品は、ポンプの組立中、整合
したシャフトのまわりにそのまま取付けられるように、
分割される、ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれ
かに記載のメカニカルポンプ。 - 【請求項９】 ポンプは、垂直に向けられたシャフト
で作動できるように設計される、ことを特徴とする、請
求項１乃至８に記載のメカニカルポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB909021780A GB9021780D0 (en) | 1990-10-06 | 1990-10-06 | Improvements in mechanical pumps |
| GB90217803 | 1990-10-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04259691A true JPH04259691A (ja) | 1992-09-16 |
Family
ID=10683354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25808991A Pending JPH04259691A (ja) | 1990-10-06 | 1991-10-04 | メカニカルポンプ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0480629A1 (ja) |
| JP (1) | JPH04259691A (ja) |
| GB (1) | GB9021780D0 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017527735A (ja) * | 2014-09-05 | 2017-09-21 | レイボルド ゲーエムベーハー | クローポンプ |
| CN111692092A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-09-22 | 温州市格东机械有限公司 | 凸轮转子泵 |
| WO2025032857A1 (ja) * | 2023-08-04 | 2025-02-13 | 三菱重工業株式会社 | クロー圧縮機及びその組立方法 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000205148A (ja) * | 1999-01-11 | 2000-07-25 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 多段ル―ツポンプ及び多段ル―ツポンプのロ―タハウジング製作方法 |
| GB0319344D0 (en) * | 2003-08-18 | 2003-09-17 | Boc Group Plc | Reducing exhaust pulsation in dry pumps |
| GB2498807A (en) | 2012-01-30 | 2013-07-31 | Edwards Ltd | Multi-stage vacuum pump with solid stator |
| CN109113998A (zh) * | 2018-09-18 | 2019-01-01 | 世通海泰泵业（天津）股份有限公司 | 抽真空用驱动装置 |
| FR3107933B1 (fr) * | 2020-03-04 | 2022-03-04 | Pfeiffer Vacuum Technology AG | Pompe à vide sèche et procédé de fabrication |
| CN116753167B (zh) * | 2023-04-19 | 2024-04-02 | 北京通嘉宏瑞科技有限公司 | 转子及真空泵 |
| GB2641280A (en) * | 2024-05-24 | 2025-11-26 | Edwards Ltd | Vacuum pump |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1531607A (en) * | 1923-01-24 | 1925-03-31 | Thomas W Green | High-pressure rotary pump |
| GB770475A (en) * | 1954-10-29 | 1957-03-20 | Frank Berry | Improvements in or relating to rotary devices of the rotary abutment type |
| DE1243816B (de) * | 1959-11-04 | 1967-07-06 | Leybolds Nachfolger E | Mehrstufige Drehkolbenvakuumpumpe vom Rootstyp |
| US3545888A (en) * | 1968-09-16 | 1970-12-08 | Edwards High Vacuum Int Ltd | Multistage rotary pumps |
| US3922117A (en) * | 1972-11-10 | 1975-11-25 | Calspan Corp | Two-stage roots type compressor |
| GB2091344B (en) * | 1981-01-20 | 1984-11-07 | Itt Fluid Handling Ltd | Multi-stage pump |
| US4531535A (en) * | 1982-11-26 | 1985-07-30 | General Electric Co. | Flow divider |
-
1990
- 1990-10-06 GB GB909021780A patent/GB9021780D0/en active Pending
-
1991
- 1991-10-03 EP EP91309065A patent/EP0480629A1/en not_active Withdrawn
- 1991-10-04 JP JP25808991A patent/JPH04259691A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017527735A (ja) * | 2014-09-05 | 2017-09-21 | レイボルド ゲーエムベーハー | クローポンプ |
| TWI626379B (zh) * | 2014-09-05 | 2018-06-11 | 藍伯德股份有限公司 | 爪式泵 |
| JP2020056409A (ja) * | 2014-09-05 | 2020-04-09 | レイボルド ゲーエムベーハー | クローポンプ |
| CN111692092A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-09-22 | 温州市格东机械有限公司 | 凸轮转子泵 |
| WO2025032857A1 (ja) * | 2023-08-04 | 2025-02-13 | 三菱重工業株式会社 | クロー圧縮機及びその組立方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0480629A1 (en) | 1992-04-15 |
| GB9021780D0 (en) | 1990-11-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100356506B1 (ko) | 터보 압축기 | |
| KR100288315B1 (ko) | 2단 원심압축기 | |
| MXPA01001069A (es) | Compresor de espiral horizontal. | |
| KR920004909Y1 (ko) | 스크로울형 압축기 | |
| JP2001041191A (ja) | ターボ圧縮機 | |
| US4548555A (en) | Scroll type fluid displacement apparatus with nonuniform scroll height | |
| KR102201008B1 (ko) | 전동 압축기 | |
| ATE86011T1 (de) | Mehrstufige roots-vakuumpumpe. | |
| JPH04259691A (ja) | メカニカルポンプ | |
| JP2019007382A5 (ja) | ||
| US7077633B2 (en) | Electric compressor | |
| JPH11294358A (ja) | 複軸真空ポンプ | |
| JP4064597B2 (ja) | 圧縮機とその組立て方法 | |
| JP2919576B2 (ja) | スクロール圧縮機 | |
| WO2021148525A1 (en) | Dry vacuum pump | |
| JP2600404B2 (ja) | 冷媒ポンプ | |
| JPS63235683A (ja) | スクロ−ル型流体装置 | |
| JP2658380B2 (ja) | 冷媒ポンプ | |
| JPH01147185A (ja) | スクロール圧縮機 | |
| JP2011226369A (ja) | ドライ真空ポンプ装置 | |
| KR100279639B1 (ko) | 스크롤 압축기의 하부프레임 구조 | |
| JP2002155874A (ja) | スクロール型圧縮機 | |
| JPH0953565A (ja) | 電動圧縮機 | |
| JP2506675B2 (ja) | 電動圧縮機 | |
| KR920002172B1 (ko) | 다중 펌핑실을 가진 베인형 로터리펌프 |