JPH04262209A - マイクロフローセンサ付フルイディック流量計 - Google Patents
マイクロフローセンサ付フルイディック流量計Info
- Publication number
- JPH04262209A JPH04262209A JP3023064A JP2306491A JPH04262209A JP H04262209 A JPH04262209 A JP H04262209A JP 3023064 A JP3023064 A JP 3023064A JP 2306491 A JP2306491 A JP 2306491A JP H04262209 A JPH04262209 A JP H04262209A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- partition plate
- flow sensor
- micro
- fluidic
- Prior art date
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- Measuring Volume Flow (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、小流量域での流量測定
はフルイディック素子のノズル部に組み込んだマイクロ
フローセンサにより行うように構成し、かつこのマイク
ロフローセンサが組み込まれたノズル部に縦方向に流れ
を分割する複数枚の仕切板を挿入した構成の所謂マイク
ロフローセンサ付フルイディック流量計に関するもので
ある。
はフルイディック素子のノズル部に組み込んだマイクロ
フローセンサにより行うように構成し、かつこのマイク
ロフローセンサが組み込まれたノズル部に縦方向に流れ
を分割する複数枚の仕切板を挿入した構成の所謂マイク
ロフローセンサ付フルイディック流量計に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】フルイディック素子を利用して行う小流
量域での流量測定には限界があることから、この限界以
下の流量については、マイクロフローセンサをノズル部
に組み込み、このマイクロフローセンサを駆動して小流
量域での流量を測定している。このような方式は、例え
ば大型のガスメータにおいても採用している処であるが
、大型のフルイディック素子の場合、当然のこととして
ノズル部分の断面積も大きい。このため、ノズル内を通
過する流量が小さくなると、流れの分布に不均一が生じ
てマイクロフローセンサでの測定感度が低下するという
欠点がある。
量域での流量測定には限界があることから、この限界以
下の流量については、マイクロフローセンサをノズル部
に組み込み、このマイクロフローセンサを駆動して小流
量域での流量を測定している。このような方式は、例え
ば大型のガスメータにおいても採用している処であるが
、大型のフルイディック素子の場合、当然のこととして
ノズル部分の断面積も大きい。このため、ノズル内を通
過する流量が小さくなると、流れの分布に不均一が生じ
てマイクロフローセンサでの測定感度が低下するという
欠点がある。
【０００３】そこで、従来は図６に示すように、マイク
ロフローセンサ５を組み込んだノズル２部分に仕切板６
を多段に挿入して流れを分割することにより、小流量域
での感度の改善を図っている。
ロフローセンサ５を組み込んだノズル２部分に仕切板６
を多段に挿入して流れを分割することにより、小流量域
での感度の改善を図っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし乍ら、このよう
に仕切板６を挿入した場合、広い流路を流れて来た流体
がノズル２のスロート部２ａで絞られるため、このスロ
ート部２ａ部分において乱流が発生し、この乱流がその
まま仕切板で仕切られた流路内に流れ込み、これがその
まま流体振動発生室内に流れ込むことから、器差性能あ
るいはフルイディック発振波形を悪化させてしまうとい
う問題がある。
に仕切板６を挿入した場合、広い流路を流れて来た流体
がノズル２のスロート部２ａで絞られるため、このスロ
ート部２ａ部分において乱流が発生し、この乱流がその
まま仕切板で仕切られた流路内に流れ込み、これがその
まま流体振動発生室内に流れ込むことから、器差性能あ
るいはフルイディック発振波形を悪化させてしまうとい
う問題がある。
【０００５】本発明の目的は、ノズル部分に仕切板を挿
入したマイクロフローセンサ付フルイディック流量計に
おいて、器差性能及び発振波形を悪化させないように仕
切板の構造を改善することである。
入したマイクロフローセンサ付フルイディック流量計に
おいて、器差性能及び発振波形を悪化させないように仕
切板の構造を改善することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に提案される本発明の構成は次のとおりである。
に提案される本発明の構成は次のとおりである。
【０００７】小流量域での流量測定はフルイディック素
子のノズル部に組み込んだマイクロフローセンサにより
行うように構成し、かつこのマイクロフローセンサが組
み込まれたノズル部に縦方向に流れを分割する複数枚の
仕切板を挿入した構成のマイクロフローセンサ付フルイ
ディック流量計において、前記仕切板の先端をノズルの
スロート部の上流側に突出拡大して成るフローセンサ付
フルイディック流量計。
子のノズル部に組み込んだマイクロフローセンサにより
行うように構成し、かつこのマイクロフローセンサが組
み込まれたノズル部に縦方向に流れを分割する複数枚の
仕切板を挿入した構成のマイクロフローセンサ付フルイ
ディック流量計において、前記仕切板の先端をノズルの
スロート部の上流側に突出拡大して成るフローセンサ付
フルイディック流量計。
【０００８】
【作用】ノズル内を流れ込む流体は、そのスロート部に
おいて先ず仕切板により層状に分割されながら絞られて
ノズル内に流れ込み、多段に仕切られた仕切板の間を通
過する。そして、流体振動発生室内に噴出し、ここで流
体振動を発生する。発生した流体振動は、流体振動検出
端で検出され、電気信号に変換されて流量演算装置に入
力され、ここで積算流量が演算される。
おいて先ず仕切板により層状に分割されながら絞られて
ノズル内に流れ込み、多段に仕切られた仕切板の間を通
過する。そして、流体振動発生室内に噴出し、ここで流
体振動を発生する。発生した流体振動は、流体振動検出
端で検出され、電気信号に変換されて流量演算装置に入
力され、ここで積算流量が演算される。
【０００９】
【実施例】図１に本発明を実施したマイクロフローセン
サ付フルイディック流量計を示す。
サ付フルイディック流量計を示す。
【００１０】符号の１はフルイディック素子、２はノズ
ル、２ａはノズル２のスロート部、３は流体振動発生室
、４、４ａは流体振動検出部、５はノズル２内に挿入さ
れたマイクロフローセンサ、６はノズル２内を上下方向
に多段に仕切っている仕切板にして、この仕切板６の前
端６ａ側は、図１、２に示すようにノズル２のスロート
部２ａから入口側流路７内に突出し、かつ左右に拡大さ
れている。
ル、２ａはノズル２のスロート部、３は流体振動発生室
、４、４ａは流体振動検出部、５はノズル２内に挿入さ
れたマイクロフローセンサ、６はノズル２内を上下方向
に多段に仕切っている仕切板にして、この仕切板６の前
端６ａ側は、図１、２に示すようにノズル２のスロート
部２ａから入口側流路７内に突出し、かつ左右に拡大さ
れている。
【００１１】なお、実施例の場合ノズル２のスロート部
２ａは、流入がスムーズに行われるように大きな広がり
角に形成されている。
２ａは、流入がスムーズに行われるように大きな広がり
角に形成されている。
【００１２】上記フルイディック流量計の場合、流体は
ノズル２内に流入する前に仕切板６の先端６ａで上下に
セパレートされ、スロート部２ａから整流された状態で
ノズル２内に流入する。このため、ノズル２から流体振
動発生室３内に噴出する流体に乱れはなく、よって、正
確な流体振動を発生する。
ノズル２内に流入する前に仕切板６の先端６ａで上下に
セパレートされ、スロート部２ａから整流された状態で
ノズル２内に流入する。このため、ノズル２から流体振
動発生室３内に噴出する流体に乱れはなく、よって、正
確な流体振動を発生する。
【００１３】図３は本発明に係る流体振動波形、図４は
従来のフルイディック流量計の流体振動波形を示すもの
で、両者を比較することにより、本発明の場合、非常に
整波された波形を得ていることが判る。
従来のフルイディック流量計の流体振動波形を示すもの
で、両者を比較することにより、本発明の場合、非常に
整波された波形を得ていることが判る。
【００１４】図５は本発明をガスメータに適用した場合
の器差特性を示すもので、本発明の場合、器差特性の幅
を±１パーセントの範囲内におさめることができる。
の器差特性を示すもので、本発明の場合、器差特性の幅
を±１パーセントの範囲内におさめることができる。
【００１５】
【発明の効果】本発明は以上のように、ノズル内に挿入
した仕切板の先端側をノズルのスロート部の上流側に突
出させると共に拡大したので、流体はノズルに流入する
前に層状に分割整流される。この結果、マイクロフロー
センサの感度をあげながらフルイディック素子側で発生
する流体振動波形を整い、例えばガスメータに適用した
場合、器差特性を１パーセントの範囲内におさめること
ができる。
した仕切板の先端側をノズルのスロート部の上流側に突
出させると共に拡大したので、流体はノズルに流入する
前に層状に分割整流される。この結果、マイクロフロー
センサの感度をあげながらフルイディック素子側で発生
する流体振動波形を整い、例えばガスメータに適用した
場合、器差特性を１パーセントの範囲内におさめること
ができる。
【図１】本発明を実施したフルイディック素子の平面図
。
。
【図２】仕切板の斜視図。
【図３】本発明に係る波形の説明図。
【図４】従来例の波形の説明図。
【図５】本発明と従来例をガスメータに適用した場合の
器差特性の比較説明図。
器差特性の比較説明図。
【図６】従来の仕切板を挿入したフルイディック素子の
説明図。
説明図。
１ フルイディック素子
２ ノズル
２ａ スロート部
３ 流体振動発生室
４、４ａ 検出部
５ マイクロフローセンサ
６ 仕切板
６ａ 先端
７ 入口側流路
Claims (1)
- 【請求項１】 小流量域での流量測定はフルイディッ
ク素子のノズル部に組み込んだマイクロフローセンサに
より行うように構成し、かつこのマイクロフローセンサ
が組み込まれたノズル部に縦方向に流れを分割する複数
枚の仕切板を挿入した構成のマイクロフローセンサ付フ
ルイディック流量計において、前記仕切板の先端をノズ
ルのスロート部の上流側に突出拡大して成るフローセン
サ付フルイディック流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3023064A JP2708282B2 (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | マイクロフローセンサ付フルイディック流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3023064A JP2708282B2 (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | マイクロフローセンサ付フルイディック流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04262209A true JPH04262209A (ja) | 1992-09-17 |
| JP2708282B2 JP2708282B2 (ja) | 1998-02-04 |
Family
ID=12099988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3023064A Expired - Fee Related JP2708282B2 (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | マイクロフローセンサ付フルイディック流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2708282B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004170346A (ja) * | 2002-11-22 | 2004-06-17 | Kimmon Mfg Co Ltd | 流量計 |
| JP2005049181A (ja) * | 2003-07-28 | 2005-02-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流路における流量均一化構造および流量計測装置 |
| JP2005533229A (ja) * | 2002-07-17 | 2005-11-04 | フィッシャー コントロールズ インターナショナル リミテッド ライアビリティー カンパニー | 改良されたスカートガイド式グローブバルブ |
-
1991
- 1991-02-18 JP JP3023064A patent/JP2708282B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005533229A (ja) * | 2002-07-17 | 2005-11-04 | フィッシャー コントロールズ インターナショナル リミテッド ライアビリティー カンパニー | 改良されたスカートガイド式グローブバルブ |
| JP2004170346A (ja) * | 2002-11-22 | 2004-06-17 | Kimmon Mfg Co Ltd | 流量計 |
| JP2005049181A (ja) * | 2003-07-28 | 2005-02-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流路における流量均一化構造および流量計測装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2708282B2 (ja) | 1998-02-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |