JPH04262408A - マスフロー・コントローラ - Google Patents
マスフロー・コントローラInfo
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- JPH04262408A JPH04262408A JP2252391A JP2252391A JPH04262408A JP H04262408 A JPH04262408 A JP H04262408A JP 2252391 A JP2252391 A JP 2252391A JP 2252391 A JP2252391 A JP 2252391A JP H04262408 A JPH04262408 A JP H04262408A
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- JP
- Japan
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- flow rate
- gas
- mass flow
- signal
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- Pending
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 32
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Regulation And Control Of Combustion (AREA)
- Flow Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、種々のガスの流量を設
定出来るマスフロー・コントローラに関する。
定出来るマスフロー・コントローラに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、この種のマスフロー・コントロ
ーラは、配管に流すガスの所要流量を設定する標準体積
流量値と実際に流れる体積流量値が一致するように、配
管に流れるガスを測定する質量流量測定部の出力信号を
流量値に換算し、標準体積流量値と比較して流量コント
ロール弁を制御していた。
ーラは、配管に流すガスの所要流量を設定する標準体積
流量値と実際に流れる体積流量値が一致するように、配
管に流れるガスを測定する質量流量測定部の出力信号を
流量値に換算し、標準体積流量値と比較して流量コント
ロール弁を制御していた。
【０００３】この流量値と質量流量測定部の信号の動作
に関しては、まず、流すガスを一種類に限定し、このガ
スが流れないとき、すなわち体積流量がＯ／ｍｉｎのと
きに、質量流量測定部の出力をＯＶとなるように構成す
る。次に、ガスの量大流量を流した際に、測定部の出力
が５Ｖとなるように校正する。また、中間の流量値に関
しては、最大流量での測定出力５Ｖと流れていないとき
の測定出力ＯＶとの比例配分で校正していた。
に関しては、まず、流すガスを一種類に限定し、このガ
スが流れないとき、すなわち体積流量がＯ／ｍｉｎのと
きに、質量流量測定部の出力をＯＶとなるように構成す
る。次に、ガスの量大流量を流した際に、測定部の出力
が５Ｖとなるように校正する。また、中間の流量値に関
しては、最大流量での測定出力５Ｖと流れていないとき
の測定出力ＯＶとの比例配分で校正していた。
【０００４】このようにして校正されたマスフロー・コ
ントローラによりある１種のガスのみについては、流し
たいと希望する標準体積流量と実際に流れる体積流量の
標準体積流量と一致させて流していた。一方、この構成
されたマスフロー・コントローラで、校正に用いたガス
とモル比熱の違うガスを流した場合は、実際に流れる流
量と設定値の間にかなりの誤差が生ずる。例えば、Ｎ２
ガスで校正されたマスフロー・コントローラでＡｒもし
くはＨｅガスを流すと、標準体積流量換算値で設定の１
４０倍流れることになる。
ントローラによりある１種のガスのみについては、流し
たいと希望する標準体積流量と実際に流れる体積流量の
標準体積流量と一致させて流していた。一方、この構成
されたマスフロー・コントローラで、校正に用いたガス
とモル比熱の違うガスを流した場合は、実際に流れる流
量と設定値の間にかなりの誤差が生ずる。例えば、Ｎ２
ガスで校正されたマスフロー・コントローラでＡｒもし
くはＨｅガスを流すと、標準体積流量換算値で設定の１
４０倍流れることになる。
【０００５】従って、一つのマスフロー・コントロール
で順次、異種のガスを流す場合には、ガス毎に校正用ガ
スの測定値に各ガスの補正係数を乗じて、測定値を補正
する必要があった。
で順次、異種のガスを流す場合には、ガス毎に校正用ガ
スの測定値に各ガスの補正係数を乗じて、測定値を補正
する必要があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
マスフロー・コントローラでは、ガスの種類ごとに測定
部の出力信号を補正しなおさなければならない。このこ
とは、補正しなおす工数を浪費するばかりか、誤りを引
き起す原因ともなる。
マスフロー・コントローラでは、ガスの種類ごとに測定
部の出力信号を補正しなおさなければならない。このこ
とは、補正しなおす工数を浪費するばかりか、誤りを引
き起す原因ともなる。
【０００７】本発明の目的は、かかる問題を解消するマ
スフロー・コントローラを提供することである。
スフロー・コントローラを提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のマスフロー・コ
ントローラは、配管に流れるガスの流量を測定する質量
流量測定部と、前記ガスの種類及び所要流量を設定する
入力手段と、前記質量流量測定部の測定信号を前記ガス
の種類によって補正する演算回路と、補正される測定信
号と設定される前記所要流量の設定信号とを比較する比
較回路とを備え、この比較回路が出力する差信号で配管
に取付けられる流量コントロール弁の開閉度を制御する
ことを特徴としている。
ントローラは、配管に流れるガスの流量を測定する質量
流量測定部と、前記ガスの種類及び所要流量を設定する
入力手段と、前記質量流量測定部の測定信号を前記ガス
の種類によって補正する演算回路と、補正される測定信
号と設定される前記所要流量の設定信号とを比較する比
較回路とを備え、この比較回路が出力する差信号で配管
に取付けられる流量コントロール弁の開閉度を制御する
ことを特徴としている。
【０００９】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１０】図１は本発明の一実施例を示すマスフロー
・コントローラのブロック図である。このマスフロー・
コントローラは、同図に示すように、配管１に流れるガ
スの流量を測定する質量流量測定部２と、この質量流量
測定部２の出力信号を増幅する増幅回路４と、増幅され
た電気信号を校正用ガスとの校正値に補正し、補正信号
を出力する演算回路５と、この演算回路５に前記ガスの
種類を入力する入力部８と、前記ガスの所要流量を設定
する標準体積流量設定部７と、補正信号と標準体積流量
設定部７の設定信号と比較する比較回路６と、比較回路
６の出力により流量コントロール弁３の開閉度の制御す
る弁制御部９とを有している。
・コントローラのブロック図である。このマスフロー・
コントローラは、同図に示すように、配管１に流れるガ
スの流量を測定する質量流量測定部２と、この質量流量
測定部２の出力信号を増幅する増幅回路４と、増幅され
た電気信号を校正用ガスとの校正値に補正し、補正信号
を出力する演算回路５と、この演算回路５に前記ガスの
種類を入力する入力部８と、前記ガスの所要流量を設定
する標準体積流量設定部７と、補正信号と標準体積流量
設定部７の設定信号と比較する比較回路６と、比較回路
６の出力により流量コントロール弁３の開閉度の制御す
る弁制御部９とを有している。
【００１１】次に、このマスフロー・コントローラの動
作を説明する。ここで、流量コントロール弁３が閉じた
状態となっているとする。まず、入力部８に流すガスの
種類のコードを入力し、標準体積流量設定部７にはガス
の所要流量を設定する。次に、質量流量測定部２により
ガスの流量を測定し、質量流量測定部２の信号が演算回
路５で補正される。次に、比較回路６は補正信号と設定
信号を比較し、設定信号が大きければ、弁制御部９を動
作させ、流量コントロール弁３を開き、ガスを配管１内
を流す。引続き演算回路５の信号により質量流量測定部
２に測定をし、その出力信号を補正し、設定信号と比較
し、その差があれば、弁制御部９によって流量コントロ
ール弁３の開閉度を調節する。そして、比較回路５の出
力がなくなれば、流量コントロール弁３の開閉度は一定
に保持する。
作を説明する。ここで、流量コントロール弁３が閉じた
状態となっているとする。まず、入力部８に流すガスの
種類のコードを入力し、標準体積流量設定部７にはガス
の所要流量を設定する。次に、質量流量測定部２により
ガスの流量を測定し、質量流量測定部２の信号が演算回
路５で補正される。次に、比較回路６は補正信号と設定
信号を比較し、設定信号が大きければ、弁制御部９を動
作させ、流量コントロール弁３を開き、ガスを配管１内
を流す。引続き演算回路５の信号により質量流量測定部
２に測定をし、その出力信号を補正し、設定信号と比較
し、その差があれば、弁制御部９によって流量コントロ
ール弁３の開閉度を調節する。そして、比較回路５の出
力がなくなれば、流量コントロール弁３の開閉度は一定
に保持する。
【００１２】また、設定時間経過後、入力部８より流量
コントロール弁３を閉じ、他の配管から印換え弁により
配管１と接続し、他のガスを配管１に供給し、同様の動
作をさせ、他のガスを流す。ここでこのマスフローコン
トローラに使用される信号はアナログ信号でもディジタ
ル信号でも使用出来る。
コントロール弁３を閉じ、他の配管から印換え弁により
配管１と接続し、他のガスを配管１に供給し、同様の動
作をさせ、他のガスを流す。ここでこのマスフローコン
トローラに使用される信号はアナログ信号でもディジタ
ル信号でも使用出来る。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ガスの種
類を識別する信号を入力し、その信号によって校正用ガ
スの流量測定信号に補正する演算回路を設けることによ
って、供給されるガスごとに質量流量測定部の測定値を
補正することなく、異なるガスを正確な流量を供給出来
るマスフロー・コントローラが得られるという効果があ
る。
類を識別する信号を入力し、その信号によって校正用ガ
スの流量測定信号に補正する演算回路を設けることによ
って、供給されるガスごとに質量流量測定部の測定値を
補正することなく、異なるガスを正確な流量を供給出来
るマスフロー・コントローラが得られるという効果があ
る。
【図１】本発明の一実施例を示すマスフロー・コントロ
ーラのブロック図である。
ーラのブロック図である。
１ 配管
２ 質量流量測定部
３ 流量コントロール弁
４ 増幅回路
５ 演算回路
６ 比較回路
７ 標準体積流量設定部
８ 入力部
９ 弁制御部
Claims (1)
- 【請求項１】 配管に流れるガスの流量を測定する質
量流量測定部と、前記ガスの種類及び所要流量を設定す
る入力手段と、前記質量流量測定部の測定信号を前記ガ
スの種類によって補正する演算回路と、補正される測定
信号と設定される前記所要流量の設定信号とを比較する
比較回路とを備え、この比較回路が出力する差信号で配
管に取付けられる流量コントロール弁の開閉度を制御す
ることを特徴とするマスフロー・コントローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2252391A JPH04262408A (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | マスフロー・コントローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2252391A JPH04262408A (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | マスフロー・コントローラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04262408A true JPH04262408A (ja) | 1992-09-17 |
Family
ID=12085146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2252391A Pending JPH04262408A (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | マスフロー・コントローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04262408A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006506723A (ja) * | 2002-11-20 | 2006-02-23 | エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド | 体積流量制御器 |
| JP2010216807A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-30 | Horiba Stec Co Ltd | マスフローメータ、マスフローコントローラ、それらを含むマスフローメータシステムおよびマスフローコントローラシステム |
| CN102768529A (zh) * | 2012-08-06 | 2012-11-07 | 北京雪迪龙科技股份有限公司 | 质量流量控制器的体积流量修正方法 |
| JP2019106015A (ja) * | 2017-12-12 | 2019-06-27 | 株式会社堀場エステック | 流体装置及び流体装置用プログラム |
| CN114838789A (zh) * | 2022-04-01 | 2022-08-02 | 青岛明华电子仪器有限公司 | 一种用于热式质量流量控制器的气体质量流量校准方法 |
-
1991
- 1991-02-18 JP JP2252391A patent/JPH04262408A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006506723A (ja) * | 2002-11-20 | 2006-02-23 | エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド | 体積流量制御器 |
| US7669594B2 (en) | 2002-11-20 | 2010-03-02 | Air Products And Chemicals, Inc. | Volume flow controller |
| JP4795690B2 (ja) * | 2002-11-20 | 2011-10-19 | エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド | 体積流量制御器 |
| US8336544B2 (en) | 2002-11-20 | 2012-12-25 | Air Products And Chemicals, Inc. | Volume flow controller |
| JP2010216807A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-30 | Horiba Stec Co Ltd | マスフローメータ、マスフローコントローラ、それらを含むマスフローメータシステムおよびマスフローコントローラシステム |
| US8851105B2 (en) | 2009-03-12 | 2014-10-07 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Mass flow meter, mass flow controller, mass flow meter system and mass flow control system containing the mass flow meter and the mass flow controller |
| CN102768529A (zh) * | 2012-08-06 | 2012-11-07 | 北京雪迪龙科技股份有限公司 | 质量流量控制器的体积流量修正方法 |
| JP2019106015A (ja) * | 2017-12-12 | 2019-06-27 | 株式会社堀場エステック | 流体装置及び流体装置用プログラム |
| US11262222B2 (en) | 2017-12-12 | 2022-03-01 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Fluid device and program for fluid device |
| CN114838789A (zh) * | 2022-04-01 | 2022-08-02 | 青岛明华电子仪器有限公司 | 一种用于热式质量流量控制器的气体质量流量校准方法 |
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