JPH04267365A - 液体加工装置 - Google Patents
液体加工装置Info
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- JPH04267365A JPH04267365A JP4919791A JP4919791A JPH04267365A JP H04267365 A JPH04267365 A JP H04267365A JP 4919791 A JP4919791 A JP 4919791A JP 4919791 A JP4919791 A JP 4919791A JP H04267365 A JPH04267365 A JP H04267365A
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- Japan
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- spray
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- spray pipe
- pipe
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は微細加工が要求される半
導体金属配線材料の表面に形成する回路パターンを現像
液を用いて現像する工程や、リードフレーム材をエッチ
ング液を用いてリード間等をエッチングする工程等を行
うための液体を用いて行う加工装置に関する。
導体金属配線材料の表面に形成する回路パターンを現像
液を用いて現像する工程や、リードフレーム材をエッチ
ング液を用いてリード間等をエッチングする工程等を行
うための液体を用いて行う加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】薄い金属板をローラーコンベア等により
移送しつつ、首振りスプレーを有する噴霧装置で食刻液
を吹き付け、リード部分を残して金属板を食刻し、リー
ドフレームを製造する装置や、金属板に施したホトレジ
スト膜に現像処理するための液体加工装置として種々の
ものが提案されている。このうち、操作性、仕上がり精
度、経済性の面から図５、図６に示す構造の装置が実用
されている。この装置は相互に間隔を置き平行に配置さ
れた複数のスプレーパイプ１と、該スプレーパイプのそ
れぞれの側面に同一向きで一列に取り付けられた複数の
ノズル２と、各ノズル２がスプレーパイプ１を含む面の
片側で所定の角度範囲の首振り運動を行うようにスプレ
ーパイプ１を駆動する装置と、各スプレーパイプ１と連
通せしめて設けた給液管４と、給液管４に設けたポンプ
５とを備えた噴霧装置７を、被処理材１３を移送する搬
送ローラー６の上下に、ノズル２を対向させて処理槽に
順次複数組み一列に設け、被処理材１３の移送方向に対
するノズル２の首振り方向が、被処理材１３の移送方向
に平行あるいは直角となるように設け、搬送ローラー６
で被処理材１３を処理槽の噴霧装置を順次通過せしめて
処理している。
移送しつつ、首振りスプレーを有する噴霧装置で食刻液
を吹き付け、リード部分を残して金属板を食刻し、リー
ドフレームを製造する装置や、金属板に施したホトレジ
スト膜に現像処理するための液体加工装置として種々の
ものが提案されている。このうち、操作性、仕上がり精
度、経済性の面から図５、図６に示す構造の装置が実用
されている。この装置は相互に間隔を置き平行に配置さ
れた複数のスプレーパイプ１と、該スプレーパイプのそ
れぞれの側面に同一向きで一列に取り付けられた複数の
ノズル２と、各ノズル２がスプレーパイプ１を含む面の
片側で所定の角度範囲の首振り運動を行うようにスプレ
ーパイプ１を駆動する装置と、各スプレーパイプ１と連
通せしめて設けた給液管４と、給液管４に設けたポンプ
５とを備えた噴霧装置７を、被処理材１３を移送する搬
送ローラー６の上下に、ノズル２を対向させて処理槽に
順次複数組み一列に設け、被処理材１３の移送方向に対
するノズル２の首振り方向が、被処理材１３の移送方向
に平行あるいは直角となるように設け、搬送ローラー６
で被処理材１３を処理槽の噴霧装置を順次通過せしめて
処理している。
【０００３】ＩＣなどの電子部品の小型化、これに伴う
高密度実装化により、リードフレーム等の薄い板状部品
に要求される加工精度も、従来の板厚の±１５％以内か
ら、±１０％以内に厳しくなってきている。このため一
般的にリードフレーム材として使用されている板厚１５
０μｍの４２アロイ板を用いた場合には、従来は±２２
．５μｍまでの加工精度でよかったものが、±１５μｍ
まで加工精度を高めなければならないことになる。更に
高密度化の趨勢は、リード幅を１００μｍとし、リード
のピッチを１８０μｍとすることが要望されるようにな
ってきた。
高密度実装化により、リードフレーム等の薄い板状部品
に要求される加工精度も、従来の板厚の±１５％以内か
ら、±１０％以内に厳しくなってきている。このため一
般的にリードフレーム材として使用されている板厚１５
０μｍの４２アロイ板を用いた場合には、従来は±２２
．５μｍまでの加工精度でよかったものが、±１５μｍ
まで加工精度を高めなければならないことになる。更に
高密度化の趨勢は、リード幅を１００μｍとし、リード
のピッチを１８０μｍとすることが要望されるようにな
ってきた。
【０００４】リードフレーム等の製造には多量の液を循
環して使用し、液が劣化して使用出来なくなるまでバッ
チ操業を繰り返すことが行われる。このような操業では
液が新しく活性のよい時と、更新前の古くなり活性の低
下した時とでは加工条件が異なる。このため実操業上の
加工精度は、各バッチ内における加工精度（群内加工精
度）と、液の濃度、活性度、温度等の条件によるバッチ
間加工精度（群間加工精度）との和となる。上記の±１
０％という加工精度は、この実操業上の加工精度（以下
、単に加工精度という）に対するものである。このうち
群間加工精度は液を一定温度で劣化して使用出来なくな
るまで循環して使用するという条件では装置による影響
は小さくほぼ一定しており、群内加工精度が加工精度を
左右するが、これは主として装置により左右されるとこ
ろが大きい。しかし上記した従来装置では加工精度を±
１０％とすることは困難であった。
環して使用し、液が劣化して使用出来なくなるまでバッ
チ操業を繰り返すことが行われる。このような操業では
液が新しく活性のよい時と、更新前の古くなり活性の低
下した時とでは加工条件が異なる。このため実操業上の
加工精度は、各バッチ内における加工精度（群内加工精
度）と、液の濃度、活性度、温度等の条件によるバッチ
間加工精度（群間加工精度）との和となる。上記の±１
０％という加工精度は、この実操業上の加工精度（以下
、単に加工精度という）に対するものである。このうち
群間加工精度は液を一定温度で劣化して使用出来なくな
るまで循環して使用するという条件では装置による影響
は小さくほぼ一定しており、群内加工精度が加工精度を
左右するが、これは主として装置により左右されるとこ
ろが大きい。しかし上記した従来装置では加工精度を±
１０％とすることは困難であった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は±１０％以内
の加工精度を有するこの種の液体加工装置を提供するこ
とにある。
の加工精度を有するこの種の液体加工装置を提供するこ
とにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明による課題を解決
するための手段は、一端を交互に位置せしめ相互に間隔
を置き平行に配置されそれぞれの一端が閉じた複数のス
プレーパイプと、該スプレーパイプのそれぞれの側面に
同一向きで一列に取り付けられた複数のノズルと、多端
側から調整弁、ノズルの順序でノズルと交互に各スプレ
ーパイプに取り付けられた複数の調整弁と、各ノズルが
スプレーパイプを含む面の片側で所定の角度範囲の首振
り運動を行うようにスプレーパイプを駆動する装置と、
各スプレーパイプと連通せしめて設けた給液管とを備え
た噴霧装置が、ノズルを被処理材に向け被処理材の移送
経路に沿い複数個１列に設けられ、この複数の噴霧装置
のうちの少なくとも一つの噴霧装置のノズルの首振り方
向が、被処理材の移動方向に対して、平行と直角との中
間の方向になっている液体加工装置にある。
するための手段は、一端を交互に位置せしめ相互に間隔
を置き平行に配置されそれぞれの一端が閉じた複数のス
プレーパイプと、該スプレーパイプのそれぞれの側面に
同一向きで一列に取り付けられた複数のノズルと、多端
側から調整弁、ノズルの順序でノズルと交互に各スプレ
ーパイプに取り付けられた複数の調整弁と、各ノズルが
スプレーパイプを含む面の片側で所定の角度範囲の首振
り運動を行うようにスプレーパイプを駆動する装置と、
各スプレーパイプと連通せしめて設けた給液管とを備え
た噴霧装置が、ノズルを被処理材に向け被処理材の移送
経路に沿い複数個１列に設けられ、この複数の噴霧装置
のうちの少なくとも一つの噴霧装置のノズルの首振り方
向が、被処理材の移動方向に対して、平行と直角との中
間の方向になっている液体加工装置にある。
【０００７】
【作用】複数のスプレーパイプを、相互に間隔を置き平
行に配置すること、各スプレーパイプに同一向きで一列
に複数のノズルを設けること、各ノズルがスプレーパイ
プを含む面の片側で所定の角度範囲の首振り運動を行う
ようにスプレーパイプを駆動する装置を有すること、各
スプレーパイプと連通せしめて給液管を設けること、は
従来の噴霧装置と同様である。本発明では給液管に接続
されたスプレーパイプに他端側から調節弁、ノズルの順
序でノズル毎に調節弁を設けたことで、多数のノズルの
噴霧圧力を均一化しうるようにすると共に、一端が閉じ
たスプレーパイプを、閉じた一端を交互に位置せしめて
併置することで、噴霧が被処理材全面で均一になるよう
にしてあり、被処理材の移送経路に、ノズルを被処理材
に向けて１列に設けられた複数の噴霧装置の内の少なく
とも一つの噴霧装置のノズルの首振り方向が、被処理材
の移動方向に平行と直角の中間となるようにしたことと
により、従来のノズルの首振り方向を、被処理材の移動
方向と平行と、直角との２方向にしたものでは得られな
かった、加工精度１０％以内とすることを可能としたも
のである。
行に配置すること、各スプレーパイプに同一向きで一列
に複数のノズルを設けること、各ノズルがスプレーパイ
プを含む面の片側で所定の角度範囲の首振り運動を行う
ようにスプレーパイプを駆動する装置を有すること、各
スプレーパイプと連通せしめて給液管を設けること、は
従来の噴霧装置と同様である。本発明では給液管に接続
されたスプレーパイプに他端側から調節弁、ノズルの順
序でノズル毎に調節弁を設けたことで、多数のノズルの
噴霧圧力を均一化しうるようにすると共に、一端が閉じ
たスプレーパイプを、閉じた一端を交互に位置せしめて
併置することで、噴霧が被処理材全面で均一になるよう
にしてあり、被処理材の移送経路に、ノズルを被処理材
に向けて１列に設けられた複数の噴霧装置の内の少なく
とも一つの噴霧装置のノズルの首振り方向が、被処理材
の移動方向に平行と直角の中間となるようにしたことと
により、従来のノズルの首振り方向を、被処理材の移動
方向と平行と、直角との２方向にしたものでは得られな
かった、加工精度１０％以内とすることを可能としたも
のである。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の一実施例を示したものである
。この実施例では被処理材１３の移動方向Ａに沿い、第
１処理槽８、第２処理槽９、第３処理槽１０、第４処理
槽１１、第５処理槽１２の五つの処理槽をそれぞれ独立
して１列に設け、それぞれに噴霧装置７を設けている。 第１処理槽８の噴霧装置７を図２に示す。図２において
被処理材１３は、移送経路に沿って配置された多数の搬
送ローラ６によって、矢印Ａで示した移動方向に運ばれ
る。搬送ローラ６の上下にはスプレーパイプ１が複数本
間隔を置いて平行に配置されている。各スプレーパイプ
１の一端は閉じておりその側面には間隔を置いて一列に
複数のノズル２が設けてある。各スプレーパイプ１には
、複数の調整弁３が、他端側から調整弁３、ノズル２の
順序で交互に設けられている。各スプレーパイプ１は閉
じた一端側が互い違いに交互に配置されている。同側に
位置する他端側は給液管４にそれぞれ接続され、その途
中にはポンプ５が挿入されている。各スプレーパイプ１
は、従来と同様に、図示していない駆動装置により、ス
プレーパイプ１の列を含む面の片側で、ノズル２を被処
理材１３に向けて、被処理材１３の移動方向と平行して
所定の角度範囲の首振り運動をするように設けられてい
る。
。この実施例では被処理材１３の移動方向Ａに沿い、第
１処理槽８、第２処理槽９、第３処理槽１０、第４処理
槽１１、第５処理槽１２の五つの処理槽をそれぞれ独立
して１列に設け、それぞれに噴霧装置７を設けている。 第１処理槽８の噴霧装置７を図２に示す。図２において
被処理材１３は、移送経路に沿って配置された多数の搬
送ローラ６によって、矢印Ａで示した移動方向に運ばれ
る。搬送ローラ６の上下にはスプレーパイプ１が複数本
間隔を置いて平行に配置されている。各スプレーパイプ
１の一端は閉じておりその側面には間隔を置いて一列に
複数のノズル２が設けてある。各スプレーパイプ１には
、複数の調整弁３が、他端側から調整弁３、ノズル２の
順序で交互に設けられている。各スプレーパイプ１は閉
じた一端側が互い違いに交互に配置されている。同側に
位置する他端側は給液管４にそれぞれ接続され、その途
中にはポンプ５が挿入されている。各スプレーパイプ１
は、従来と同様に、図示していない駆動装置により、ス
プレーパイプ１の列を含む面の片側で、ノズル２を被処
理材１３に向けて、被処理材１３の移動方向と平行して
所定の角度範囲の首振り運動をするように設けられてい
る。
【０００９】第２処理槽９には、図３に示すように、図
２と同様であるが、ノズル２の首振り方向を、被処理材
１３の移動方向前方に対して右向きに４５°の角度にし
て噴霧装置７が設けてあり、第３処理槽１０には、ノズ
ル２の首振り方向を、被処理材１３の移動方向に対して
直角にして噴霧装置７が設けてある。第４処理槽１１に
は、ノズル２の首振り方向を、被処理材１３の移動方向
前方に対して左向きに４５°にして噴霧装置７が設けて
あり、第５処理槽１２にはノズル２の首振り方向を、第
１処理槽８と同方向にして噴霧装置７が設けてある。こ
の実施例では処理槽を分離して設けたものであるが、一
つの長い処理槽に上記したように首振り方向を順次変え
て複数の噴霧装置を設けてもよく、また噴霧装置は被処
理材の移動装置の上側、下側または左右の何れか片側の
みに設けてもよい。
２と同様であるが、ノズル２の首振り方向を、被処理材
１３の移動方向前方に対して右向きに４５°の角度にし
て噴霧装置７が設けてあり、第３処理槽１０には、ノズ
ル２の首振り方向を、被処理材１３の移動方向に対して
直角にして噴霧装置７が設けてある。第４処理槽１１に
は、ノズル２の首振り方向を、被処理材１３の移動方向
前方に対して左向きに４５°にして噴霧装置７が設けて
あり、第５処理槽１２にはノズル２の首振り方向を、第
１処理槽８と同方向にして噴霧装置７が設けてある。こ
の実施例では処理槽を分離して設けたものであるが、一
つの長い処理槽に上記したように首振り方向を順次変え
て複数の噴霧装置を設けてもよく、また噴霧装置は被処
理材の移動装置の上側、下側または左右の何れか片側の
みに設けてもよい。
【００１０】板厚１５０μｍの４２合金に、水溶性ホト
レジスト膜を、厚さ６μｍに塗布し、マスクを用いて図
４に示すリード幅１１０μｍ、リード間隔１１０μｍの
微細パターンを５０ｍｍ角に形成し、５０℃、４５度ボ
ーメの塩化第二鉄溶液を全量で６ｍ３用いて上記の装置
により５００秒間エッチング加工した。この場合の群間
変動を別途求めたところ±１０μｍであった。エッチン
グ後、搬送方向に対するリードの方向毎のリード幅を測
定した結果を表１に示す。なお、各調整弁３は、各ノズ
ル２が同一噴霧量となるように、開き具合を位置により
異ならしめて調整した。
レジスト膜を、厚さ６μｍに塗布し、マスクを用いて図
４に示すリード幅１１０μｍ、リード間隔１１０μｍの
微細パターンを５０ｍｍ角に形成し、５０℃、４５度ボ
ーメの塩化第二鉄溶液を全量で６ｍ３用いて上記の装置
により５００秒間エッチング加工した。この場合の群間
変動を別途求めたところ±１０μｍであった。エッチン
グ後、搬送方向に対するリードの方向毎のリード幅を測
定した結果を表１に示す。なお、各調整弁３は、各ノズ
ル２が同一噴霧量となるように、開き具合を位置により
異ならしめて調整した。
【００１１】
【表１】
【００１２】表１より平均リード幅は１０４μｍ、最大
１０７μｍ、最小１０２μｍであり、Ｒは５μｍである
。この値は群内変動に相当する。群内変動と群間変動と
の和は±１５μｍとなり、板厚の±１０％となる。
１０７μｍ、最小１０２μｍであり、Ｒは５μｍである
。この値は群内変動に相当する。群内変動と群間変動と
の和は±１５μｍとなり、板厚の±１０％となる。
【００１３】
【比較例】図１の３個の第１処理槽８と、２個の第３処
理槽１０とを、第１処理槽８から交互に配置し、各調整
弁３はすべて全開とし、他の条件は実施例と同様とした
。実施例と同様に測定したリード幅を表２に示す。
理槽１０とを、第１処理槽８から交互に配置し、各調整
弁３はすべて全開とし、他の条件は実施例と同様とした
。実施例と同様に測定したリード幅を表２に示す。
【００１４】
【表２】
【００１５】表２より平均リード幅は９９μｍ、最大１
０７μｍ、最小９４μｍであり、Ｒは１３μｍである。 この値は群内変動に相当する。群内変動と群間変動との
和は±２３μｍとなり、板厚の±１５．３％となる。
０７μｍ、最小９４μｍであり、Ｒは１３μｍである。 この値は群内変動に相当する。群内変動と群間変動との
和は±２３μｍとなり、板厚の±１５．３％となる。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、±１０％以内の加工精
度を有するこの種の液体加工装置を提供することが可能
となる。
度を有するこの種の液体加工装置を提供することが可能
となる。
【図１】本発明装置の一実施例の概略図。
【図２】図１の第１処理槽８の説明図。
【図３】図１の第２処理槽９の説明図。
【図４】実施例に用いたリードのパターンを示した図。
【図５】従来の処理装置の噴霧装置の説明図。
【図６】図５の側面図。
１ スプレーパイプ
２ ノズル
３ 調整弁
４ 給液管
５ ポンプ
６ 搬送ローラ
７ 噴霧装置
８ 第１処理槽
９ 第２処理槽
１０ 第３処理槽
１１ 第４処理槽
１２ 第５処理槽
１３ 被処理材
Claims (1)
- 【請求項１】 一端を交互に位置せしめ相互に間隔を
置き平行に配置されそれぞれの一端が閉じた複数のスプ
レーパイプと、該スプレーパイプのそれぞれの側面に同
一向きで一列に取り付けられた複数のノズルと、多端側
から調整弁、ノズルの順序でノズルと交互に各スプレー
パイプに取り付けられた複数の調整弁と、各ノズルがス
プレーパイプを含む面の片側で所定の角度範囲の首振り
運動を行うようにスプレーパイプを駆動する装置と、各
スプレーパイプと連通せしめて設けた給液管とを備えた
噴霧装置が、ノズルを被処理材に向け被処理材の移送経
路に沿い複数個１列に設けられ、この複数の噴霧装置の
うちの少なくとも一つの噴霧装置のノズルの首振り方向
が、被処理材の移動方向に対して、平行と直角との中間
の方向になっている液体加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4919791A JP2501672B2 (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 液体加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4919791A JP2501672B2 (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 液体加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04267365A true JPH04267365A (ja) | 1992-09-22 |
| JP2501672B2 JP2501672B2 (ja) | 1996-05-29 |
Family
ID=12824280
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4919791A Expired - Lifetime JP2501672B2 (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 液体加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2501672B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05237428A (ja) * | 1991-12-16 | 1993-09-17 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 流体処理装置及びその方法 |
-
1991
- 1991-02-21 JP JP4919791A patent/JP2501672B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05237428A (ja) * | 1991-12-16 | 1993-09-17 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 流体処理装置及びその方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2501672B2 (ja) | 1996-05-29 |
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