JPH04270136A - アルミニウム及びスズまたはチタンの酸化物から成るフィルムの作製方法、及びその製品 - Google Patents

アルミニウム及びスズまたはチタンの酸化物から成るフィルムの作製方法、及びその製品

Info

Publication number
JPH04270136A
JPH04270136A JP3163196A JP16319691A JPH04270136A JP H04270136 A JPH04270136 A JP H04270136A JP 3163196 A JP3163196 A JP 3163196A JP 16319691 A JP16319691 A JP 16319691A JP H04270136 A JPH04270136 A JP H04270136A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
aluminum
titanium
tin
glass
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3163196A
Other languages
English (en)
Inventor
Georges Zagdoun
ザグドゥン ジョルジュ
Bruno Cordier
ブルーノ　コルディエール
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Saint Gobain Glass France SAS
Original Assignee
Saint Gobain Vitrage International SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from FR9008531A external-priority patent/FR2664260A1/fr
Priority claimed from FR9008530A external-priority patent/FR2664259A1/fr
Application filed by Saint Gobain Vitrage International SA filed Critical Saint Gobain Vitrage International SA
Publication of JPH04270136A publication Critical patent/JPH04270136A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23—Oxides
    • C03C17/25—Oxides by deposition from the liquid phase
    • C03C17/253—Coating containing SnO2
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B32B17/10—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
    • B32B17/10005—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing
    • B32B17/10009—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the number, the constitution or treatment of glass sheets
    • B32B17/10036—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the number, the constitution or treatment of glass sheets comprising two outer glass sheets
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B32B17/10—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
    • B32B17/10005—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing
    • B32B17/10165—Functional features of the laminated safety glass or glazing
    • B32B17/10174—Coatings of a metallic or dielectric material on a constituent layer of glass or polymer
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B32B17/10—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
    • B32B17/10005—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing
    • B32B17/1055—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the resin layer, i.e. interlayer
    • B32B17/10761—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the resin layer, i.e. interlayer containing vinyl acetal
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B32B17/10—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
    • B32B17/10005—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing
    • B32B17/1055—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the resin layer, i.e. interlayer
    • B32B17/1077—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the resin layer, i.e. interlayer containing polyurethane
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23—Oxides
    • C03C17/25—Oxides by deposition from the liquid phase
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3417—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials all coatings being oxide coatings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21—Oxides
    • C03C2217/23—Mixtures
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/10—Deposition methods
    • C03C2218/11—Deposition methods from solutions or suspensions
    • C03C2218/112—Deposition methods from solutions or suspensions by spraying

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、アルミニウム及びスズ
またはチタンの酸化物のフィルムを、ガラス支持体上に
作製する方法に関する。本発明はまた、このフィルムを
有するガラスに、そして特に、建築または自動車構造材
としての用途に適した、金属酸化物の薄い透明な半導体
フィルムから成る窓ガラスにおける用途に関する。
【０００２】
【従来の技術】建築用窓ガラスは、光透過率及びエネル
ギー透過率が高い、例えば４ｍｍ厚で９０％近い、珪素
−ナトリウム−カルシウム系ガラスから成ることが有利
である。建物の内側から外部への熱の漏出によるエネル
ギー損失を低減することによって、とりわけ冬期におけ
る使用者の快適性を向上させるために、輻射率の低いフ
ィルムとして知られる金属酸化物の半導体フィルムでガ
ラス板の片面を被覆することにより、赤外線の反射率を
増加させる窓ガラスを作製することが知られている。二
重の断熱窓ガラスを作製するために、このようなフィル
ムでコーティングした窓ガラスを、別のコーティングし
ていないガラス板と組み合わせて、これらの間に空間を
設けることができる。
【０００３】低輻射率特性を有する透明コーティングを
施した窓ガラスは知られている。これらは、例えば、ガ
ラス支持体と、例えばフッ素をドープした酸化スズのフ
ィルムまたはスズをドープした酸化インジウム（ＩＴＯ
）のフィルムのような、金属酸化物の薄いフィルムとか
ら成ることができる。
【０００４】これらのフィルムは、減圧法（熱蒸発、陰
極スパッター）、または溶液、粉末、または蒸気状の金
属化合物を加熱した支持体上に射出する熱分解法のよう
な、さまざまな方法で作製されることができる。この場
合、化合物は、高温に加熱されたガラスと接触すると分
解及び酸化して、金属酸化物のフィルムを形成する。
【０００５】フッ素をドープした酸化スズのフィルムま
たはＩＴＯフィルムのようなフィルムは、とりわけ低輻
射率の窓ガラスにおける用途に満足のいく特性を有する
。
【０００６】これらのフィルムは、自動車窓ガラスの生
産、例えば窓ガラスとりわけ風妨ガラスの加熱用途に、
そして特殊製品、光電池のような光電子装置及び液晶表
示装置の支持体として、適する光学的及び電気的特性を
有する。
【０００７】しかしながら、興味ある電子特性を達成す
るのに必要な厚さでは、これらのフィルムの反射光は着
色する。フッ素をドープした酸化スズのフィルム及びＩ
ＴＯフィルムの１８０ｎｍ　厚における反射光は青色で
あり、３６０ｎｍ　厚におけるそれは緑色である。
【０００８】この着色は不愉快なものとなりうるか、ま
たは期待される用途に適さないものとなりうる。さらに
、フィルム厚の若干の変化が、色を不均一なもの（玉虫
色）にする。
【０００９】反射光の着色またはこれらの玉虫色を除外
または低減するために、半導体フィルムを形成する前に
、中間または下層フィルムとして知られるフィルムをガ
ラス支持体上に堆積させることが提案されてきた。この
フィルムの幾何学的厚さ及び屈折率は、中間及び半導体
フィルムの組合せが反射光を無彩色にする構造を形成す
るようなものである。
【００１０】このような構造を形成するのに適した屈折
率を有する周知のフィルムは、例えば、金属酸化物また
は金属窒化物、またはこれらの混合物で形成される。こ
れらは、例えば、アルミニウム酸化物フィルム、シリコ
ンオキシカルボキシドまたはシリコンオキシニトリドの
フィルム、ＳｎＯ２、ＺｎＯ　、Ｉｎ２Ｏ３　、ＴｉＯ
２などのような他の酸化物と結合したアルミニウム酸化
物のフィルム、である。
【００１１】ある特定の屈折率及び幾何学的厚さを有す
るこれらの中間フィルムは、半導体フィルムの反射光に
見られる着色をかなり除外または低減することができる
。半導体フィルムの厚変化による玉虫色に関しては、玉
虫色はこの中間フィルムの存在により特に低減されうる
が、しかしながら、着色した起伏のようなおよそ平行な
帯状の玉虫色をなおも観測することができ、製品がガラ
ス支持体と半導体フィルムとの間に中間フィルムを含ま
ない場合には、玉虫色の帯はより大きな間隔を有するが
、それにもかかわらず良質な製品には適さない。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ガラ
ス支持体と透明金属酸化物フィルム、とりわけ半導体フ
ィルムとの間の中間フィルムとして有用でありうる、ガ
ラスに良好に接着する薄い透明フィルム、特にＡｌ２Ｏ
３−ＳｎＯ２またはＡｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２のフィルムを
ガラス支持体上に形成し、そして前述の欠点を排除した
、特に無彩色の反射光を示して玉虫色または起伏を示さ
ない、そのような製品を作製することである。
【００１３】本発明はまた、ガラス支持体及びアルミニ
ウムとスズまたはチタンの酸化物とのフィルム、及びさ
らに半導体透明フィルムから成る製品であって、加熱窓
ガラス、低輻射率窓ガラス、光電池のような光電子装置
及び液晶表示装置の支持体を作製するのに適した透明性
及び電気伝導性を有することを特徴とする、そのような
製品に関する。
【００１４】
【課題を解決する手段、作用、及び効果】軟化温度以下
の温度に加熱したガラス支持体上に、アルミニウムとス
ズまたはチタンとの酸化物フィルムを作製する本発明に
従う方法は、アルミニウムとスズまたはチタンとの有機
化合物を射出し、熱いガラスとの接触で熱分解し且つ酸
化して前記酸化物フィルムを形成することから成る。本
方法は、非加水分解性アルミニウムキレートと少なくと
も１種のスズ化合物との、またはチタンキレート及びチ
タンアルコラートとの溶液を、熱い支持体上に射出する
点で特徴付けられる。
【００１５】非加水分解性アルミニウムキレートは、ア
ルミニウムアセチルアセトネートまたはアルミニウムイ
ソバレリルアセトネートであることが有利である。本発
明を実施するために選択されるアルミニウムキレートは
、非加水分解性でなければならない。加水分解性のキレ
ートはアルミナ水和物に変化して沈澱し、そして熱分解
性がなくなってしまう。
【００１６】アルミニウムキレート溶液を調製するため
には、この化合物のすべての溶剤を使用することができ
、そして本発明に使用される３種類の有機金属化合物に
共通の溶剤、とりわけ酢酸エチル、が好ましい。
【００１７】一般に、溶液中のアルミニウムキレート濃
度は、熱分解処理を行うのに通常用いられるスパッタリ
ング装置で使用するのに適した粘度を得ることができる
、そのような濃度でなければならない。
【００１８】アルミニウムキレートを溶剤中に溶解して
、好ましくは、溶液１００ｍｌ　当たり金属アルミニウ
ム１〜３ｇの濃度にする。
【００１９】本発明を実施するために使用することがで
きるスズ化合物は、酸素を含有する有機化合物である。 特に、これらの化合物はハロゲンを全く含まない。実際
、例として塩素が存在すると、ガラス支持体のナトリウ
ムイオンとの反応の結果として塩化ナトリウムが生成す
ることになる可能性があり、そしてこのことがガラスの
光学特性を変性させる。使用可能なスズ化合物は、例え
ば、ジブチルスズオキシド（ＤＢＴＯ）及びジブチルス
ズアセテート（ＤＢＴＡ）である。
【００２０】溶液中の金属重量比（Ａｌ　／Ｓｎ）で表
される、アルミニウム化合物及びスズ化合物の濃度比は
０．０１〜０．７０であることが有利である。
【００２１】Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２フィルムを作製する
ために本発明に用いることができる有機金属化合物の溶
液は、アルミニウムキレート、チタンキレート、及びチ
タンアルコラートを含む。チタンキレートは、チタンア
セチルアセトネート及びイソプロピレート（ＡＡ２Ｔｉ
ｉＰｒ２）であることが有利である。チタンアルコラー
トは、チタンテトラオクチレングリコールまたはチタン
トリエタノールアミンであることが好ましい。
【００２２】本発明に従うＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２または
Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２のフィルムの作製に用いられる方
法は、液相での熱分解法である。液体熱分解法及びこれ
を実施するための装置は、例えば、仏国特許第　２１７
６７６０号、同第　２２１１４１１号、欧州特許第１２
６７９号、同第　２５７３８号、同第　６０７４７号、
及び同第　５１５３８号に記述される。
【００２３】一般に、本方法は、例えば「浮遊式」炉で
作製されそして高温に保たれたガラス帯（ｇｌａｓｓ　
ｂａｎｄ）を、ガラス帯の温度で熱分解可能な金属化合
物の溶液をスパッタリングする所を通過させることから
成る。液体を噴霧するのに有益な気体は空気または窒素
である。このスパッタリングする所は、１台以上のスパ
ッタリングガンから本質的に成り、ガラス帯上を横切っ
てあちらこちらへ動くことができる。
【００２４】ガラス帯はガラスの軟化温度以下の温度に
あり、この温度はガラスの組成に依存する。この温度は
一般に　５００℃〜　７５０℃であり、特に本発明の実
施には　６００℃〜　６５０℃が好ましい。
【００２５】スパッタリングガンへ供給する液体の流速
、ガラスの通過速度、及びスパッタリングガンが運転中
にあるときのガンの横切り移動速度を制御することによ
り、フィルムの堆積厚を所望の最終用途に従い適合させ
ることができる。
【００２６】このように、とりわけ反射防止性、低輻射
性、そして加熱用の窓ガラスに使用できる、４０ｎｍ〜
１５０ｎｍ　厚のＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２またはＡｌ２Ｏ
３−ＴｉＯ２のフィルムを得ることができる。
【００２７】スパッタリング溶液中のアルミニウムとス
ズまたはチタンとの化合物の量を制御することにより、
所望の用途に従い最終フィルムの屈折率を調節すること
は可能である。
【００２８】このように、本発明に従う方法により、そ
してＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２フィルムに取り込まれる金属
の重量で表示される化合物の濃度（１．１５〜１．４０
のＡｌ　／Ｓｎ　比）の適切な選択により、１．６５〜
１．７６の屈折率を有するフィルムを得ることができる
。特に、この範囲内の屈折率を有するフィルムを得るた
めには、１３〜３０体積％のジブチルスズジアセテート
（ＤＢＴＡ）または３０〜５０体積％のジブチルスズオ
キシド（ＤＢＴＯ）を含有するスパッタリング溶液を使
用することができる。
【００２９】これらの範囲外の量を用いると、先述のよ
うな窓ガラス用途に望まれる特性を有するフィルムを得
ることはできない。実際、これらの範囲の下限値以下の
量では、得られるフィルムの屈折率は低すぎる。３０％
のＤＢＴＡ以上の量では、例えば３５体積％では、非常
に不均一なフィルムが得られ、これは多分溶液の粘性が
高すぎるためである。５０体積％以上のＤＢＴＯでは、
得られるフィルムの均一性は良好であるが、上述のよう
な窓ガラスとしての用途には高すぎる屈折率を有する。
【００３０】ガラス支持体上にスパッタリングで使用す
るアルミニウム及びスズの化合物の溶液は、一般にこれ
らの溶剤の１部に予めこれらの化合物を別々に溶解して
調製される。
【００３１】ジブチルスズオキシド（ＤＢＴＯ）は、エ
タノールまたはプロパノール−１のようなアルコールに
溶解できることが好ましい。これらの溶剤は、溶液の熱
分解効率に重大な影響を与えない。
【００３２】この溶液中のＤＢＴＯ濃度は、アルコール
１リットル当たり３００ｇ〜　８００ｇであり、アルコ
ール１リットル当たりおよそ　７００ｇであることが有
利である。
【００３３】ジブチルスズジアセテート（ＤＢＴＡ）の
溶剤は、例えば、エタノールまたはプロパノールのよう
な低級アルコール、及び酢酸エチルのようなエステルで
ある。
【００３４】純粋なＤＢＴＡを使用することが好ましい
。
【００３５】本発明に従う特定の化合物、すなわち、ア
ルミニウムキレート及びＤＢＴＯ及びＤＢＴＡのような
酸素を含有するスズの非ハロゲン化化合物、またはアル
ミニウムキレート、チタンキレート、及びチタンアルコ
ラート、により、ガラスによく接着し、均一であり、そ
して非常に均一な厚さを有するフィルムを、液体熱分解
法で、ガラス支持体上に得ることができる。本発明に従
い、５％以下の厚偏差Δｅ／ｅで４０ｎｍ〜１５０ｎｍ
　の厚さのフィルムを得ることができる。さらに、本発
明の方法により得られる、アルミニウム及びスズの酸化
物のフィルムは、３％以下の低い光吸収係数を有する。
【００３６】同様に、混合物中のチタン化合物のそれぞ
れの量は、チタンの重量で表示される、チタンキレート
及びチタンアルコラートの濃度比を、およそ２：１にす
るような量である。違う濃度比では、フィルムの耐薬品
性が悪くなり、そしてフィルムが不均一になる。
【００３７】チタン化合物の溶剤としては、これらの化
合物のすべての溶剤、とりわけアルミニウムキレートの
溶剤でもある酢酸エチル、を使用することができる。
【００３８】アルミニウムキレートの溶液と同様に、チ
タン化合物の溶液は、通常の熱分解法に用いられるスパ
ッタリング装置での使用に適した粘度を有していなけれ
ばならない。
【００３９】アルミニウム及びチタンの化合物の濃度を
適当に選択することにより、所望の用途（反射フィルム
、着色防止フィルムなど）の機能に応じて、Ａｌ２Ｏ３
−ＴｉＯ２の屈折率を調節することができる。例えば、
Ａｌ　／Ｔｉ　比が２未満になるように適合した、金属
の重量で表示された濃度では、１．７３〜１．８０間の
屈折率を有するフィルムを得ることができる。
【００４０】他方、多量の溶剤を使用するとガラス帯を
冷却する効果があり、その結果、有機金属化合物を熱に
より十分に分解することができず、そして形成したフィ
ルムの特性は平凡なものとなる。
【００４１】本発明に従うＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２または
Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２の薄いフィルムは、ガラス支持体
を製造する工業用加工条件で得ることができる。このこ
とは大きな利点である。実際、上述のような窓ガラスの
生産に使用するのに適した透明な金属酸化物半導体コー
ティングを有するガラスが、ガラス自体の生産ラインで
工業的に有利に製造される。
【００４２】「浮遊式」ガラスの場合では、ガラス帯は
、３〜２５ｍ／ｍｉｎ　に変化できる速度で移動する。 これらのフィルムを作製する方法及びこれらの方法を実
行する装置が開発され、このような速度で移動するガラ
ス上に所望の金属酸化物半導体フィルムを作製すること
が可能となった。半導体フィルムと共に、玉虫色のない
無彩色の反射光を有する構造を形成するための、特定の
厚さ及び屈折率を有する中間フィルムをもまた、ガラス
用の生産ラインで形成できることが必要であり、すなわ
ち、金属酸化物半導体フィルムを作製するのに使用する
共通の、ガラス帯の通過速度、温度、及び装置を考慮す
ることである。
【００４３】支持体は、自動車用窓ガラス及び建物に従
来より使用されている珪素−ナトリウム−カルシウム系
ガラスで作られることができる。これは、例えば４ｍｍ
厚で９０％を超える高い光透過性を有する、透明な、す
なわち無色のガラスでありうる。これはまた、エネルギ
ー透過率を低減させる理由で、このような窓ガラスを備
えた部屋または乗り物内の乗員に対する夏の快適性を向
上させるように適合した、内部着色ガラスであることも
できる。一般に、例えば自動車用窓ガラスには、法律に
従う規制、すなわち、ガラス及びフィルムの組合せが少
なくとも７５％または７０％の光透過率を有しなければ
ならないという規制、に従うガラスが支持体として選択
されるだろう。
【００４４】着色ガラスには、「ＴＳＡ　」として知ら
れるガラスを使用することができる。このガラスは、０
．５５〜０．６２％程度の重量比でＦｅ２Ｏ３　、およ
そ０．１１〜０．１６％のＦｅＯ（このことにより、Ｆ
ｅ２＋／Ｆｅ比は０．１９〜０．２５程度になる）、及
び１２ｐｐｍ　未満、好ましくは１０ｐｐｍ　未満のＣ
ｏＯ　を含有する。
【００４５】これは、例えば３．８５ｍｍ厚では、約７
８％の高い光透過率（ＴＬ　）（光源Ｄ６５）、及び約
６０の比較的低いエネルギー透過率（ＴＥ　）（ＴＬ　
／ＴＥ　比は１．３０程度になる）という特性になる。
【００４６】特に規制が７０％の光透過率を要求すると
ころでは、「ＴＳＡ　」ガラスより若干着色量は多いが
、対照して光透過率が低いガラス、すなわち「ＴＳＡ２
＋　」ガラスを着色ガラスとして使用することも可能で
ある。
【００４７】この「ＴＳＡ２＋　」ガラスは、先述のも
のと同じ酸化物を若干異なる比率で使用して着色される
。
【００４８】このように、金属酸化物の比率は以下のと
うりである。 Ｆｅ２Ｏ３　：およそ０．７５〜０．９０％ＦｅＯ　：
およそ０．１５〜０．２２％、またはおよそＦｅ２＋／
Ｆｅ＝０．２０ ＣｏＯ　：１７ｐｐｍ　未満、なお好ましくは１０ｐｐ
ｍ　未満
【００４９】この３．８５ｍｍ厚の「ＴＳＡ２
＋　」ガラスは、以下の特性を有する。 ＴＬ　：７２％程度 ＴＥ　：５０％程度 これにより、ＴＬ　／ＴＥ　比は１．４０〜１．５０程
度になる。
【００５０】本発明に従い得られるＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ
２またはＡｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２フィルムは、透明な加熱
または低輻射率の窓ガラスを作製するための、ガラス支
持体及び薄い透明な金属酸化物半導体フィルムから成る
製品に特に有用である。このような場合、Ａｌ２Ｏ３−
ＳｎＯ２またはＡｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２フィルムは、半導
体フィルムと共に、玉虫色または着色起伏を示さず反射
光が無彩色である構造を形成する、着色防止フィルムと
して知られる役割を満たす中間フィルムである。
【００５１】本発明に従い、種々の半導体フィルムをＡ
ｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２フィルム上に堆積することができる
。これらのフィルムは、上述のようにとりわけ、フッ素
をドープした酸化スズ（ＳｎＯ２：Ｆ）のフィルム、ス
ズをドープした酸化インジウム（ＩＴＯ）のフィルム、
またはインジウムまたはアルミニウムをドープした酸化
亜鉛のフィルムであることができる。
【００５２】ＳｎＯ２：Ｆ　及びＩＴＯフィルムは、粉
末の熱分解により有利に生産できる。このように、仏国
特許第　２３８０９９７号に記述されるように、粉末状
のジブチルスズオキシド（ＤＢＴＯ）及び気体状の無水
フッ化水素酸から、そしてＥＰ−Ａ１７８９５６または
ＥＰ−Ａ−０３９２５６　に記述されるように、ＤＢＴ
Ｏとの混合物であろうジブチルスズジフルオリド（ＤＢ
ＴＦ）から、フッ素をドープした酸化スズのフィルムを
製造することができる。ＩＴＯフィルムに関しては、こ
れらは例えば、ＥＰ−Ａ−１９２００９　に記述される
ように、インジウムホルメート及びＤＢＴＯのようなス
ズ化合物から得ることができる。
【００５３】気相での熱分解により、特に特許ＥＰ−Ａ
−０２７４０３　に記述されるように、（ＣＨ３）２Ｓ
ｎＣｌ２　、（Ｃ４Ｈ９）２ＳｎＣｌ２、Ｓｎ（Ｃ２Ｈ
５）４　、及びＣＣｌ２Ｆ２、ＣＨＣｌＦ２、及びＣＨ
３ＣＨＦ２　のような有機フッ素化化合物のようなスズ
化合物の混合物から、またはモノブチルトリクロロスズ
及び特許ＥＰ−Ａ−１２１４５９に示されるクロロジフ
ルオロメタンのような化学式ＸＣＨＦ２　の化合物から
、ＳｎＯ２：Ｆ　の半導体フィルムを得ることもまた可
能である。
【００５４】特許出願ＥＰ−Ａ−３８５７６９　に記述
されるように、ジエチル亜鉛または酢酸亜鉛と、トリエ
チルインジウム、塩化インジウムまたはトリエチルアル
ミニウム、塩化アルミニウムとから、蒸気相での熱分解
により、インジウムをまたはアルミニウムをドープした
酸化亜鉛のフィルムを得ることができる。
【００５５】特に仏国特許第　２２１１４１１号に記述
されるように、適当な有機溶剤に溶解したスズアセチル
アセトネートまたはジメチルスズ−２−プロピオネート
の液相から、ＳｎＯ２：Ｆ　フィルムを得ることもまた
可能である。
【００５６】本発明の方法を用い、フィルム中のＡｌ　
／Ｓｎ　比（先に定義したように）が１．１５〜１．４
０になる、またはＡｌ　／Ｔｉ　比が２未満であるよう
な濃度で示した特定の化合物を使用することにより、１
．６５〜１．７６または１．７３〜１．８０の屈折率を
それぞれ有する非常に均一なＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２また
はＡｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２のフィルムを得ることができた
。
【００５７】先述のように、金属酸化物半導体フィルム
と組み合わされた８０ｎｍ〜　１００ｎｍ厚のＡｌ２Ｏ
３−ＳｎＯ２またはＡｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２のフィルムを
用い、そして干渉厚（１００〜８００ｎｍ）を有すると
、さきに記述したように、無彩色の反射光を有しそして
玉虫色または起伏を示さない構造を得ることができ、そ
の結果、特に自動車用の加熱窓ガラスまたは特に建物用
の低輻射率窓ガラスを作製するのに有用でありうる。特
に、低輻射率窓ガラスの半導体フィルムがＳｎＯ２：Ｆ
　で構成されている場合、これらの窓ガラスの輻射率は
０．２７以下、特に半導体フィルム厚が３００ｎｍ　以
上では０．２５以下である。
【００５８】周知のように、Ａｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２また
はＡｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２の中間フィルムで形成される構
造の反射光の光学的中性度は、中間フィルムの幾何学的
厚さ及び屈折率に依存する。
【００５９】反射光の光学的中性度は、反射光の主波長
（λｄｏｍ）及び純度により定義される。
【００６０】分光光度計により測定される主波長は、光
源の作用として定量され、光源Ｄ６５は建築用に、そし
て光源Ａは自動車用に通常使用される。
【００６１】本発明では、反射光の最良の光学的中性度
を得るために、可能な最低純度を基準として選択する。
【００６２】どのような光源が選択されたとしても、本
発明に従い、１０％未満の純度を有する金属酸化物半導
体フィルム及びＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２またはＡｌ２Ｏ３
−ＴｉＯ２のフィルムから成る窓ガラスを生産すること
が可能である。
【００６３】この反射光の光学的中性度は、本発明に従
い、特定の化合物の特定の混合物から液相における熱分
解で生成するＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２フィルムの均一な外
観、によるものであると考えられる。
【００６４】
【実施例】以下の非限定例は、本発明を例示するもので
ある。
【００６５】例１〜３は、スズ化合物としてＤＢＴＯを
用いたＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２フィルムの生産に関する。 例４〜６は、ＤＢＴＡから得られるＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ
２のフィルムに関する。例７〜１３は、例２〜６に従い
得られたＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２フィルム上に半導体フィ
ルムを形成することを記述する。例１４〜１９は、Ａｌ
２Ｏ３−ＴｉＯ２のフィルムに関する。
【００６６】例１ ＤＢＴＯの溶液Ａを調製する。９５°ＧＬのエタノール
１０００ｍｌ中に酢酸アンモニウム　２００ｇを加えた
後、かき混ぜながらＤＢＴＯ　７００ｇを５０〜６０℃
で溶解する。酢酸アンモニウムは、ＤＢＴＯの溶解を最
大にするために用いられる。１．７Ｌの溶液が得られ、
これは、１００ｍｌ　中に１９．６ｇのＳｎ　を含む溶
液である。
【００６７】溶液Ｂは、溶液１００ｍｌ　中に２．６ｇ
のアルミニウムを含む、酢酸エチルに非加水分解性のア
ルミニウムキレート（アルミニウムイソバレリルアセト
ネート）を溶解して調製したものである。
【００６８】溶液Ａ３０ｍｌ及び溶液Ｂ７０ｍｌを素早
く混合する。この２種の溶液は完全に相溶する。
【００６９】この最終溶液Ｃでは、金属の重量比Ａｌ　
／Ｓｎ　で表示される濃度比は０．３１である。
【００７０】この混合物を、仏国特許第　２１７６７６
０号に記述されるようなスパッタリング装置で使用し、
６ｍｍ厚及び３．４ｍ幅のフロートガラスの支持体上に
Ａｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２フィルムを作製する。
【００７１】スパッタリング装置をフロート炉の出口に
配置する。ガラス支持体の温度は　６００℃、そしてガ
ラスの移動速度は６ｍ／ｍｉｎ　である。
【００７２】スパッタリングガスとして３４ｍ３　／ｈ
の流速の空気を用いる。２．５ｍ／ｓの速度でガラス支
持体の移動方向に対して横切るように動くスパッタリン
グガンで、金属化合物の溶液Ｃを、３３Ｌ／ｈの速度で
ガラス帯上にスパッタリングする。
【００７３】Ａｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２フィルムが得られ、
そのＡｌ　／Ｓｎ　比は１．３６である。
【００７４】Ａｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２フィルムを載せたガ
ラス支持体を、アニール工程を通過させ、そして冷却後
、切り裂く。
【００７５】フィルムの厚さ及び屈折率は、楕円偏光測
定により測定する。厚さは９０ｎｍであり、厚偏差Δｅ
／ｅは５％である。
【００７６】堆積後のフィルムの屈折率は、１．８０±
０．０１である。
【００７７】半導体フィルムを後で堆積するときに受け
る熱条件を模造するため、フィルムを　６５０℃の温度
に再加熱する。再加熱後の屈折率は、１．６６±０．０
１である。この屈折率は別の再加熱後にさらに変化する
ことはない。 フィルム厚は安定である。
【００７８】太陽光の吸収係数は、およそ３％である。
【００７９】例２及び３ 手順は例１と同様であるが、スパッタリングに使用する
最終溶液Ｃは、ＤＢＴＯをそれぞれ４０体積％及び５０
体積％含む。溶液中のＡｌ　／Ｓｎ　比は、例２（ＤＢ
ＴＯ４０％）で０．０２、例３（ＤＢＴＯ５０％）で０
．１３である。フィルムは９０ｎｍの厚さを有する。
【００８０】得られたフィルムのＡｌ　／Ｓｎ　比は、
それぞれ１．３２及び１．２３である。
【００８１】堆積後の屈折率は、それぞれ１．８５±０
．０２及び１．９２±０．０１であり、そして　６５０
℃に再加熱後の屈折率は、例２のフィルムで１．７２±
０．０１及び例３のフィルムで１．７５±０．０１であ
る。
【００８２】例４ アルミニウムキレート溶液を例１にように調製する。ス
ズ化合物として純粋なＤＢＴＡを使用する。アルミニウ
ムキレート溶液８７体積％及び純粋ＤＢＴＡ１３体積％
を混合する。 最終溶液のＡｌ　／Ｓｎ　比は０．６７である。
【００８３】例１に示すように、液体熱分解により、９
０ｎｍの厚さを有するＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２フィルムを
作製する。フィルム中のＡｌ　／Ｓｎ　比は１．３３で
ある。フィルムの厚さ及び屈折率は楕円偏光測定により
測定する。
【００８４】堆積後、屈折率は１．８０〜１．８１であ
り、例１にあるように、半導体フィルムを後で堆積する
ときの熱条件を模造するため、　６５０℃に再加熱した
後の屈折率は１．６６±０．０１である。フィルムの厚
さは依然として安定である。
【００８５】例５及び６ 手順は例４と同様であるが、熱支持体（６００℃）上に
スパッタリングされることになる溶液は、それぞれ純粋
ＤＢＴＡ２０体積％（例５）及び純粋ＤＢＴＡ３０体積
％（例６）を含む。溶液中のＡｌ　／Ｓｎ　比は、それ
ぞれ０．０４（例５）及び０．２３（例６）である。
【００８６】９０ｎｍ（例５）及び１１０ｎｍ（例６）
の厚さを有するＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２フィルムを、例１
に示すように液体熱分解により作製する。フィルム中の
Ａｌ　／Ｓｎ　比は、それぞれ１．３０及び１．２７で
ある。
【００８７】堆積後の屈折率は、それぞれ例５のフィル
ムで１．８４±０．０２及び例６のフィルムで１．９５
±０．０２である。　６５０℃に再加熱後の屈折率は、
それぞれ１．７２±０．０１（例５）及び１．７５±０
．０１（例６）である。
【００８８】５５０ｎｍ　の輻射線に対する例４〜６の
フィルムの吸収率は、堆積後で６〜１０％程度である。 フィルムを　６５０℃に再加熱することにより、この吸
収率を２〜３％低減することができる。フィルムの再加
熱は、フィルム中に取り込まれた炭素を除外することに
より、光吸収を低減させる。
【００８９】再加熱を２回行っても、フィルムの光学特
性をさらに改質することはない。フィルムの厚さは、依
然として安定である。
【００９０】以下の例は、例２〜６にて作製したような
Ａｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２フィルムの上に、半導体フィルム
を作製することを記述する。
【００９１】例７ 例２で作製されそして　６５０℃に加熱されたＡｌ２Ｏ
３−ＳｎＯ２フィルム（厚９０ｎｍ及び屈折率１．７２
±０．０１）の上に、粉末状のジブチルスズジフルオリ
ド（ＤＢＴＦ）を熱分解することによりフッ素をドープ
したＳｎＯ２（ＳｎＯ２：Ｆ）のフィルムを形成し、３
２０ｎｍ　の厚さを有するフィルムを作製した。このＳ
ｎＯ２：Ｆ　フィルムはおよそ２の屈折率を有する。そ
の輻射率は０．２４である。
【００９２】得られた製品は、玉虫色または起伏を示さ
ない。２枚のフィルム（Ａｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２中間フィ
ルム及びＳｎＯ２：Ｆ　フィルム）を載せた製品の反射
係数ＲＬ　を、光源Ｄ６５で測定する。その値は１３％
である。
【００９３】光源Ｄ６５（建物用窓ガラスに通常用いら
れる）の作用として、分光光度計により定量される反射
光の主波長（λｄｏｍ）は、　４８７〜５０８ｎｍ　で
あり、そしてその純度は１０％である。
【００９４】例８ 例３で得られたＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２フィルム（厚９０
ｎｍ及び屈折率１．７５±０．０１）上に、例７に記述
されるように、ＳｎＯ２：Ｆ　フィルムを形成する。
【００９５】ＳｎＯ２：Ｆ　フィルムの厚さは３２０ｎ
ｍ　であり、屈折率はおよそ２であり、そして輻射率は
０．２４である。 得られた製品は、玉虫色または起伏を示さない。
【００９６】光源Ｄ６５に対するこの製品の反射係数Ｒ
Ｌ　は１３％である。光源Ｄ６５の作用として、分光光
度計により定量される反射光の主波長（λｄｏｍ）は、
４８３ｎｍ　であり、そしてその純度は９％である。
【００９７】比較の目的で、例７及び８にて前に得られ
た、ガラス支持体及びＳｎＯ２：Ｆ　フィルムから成る
製品（厚３２０ｎｍ　、屈折率およそ２、及び輻射率０
．２３）を調製した。光源Ｄ６５に対する反射係数ＲＬ
　は、１１％である。 反射光の主波長は　４７８〜４８１ｎｍ　であり、そし
てその純度は１０％である。
【００９８】例３で調製されたようなＡｌ２Ｏ３−Ｓｎ
Ｏ２中間フィルムを有する例８で得られたガラスは、最
良の光学的中性度を示す。反射光の主波長は青色（４８
３ｎｍ）であり、純度は９％である。
【００９９】フッ素をドープしたＳｎＯ２半導体フィル
ムの厚さが、２枚フィルム構造（例３で得られたＡｌ２
Ｏ３−ＳｎＯ２中間フィルム及びフッ素をドープしたＳ
ｎＯ２フィルム）の光学特性に与える影響、及びまたフ
ッ素をドープしたＳｎＯ２フィルムの輻射率を調査した
。
【０１００】例９ ガラス支持体、例３で得られたようなＡｌ２Ｏ３−Ｓｎ
Ｏ２フィルム（厚＝９０ｎｍ及びｎ＝１．７５±０．０
１）、及び例７で得られたＳｎＯ２：Ｆ　フィルムから
成るが、３００ｎｍ　の厚さを有する製品を作製する。 ＳｎＯ２フィルムの輻射率は０．２５である。 フィルム堆積物の反射光の主波長は４８３ｎｍ　であり
、その純度は９％である。反射係数ＲＬ　は１２％であ
る。
【０１０１】例１０ ＳｎＯ２：Ｆ　フィルムの厚さが３６０ｎｍ　である、
例９における別の製品を作製する。ＳｎＯ２：Ｆ　フィ
ルムの輻射率は０．２２である。反射光の主波長は４８
７ｎｍ　であり、その純度は５％である。反射係数ＲＬ
　は１２％である。
【０１０２】ＳｎＯ２：Ｆ　フィルムの厚さが増加する
と、その輻射率は減少し、しかも２枚フィルム堆積物の
反射光の主波長は実質的に変化しないことが確証される
。対照的に、純度（光学的中性度の基準）は、ＳｎＯ２
：Ｆ　フィルムの厚さが増加すると向上する。
【０１０３】光源Ａに対する本製品の光特性もまた定量
した。反射係数ＲＬは１２％である。反射光の主波長は
４９７ｎｍ　であり、その純度は３％である。
【０１０４】例７及び１０で得られたこれらの製品の特
性の結果、これらを建物用低輻射率窓ガラスとして有利
に用いることが出来る。
【０１０５】これら異なる製品のＳｎＯ２：Ｆ　フィル
ムの抵抗率は、６ｘ１０−４Ω．ｃｍ　程度である。そ
れゆえ、これらの製品は自動車用加熱窓ガラスとして使
用するのに適している。
【０１０６】例１１ スズ化合物としてＤＢＴＡを用いて例４で得られたよう
なＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２フィルム（厚さ９０ｎｍ及び加
熱後の屈折率１．６６±０．０１）の上に、フッ素をド
ープしたＳｎＯ２の半導体フィルム（ＳｎＯ２：Ｆ）を
作製する。
【０１０７】本目的のために、Ａｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２フ
ィルムを　６５０℃に再加熱し、そして粉末状のジブチ
ルスズジフルオリド（ＤＢＴＦ）の熱分解によりＳｎＯ
２：Ｆ　フィルムを作製して、３２０ｎｍ　のフィルム
を得る。屈折率はおよそ２である。輻射率は０．２５で
ある。
【０１０８】得られた製品の光源Ｄ６５に対する反射係
数ＲＬ　は１２％である。分光光度計により、光源Ｄ６
５に対する主波長（λｄｏｍ）、及びその純度を定量す
る。λｄｏｍ　は４８２ｎｍ　であり、純度は２１％で
ある。
【０１０９】例１２ 例１１のように、例５に従い調製されたＤＢＴＡから得
られたＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２フィルム（厚さ９０ｎｍ及
び屈折率１．７２±０．０１）上に、厚さ３２０ｎｍ　
のＳｎＯ２：Ｆ　フィルムを作製する。この製品は玉虫
色または起伏を示さない。このＳｎＯ２：Ｆ　フィルム
の輻射率は０．２５である。この製品の光源Ｄ６５に対
する反射係数ＲＬ　は１２％であり、反射光の主波長は
４９１ｎｍ　であり、そしてその純度は１０％である。
【０１１０】例１３ 例１１にあるように、ＤＢＴＡから得られたＡｌ２Ｏ３
−ＳｎＯ２中間フィルム（例６、ｎ＝１．７５±０．０
１及び厚さ１１０ｎｍ）及び３２０ｎｍ　厚のＳｎＯ２
：Ｆ　フィルムから成る製品を作製する。この製品は０
．２４の輻射率を有する。この得られた製品は玉虫色ま
たは起伏を示さない。
【０１１１】この製品の光特性は、光源Ｄ６５及び光源
Ａの作用に対して定量された。第１の場合（光源Ｄ６５
）、反射係数ＲＬ　は１１．５％であり、反射光の主波
長は４８４ｎｍ　であり、そしてその純度は９％である
。第２の場合（光源Ａ）、反射係数ＲＬ　は１１．３％
であり、反射光の主波長は４９９ｎｍ　であり、そして
その純度は７．３％である。
【０１１２】フィルム中のＡｌ　／Ｓｎ　比が１．２７
であるＤＢＴＡから得られたＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２フィ
ルムから成る製品は、最良の光学的中性度を有している
ことに注目できる。ＤＢＴＯ（溶液中５０体積％）から
得られたＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２フィルムの場合には、反
射光の主波長は青色（４８３〜４８４ｎｍ）であり、純
度は９％である。
【０１１３】Ａｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２フィルムのＡｌ　／
Ｓｎ　比が１．３３または１．３０（例１１及び１２）
であっても、反射光の主波長純度がそれぞれ２１％及び
１３％であることが観測されうる。２枚のフィルムＡｌ
２Ｏ３−ＳｎＯ２／ＳｎＯ２：Ｆ　から形成されるこの
構造は、反射光が無彩色であると考えることはできず、
結果としてこれらは、建物または自動車用の窓ガラスと
して有利に使用することはできない。
【０１１４】例１１〜１３で得られた製品は、６ｘ１０
−４Ω．ｃｍ　程度の抵抗率を示す。例１２及び１３の
製品は、特に自動車の加熱ガラスとして有利に使用され
ることができる。本発明に従い得られた製品は、薬品、
特に酸に対して抵抗性がある。
【０１１５】例１４ ａ）Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２フィルムの作製チタンキレー
ト（チタンアセチルアセトネート及びイソプロピレート
）及びチタンアルコラート（チタンテトラオクチレング
リコール）から、酢酸エチル中に５重量％のチタンを含
む溶液Ａを調製する。溶液Ａ中の、チタンの重量で表示
されるキレートとアルコラートとの濃度比は２：１であ
る。
【０１１６】酢酸エチル中に、溶液１００ｍｌ　当たり
２．５５ｇのアルミニウムが溶解するように、非加水分
解性のアルミニウムキレート（アルミニウムイソバレリ
ルアセトネート）を溶解して溶液Ｂを調製する。
【０１１７】溶液Ａ３３ｍｌ及び溶液Ｂ６７ｍｌを素早
く混合する。この２種の溶液は完全に相溶性である。
【０１１８】最終溶液Ｃでは、金属の重量で表示される
濃度比Ａｌ　／Ｔｉ　は１．１８である。この混合物は
、例１にあるように用いられる。楕円偏光測定により測
定された屈折率は、１．７６±０．０１である。太陽光
の吸収係数はおよそ１％である。
【０１１９】ｂ）半導体フィルムの堆積先に得られ、　
６５０℃に加熱されたＡｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２フィルム上
に、粉末状のジブチルスズジフルオリド（ＤＢＴＦ）を
熱分解することにより、フッ素をドープしたＳｎＯ２フ
ィルムを形成して、３１０ｎｍ（±１０ｎｍ）の厚さを
有するフィルムを得る。このＳｎＯ２：Ｆ　フィルムの
輻射率は０．２７であり、そして屈折率はおよそ２であ
る。
【０１２０】２枚のフィルム（Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２中
間フィルム及びＳｎＯ２：Ｆ　フィルム）を載せた製品
の、光透過特性ＴＬ　及び反射特性ＲＬ　を光源Ｄ６５
に対して測定する。
【０１２１】さらに、反射光の主波長λｄｏｍ　をその
純度と同様に、分光光度計を用いて光源Ｄ６５（建物用
窓ガラスに通常使用される）の作用に対して定量する。 この主波長は４８３ｎｍ　であり、その純度は８．２％
であることがわかる。
【０１２２】主波長はまた、光源Ａ（自動車用窓ガラス
に通常使用される）の作用に対しても定量された。λｄ
ｏｍ　は４９９ｎｍ　であり、その純度は６％である。
【０１２３】この例で得られた製品のλｄｏｍ　の純度
は、光源Ｄ６５及び光源Ａのどちらを選択しても１０％
未満であることがわかる。この例で得られた製品は、反
射光が無彩色であり、そして着色した起伏または玉虫色
は観測されない。この２種の場合では、光透過係数ＴＬ
　及び反射係数ＲＬ　はそれぞれ７９％及び１２％であ
る。
【０１２４】この特性の結果、この例で得られた製品は
、建物用の低輻射率窓ガラスとして有利に使用されるこ
とができる。またこれは７ｘ１０−４Ω．ｃｍ　の低い
抵抗率を有するので、特に自動車用の加熱窓ガラスとし
て使用されることができる。
【０１２５】例１５ 参照例として、同じガラス支持体及び先行例で用いられ
たものと同じ方法で得られたフッ素をドープした酸化ス
ズ（ＳｎＯ２：Ｆ）のフィルムから作製した製品を製造
する。 ＳｎＯ２：Ｆ　フィルムの厚さは　３１０ｎｍ±１０ｎ
ｍである。この製品はＡｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２中間フィル
ムを有しない。光源Ｄ６５の作用として定量された主波
長は４８９ｎｍ　であり、そしてその純度は２０％であ
る。この製品の光特性ＴＬ　及びＲＬ　は、それぞれ７
７％及び１１％である。
【０１２６】例１６ 手順は例１４ａにあるものと同様であるが、最終溶液Ｃ
を得るために、溶液Ａ２８ｍｌ及び溶液Ｂ７２ｍｌを共
に混合して、金属の重量で表示される濃度比Ａｌ　／Ｔ
ｉ　を１．４７とする。
【０１２７】得られたＡｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２フィルムは
８５ｎｍの厚さ（厚偏差Δｅ／ｅ＝５％）、及び１．７
５±０．０１の屈折率を有する。吸収係数はおよそ１％
である。ＳｎＯ２：Ｆ　フィルムを、例１４ｂに示され
るようにＡｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２フィルム上に形成する。 その厚さは　３１０ｎｍ±１０ｎｍである。
【０１２８】ガラス支持体、Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２フィ
ルム、及びＳｎＯ２：Ｆ　の半導体フィルムにより作製
された製品の光特性を測定し、そして反射光の主波長（
λｄｏｍ）を光源Ｄ６５及び光源Ａの作用として定量す
る。
【０１２９】光源Ｄ６５の作用として定量された反射光
の主波長は４８０ｎｍ　であり、そしてその純度は９％
である。 光源Ａの作用として定量されたλｄｏｍ　は４９６ｎｍ
　であり、そしてその純度は６％である。
【０１３０】本例において得られた製品は無彩色の反射
光を有し、そして玉虫色または着色した起伏を示さない
。光透過係数ＴＬ　及び光反射係数ＲＬ　は、それぞれ
およそ７９％及び１２％である。ＳｎＯ２：Ｆ　フィル
ムは０．２４の輻射率及び６ｘ１０−４Ω．ｃｍ　の抵
抗率を有する。
【０１３１】例１７ 例１４にあるように、酢酸エチル中に、チタンアセチル
アセトネート及びイソプロピレート、チタンテトラオク
チレングリコール、及びアルミニウムイソバレリルアセ
トネートを含む溶液を調製する。しかし、金属の重量で
表示される濃度比（Ａｌ　／Ｔｉ）は１．７７である。
【０１３２】例１４に示されるように、この溶液を用い
てＡｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２フィルムを作製し、その厚さは
９０ｎｍ（厚偏差Δｅ／ｅ＝５％）であり、そしてその
屈折率は１．７４±０．０１である。その光吸収は１％
である。
【０１３３】このフィルム上に、　３１０ｎｍ±１０ｎ
ｍの厚さ及び０．２５の輻射率を有するフッ素をドープ
した酸化スズ（ＳｎＯ２：Ｆ）半導体フィルムを、例１
４ｂに示されるような熱分解により作製する。光源Ｄ６
５の作用として定量された、２枚のフィルムを組み合わ
せた反射光の主波長は４８２ｎｍ　であり、その純度は
９％である。
【０１３４】例１８ 例１７にあるように製品を調製し、その中で中間Ａｌ２
Ｏ３−ＴｉＯ２フィルムを例１４にあるような液体熱分
解により、しかしＡｌ　／Ｔｉ　比（金属の重量濃度）
が２．０６である溶液から得る。Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２
フィルムの厚さは９５ｎｍであり、そしてその屈折率は
１．７０±０．０１である。フッ素をドープした酸化ス
ズのフィルムは　３１０ｎｍ±１０ｎｍの厚さを有する
。光源Ｄ６５の作用として定量された、Ａｌ２Ｏ３−Ｔ
ｉＯ２及びＳｎＯ２：Ｆ　の２枚のフィルム堆積物の反
射光の主波長は３８４ｎｍ　であり、その純度は１４％
である。
【０１３５】例１９ Ａｌ　／Ｔｉ　比（金属の重量濃度）が２．３６である
溶液から、ガラス支持体上にＡｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２中間
フィルムを作製する。Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２フィルムの
厚さは９０ｎｍであり、そしてその屈折率は１．６９±
０．０１である。このＡｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２フィルム上
に、　３１０ｎｍ±１０ｎｍの厚さを有するＳｎＯ２：
Ｆ　フィルムを作製する。光源Ｄ６５の作用として定量
された、Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２及びＳｎＯ２：Ｆ　の２
枚のフィルム堆積物の反射光の主波長は４６２ｎｍ　で
あり、その純度は１８％である。
【０１３６】例１８及び１９から、中間フィルムのＡｌ
　／Ｔｉ比をおよそ２を超える値にまで増加させると、
反射光が無彩色ではない、そして所望の品質の低輻射率
窓ガラス用には特に使用できない、そのような中間フィ
ルム／半導体フィルム堆積物しか得られないことが確証
可能である。
【０１３７】熱分解により半導体上層フィルムを形成す
るためにＡｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２フィルムを　６５０℃に
再加熱しても、フィルムの屈折率は変化しないことに注
目すべきである。
【０１３８】本発明に従うＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２及びＡ
ｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２の中間フィルムとＳｎＯ２：Ｆ　半
導体フィルムとを載せたガラスの耐薬品性は、これらの
ガラス試料片を、　１００℃の標準的塩化水素酸溶液、
及び４０％ＨＦ溶液７ｍｌを１Ｌの水で希釈して調製し
た２０℃のフッ化水素酸溶液に浸漬することにより定量
された。すべての場合において、これらの酸による侵食
は３０分以上経過後に観測され、これらのガラスが優れ
た耐薬品性を有していると言えるであろう。
【０１３９】先述の例では、半導体フィルムはフッ素を
ドープした酸化スズで形成される。別の半導体フィルム
、例えばスズをドープした酸化インジウム（ＩＴＯ）の
フィルム、を用いて、類似の特性を有する窓ガラスを生
産することは可能である。このようなフィルムは、およ
そ１８０ｎｍ　の厚さで０．１１の輻射率を有するとい
う利点をも示す。
【０１４０】上述のように、Ａｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２また
はＡｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２のフィルム及び半導体フィルム
から成り、そして美観を損なう着色を示さない、本発明
に従う製品はまた、自動車用窓ガラスとしての用途、例
えば加熱窓ガラス、とりわけ風妨ガラスの生産用にも適
することができる。
【０１４１】この場合、これらの製品はポリウレタンの
ようなプラスチックポリマーのシートと組み合わされ、
半導体フィルムと接触させて単一のガラス支持体を含む
積層窓ガラスを形成することができる。本発明に従う製
品はまた、別のガラス板と組み合わされ、ポリビニルブ
チラール、ポリウレタン、またはポリ塩化ビニルのよう
なプラスチックポリマーのシートの中間層と共に、２枚
のガラス板を含む積層窓ガラスを作製することも可能で
ある。
【０１４２】電流を半導体フィルムに供給するために、
これらの窓ガラスは、窓ガラスの上方及び下方の縁に沿
って配置された、銅箔ストリップ及び／またはスクリー
ン印刷銀ストリップのような導線を含む。とりわけ導線
を被覆する目的でこれらの窓ガラス上に一般に堆積され
る黒色エナメルは、Ａｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２またはＡｌ２
Ｏ３−ＴｉＯ２のフィルムが存在することにより劣化す
ることはない。
【０１４３】他方、Ａｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２またはＡｌ２
Ｏ３−ＴｉＯ２のフィルムは、ガラスへの結合性が良好
であり、ガラス、半導体フィルム、及びポリマーシート
から成るこれらの堆積物の凝集性をよく促進する。
【０１４４】Ａｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２またはＡｌ２Ｏ３−
ＴｉＯ２のフィルム及び、例えばＳｎＯ２：Ｆ　または
ＩＴＯの、半導体フィルムから成る本発明に従う製品は
、熱分解により堆積されたこれらのフィルムが機械的に
強いので、曲げ加工されることができる。
【０１４５】本発明に従い得られたＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ
２またはＡｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２のフィルムは、透明で且
つ厚さが非常に均一であり、反射防止窓ガラスとしても
使用されることができる。
【０１４６】この種の窓ガラスは、１．５２の屈折率を
有するガラスの支持体上に、本発明に従うＤＢＴＯを含
む溶液（Ａｌ　／Ｓｎ　比＝０．１７）からＡｌ２Ｏ３
−ＳｎＯ２のフィルム（１．７４の屈折率及び６０〜７
０ｎｍの厚さを有するフィルムになる）、または本発明
に従う３種の化合物を含む溶液（Ａｌ　／Ｔｉ　比＝１
．５５）からＡｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２のフィルム（１．７
４±０．０１の屈折率及び６０〜７０ｎｍの厚さを有す
るフィルムになる）のどちらかを形成することにより生
産された。本発明に従うフィルムの光学的厚さは、λ／
４に等しい。このフィルム上に、光学的厚さがλ／２に
等しくなるように、液体熱分解によりＴｉＯ２のフィル
ムを、次いで例えばプラズマＣＶＤによりＳｉＯ２のフ
ィルム（光学的厚さ＝λ／４）を、周知の方法で作製し
た。
【０１４７】窓ガラスの処理面の反射係数は、１％未満
であった。Ａｌ２Ｏ３−ＳｎＯ２またはＡｌ２Ｏ３−Ｔ
ｉＯ２の中間フィルムの存在は、その厚さが均一である
結果、製品全体にわたるより均一な反射係数の獲得を可
能にした。
【０１４８】本発明に従い得られたＡｌ２Ｏ３−ＳｎＯ
２及びＡｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２のフィルムは、さらにアル
カリイオンに対する拡散障壁フィルムを構成する。それ
ゆえ、これらのフィルムを載せたガラスは、アルカリイ
オン、特にナトリウムの拡散を防止しなければならない
、液晶表示装置のような光電子装置における支持体とし
て使用可能である。

Claims (23)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　ガラスの軟化温度以下の温度に加熱し
    たガラス支持体上に、前記熱いガラスと接触して熱分解
    し且つ酸化してフィルムを形成するアルミニウム及びス
    ズまたはチタンの有機化合物から、アルミニウム及びス
    ズまたはチタンの酸化物のフィルムを作製する方法にお
    いて、非加水分解性アルミニウムキレートと、少なくと
    も１種の有機スズ化合物、またはチタンキレート及びチ
    タンアルコラート、とから成る溶液を熱いガラス支持体
    上に射出することを特徴とする、アルミニウム及びスズ
    またはチタンの酸化物のフィルムを作製する方法。
  2. 【請求項２】　　前記アルミニウムキレートが、アルミ
    ニウムアセチルアセトネートまたはアルミニウムイソバ
    レリルアセトネートであることを特徴とする、請求項１
    に記載の方法。
  3. 【請求項３】　　前記スズ化合物が、酸素を含有する非
    ハロゲン化有機化合物であることを特徴とする、請求項
    １または２に記載の方法。
  4. 【請求項４】　　前記スズ化合物が、ジブチルスズオキ
    シドまたはジブチルスズジアセテートであることを特徴
    とする、請求項３に記載の方法。
  5. 【請求項５】　　前記溶液が、１３体積％〜３０体積％
    のＤＢＴＡまたは３０体積％〜５０体積％のＤＢＴＯを
    含むことを特徴とする、請求項４に記載の方法。
  6. 【請求項６】　　前記溶液中の金属重量で表示される、
    前記アルミニウム化合物及び前記スズ化合物の濃度比（
    Ａｌ　／Ｓｎ）が０．１０〜０．７０であることを特徴
    とする、請求項５に記載の方法。
  7. 【請求項７】　　前記チタンキレートがチタンアセチル
    アセトネート及びイソプロピレートであり、前記チタン
    アルコラートがチタンテトラオクチレングリコールまた
    はチタントリエタノールアミンであることを特徴とする
    、請求項１または２に記載の方法。
  8. 【請求項８】　　チタンの重量で表示される、前記チタ
    ンキレート及びアルコラートの濃度比がおよそ２：１で
    あることを特徴とする、請求項７に記載の方法。
  9. 【請求項９】　　金属重量で表示される、前記アルミニ
    ウム及びチタン化合物の濃度比（Ａｌ　／Ｔｉ）が２未
    満であることを特徴とする、請求項１、２、７及び８に
    記載の方法。
  10. 【請求項１０】　　前記ガラス温度が　６００〜　６５
    ０℃であることを特徴とする、請求項１〜９に記載の方
    法。
  11. 【請求項１１】　　前記ガラス支持体が、３〜２５ｍ／
    ｓｅｃ　の速度で移動することを特徴とする、請求項１
    〜１０に記載の方法。
  12. 【請求項１２】　　１．６５〜１．７６の屈折率を有す
    るアルミニウム及びスズの酸化物のフィルムとガラス支
    持体とから成る、請求項３〜６に記載の方法により得ら
    れた製品。
  13. 【請求項１３】　　１．７３〜１．８０の屈折率を有す
    るアルミニウム及びチタンの酸化物のフィルムとガラス
    支持体とから成る、請求項７〜９に記載の方法により得
    られた製品。
  14. 【請求項１４】　　アルミニウム及びスズまたはチタン
    の酸化物の前記フィルムが、４０ｎｍ〜１５０ｎｍ　の
    厚さ、５％以下の厚偏差、及び３％以下の吸収係数を有
    することを特徴とする、請求項１２または１３に記載の
    製品。
  15. 【請求項１５】　　アルミニウム及びスズまたはチタン
    の酸化物の前記フィルム上を、透明な金属酸化物半導体
    フィルムが被覆して成ることを特徴とする、請求項１２
    〜１４に記載の製品。
  16. 【請求項１６】　　前記半導体フィルムが、フッ素をド
    ープした酸化スズのフィルム、スズをドープした酸化イ
    ンジウムのフィルム、またはインジウムまたはアルミニ
    ウムをドープした酸化亜鉛のフィルムであることを特徴
    とする、請求項１５に記載の製品。
  17. 【請求項１７】　　アルミニウム及びスズまたはチタン
    の酸化物の前記フィルムが８０ｎｍ〜１００ｎｍ　の厚
    さを有し、前記透明な金属酸化物半導体フィルムが　１
    ００ｎｍ〜８００ｎｍ　の厚さを有し、そして前記２枚
    のフィルム堆積物が、１０％以下の反射光純度を有する
    無彩色反射構造を構成することを特徴とする、請求項１
    ５または１６に記載の製品。
  18. 【請求項１８】　　アルミニウム及びスズの酸化物の前
    記フィルムが１．７５±０．０１の屈折率及び９０ｎｍ
    の厚さを有し、前記半導体フィルムが３６０ｎｍ　の厚
    さを有し、そして前記２枚のフィルム堆積物、すなわち
    アルミニウム及びスズの酸化物のフィルムと半導体金属
    酸化物フィルムが、およそ５％の反射光純度を有する無
    彩色反射構造を構成することを特徴とする、請求項１６
    に記載の製品。
  19. 【請求項１９】　　前記半導体フィルムが、フッ素をド
    ープした酸化スズで形成され、そして３００ｎｍ　以上
    の厚さに対して０．２７以下の輻射率を有することを特
    徴とする、請求項１５〜１８に記載の製品で構成された
    低輻射性窓ガラス。
  20. 【請求項２０】　　前記金属酸化物半導体フィルムが、
    およそ６ｘ１０−４Ω．ｃｍ　の抵抗率を有することを
    特徴とする、請求項１５〜１８に記載の製品で構成され
    た加熱窓ガラス。
  21. 【請求項２１】　　前記半導体フィルムと接触した、ポ
    リビニルブチラール、ポリ塩化ビニル、またはポリウレ
    タン型のプラスチックポリマーの中間シートをガラス板
    と組み合わせて含み、そして窓ガラスの上方及び下方の
    縁に沿って配置された導線を含むことを特徴とする、請
    求項１８に記載の積層加熱窓ガラス。
  22. 【請求項２２】　　光電子装置用の支持体として有用で
    ある、請求項１５〜１８に記載の製品で構成された窓ガ
    ラス。
  23. 【請求項２３】　　６０ｎｍ〜７０ｎｍの厚さ及び１．
    ７４±０．０１の屈折率を有するアルミニウム及びスズ
    の酸化物のフィルム、チタン酸化物のフィルム、及びシ
    リカのフィルムから成り、これらのフィルムの光学的厚
    さがそれぞれλ／４、λ／２、及びλ／４であることを
    特徴とする、請求項１２に記載の製品で構成された反射
    防止窓ガラス。
JP3163196A 1990-07-05 1991-07-04 アルミニウム及びスズまたはチタンの酸化物から成るフィルムの作製方法、及びその製品 Pending JPH04270136A (ja)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9008531 1990-07-05
FR9008531A FR2664260A1 (fr) 1990-07-05 1990-07-05 Procede de formation d'une couche d'oxydes d'aluminium et d'etain sur du verre, verre obtenu et son utilisation dans des vitrages a couche semi-conductrice.
FR9008530 1990-07-05
FR9008530A FR2664259A1 (fr) 1990-07-05 1990-07-05 Procede pour former une couche d'oxydes d'aluminium et de titane sur du verre, produit obtenu et son utilisation comme verre de couleur neutre en reflexion.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04270136A true JPH04270136A (ja) 1992-09-25

Family

ID=26228127

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3163196A Pending JPH04270136A (ja) 1990-07-05 1991-07-04 アルミニウム及びスズまたはチタンの酸化物から成るフィルムの作製方法、及びその製品

Country Status (7)

Country Link
EP (2) EP0677493A3 (ja)
JP (1) JPH04270136A (ja)
AT (1) ATE130284T1 (ja)
CA (1) CA2046132A1 (ja)
DE (1) DE69114582T2 (ja)
DK (1) DK0465309T3 (ja)
ES (1) ES2082164T3 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2701474B1 (fr) * 1993-02-11 1995-03-31 Saint Gobain Vitrage Int Vitrage muni d'une couche fonctionnelle.
NO931606L (no) * 1992-05-26 1993-11-29 Saint Gobain Vitrage Vindusplate med en funksjonell film
GB9304575D0 (en) * 1993-03-05 1993-04-21 Glaverbel Coated glass and method of manufacturing same
EP1537055A1 (de) 2002-09-14 2005-06-08 Schott AG Beschichteter gegenstand
TWI352071B (en) 2003-01-28 2011-11-11 Koninkl Philips Electronics Nv Transparent titanium oxide-aluminum and/or aluminu
DE10342397B4 (de) * 2003-09-13 2008-04-03 Schott Ag Transparente Schutzschicht für einen Körper und deren Verwendung
DE102008005283B4 (de) * 2008-01-19 2009-10-29 Schott Solar Gmbh Verfahren zur Herstellung einer mit einem transparenten, Metalloxid beschichtetn Glasscheibe für ein photovoltaisches Modul und eine solche beschichtete Glasscheibe
US11155493B2 (en) * 2010-01-16 2021-10-26 Cardinal Cg Company Alloy oxide overcoat indium tin oxide coatings, coated glazings, and production methods

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2833902A (en) * 1953-10-30 1958-05-06 Libbey Owens Ford Glass Co Electrically conducting glass
GB1417403A (en) * 1972-06-22 1975-12-10 Ici Ltd Coating composition
US3833399A (en) * 1972-07-17 1974-09-03 Gen Electric Surface treatment of fluorescent lamp bulbs and other glass objects
US4160061A (en) * 1975-03-29 1979-07-03 Central Glass Company, Limited Heat-reflecting glass plate and method of producing same
JPS51134711A (en) * 1975-05-16 1976-11-22 Nippon Sheet Glass Co Ltd Method of producing glass having coating of titanium oxide
CH640205A5 (en) * 1978-10-20 1983-12-30 Roy Gerald Gordon Noniridescent coated glasses
GB2139997B (en) * 1983-05-20 1986-08-13 United Glass Ltd Surface treatment of glassware
GB2172901B (en) * 1984-05-14 1987-11-18 Roy Gerald Gordon Color suppressing process
GB2163140B (en) * 1984-08-09 1989-02-15 Armando Ortiz Rebollo Light-transmitting electrically conducting aluminium tin oxide
US4547400A (en) * 1985-02-25 1985-10-15 Ford Motor Company Method of making infrared reflective glass sheet-I

Also Published As

Publication number Publication date
EP0465309B1 (fr) 1995-11-15
EP0677493A3 (fr) 1995-12-20
DE69114582T2 (de) 1996-07-11
EP0465309A1 (fr) 1992-01-08
DK0465309T3 (da) 1996-03-18
ES2082164T3 (es) 1996-03-16
CA2046132A1 (fr) 1992-01-06
EP0677493A2 (fr) 1995-10-18
DE69114582D1 (de) 1995-12-21
ATE130284T1 (de) 1995-12-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5740388B2 (ja) 薄膜コーティング及びその作製方法
US5348805A (en) Formation of a layer of aluminum and tin or titanium oxides on a glass substrate
JP3305742B2 (ja) 導電性皮膜製造方法
AU779141B2 (en) Solar control coated glass
US6218018B1 (en) Solar control coated glass
US4547400A (en) Method of making infrared reflective glass sheet-I
JP2000119045A (ja) 太陽光制御被覆ガラス
JPH05229852A (ja) 低放射率フィルムを備えたガラス基材を含む製品
US5244692A (en) Process for formation of an aluminum oxide-based layer on glass, the product thus obtained, and its use in windows incorporating a conductive layer
JPH0624806A (ja) 機能膜を提供された窓ガラス
CA1238824A (en) Method of making an infrared reflective glass sheet- ii
JPH04270136A (ja) アルミニウム及びスズまたはチタンの酸化物から成るフィルムの作製方法、及びその製品
JP3171462B2 (ja) 被覆ガラス及びその製造法
JPH04214047A (ja) ガラス支持体にオキシ炭化珪素層を形成する方法及び半導体層を含んでなる製品
US4737388A (en) Non-iridescent, haze-free infrared reflecting coated glass structures
AU759899B2 (en) Solar control coated glass
JPH0294210A (ja) 透明導電性基板の製造方法及び透明導電性基板
US4954367A (en) Vapor deposition of bis-tributyltin oxide
FR2664259A1 (fr) Procede pour former une couche d'oxydes d'aluminium et de titane sur du verre, produit obtenu et son utilisation comme verre de couleur neutre en reflexion.
FR2664260A1 (fr) Procede de formation d'une couche d'oxydes d'aluminium et d'etain sur du verre, verre obtenu et son utilisation dans des vitrages a couche semi-conductrice.
MXPA99007735A (en) Glass coated for so control