JPH0427165B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0427165B2 JPH0427165B2 JP7722487A JP7722487A JPH0427165B2 JP H0427165 B2 JPH0427165 B2 JP H0427165B2 JP 7722487 A JP7722487 A JP 7722487A JP 7722487 A JP7722487 A JP 7722487A JP H0427165 B2 JPH0427165 B2 JP H0427165B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- ozone
- discharge
- ozone generator
- oxygen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
＜産業上の利用分野＞
本発明は酸素をオゾンに変換するオゾン発生装
置に関する。 ＜従来の技術＞ オゾンは強力な酸化力を有しているため、あら
ゆる分野において殺菌、消毒、脱臭、脱色等に利
用されている。 そのオゾンを発生させるオゾン発生装置として
は、無声放電を利用するものと、沿面放電を利用
するものとが従来から知られている。 第３図は無声放電を利用したオゾン発生装置の
概略図、第４図は沿面放電を利用したオゾン発生
装置の概略図である。 無声放電を利用するオゾン発生装置は、冷却装
置を兼ねた略円筒形状の負極１０と、負極１０の
内側に設置された略試験管状のガラス管２０とを
有する。 前記負極１０は中空であつて、冷却水が図示し
ない冷却水循環用ポンプ等によつて循環させられ
ている。 前記ガラス管２０は、誘電率約７のハイアルミ
ナガラスで形成されており、その内面には正極２
２としてのアルミニウムが蒸着されている。 さらに、正極２２の内側には、高周波電源３０
と接続されたブラシ２１が設置されている。 正極２２と負極１０との間に酸素又は空気を流
入させ、高周波電圧を印加すると正極２０と負極
１０との間に無声放電が発生し、302→203の化学
変化が起こり、オゾン含有ガスが流出する。 沿面放電を利用するオゾン発生装置は、アルミ
ナセラミツク層４０の両面に、水素又は窒素雰囲
気中にて焼成したタングステンの放電極４２と誘
導電極４１とを形成し、両電極間に高周波高電圧
を印加する。このとき、放電極４２から誘導電極
４１に向かつてアルミナセラミツク層４０の表面
に沿面放電が発生し、酸素をオゾンに変化させ
る。なお、４１１は放電極を保護する保護層であ
つて、フリツトガラス又はアルミナ被膜をほどこ
し、焼成、絶縁したものである。 ＜考案が解決しようとする問題点＞ しかしながら、無声放電を利用するオゾン発生
装置では、酸素10／min流入させても約７〜
8wt％のオゾンしか発生させることができない。 また、沿面放電を利用したオゾン発生装置は、
5000Vの電圧を印加した場合の電界分布を示す第
５図をみてもわかるように、放電極近傍のみに放
電が発生している。従つて、沿面放電が行われて
いるアルミナセラミツク層の表面付近の酸素しか
オゾンに変化させることができない。つまり、放
電極から離れた部分（第５図に示す矢印Ａの範囲
内）にある酸素はほとんどオゾンに変化しないの
である。 本発明は上記事情に鑑みて創案されたもので、
より高濃度オゾン含有ガスを発生させることがで
きるオゾン発生装置を提供することを目的として
いる。 ＜問題点を解決するための手段＞ 本発明に係るオゾン発生装置は、第１電極と、
第１電極との間に沿面放電を発生する第２電極
と、第１電極との間に無声放電を発生する第３電
極とを有する構成とした。 ＜作用＞ 第１電極と第２電極との間で沿面放電を発生さ
せると同時に、第１電極と第３電極との間で無声
放電を発生させる。 ＜実施例＞ 以下、図面を参照して本考案に係る一実施例を
説明する。 本発明に係るオゾン発生装置は、中空の略直方
体形状の外枠１０と、外枠１０の内部に設置され
る第１電極２０と、第１電極２０とアルミナセラ
ミツク層３０を挟んで対向する第２電極４０と、
第２電極４０と対向して設置される第３電極５０
とを有する。 外枠１０の両端面には、酸素又は空気をオゾン
発生装置に流入させるための流入口１１と、オゾ
ン含有ガスを流出させるための流出口１２とがそ
れぞれ開設されている。 アルミナセラミツク層３０の表面側には等ピッ
チで第２電極４０が、裏面側には第２電極４０と
対応した第１電極２０がそれぞれ形成されてい
る。そして、当該アルミナセラミツク層３０は、
これと対応した開口が開設されたマイカ層３１に
第２電極４０を露出させて取り付けられている
（この場合、必ずしもマイカを使用しなくともよ
く、薄いアルミナ膜でもよく、又他の絶縁性が強
く耐コロナ性のある物質でもよい）。 第３電極５０はマイカ層５１の裏面側に取り付
けられており、所定の間隔（実験例では４mm）を
有して第２電極４０と対向している。前記流入口
１１と流出口１２とは、第２電極４０と第３電極
５０との間に開設されているものとする。 前記第１電極２０は接地されており、第２電極
４０には所定値（後述する実験例では3KV）の
高周波電圧が、第３電極５０には前記所定値より
高い（実験例では５又は6KV）の高周波電圧が
それぞれ印加されている。 次に、本発明に係るオゾン発生装置の作用につ
いて説明する。 まず、流入口１１から酸素又は空気を流入させ
ると同時に、第２電極４０に所定値の高周波電圧
を印加し、第２電極４０間で沿面放電を発生させ
る。その後、第３電極５０に所定値の高周波電圧
を印加する。すると、第２電極４０近傍のガスが
イオン化しているので、すぐに無声放電が第３電
極５０と第１電極２０との間で発生する。 流入口１１から流入させられた酸素又は空気の
うち、第２電極４０近傍を流れるものは沿面放電
によつてオゾンとなり、第２電極４０から離れた
部分を流れる酸素も無声放電によつてオゾンとな
る。 次に、空気を沿面放電によつてオゾンに変化さ
せた実験結果と、本発明に係るオゾン発生装置に
よつて空気をオゾンに変化させた実験結果とを表
Ａと表Ｂとに記載する。なお、表Ａの実験は室温
13℃、湿度65％、表Ｂの実験は室温13℃、湿度65
％、酸素の露点は−30℃にて行われた。
置に関する。 ＜従来の技術＞ オゾンは強力な酸化力を有しているため、あら
ゆる分野において殺菌、消毒、脱臭、脱色等に利
用されている。 そのオゾンを発生させるオゾン発生装置として
は、無声放電を利用するものと、沿面放電を利用
するものとが従来から知られている。 第３図は無声放電を利用したオゾン発生装置の
概略図、第４図は沿面放電を利用したオゾン発生
装置の概略図である。 無声放電を利用するオゾン発生装置は、冷却装
置を兼ねた略円筒形状の負極１０と、負極１０の
内側に設置された略試験管状のガラス管２０とを
有する。 前記負極１０は中空であつて、冷却水が図示し
ない冷却水循環用ポンプ等によつて循環させられ
ている。 前記ガラス管２０は、誘電率約７のハイアルミ
ナガラスで形成されており、その内面には正極２
２としてのアルミニウムが蒸着されている。 さらに、正極２２の内側には、高周波電源３０
と接続されたブラシ２１が設置されている。 正極２２と負極１０との間に酸素又は空気を流
入させ、高周波電圧を印加すると正極２０と負極
１０との間に無声放電が発生し、302→203の化学
変化が起こり、オゾン含有ガスが流出する。 沿面放電を利用するオゾン発生装置は、アルミ
ナセラミツク層４０の両面に、水素又は窒素雰囲
気中にて焼成したタングステンの放電極４２と誘
導電極４１とを形成し、両電極間に高周波高電圧
を印加する。このとき、放電極４２から誘導電極
４１に向かつてアルミナセラミツク層４０の表面
に沿面放電が発生し、酸素をオゾンに変化させ
る。なお、４１１は放電極を保護する保護層であ
つて、フリツトガラス又はアルミナ被膜をほどこ
し、焼成、絶縁したものである。 ＜考案が解決しようとする問題点＞ しかしながら、無声放電を利用するオゾン発生
装置では、酸素10／min流入させても約７〜
8wt％のオゾンしか発生させることができない。 また、沿面放電を利用したオゾン発生装置は、
5000Vの電圧を印加した場合の電界分布を示す第
５図をみてもわかるように、放電極近傍のみに放
電が発生している。従つて、沿面放電が行われて
いるアルミナセラミツク層の表面付近の酸素しか
オゾンに変化させることができない。つまり、放
電極から離れた部分（第５図に示す矢印Ａの範囲
内）にある酸素はほとんどオゾンに変化しないの
である。 本発明は上記事情に鑑みて創案されたもので、
より高濃度オゾン含有ガスを発生させることがで
きるオゾン発生装置を提供することを目的として
いる。 ＜問題点を解決するための手段＞ 本発明に係るオゾン発生装置は、第１電極と、
第１電極との間に沿面放電を発生する第２電極
と、第１電極との間に無声放電を発生する第３電
極とを有する構成とした。 ＜作用＞ 第１電極と第２電極との間で沿面放電を発生さ
せると同時に、第１電極と第３電極との間で無声
放電を発生させる。 ＜実施例＞ 以下、図面を参照して本考案に係る一実施例を
説明する。 本発明に係るオゾン発生装置は、中空の略直方
体形状の外枠１０と、外枠１０の内部に設置され
る第１電極２０と、第１電極２０とアルミナセラ
ミツク層３０を挟んで対向する第２電極４０と、
第２電極４０と対向して設置される第３電極５０
とを有する。 外枠１０の両端面には、酸素又は空気をオゾン
発生装置に流入させるための流入口１１と、オゾ
ン含有ガスを流出させるための流出口１２とがそ
れぞれ開設されている。 アルミナセラミツク層３０の表面側には等ピッ
チで第２電極４０が、裏面側には第２電極４０と
対応した第１電極２０がそれぞれ形成されてい
る。そして、当該アルミナセラミツク層３０は、
これと対応した開口が開設されたマイカ層３１に
第２電極４０を露出させて取り付けられている
（この場合、必ずしもマイカを使用しなくともよ
く、薄いアルミナ膜でもよく、又他の絶縁性が強
く耐コロナ性のある物質でもよい）。 第３電極５０はマイカ層５１の裏面側に取り付
けられており、所定の間隔（実験例では４mm）を
有して第２電極４０と対向している。前記流入口
１１と流出口１２とは、第２電極４０と第３電極
５０との間に開設されているものとする。 前記第１電極２０は接地されており、第２電極
４０には所定値（後述する実験例では3KV）の
高周波電圧が、第３電極５０には前記所定値より
高い（実験例では５又は6KV）の高周波電圧が
それぞれ印加されている。 次に、本発明に係るオゾン発生装置の作用につ
いて説明する。 まず、流入口１１から酸素又は空気を流入させ
ると同時に、第２電極４０に所定値の高周波電圧
を印加し、第２電極４０間で沿面放電を発生させ
る。その後、第３電極５０に所定値の高周波電圧
を印加する。すると、第２電極４０近傍のガスが
イオン化しているので、すぐに無声放電が第３電
極５０と第１電極２０との間で発生する。 流入口１１から流入させられた酸素又は空気の
うち、第２電極４０近傍を流れるものは沿面放電
によつてオゾンとなり、第２電極４０から離れた
部分を流れる酸素も無声放電によつてオゾンとな
る。 次に、空気を沿面放電によつてオゾンに変化さ
せた実験結果と、本発明に係るオゾン発生装置に
よつて空気をオゾンに変化させた実験結果とを表
Ａと表Ｂとに記載する。なお、表Ａの実験は室温
13℃、湿度65％、表Ｂの実験は室温13℃、湿度65
％、酸素の露点は−30℃にて行われた。
【表】
【表】
表Ａは空気を供給した場合であつて、Ａは沿
面放電のみを発生させた場合の実験結果、Ａは
5KVの高周波電圧を印加し、沿面放電と無声放
電とを発生させた場合の実験結果、Ａは6KV
の高周波電圧を印加し、沿面放電と無声放電とを
発生させた場合の実験結果である。 表Ｂは酸素を供給した場合であつて、Ｂは沿
面放電のみを発生させた場合の実験結果、Ｂは
5KVの高周波電圧を印加し、沿面放電と無声放
電とを発生させた場合の実験結果、Ｂは6KV
の高周波電圧を印加し、沿面放電と無声放電とを
発生させた場合の実験結果である。 上記した実験結果をグラフ化した第２図をみて
もわかるように、本発明に係るオゾン発生装置が
従来のオゾン発生装置よりも極めて高濃度のオゾ
ン含有ガスを発生させることができる。特に、純
酸素を供給した場合は非常に高い効率で酸素をオ
ゾン含有ガスに変化させることができる。 ＜発明の効果＞ 本発明に係るオゾン発生装置によると、沿面放
電と無声放電との２つの放電を利用したため、従
来のオゾン発生装置においてオゾン化されなかつ
た酸素をオゾンに変化させることができる。従つ
て、従来のオゾン発生装置よりも高濃度のオゾン
含有ガスを発生させることができる。
面放電のみを発生させた場合の実験結果、Ａは
5KVの高周波電圧を印加し、沿面放電と無声放
電とを発生させた場合の実験結果、Ａは6KV
の高周波電圧を印加し、沿面放電と無声放電とを
発生させた場合の実験結果である。 表Ｂは酸素を供給した場合であつて、Ｂは沿
面放電のみを発生させた場合の実験結果、Ｂは
5KVの高周波電圧を印加し、沿面放電と無声放
電とを発生させた場合の実験結果、Ｂは6KV
の高周波電圧を印加し、沿面放電と無声放電とを
発生させた場合の実験結果である。 上記した実験結果をグラフ化した第２図をみて
もわかるように、本発明に係るオゾン発生装置が
従来のオゾン発生装置よりも極めて高濃度のオゾ
ン含有ガスを発生させることができる。特に、純
酸素を供給した場合は非常に高い効率で酸素をオ
ゾン含有ガスに変化させることができる。 ＜発明の効果＞ 本発明に係るオゾン発生装置によると、沿面放
電と無声放電との２つの放電を利用したため、従
来のオゾン発生装置においてオゾン化されなかつ
た酸素をオゾンに変化させることができる。従つ
て、従来のオゾン発生装置よりも高濃度のオゾン
含有ガスを発生させることができる。
第１図は本発明に係るオゾン発生装置の概略
図、第２図は本発明に係るオゾン発生装置と従来
のオゾン発生装置（沿面放電を利用するもの）と
を比較したグラフ、つまり表Ａと表Ｂとをグラフ
化したもの、第３図は従来のオゾン発生装置（無
声放電を利用するもの）の概略図、第４図は従来
のオゾン発生装置（沿面放電を利用するもの）の
概略図、第５図は沿面放電を利用したオゾン発生
装置に5000Vの電圧を印加した場合の電界分布を
示す模式図である。 ２０……第１電極、３０……アルミナセラミツ
ク層（誘電体）、４０……第２電極、５０……第
３電極。
図、第２図は本発明に係るオゾン発生装置と従来
のオゾン発生装置（沿面放電を利用するもの）と
を比較したグラフ、つまり表Ａと表Ｂとをグラフ
化したもの、第３図は従来のオゾン発生装置（無
声放電を利用するもの）の概略図、第４図は従来
のオゾン発生装置（沿面放電を利用するもの）の
概略図、第５図は沿面放電を利用したオゾン発生
装置に5000Vの電圧を印加した場合の電界分布を
示す模式図である。 ２０……第１電極、３０……アルミナセラミツ
ク層（誘電体）、４０……第２電極、５０……第
３電極。
Claims (1)
- １ 第１電極と、第１電極との間に沿面放電を発
生する第２電極と、第１電極との間に無声放電を
発生する第３電極とを有することを特徴とするオ
ゾン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7722487A JPS63242904A (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7722487A JPS63242904A (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | オゾン発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63242904A JPS63242904A (ja) | 1988-10-07 |
| JPH0427165B2 true JPH0427165B2 (ja) | 1992-05-11 |
Family
ID=13627882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7722487A Granted JPS63242904A (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63242904A (ja) |
-
1987
- 1987-03-30 JP JP7722487A patent/JPS63242904A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63242904A (ja) | 1988-10-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6204605B1 (en) | Electrodeless discharge at atmospheric pressure | |
| US4869881A (en) | Ozone generator system | |
| US6217833B1 (en) | High efficiency corona discharge device for generating ozone | |
| ATE235421T1 (de) | Vorrichtung zur erzeugung eines plasmas zur herstellung von ozon und/oder sauerstoffionen in luft | |
| JP3827708B2 (ja) | 軟ｘ線を利用した静電気除去装置 | |
| KR100407447B1 (ko) | 고농도 오존 발생 장치 | |
| US20240314915A1 (en) | Methods and apparatus for generating atmospheric pressure, low temperature plasma with changing parameters | |
| JP2005216763A (ja) | イオン化気流発生装置 | |
| JP2569739B2 (ja) | 酸素原子発生方法および装置 | |
| US20090211895A1 (en) | Ozone generator | |
| JPH0427165B2 (ja) | ||
| CN111010791A (zh) | 基于多孔介质放电的等离子体发生装置 | |
| JPH0648707A (ja) | オゾン発生装置 | |
| SU1754648A1 (ru) | Способ получени озона и устройство дл его осуществлени | |
| KR101582315B1 (ko) | 오존 발생기 | |
| JPH11209105A (ja) | オゾン発生装置 | |
| JPH02145403A (ja) | セラミックオゾナイザ | |
| JP4102126B2 (ja) | オゾン発生装置 | |
| JP2000072410A (ja) | オゾン発生装置 | |
| JPH08217413A (ja) | オゾン発生装置及びオゾン発生装置付脱臭装置 | |
| JPH0831548A (ja) | 脱臭・殺菌用放電管 | |
| JPS632884B2 (ja) | ||
| JPH04108603A (ja) | オゾン発生装置 | |
| KR940000839Y1 (ko) | 오존발생장치 | |
| JPS56134789A (en) | Lateral exciting type laser oscillator |