JPH04272121A - Method for analyzing component of waste gas in vacuum refining furnace - Google Patents
Method for analyzing component of waste gas in vacuum refining furnaceInfo
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- JPH04272121A JPH04272121A JP5945191A JP5945191A JPH04272121A JP H04272121 A JPH04272121 A JP H04272121A JP 5945191 A JP5945191 A JP 5945191A JP 5945191 A JP5945191 A JP 5945191A JP H04272121 A JPH04272121 A JP H04272121A
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Abstract
Description
【0001】0001
【産業上の利用分野】本発明は、RH,DH,VOD等
の真空精錬炉からその真空精錬過程において排出される
排ガスの成分を、質量分析計等の分析装置を用いて分析
する真空精錬炉における排ガス成分分析方法に関する。[Industrial Application Field] The present invention is a vacuum refining furnace that analyzes the components of exhaust gas discharged from vacuum refining furnaces such as RH, DH, and VOD during the vacuum refining process using an analyzer such as a mass spectrometer. This invention relates to an exhaust gas component analysis method.
【0002】0002
【従来の技術】鋼中の炭素量は鋼の品質及び機械的強度
に大きな影響を及ぼすので、真空精錬工程において炭素
含有量を目標値に合致させることが大切である。炭素含
有量を制御する方法として、真空精錬炉から排出される
排ガスの成分分析値に基づくダイナミック制御方法が広
く行われている。BACKGROUND OF THE INVENTION Since the amount of carbon in steel has a great effect on the quality and mechanical strength of the steel, it is important to match the carbon content to a target value in the vacuum refining process. As a method for controlling carbon content, a dynamic control method based on component analysis values of exhaust gas discharged from a vacuum smelting furnace is widely used.
【0003】真空精錬炉からの排ガスの成分を分析する
方法として、常圧(760 Torr)の場所で排ガス
成分を分析する方法が公知である。この方法は、真空精
錬炉から離れた所に設置されている真空ポンプ(ブース
タまたはエジェクタポンプ)の出側において常圧の排ガ
スをサンプリングし、質量分析計にてその成分を分析す
る方法である。[0003] As a method for analyzing the components of the exhaust gas from a vacuum refining furnace, a method of analyzing the components of the exhaust gas at normal pressure (760 Torr) is known. This method is a method in which exhaust gas at normal pressure is sampled at the outlet side of a vacuum pump (booster or ejector pump) installed at a location away from a vacuum refining furnace, and its components are analyzed using a mass spectrometer.
【0004】ところが、このような分析方法では、排ガ
スの移動に長時間を要するので、経時的にタイムリーな
分析結果を得ることができないという難点がある。However, this type of analysis method has the disadvantage that it takes a long time for the exhaust gas to move, making it impossible to obtain timely analysis results over time.
【0005】また、排ガスを質量分析計に導入する系に
そのコンダクタンスを可変としたバルブ機構を備えて、
連続的に排ガスも成分分析を行う方法が、特公昭60─
11085号公報に開示されている。以下、ここの開示
された分析方法について簡単に説明する。[0005] Furthermore, the system for introducing exhaust gas into the mass spectrometer is equipped with a valve mechanism that makes the conductance variable.
A method for continuously analyzing the components of exhaust gas was developed in the 1980s by the Special Publication Corporation.
It is disclosed in Japanese Patent No. 11085. Hereinafter, the analytical method disclosed herein will be briefly explained.
【0006】図3はこの分析方法を実施するための装置
構成を示す概略図であり、図中31は真空精錬炉(図示
せず)に連結され、真空精錬炉からの排ガスを排気する
ための煙道たる排気ダクトである。排気ダクト31には
、排ガスの一部を採取するためのガス採取管32が連通
されており、ガス採取管32の終端は、排ガスの成分を
分析する質量分析計33に連結している。ガス採取管3
2には、コンダクタンスが互いに異なる3本のバルブ3
4a,34b, 34c が並列的に介設されており、
排気ダクト31に設置された真空計35からの計測信号
により、これらのうちから任意のバルブが選択されて開
けられるようになっている。また、バルブ34a, 3
4b, 34c の介設位置より上流側のガス採取管3
2には、塵埃をろ過するダストトラップ36が介設され
ている。更に、ガス採取管32には、その上流側から下
流側にかけて、排気ダクト31から排出された排ガスを
質量分析計33に導入するための2個の真空ポンプ37
, 37、質量分析計33を排気するための排気ポンプ
38が、この順に設けられている。FIG. 3 is a schematic diagram showing the configuration of an apparatus for carrying out this analysis method. In the figure, 31 is connected to a vacuum refining furnace (not shown), and is connected to a vacuum refining furnace (not shown) for exhausting exhaust gas from the vacuum refining furnace. This is an exhaust duct that serves as a flue. A gas sampling pipe 32 for sampling a part of the exhaust gas is connected to the exhaust duct 31, and the terminal end of the gas sampling pipe 32 is connected to a mass spectrometer 33 for analyzing the components of the exhaust gas. Gas sampling pipe 3
2 has three valves 3 with different conductances.
4a, 34b, 34c are interposed in parallel,
Any one of these valves can be selected and opened based on a measurement signal from a vacuum gauge 35 installed in the exhaust duct 31. In addition, valves 34a, 3
Gas sampling pipe 3 upstream from the intervening position of 4b and 34c
2 is provided with a dust trap 36 for filtering out dust. Furthermore, two vacuum pumps 37 are installed in the gas sampling pipe 32 from the upstream side to the downstream side for introducing the exhaust gas discharged from the exhaust duct 31 into the mass spectrometer 33.
, 37, and an exhaust pump 38 for exhausting the mass spectrometer 33 are provided in this order.
【0007】このような構成の装置では、排気ダクト3
1からガス採取管32を介して質量分析計33へ排ガス
を導入して、排ガスの成分を連続的に分析する。この際
、排気ダクト31内の圧力を真空計35にて計測し、そ
の計測値に基づいて、3本のバルブ34a,34b,
34c から任意のバルブを選択するので、質量分析計
33へ導入される排ガスの量を一定に保つことができ、
精度良く排ガスの成分を分析する。[0007] In a device having such a configuration, the exhaust duct 3
Exhaust gas is introduced from 1 to a mass spectrometer 33 via a gas sampling pipe 32, and the components of the exhaust gas are continuously analyzed. At this time, the pressure inside the exhaust duct 31 is measured with the vacuum gauge 35, and based on the measured value, the three valves 34a, 34b,
Since any valve is selected from 34c, the amount of exhaust gas introduced into the mass spectrometer 33 can be kept constant.
Analyze exhaust gas components with high accuracy.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の分析
方法では次に述べるような問題点がある。まず、煙道で
ある排気ダクト31内の圧力計測値に基づいてコンダク
タンスを変更することとしているので、質量分析計33
の入側のガス圧力が必ずしも一定であるとは言えず、正
確な成分分析を行えない。[Problems to be Solved by the Invention] However, the above analysis method has the following problems. First, since the conductance is changed based on the pressure measurement value in the exhaust duct 31, which is a flue, the mass spectrometer 33
The gas pressure on the inlet side of the system is not necessarily constant, making it impossible to perform accurate component analysis.
【0009】また、コンダクタンスを変更する際に、次
に切替えるべきバルブが設置された配管内に残留してい
るガスにより、切替え遅れが生じると共に、成分分析値
が異常となり、正確な連続分析を行えない。図4はこの
状態を示すグラフであり、横軸は時間を、縦軸は排ガス
の成分分析値及びバルブの開閉状態を表している。図中
T3 はバルブ34a からバルブ34b に切替える
タイミングである。バルブ34b が設置された配管内
に残留しているガスが分析対象の排ガスに完全に置換さ
れる時点(図中T4 )までは時間を要するので、この
期間(図中T3 からT4 までの期間)は、図中Eに
て示すように成分分析値が異常となる。[0009] Furthermore, when changing the conductance, gas remaining in the pipe where the next valve is installed causes a switching delay, and the component analysis values become abnormal, making it difficult to perform accurate continuous analysis. do not have. FIG. 4 is a graph showing this state, in which the horizontal axis represents time and the vertical axis represents the component analysis value of the exhaust gas and the open/closed state of the valve. T3 in the figure is the timing for switching from valve 34a to valve 34b. It takes time until the gas remaining in the pipe where the valve 34b is installed is completely replaced with the exhaust gas to be analyzed (T4 in the figure), so this period (period from T3 to T4 in the figure) In this case, the component analysis value becomes abnormal as shown by E in the figure.
【0010】以上のように従来の分析方法では、排ガス
の成分を連続的に分析することができないという問題点
があり、特に排ガスの圧力が急変してバルブを頻繁に切
替えなければならない場合には、正確な成分分析値がま
ったく得られない。As described above, the conventional analysis method has the problem that it is not possible to continuously analyze the components of exhaust gas, especially when the pressure of exhaust gas changes suddenly and the valve has to be changed frequently. , accurate component analysis values cannot be obtained at all.
【0011】本発明はかかる事情に鑑みてなされたもの
であり、排ガスの圧力が急激に変化した場合においても
、排ガスの連続的な成分分析を精度良く行うことができ
る真空精錬炉における排ガス成分分析方法を提供するこ
とを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides an exhaust gas component analysis in a vacuum refining furnace that allows continuous component analysis of exhaust gas to be carried out with high precision even when the pressure of the exhaust gas changes rapidly. The purpose is to provide a method.
【0012】0012
【課題を解決するための手段】本願に係る第1発明の真
空精錬炉における排ガス成分分析方法は、真空精錬中に
真空精錬炉から煙道を介して排出される排ガスを、前記
煙道に連通する採取管を介して分析装置に導入し、該分
析装置により前記排ガスの成分を分析する方法において
、前記採取管に、コンダクタンスを連続的に変更制御す
る制御装置と排ガスの圧力を計測する圧力計とを前記煙
道側からこの順に配置し、前記圧力計の計測値が一定に
なるように前記制御装置により配管コンダクタンスを連
続的に変更制御することを特徴とする。[Means for Solving the Problems] A method for analyzing exhaust gas components in a vacuum refining furnace according to the first invention according to the present application includes communicating exhaust gas discharged from the vacuum refining furnace through a flue to the flue during vacuum refining. In this method, the exhaust gas is introduced into an analysis device through a sampling tube, and the components of the exhaust gas are analyzed by the analysis device, wherein the sampling tube includes a control device that continuously changes and controls the conductance, and a pressure gauge that measures the pressure of the exhaust gas. are arranged in this order from the flue side, and the control device continuously changes and controls the piping conductance so that the measured value of the pressure gauge becomes constant.
【0013】また、本願に係る第2発明の真空精錬炉に
おける排ガス成分分析方法は、第1発明において、前記
制御装置は、管特性が異なる複数の配管を有し、これら
の複数の配管を順次切替えることにより前記コンダクタ
ンスを連続的に制御することとし、次に切替えるべき配
管を予測し、予測した配管に実際に切替える前に分析対
象の排ガスをこの予測した配管に通じさせることを特徴
とする。[0013] Furthermore, in the method for analyzing exhaust gas components in a vacuum refining furnace according to the second invention according to the present application, in the first invention, the control device has a plurality of pipes having different pipe characteristics, and sequentially controls the plurality of pipes. The conductance is continuously controlled by switching, the pipe to be switched next is predicted, and the exhaust gas to be analyzed is passed through the predicted pipe before actually switching to the predicted pipe.
【0014】[0014]
【作用】第1発明にあっては、分析装置の入側のガス圧
力を計測し、その計測値に基づいてコンダクタンスを連
続的に変更制御する。従って、分析装置の入側のガス圧
力、即ち分析装置に導入される排ガスの圧力は常に一定
である。[Operation] In the first invention, the gas pressure on the inlet side of the analyzer is measured, and the conductance is continuously changed and controlled based on the measured value. Therefore, the gas pressure on the inlet side of the analyzer, ie, the pressure of the exhaust gas introduced into the analyzer, is always constant.
【0015】第2発明にあっては、切替えるべき次の配
管を予測し、この配管に実際に切替える前に、現在の成
分分析に影響を与えない程度にこの配管の切替え弁を開
いて排ガスをこの配管に通じさせる。そうしておくと、
配管内のガスが排ガスに置換される間も正確に成分分析
が行われ、連続した成分分析が可能である。[0015] In the second invention, the next pipe to be switched is predicted, and before actually switching to this pipe, the switching valve of this pipe is opened to the extent that the current component analysis is not affected, and the exhaust gas is removed. Connect this pipe. If you do that,
Component analysis is performed accurately even while the gas in the pipe is replaced with exhaust gas, making continuous component analysis possible.
【0016】[0016]
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
1は本発明の排ガス成分分析方法を実施するための装置
構成を示す概略図である。[Examples] Examples of the present invention will be described below. FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of an apparatus for implementing the exhaust gas component analysis method of the present invention.
【0017】図において1は、溶鋼が入った取鍋(図示
せず)を内部に収容し、溶鋼を真空精錬する真空精錬炉
である。真空精錬炉1には、真空精錬炉からの排ガスを
図中白抜き矢符方向に排気するための煙道たる排気ダク
ト2が連結されている。排気ダクト2には、排ガスの一
部を採取するためのガス採取管3が連通されており、ガ
ス採取管3の終端は、排ガスの成分を分析する質量分析
計4に連結している。ガス採取管3の中途は互いに並設
された5本の配管5a, 5b,5c, 5d, 5e
に分枝されており、各配管5a, 5b, 5c, 5
d, 5eには夫々1個ずつのコンダクタンス切替え弁
6a, 6b, 6c, 6d, 6eが取付けられて
いる。各配管5a, 5b, 5c,5d, 5eはそ
の長さまたは径が互いに異なり、コンダクタンス切替え
弁6a, 6b, 6c, 6d, 6eのうちのどの
弁を開くかによりコンダクタンスが制御される。In the figure, reference numeral 1 denotes a vacuum refining furnace that houses a ladle (not shown) containing molten steel and vacuum refines the molten steel. The vacuum refining furnace 1 is connected to an exhaust duct 2, which is a flue for exhausting exhaust gas from the vacuum refining furnace in the direction of the white arrow in the figure. A gas sampling pipe 3 for sampling part of the exhaust gas is connected to the exhaust duct 2, and the terminal end of the gas sampling pipe 3 is connected to a mass spectrometer 4 for analyzing the components of the exhaust gas. In the middle of the gas sampling pipe 3, there are five pipes 5a, 5b, 5c, 5d, and 5e arranged in parallel with each other.
Each pipe 5a, 5b, 5c, 5
Conductance switching valves 6a, 6b, 6c, 6d, and 6e are attached to conductance switching valves 6a, 6b, 6c, 6d, and 6e, respectively. Each of the pipes 5a, 5b, 5c, 5d, and 5e has a different length or diameter, and the conductance is controlled by which one of the conductance switching valves 6a, 6b, 6c, 6d, and 6e is opened.
【0018】これらのコンダクタンス切替え弁6a,
6b, 6c, 6d, 6eの設置位置より上流側の
ガス採取管3には、塵埃をろ過するフィルタ7が介設さ
れている。フィルタ7とコンダクタンス切替え弁6a,
6b, 6c, 6d, 6eとの間において、ガス
採取管3には排気管8が連通されており、この排気管8
の終端は排気を行う真空ポンプ9に連結されている。排
気管8の中途はコンダクタンスが異なる5本の配管10
a,10b,10c,10d,10e に分枝されてお
り、各配管10a,10b,10c,10d,10e
には夫々1個ずつのコンダクタンス切替え弁11a,1
1b,11c,11d,11e が取付けられている。
また、コンダクタンス切替え弁6a, 6b, 6c,
6d, 6eと質量分析計4との間において、ガス採
取管3には排気管12が連通されており、この排気管1
2の終端は排気を行う真空ポンプ13に連結されている
。排気管12の中途には、その開度が可変であるコンダ
クタンス調整弁14が取付けられている。These conductance switching valves 6a,
A filter 7 for filtering dust is interposed in the gas sampling pipe 3 upstream from the installation positions of 6b, 6c, 6d, and 6e. Filter 7 and conductance switching valve 6a,
6b, 6c, 6d, and 6e, an exhaust pipe 8 is connected to the gas sampling pipe 3, and this exhaust pipe 8
The terminal end is connected to a vacuum pump 9 for evacuation. In the middle of the exhaust pipe 8 are five pipes 10 with different conductances.
a, 10b, 10c, 10d, 10e, each pipe 10a, 10b, 10c, 10d, 10e
conductance switching valves 11a and 1, respectively.
1b, 11c, 11d, and 11e are attached. Further, conductance switching valves 6a, 6b, 6c,
6d, 6e and the mass spectrometer 4, an exhaust pipe 12 is connected to the gas sampling pipe 3.
The terminal end of 2 is connected to a vacuum pump 13 for evacuation. A conductance adjustment valve 14 whose opening degree is variable is installed in the middle of the exhaust pipe 12.
【0019】ガス採取管3のフィルタ7出側近傍にはガ
ス採取管3内のガス圧力を計測する真空度計15が設け
られ、その計測値は制御部16へ出力される。また、ガ
ス採取管3の質量分析計4入側近傍にはガス採取管3内
のガス圧力を計測する真空度計17が設けられ、その計
測値は制御部16へ出力される。更に、排気ダクト2に
は排気ダクト2内のガス圧力を計測する真空度計18が
設けられ、その計測値も制御部16へ出力される。制御
部16は、真空度計15, 17, 18にて得られる
計測値を入力し、これらの計測値に基づいて、コンダク
タンス調整弁14の開度を調整するための調整信号を出
力すると共に、コンダクタンス切替え弁6a, 6b,
6c, 6d, 6eから1個の切替え弁を開くため
の切替え信号及びコンダクタンス切替え弁11a,11
b,11c,11d,11e から1個の切替え弁を開
くための切替え信号を出力する。A vacuum gauge 15 for measuring the gas pressure inside the gas sampling tube 3 is provided near the outlet side of the filter 7 of the gas sampling tube 3, and the measured value is output to the control section 16. Further, a vacuum gauge 17 for measuring the gas pressure in the gas sampling tube 3 is provided near the mass spectrometer 4 inlet side of the gas sampling tube 3, and the measured value is output to the control section 16. Further, the exhaust duct 2 is provided with a vacuum gauge 18 that measures the gas pressure within the exhaust duct 2, and the measured value is also output to the control unit 16. The control unit 16 inputs the measurement values obtained by the vacuum gauges 15, 17, and 18, and outputs an adjustment signal for adjusting the opening degree of the conductance adjustment valve 14 based on these measurement values. conductance switching valves 6a, 6b,
Switching signal for opening one switching valve from 6c, 6d, 6e and conductance switching valve 11a, 11
A switching signal for opening one switching valve is output from the switching valves b, 11c, 11d, and 11e.
【0020】次に、動作について説明する。Next, the operation will be explained.
【0021】まず、コンダクタンス切替え弁6a, 6
b, 6c, 6d,6eから1個の切替え弁を選択し
て対応する配管を開いておくと共に、コンダクタンス切
替え弁11a,11b,11c,11d,11e から
1個の切替え弁を選択して対応する配管を開いておく。
また、コンダクタンス調整弁14を適当な開度に設定し
ておく。真空ポンプ9,13を駆動することにより、真
空精錬炉1にて発生した排ガスが、排気ダクト2からガ
ス採取管3を介して質量分析計4へ導入され、質量分析
計4においてその排ガスの成分が分析される。First, the conductance switching valves 6a, 6
Select one switching valve from b, 6c, 6d, and 6e to open the corresponding pipe, and select one switching valve from conductance switching valves 11a, 11b, 11c, 11d, and 11e. Leave the pipe open. Further, the conductance adjustment valve 14 is set to an appropriate opening degree. By driving the vacuum pumps 9 and 13, the exhaust gas generated in the vacuum refining furnace 1 is introduced from the exhaust duct 2 through the gas sampling pipe 3 to the mass spectrometer 4, and the components of the exhaust gas are analyzed in the mass spectrometer 4. is analyzed.
【0022】このような成分分析を行う過程にあって、
真空計17における計測値が一定になるように、コンダ
クタンス調整弁14の開度が制御部16により制御され
る。コンダクタンス調整弁14の制御域を越えるような
圧力変化が生じた場合には、真空計17における計測値
が一定となるように、コンダクタンス切替え弁6a,
6b, 6c, 6d,6e及び/またはコンダクタン
ス切替え弁11a,11b,11c,11d,11e
が制御部16により切替えられる。この際、制御部16
は、コンダクタンス切替えに遅れが生じないように、真
空計18の計測値に基づいて次に切替えるべき配管を予
測し、現在の成分分析に影響を及ぼさない程度に、その
配管のコンダクタンス切替え弁を開き、その配管に排ガ
スを通して中に残存しているガスと置換させる。In the process of conducting such component analysis,
The opening degree of the conductance adjustment valve 14 is controlled by the control unit 16 so that the measured value at the vacuum gauge 17 is constant. When a pressure change that exceeds the control range of the conductance adjustment valve 14 occurs, the conductance switching valve 6a,
6b, 6c, 6d, 6e and/or conductance switching valve 11a, 11b, 11c, 11d, 11e
is switched by the control section 16. At this time, the control unit 16
In order to avoid delays in conductance switching, the system predicts which piping should be switched next based on the measurement value of the vacuum gauge 18, and opens the conductance switching valve for that piping to the extent that it does not affect the current component analysis. , the exhaust gas is passed through the pipe to replace the gas remaining inside.
【0023】以上のように本発明の成分分析方法では、
質量分析計4の入側のガス圧力を計測し、その計測値が
一定になるようにコンダクタンスを制御するので、排ガ
スの圧力が急激に変化した場合においても、質量分析計
4に導入される排ガスの圧力は常に一定となり、排ガス
の正確な成分分析を行える。また、切替えを予測した配
管におけるコンダクタンス切替え弁を実際の切替え時よ
りも事前に少し開けておくので、コンダクタンス切替え
時の遅れ時間を補償でき、配管内のガスが排ガスに置換
される間も正確に成分分析が行われ、連続的な成分分析
が可能である。As described above, in the component analysis method of the present invention,
The gas pressure on the inlet side of the mass spectrometer 4 is measured and the conductance is controlled so that the measured value remains constant, so even if the pressure of the exhaust gas changes rapidly, the exhaust gas introduced into the mass spectrometer 4 The pressure is always constant, allowing accurate component analysis of exhaust gas. In addition, since the conductance switching valve in the piping where switching is predicted is opened slightly before the actual switching, it is possible to compensate for the delay time when switching the conductance, and it is possible to accurately replace the gas in the piping with exhaust gas. Component analysis is performed and continuous component analysis is possible.
【0024】次に、本発明の成分分析方法を実施して配
管切替えを行った例について説明する。図2は例えば配
管5aから配管5bに切替えた場合の例を示すグラフで
あり、横軸は時間を表し、縦軸は配管5a(コンダクタ
ンス切替え弁6a)の開度、配管5b(コンダクタンス
切替え弁6b)の開度、質量分析計4の入側のガス圧力
(真空度計17の計測値)及び成分分析値を表す。また
T1 は、次に切替えるべき配管が配管5bであること
を予測して配管5bを開き始めるタイミングを示し、T
2 は、実際に切替え指令を発したタイミングを示して
おり、このT1 〜T2 の間に配管5b内に残存する
ガスが真空精錬炉1からの排ガスに置換される。そして
、T1 〜T2 の間において、配管5a及び配管5b
の開度を図中A,Bのように制御することにより、質量
分析計4の入側のガス圧力を一定に保つ(図中C参照)
ことができる。この結果、排ガス成分を変動なく連続的
に分析できる(図中D参照)。Next, an example of pipe switching performed by implementing the component analysis method of the present invention will be described. FIG. 2 is a graph showing an example of switching from piping 5a to piping 5b, where the horizontal axis represents time and the vertical axis represents the opening degree of piping 5a (conductance switching valve 6a), ), the gas pressure on the inlet side of the mass spectrometer 4 (measured value by the vacuum gauge 17), and the component analysis value. Further, T1 indicates the timing at which piping 5b starts to open, predicting that the piping to be switched next is piping 5b, and T1
2 indicates the timing at which the switching command is actually issued, and the gas remaining in the pipe 5b is replaced with the exhaust gas from the vacuum refining furnace 1 between T1 and T2. Then, between T1 and T2, the pipe 5a and the pipe 5b
By controlling the opening degree as shown in A and B in the figure, the gas pressure on the inlet side of the mass spectrometer 4 is kept constant (see C in the figure).
be able to. As a result, exhaust gas components can be analyzed continuously without fluctuation (see D in the figure).
【0025】[0025]
【発明の効果】以上詳述したように、第1発明では、分
析装置の入側圧力の計測値に基づいてコンダクタンスを
制御するので、分析装置に導入される排ガスの圧力を常
に一定とすることができ、高精度に排ガスの成分を分析
することが可能である。また第2発明では、次に切替え
るべき配管を予測し、実際の切替えタイミングより事前
に、成分分析に影響を及ぼさない程度にその予測した配
管を開けて排ガスを導入するので、コンダクタンス切替
え時の遅れ時間を補償でき、正確な成分分析を連続的に
行うことが可能である。[Effects of the Invention] As detailed above, in the first invention, since the conductance is controlled based on the measured value of the inlet side pressure of the analyzer, the pressure of the exhaust gas introduced into the analyzer can always be kept constant. It is possible to analyze exhaust gas components with high precision. In addition, in the second invention, the pipe to be switched next is predicted, and the predicted pipe is opened and exhaust gas is introduced in advance of the actual switching timing to the extent that it does not affect the component analysis. It is possible to compensate for time and perform accurate component analysis continuously.
【0026】この結果、本願の発明によれば、真空精錬
炉からの排ガスの連続的なサンプリング,成分分析が可
能となり、真空精錬炉における脱炭量,脱水素量等を安
定して測定でき、終点炭素値,終点水素値等の制御を高
精度に行える等、本発明は優れた効果を奏する。As a result, according to the invention of the present application, continuous sampling and component analysis of the exhaust gas from the vacuum smelting furnace are possible, and the amount of decarburization, dehydrogenation, etc. in the vacuum smelting furnace can be stably measured. The present invention has excellent effects such as being able to control the end point carbon value, end point hydrogen value, etc. with high precision.
【図1】本発明に係る真空精錬炉における排ガス成分分
析方法を実施するための装置の構成を示す概略図である
。FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of an apparatus for carrying out a method for analyzing exhaust gas components in a vacuum refining furnace according to the present invention.
【図2】本発明の排ガス成分分析方法における配管切替
え例と質量分析計の入側圧力と成分分析値との関係を示
すグラフである。FIG. 2 is a graph showing an example of piping switching in the exhaust gas component analysis method of the present invention, and the relationship between the inlet pressure of the mass spectrometer and the component analysis value.
【図3】従来の排ガス成分分析方法を実施するための装
置の構成を示す概略図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing the configuration of an apparatus for implementing a conventional exhaust gas component analysis method.
【図4】従来の排ガス成分分析方法における問題点を説
明するためのバルブ切替え例と成分分析値との関係を示
すグラフである。FIG. 4 is a graph showing a relationship between valve switching examples and component analysis values to explain problems in the conventional exhaust gas component analysis method.
1 真空精錬炉
2 排気ダクト
3 ガス採取管
4 質量分析計
5a, 5b, 5c, 5d, 5e 配管6a,
6b, 6c, 6d, 6e コンダクタンス切
替え弁8 排気管
9 真空ポンプ
10a,10b,10c,10d,10e 配管1
1a,11b,11c,11d,11e コンダク
タンス切替え弁12 排気管
13 真空ポンプ
14 コンダクタンス調整弁
16 制御部
17 真空度計1 Vacuum refining furnace 2 Exhaust duct 3 Gas sampling pipe 4 Mass spectrometer 5a, 5b, 5c, 5d, 5e Piping 6a,
6b, 6c, 6d, 6e Conductance switching valve 8 Exhaust pipe 9 Vacuum pump 10a, 10b, 10c, 10d, 10e Piping 1
1a, 11b, 11c, 11d, 11e Conductance switching valve 12 Exhaust pipe 13 Vacuum pump 14 Conductance adjustment valve 16 Control unit 17 Vacuum gauge
Claims (2)
して排出される排ガスを、前記煙道に連通する採取管を
介して分析装置に導入し、該分析装置により前記排ガス
の成分を分析する方法において、前記採取管に、コンダ
クタンスを連続的に変更制御する制御装置と排ガスの圧
力を計測する圧力計とを前記煙道側からこの順に配置し
、前記圧力計の計測値が一定になるように前記制御装置
により配管コンダクタンスを連続的に変更制御すること
を特徴とする真空精錬炉における排ガス成分分析方法。1. The exhaust gas discharged from the vacuum refining furnace through a flue during vacuum refining is introduced into an analyzer via a sampling pipe communicating with the flue, and the analyzer analyzes the components of the exhaust gas. In the analysis method, a control device that continuously changes and controls the conductance and a pressure gauge that measures the pressure of the exhaust gas are arranged in this order from the flue side in the sampling pipe, and the measured value of the pressure gauge is kept constant. A method for analyzing exhaust gas components in a vacuum refining furnace, characterized in that the control device continuously changes and controls the piping conductance so that the control device achieves the following.
の配管を有し、これらの複数の配管を順次切替えること
により前記コンダクタンスを連続的に制御することとし
、次に切替えるべき配管を予測し、予測した配管に実際
に切替える前に分析対象の排ガスをこの予測した配管に
通じさせることを特徴とする請求項1記載の真空精錬炉
における排ガス成分分析方法。2. The control device has a plurality of pipes having different pipe characteristics, continuously controls the conductance by sequentially switching the plurality of pipes, and predicts the pipe to be switched next. 2. The method for analyzing exhaust gas components in a vacuum refining furnace according to claim 1, wherein the exhaust gas to be analyzed is passed through the predicted piping before actually switching to the predicted piping.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5945191A JPH04272121A (en) | 1991-02-27 | 1991-02-27 | Method for analyzing component of waste gas in vacuum refining furnace |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5945191A JPH04272121A (en) | 1991-02-27 | 1991-02-27 | Method for analyzing component of waste gas in vacuum refining furnace |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04272121A true JPH04272121A (en) | 1992-09-28 |
Family
ID=13113677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5945191A Pending JPH04272121A (en) | 1991-02-27 | 1991-02-27 | Method for analyzing component of waste gas in vacuum refining furnace |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04272121A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103409588A (en) * | 2013-08-02 | 2013-11-27 | 江苏永钢集团有限公司 | Interconnection intercommunication device for two converting furnace gas chambers |
| JP2016141875A (en) * | 2015-02-04 | 2016-08-08 | 新日鐵住金株式会社 | Exhaust gas component analyzer and method for vacuum decarburization treatment of molten steel |
| JP2020082166A (en) * | 2018-11-29 | 2020-06-04 | 大同特殊鋼株式会社 | Remelting furnace and remelting method |
-
1991
- 1991-02-27 JP JP5945191A patent/JPH04272121A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103409588A (en) * | 2013-08-02 | 2013-11-27 | 江苏永钢集团有限公司 | Interconnection intercommunication device for two converting furnace gas chambers |
| JP2016141875A (en) * | 2015-02-04 | 2016-08-08 | 新日鐵住金株式会社 | Exhaust gas component analyzer and method for vacuum decarburization treatment of molten steel |
| JP2020082166A (en) * | 2018-11-29 | 2020-06-04 | 大同特殊鋼株式会社 | Remelting furnace and remelting method |
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