JPH04273988A - セラミックス焼成炉 - Google Patents
セラミックス焼成炉Info
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- JPH04273988A JPH04273988A JP5941891A JP5941891A JPH04273988A JP H04273988 A JPH04273988 A JP H04273988A JP 5941891 A JP5941891 A JP 5941891A JP 5941891 A JP5941891 A JP 5941891A JP H04273988 A JPH04273988 A JP H04273988A
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 20
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 22
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 15
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 4
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 42
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
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- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 2
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
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- 239000002341 toxic gas Substances 0.000 description 1
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- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はセラミックスの被焼成物
を、保護雰囲気を用いて焼成するためのバッチ式のセラ
ミックス焼成炉に関し、特に積み重ねられた匣内に収容
された被焼成物に効果的に雰囲気ガスを供給することが
できるようにしたセラミックス焼成炉に関する。
を、保護雰囲気を用いて焼成するためのバッチ式のセラ
ミックス焼成炉に関し、特に積み重ねられた匣内に収容
された被焼成物に効果的に雰囲気ガスを供給することが
できるようにしたセラミックス焼成炉に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、被焼成物を保護雰囲気を用いて焼
成するためのバッチ式のセラミックス焼成炉は、例えば
図５に示すように、炉本体１０２と炉床１０３から構成
され、炉本体１０２は耐熱性の天井１０２ａと炉側壁１
０２ｂとから形成され、これらに囲まれた炉内１０４に
供給管１０６，１０７及び排気管１０９，１１０が設け
られている。この排気管１０９，１１０は多段に積み重
ねられた匣１０５の周囲に配置されている。そして、図
示していないヒータにより炉内１０４を加熱し、供給管
１０６，１０７により雰囲気ガスを供給し、排気管１０
９，１１０により雰囲気ガスを排気しながら匣１０５内
に入れられた多数のセラミックス成形体等の被焼成物を
焼成する。しかしながら、上記のような従来の焼成炉で
は雰囲気ガスの供給量を増やしても、炉内にガスのよど
みの部分が発生してしまい、匣内の各被焼成物に十分に
雰囲気ガスを供給できず、多段に積み重ねた匣を用いて
焼成する場合、品質のバラツキが著しかった。そこで、
これらの問題を解決するため、積み重ねられた匣の間隙
部を狙って雰囲気ガスを供給する方法も試みられている
。
成するためのバッチ式のセラミックス焼成炉は、例えば
図５に示すように、炉本体１０２と炉床１０３から構成
され、炉本体１０２は耐熱性の天井１０２ａと炉側壁１
０２ｂとから形成され、これらに囲まれた炉内１０４に
供給管１０６，１０７及び排気管１０９，１１０が設け
られている。この排気管１０９，１１０は多段に積み重
ねられた匣１０５の周囲に配置されている。そして、図
示していないヒータにより炉内１０４を加熱し、供給管
１０６，１０７により雰囲気ガスを供給し、排気管１０
９，１１０により雰囲気ガスを排気しながら匣１０５内
に入れられた多数のセラミックス成形体等の被焼成物を
焼成する。しかしながら、上記のような従来の焼成炉で
は雰囲気ガスの供給量を増やしても、炉内にガスのよど
みの部分が発生してしまい、匣内の各被焼成物に十分に
雰囲気ガスを供給できず、多段に積み重ねた匣を用いて
焼成する場合、品質のバラツキが著しかった。そこで、
これらの問題を解決するため、積み重ねられた匣の間隙
部を狙って雰囲気ガスを供給する方法も試みられている
。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の積み重ねられた匣の間隙部を狙って雰囲気ガスを供
給する炉においては、雰囲気ガスの供給方向と排気方向
が常に一定であるため、又は匣外周のみの供給、排気の
ため、雰囲気ガスが偏流あるいは渦流となり、匣内の被
焼成物の各々に行き渡らず、焼成品の品質のバラツキが
大きかった。
来の積み重ねられた匣の間隙部を狙って雰囲気ガスを供
給する炉においては、雰囲気ガスの供給方向と排気方向
が常に一定であるため、又は匣外周のみの供給、排気の
ため、雰囲気ガスが偏流あるいは渦流となり、匣内の被
焼成物の各々に行き渡らず、焼成品の品質のバラツキが
大きかった。
【０００４】本発明は上記のような事情に鑑みてなされ
たものであり、焼成炉内に設けられた保護雰囲気ガスの
供給管、排気管の組合せを選択することにより、多段に
積み重ねられた被焼成物に効果的に雰囲気ガスを供給す
るセラミックス焼成炉を提供することを目的とする。
たものであり、焼成炉内に設けられた保護雰囲気ガスの
供給管、排気管の組合せを選択することにより、多段に
積み重ねられた被焼成物に効果的に雰囲気ガスを供給す
るセラミックス焼成炉を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係るセラミック
ス焼成炉は、耐熱壁に囲まれた炉内に、被焼成物を入れ
た匣を多段に積み重ね、供給管により雰囲気ガスを供給
し、排気管により雰囲気ガスを排気しながら被焼成物を
焼成するセラミックス焼成炉において、上記匣の積み重
ね上下方向に貫通して先端部が閉じた円筒を設け、該円
筒には上記各匣の空間に複数個の細孔が位置するように
多数の細孔を設け、上記各供給管、排気管及び上記円筒
に雰囲気ガスの流通を開閉する切替え弁を設け、炉内の
雰囲気の流れを切替えることを特徴とする。
ス焼成炉は、耐熱壁に囲まれた炉内に、被焼成物を入れ
た匣を多段に積み重ね、供給管により雰囲気ガスを供給
し、排気管により雰囲気ガスを排気しながら被焼成物を
焼成するセラミックス焼成炉において、上記匣の積み重
ね上下方向に貫通して先端部が閉じた円筒を設け、該円
筒には上記各匣の空間に複数個の細孔が位置するように
多数の細孔を設け、上記各供給管、排気管及び上記円筒
に雰囲気ガスの流通を開閉する切替え弁を設け、炉内の
雰囲気の流れを切替えることを特徴とする。
【０００６】
【作用】雰囲気ガスの供給管と排気管を、それぞれに設
けられた切替え弁の開閉により選択して使用し、炉内に
ガスの流れを積極的に発生させるので、炉内における雰
囲気ガスのよどみ、偏流、渦流がなくなる。
けられた切替え弁の開閉により選択して使用し、炉内に
ガスの流れを積極的に発生させるので、炉内における雰
囲気ガスのよどみ、偏流、渦流がなくなる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明に係る一実施例を図面に基づい
て説明する。図１及び図２は本発明に係るセラミックス
焼成炉の一実施例を説明するための概略図である。図に
おいて、１はセラミックス焼成炉、２は炉本体、３は炉
扉である。炉本体２は天井２ａ、側壁２ｂ、炉床２ｃ、
炉扉３からなり、これらで囲まれた炉内４に多段に匣５
が積み重ねられ、この匣５の周囲に位置するように、複
数の雰囲気ガスの供給管６，７，８と、複数の排気管９
，１０が設けられている。匣５の中央部にはその上下方
向に貫通して、上部の先端部が閉じた円筒１１が設けら
れ、この円筒１１には多数の細孔１１ａが設けられてい
る。各供給管６，７，８及び各排気管９，１０にはそれ
ぞれ切替え弁６ｂ，７ｂ，８ｂ及び９ｂ，１０ｂが設け
られ、これらの弁によって連通又は遮断の制御がされる
ようになっている。炉内に積載される匣５に、セラミッ
クスの原料から成形された多数の被焼成物が収容され、
被焼成物と保護雰囲気とがよく接触するように保護雰囲
気の流れを良くしている。
て説明する。図１及び図２は本発明に係るセラミックス
焼成炉の一実施例を説明するための概略図である。図に
おいて、１はセラミックス焼成炉、２は炉本体、３は炉
扉である。炉本体２は天井２ａ、側壁２ｂ、炉床２ｃ、
炉扉３からなり、これらで囲まれた炉内４に多段に匣５
が積み重ねられ、この匣５の周囲に位置するように、複
数の雰囲気ガスの供給管６，７，８と、複数の排気管９
，１０が設けられている。匣５の中央部にはその上下方
向に貫通して、上部の先端部が閉じた円筒１１が設けら
れ、この円筒１１には多数の細孔１１ａが設けられてい
る。各供給管６，７，８及び各排気管９，１０にはそれ
ぞれ切替え弁６ｂ，７ｂ，８ｂ及び９ｂ，１０ｂが設け
られ、これらの弁によって連通又は遮断の制御がされる
ようになっている。炉内に積載される匣５に、セラミッ
クスの原料から成形された多数の被焼成物が収容され、
被焼成物と保護雰囲気とがよく接触するように保護雰囲
気の流れを良くしている。
【０００８】匣５はこの例では上部と前後端が開放した
函体にセラミックスから形成され、複数段に積み重ねら
れた各空間に被焼成物が収容される。この匣５を貫通し
て設けられた円筒１１の細孔１１ａが各匣５の空間に配
設されている。円筒１１の炉外側には切替え弁１１ｂが
設けられている。この切替え弁１１ｂは図示していない
コントローラに接続され、そのコントローラの制御信号
により開閉が制御され、円筒１１からの排気の流通を制
御する。
函体にセラミックスから形成され、複数段に積み重ねら
れた各空間に被焼成物が収容される。この匣５を貫通し
て設けられた円筒１１の細孔１１ａが各匣５の空間に配
設されている。円筒１１の炉外側には切替え弁１１ｂが
設けられている。この切替え弁１１ｂは図示していない
コントローラに接続され、そのコントローラの制御信号
により開閉が制御され、円筒１１からの排気の流通を制
御する。
【０００９】供給管６，７は、炉内の匣５の左右にそれ
ぞれ上下方向に挿通して配設され、各供給管６，７の炉
外側にはそれぞれ切替え弁６ｂ，７ｂが設けられている
。切替え弁６ｂ，７ｂは図示していないコントローラに
接続され、そのコントローラの制御信号により開閉が制
御され、各切替え弁６ｂ，７ｂの開閉が別々に又は両管
同時に行われ、雰囲気ガスの供給を制御する。また、各
供給管６，７の炉内部にはその軸方向に沿って複数の細
孔６ａ，７ａがそれぞれ２列に設けられている。各切替
え弁６ｂ、７ｂを開いて供給管６，７内に供給した雰囲
気ガスは細孔６ａ，７ａを通して炉内４に供給される。
ぞれ上下方向に挿通して配設され、各供給管６，７の炉
外側にはそれぞれ切替え弁６ｂ，７ｂが設けられている
。切替え弁６ｂ，７ｂは図示していないコントローラに
接続され、そのコントローラの制御信号により開閉が制
御され、各切替え弁６ｂ，７ｂの開閉が別々に又は両管
同時に行われ、雰囲気ガスの供給を制御する。また、各
供給管６，７の炉内部にはその軸方向に沿って複数の細
孔６ａ，７ａがそれぞれ２列に設けられている。各切替
え弁６ｂ、７ｂを開いて供給管６，７内に供給した雰囲
気ガスは細孔６ａ，７ａを通して炉内４に供給される。
【００１０】供給管８は炉内上部に表裏面方向に挿通さ
れて設けられ、炉内側にはその軸方向に沿ってそれぞれ
２列に複数の細孔８ａが設けられ、炉外側に切替え弁８
ｂが設けられている。切替え弁８ｂは図示していないコ
ントローラに接続され、そのコントローラからの制御信
号により開閉が制御され、切替え弁８ｂを開いて供給管
８内に供給した雰囲気ガスは細孔８ａを通して炉内４に
供給される。
れて設けられ、炉内側にはその軸方向に沿ってそれぞれ
２列に複数の細孔８ａが設けられ、炉外側に切替え弁８
ｂが設けられている。切替え弁８ｂは図示していないコ
ントローラに接続され、そのコントローラからの制御信
号により開閉が制御され、切替え弁８ｂを開いて供給管
８内に供給した雰囲気ガスは細孔８ａを通して炉内４に
供給される。
【００１１】排気管９，１０は、炉内４の左右の下部に
それぞれ表裏面方向に挿通されて設けられ、その炉内側
に軸方向に沿って複数の細孔９ａ，１０ａがそれぞれ２
列に設けられ、炉外にそれぞれ切替え弁９ｂ，１０ｂが
設けられている。各切替え弁９ｂ，１０ｂは図示してい
ないコントローラに接続され、そのコントローラからの
制御信号により、開閉が制御され、切替え弁９ｂ又は１
０ｂを開いて、炉内４の雰囲気をこの細孔９ａ又は１０
ｂから排気管９又は１０内を通して炉外に排出する。
それぞれ表裏面方向に挿通されて設けられ、その炉内側
に軸方向に沿って複数の細孔９ａ，１０ａがそれぞれ２
列に設けられ、炉外にそれぞれ切替え弁９ｂ，１０ｂが
設けられている。各切替え弁９ｂ，１０ｂは図示してい
ないコントローラに接続され、そのコントローラからの
制御信号により、開閉が制御され、切替え弁９ｂ又は１
０ｂを開いて、炉内４の雰囲気をこの細孔９ａ又は１０
ｂから排気管９又は１０内を通して炉外に排出する。
【００１２】次に上記構成のセラミックス焼成炉の切替
弁の開閉による雰囲気ガスの流れを図３及び図４を用い
て説明する。図示していないヒータを運転し、加熱する
とともに図３に示すタイムチャートにより各切替え弁を
制御する。先ず第１段目で供給管６の切替え弁６ｂを開
、排気管１０の切替え弁１０ｂを開、その他の切替弁７
ｂ，８ｂ，９ｂ，１１ｂを閉とする。この時、炉内雰囲
気ガスの流れは図４（ａ）に示すように、供給管６の細
孔６ａから供給されて匣５の間を通って右側方向に流れ
、細孔１０ａから集められて排気管１０から炉外に排出
される。
弁の開閉による雰囲気ガスの流れを図３及び図４を用い
て説明する。図示していないヒータを運転し、加熱する
とともに図３に示すタイムチャートにより各切替え弁を
制御する。先ず第１段目で供給管６の切替え弁６ｂを開
、排気管１０の切替え弁１０ｂを開、その他の切替弁７
ｂ，８ｂ，９ｂ，１１ｂを閉とする。この時、炉内雰囲
気ガスの流れは図４（ａ）に示すように、供給管６の細
孔６ａから供給されて匣５の間を通って右側方向に流れ
、細孔１０ａから集められて排気管１０から炉外に排出
される。
【００１３】次いで、第２段目の操作で弁を切り換えて
、供給管７の切替え弁７ｂを開、排気管９の切替え弁９
ｂを開、その他の切替え弁６ｂ，８ｂ，１０ｂ，１１ｂ
を閉とする。この時の炉内雰囲気ガスの流れは図４（ｂ
）に示すように上記第１段目と逆方向に供給され、排気
管９から炉外に排出される。
、供給管７の切替え弁７ｂを開、排気管９の切替え弁９
ｂを開、その他の切替え弁６ｂ，８ｂ，１０ｂ，１１ｂ
を閉とする。この時の炉内雰囲気ガスの流れは図４（ｂ
）に示すように上記第１段目と逆方向に供給され、排気
管９から炉外に排出される。
【００１４】第３段目の操作で弁を切り換えて各供給管
６，７，８の切替え弁６ｂ，７ｂ，８ｂを開、円筒１１
の切替え弁１１ｂを開、その他の弁９ｂ，１０ｂを閉と
する。この時の炉内雰囲気ガスの流れは図４（ｃ）に示
すように、匣５の周囲から供給され、匣５の中央部に集
められて円筒１１から炉外に排出される。
６，７，８の切替え弁６ｂ，７ｂ，８ｂを開、円筒１１
の切替え弁１１ｂを開、その他の弁９ｂ，１０ｂを閉と
する。この時の炉内雰囲気ガスの流れは図４（ｃ）に示
すように、匣５の周囲から供給され、匣５の中央部に集
められて円筒１１から炉外に排出される。
【００１５】第４段目の操作で弁を切り換えて供給管８
の切替え弁８ｂを開、各排気管９，１０の切替え弁９ｂ
，１０ｂを開、その他の弁６ｂ，７ｂ，１１ｂを閉とす
る。この時の炉内４の雰囲気ガスの流れは図４（ｄ）に
示すように、主として匣５の周囲を上方から供給され、
下方に流れて排気管１０，１１から炉外に排出される。
の切替え弁８ｂを開、各排気管９，１０の切替え弁９ｂ
，１０ｂを開、その他の弁６ｂ，７ｂ，１１ｂを閉とす
る。この時の炉内４の雰囲気ガスの流れは図４（ｄ）に
示すように、主として匣５の周囲を上方から供給され、
下方に流れて排気管１０，１１から炉外に排出される。
【００１６】第５段目の操作で弁を切り換えて、各供給
管６，７の切替え弁６ｂ，７ｂを開、円筒１１の切替え
弁１１ｂを開とし、その他の弁８ｂ，９ｂ，１０ｂを閉
とする。この時の炉内雰囲気ガスの流れは図４（ｅ）に
示すように、匣５の横から中央部に水平方向に集められ
て円筒１１から炉外に排出される。
管６，７の切替え弁６ｂ，７ｂを開、円筒１１の切替え
弁１１ｂを開とし、その他の弁８ｂ，９ｂ，１０ｂを閉
とする。この時の炉内雰囲気ガスの流れは図４（ｅ）に
示すように、匣５の横から中央部に水平方向に集められ
て円筒１１から炉外に排出される。
【００１７】第６段目の操作で弁を切り換えて各供給管
６，７，８の切替え弁６ｂ，７ｂ，８ｂを開とし、各排
気管９，１０及び円筒１１の切替え弁９ｂ，１０ｂ，１
１ｂを開の全切替え弁を開とする。炉内雰囲気ガスは図
４（ｆ）に示すように、水平流と垂直流となるとともに
、匣５の中央部の円筒１１と左右の下部の排気管９，１
０から排出される。この場合、最も多量のガスを供給及
び排気することになるので、特に炉内の雰囲気ガスを置
換する際有効となる。つまり、炉内の雰囲気ガスの置換
に必要な時間を短縮することができるので、脱脂時に発
生する有害なガスを迅速に炉外に排出したり、炉内の冷
却速度を早くすることができるようになり、生産性を向
上させることができる。
６，７，８の切替え弁６ｂ，７ｂ，８ｂを開とし、各排
気管９，１０及び円筒１１の切替え弁９ｂ，１０ｂ，１
１ｂを開の全切替え弁を開とする。炉内雰囲気ガスは図
４（ｆ）に示すように、水平流と垂直流となるとともに
、匣５の中央部の円筒１１と左右の下部の排気管９，１
０から排出される。この場合、最も多量のガスを供給及
び排気することになるので、特に炉内の雰囲気ガスを置
換する際有効となる。つまり、炉内の雰囲気ガスの置換
に必要な時間を短縮することができるので、脱脂時に発
生する有害なガスを迅速に炉外に排出したり、炉内の冷
却速度を早くすることができるようになり、生産性を向
上させることができる。
【００１８】第７段目以降は、第１段目から第６段目の
操作を繰り返す。このように、切替え弁の開閉を独立し
て行うことにより、炉内雰囲気ガスの流れを変えるので
、炉内でガスのよどみがなくなり、匣内の被焼成物に沿
ってガスが流れ、雰囲気ガスと被焼成物との接触がよく
なり、被焼成物の焼成ムラが防げる。なお、上記におい
て、２列に複数の細孔を設けた供給管８を２個炉上部に
沿って挿通している例について示したが、炉の天井の複
数個所に匣の上に挿通したものであってもよく、供給管
、排気管の位置等も上記の例に限られない。また、切替
え弁の開閉操作ステップを６段の例について説明したが
、開閉の操作は６段に限らないし、開閉の順序も上記例
に限らず、被焼成物の状態等によって適宜変えることが
好ましい。また、切替え弁は開、閉する例で説明したが
、流量をそれぞれ変える制御を組み合わせて、炉内の雰
囲気や炉圧の制御をすれば一層焼成品の品質が向上する
。その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で修正、
変更実施することが可能である。
操作を繰り返す。このように、切替え弁の開閉を独立し
て行うことにより、炉内雰囲気ガスの流れを変えるので
、炉内でガスのよどみがなくなり、匣内の被焼成物に沿
ってガスが流れ、雰囲気ガスと被焼成物との接触がよく
なり、被焼成物の焼成ムラが防げる。なお、上記におい
て、２列に複数の細孔を設けた供給管８を２個炉上部に
沿って挿通している例について示したが、炉の天井の複
数個所に匣の上に挿通したものであってもよく、供給管
、排気管の位置等も上記の例に限られない。また、切替
え弁の開閉操作ステップを６段の例について説明したが
、開閉の操作は６段に限らないし、開閉の順序も上記例
に限らず、被焼成物の状態等によって適宜変えることが
好ましい。また、切替え弁は開、閉する例で説明したが
、流量をそれぞれ変える制御を組み合わせて、炉内の雰
囲気や炉圧の制御をすれば一層焼成品の品質が向上する
。その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で修正、
変更実施することが可能である。
【００１９】
【発明の効果】本発明にかかるセラミックス焼成炉によ
れば、炉内における雰囲気ガスのよどみ、偏流、渦流が
なくなるので、被焼成物に均一かつ十分に雰囲気ガスを
供給できる。したがって、炉内における焼成温度のバラ
ツキも小さくなり、焼成品の品質のバラツキを小さくで
きる。また、炉内の雰囲気ガスの置換に必要とする時間
を短縮できるので、脱脂時に発生する有毒なガスを迅速
に炉外に排出したり、炉内の冷却速度を速くすることが
できるようになり、生産性も向上することができる。
れば、炉内における雰囲気ガスのよどみ、偏流、渦流が
なくなるので、被焼成物に均一かつ十分に雰囲気ガスを
供給できる。したがって、炉内における焼成温度のバラ
ツキも小さくなり、焼成品の品質のバラツキを小さくで
きる。また、炉内の雰囲気ガスの置換に必要とする時間
を短縮できるので、脱脂時に発生する有毒なガスを迅速
に炉外に排出したり、炉内の冷却速度を速くすることが
できるようになり、生産性も向上することができる。
【００２０】
【図１】本発明の一実施例によるセラミックス焼成炉の
断面図で、（ａ） は縦断面図、（ｂ） は図１（ａ）
のＡ−Ａ線に沿う横断面図である。
断面図で、（ａ） は縦断面図、（ｂ） は図１（ａ）
のＡ−Ａ線に沿う横断面図である。
【図２】上記実施例の匣を貫通する円筒の説明図で、（
ａ） は取付け状態を示す斜視図、（ｂ） は円筒の細
孔の状態を示す正面図である。
ａ） は取付け状態を示す斜視図、（ｂ） は円筒の細
孔の状態を示す正面図である。
【図３】上記実施例の弁の切替えのタイムチャートであ
る。
る。
【図４】上記実施例の炉内雰囲気の流れを説明する図で
、（ａ）〜（ｆ）はそれぞれ弁の切替えによる炉内流れ
の変化の説明図である。
、（ａ）〜（ｆ）はそれぞれ弁の切替えによる炉内流れ
の変化の説明図である。
【図５】従来のセラミックス焼成炉の縦断面図である。
２ 炉本体
４ 炉内
５ 匣
６，７，８ 供給管
６ｂ，７ｂ，８ｂ，９ｂ，１０ｂ，１１ｂ 切替え弁
９，１０ 排気管 １１ 円筒 １１ａ 細孔
９，１０ 排気管 １１ 円筒 １１ａ 細孔
Claims (1)
- 【請求項１】耐熱壁に囲まれた炉内に、被焼成物を入れ
た匣を多段に積み重ね、供給管により雰囲気ガスを供給
し、排気管により雰囲気ガスを排気しながら被焼成物を
焼成するセラミックス焼成炉において、上記匣の積み重
ね上下方向に貫通して先端部が閉じた円筒を設け、該円
筒には上記各匣の空間に複数個の細孔が位置するように
多数の細孔を設け、上記各供給管、排気管及び上記円筒
に、雰囲気ガスの流通を開閉する切替え弁を設け、炉内
の雰囲気ガスの流れを切替えることを特徴とするセラミ
ックス焼成炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05941891A JP3263847B2 (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | セラミックス焼成炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05941891A JP3263847B2 (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | セラミックス焼成炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04273988A true JPH04273988A (ja) | 1992-09-30 |
| JP3263847B2 JP3263847B2 (ja) | 2002-03-11 |
Family
ID=13112702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05941891A Expired - Lifetime JP3263847B2 (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | セラミックス焼成炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3263847B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002333283A (ja) * | 2001-05-09 | 2002-11-22 | Murata Mfg Co Ltd | 熱処理炉、および熱処理炉のガス供給方法 |
| KR100558445B1 (ko) * | 2003-11-10 | 2006-03-10 | 삼성전기주식회사 | 단속식 급기시스템을 갖는 연속소성로 |
| JP2018013256A (ja) * | 2016-07-19 | 2018-01-25 | 日本碍子株式会社 | 雰囲気炉 |
-
1991
- 1991-02-28 JP JP05941891A patent/JP3263847B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002333283A (ja) * | 2001-05-09 | 2002-11-22 | Murata Mfg Co Ltd | 熱処理炉、および熱処理炉のガス供給方法 |
| KR100558445B1 (ko) * | 2003-11-10 | 2006-03-10 | 삼성전기주식회사 | 단속식 급기시스템을 갖는 연속소성로 |
| JP2018013256A (ja) * | 2016-07-19 | 2018-01-25 | 日本碍子株式会社 | 雰囲気炉 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3263847B2 (ja) | 2002-03-11 |
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