JPH04274014A

JPH04274014A - 薄膜磁気ヘッド

Info

Publication number: JPH04274014A
Application number: JP5787391A
Authority: JP
Inventors: Mikio Matsuzaki; 幹男松崎; Kiichirou Ezaki; 城一朗江▲崎▼
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1991-02-28
Filing date: 1991-02-28
Publication date: 1992-09-30

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、スライダの媒体流出方
向の一端側に薄膜磁気変換素子を設けた浮上型の薄膜磁
気ヘッドに関し、スライダを磁性体で構成すると共に、
薄膜磁気変換素子を設けた一端側において、空気ベアリ
ング面の媒体流出方向と交叉する方向に間隔を隔てて２
つの凹部を設け、凹部間のスライダ部分を下部ポール部
とすることにより、下部ポール部を含む下部磁性膜形成
工程を省略でき、しかも加工性、耐摩耗性、摺動性にす
ぐれた低コストのスライダを有する薄膜磁気ヘッドが得
られるようにしたものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、磁気ディスク装置には、磁気
記録媒体の走行によって生じる動圧を利用して、磁気記
録媒体との間に微小な空気ベアリングによる間隙を保っ
て浮上する薄膜磁気ヘッドが用いられている。その基本
的な構成は、磁気記録媒体と対向する面側に空気ベアリ
ング面を有するスライダの空気流出端部側に薄膜磁気変
換素子を備える構造となっている。図１３は米国特許第
４，８５６，１８１号明細書等で知られたこの種の薄膜
磁気ヘッドの基本的な構造を示し、セラミック構造体で
なるスライダ１の媒体対向面側に、間隔をおいて２本の
レール部１０１、１０２を突設し、レール部１０１、１
０２の表面を高度の平面度を有する空気ベアリング面１
０３、１０４とすると共に、レール部１０１、１０２の
空気流出方向ａの端部のそれぞれに薄膜磁気変換素子２
を設けてある。

【０００３】第１４図を参照すると、スライダ１は、Ａ
ｌ２Ｏ３　−ＴｉＣ　等で構成される基体部分１１０に
、Ａｌ２Ｏ３　等でなる絶縁膜１２０をスパッタ等の手
段によって付着させた構造となっていて、絶縁膜１２０
の上に薄膜磁気変換素子２を設けてある。

【０００４】薄膜磁気変換素子２はＩＣ製造テクノロジ
と同様のプロセスにしたがって形成された薄膜素子であ
る。２１はパーマロイ等でなる下部磁性膜、２２はＡｌ
２Ｏ３　等で形成されたギャップ膜、２３はパーマロイ
等でなる上部磁性膜、２４はコイル、２５１〜２５３は
フォトレジスト等で形成された膜間絶縁膜、２６はＡｌ
２Ｏ３　等の保護膜、２７、２８はリード導体である。

【０００５】下部磁性膜２１及び上部磁性膜２３は、先
端部がギャップ膜２２を介して対向する下部ポール部２
１１及び上部ポール部２３１となっていて、下部ポール
部２１１、ギャップ膜２２及び上部ポール部２３１によ
り、変換ギャップを構成している。下部ポール部２１１
及び上部ポール部２３１にはヨーク部２１２、２３２が
連続しており、ヨーク部２１２、２３２は後方の結合部
２３３において磁気回路を完成するように互いに結合さ
れている。コイル２４は結合部２３３のまわりを渦巻状
にまわるように形成されている。コイル２４の両端はリ
ード導体２７、２８に接続されている。リード導体２７
、２８は取出電極４１、４２を形成する領域まで導出さ
れ、その端部に取出電極４１、４２が形成されている。取出電極４１、４２の周りは薄膜磁気変換素子２の全体
を保護する保護膜２６によって覆われている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の薄膜磁気ヘッドには、次のような問題点がある
。（Ａ）Ａｌ２Ｏ３　−ＴｉＣ　等で構成される基体部分
１１０に、Ａｌ２Ｏ３　等でなる絶縁膜１２０を付着さ
せた後、絶縁膜１２０の上に、ＩＣ製造テクノロジーと
同様のプロセスによって、下部ポール部２１１を有する
下部磁性膜２１を形成しなければならない。このため、
工程数が多くなる。（Ｂ）下部磁性膜２１の下部ポール部２１１及び上部磁
性膜の上部ポール部２３１のトラック方向幅は、下部磁
性膜２１及び上部磁性膜２３をフォトリソグラフィによ
って形成する時のパターンニングによって決定されてし
まい、後で変更することができない。このため、トラッ
ク方向幅が所定の値に入っていない場合は、不良品とな
る等、歩留の低下を招く。

【０００７】そこで、本発明の課題は、上述する従来の
問題点を解決し、下部ポール部となる下部磁性膜形成工
程を省略でき、しかも加工性、耐摩耗性、摺動性にすぐ
れた低コストのスライダを有する薄膜磁気ヘッドを提供
することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上述した課題解決のため
、本発明は、スライダは、磁性体で構成されており、前
記薄膜磁気変換素子は、前記スライダによる下部磁性体
と、前記下部磁性体と共に磁気回路を構成する上部磁性
膜と、前記下部磁性体及び上部磁性膜の一部として、先
端面が空気ベアリング面に現われるように形成された下
部ポール部及び上部ポール部と、前記下部ポール部及び
前記上部ポール部の間に設けられたギャップ膜と、後方
において前記下部磁性体及び上部磁性膜を結合する結合
部と、前記結合部の周りに渦巻状に形成されたコイルと
を有しており、前記スライダは、前記薄膜磁気変換素子
を設けた一端側に、前記空気ベアリング面の媒体流出方
向と交叉する方向に間隔を隔てて設けられた２つの凹部
を有しており、前記下部ポール部は、前記凹部間のスラ
イダ部分によって形成されていることを特徴とする。

【０００９】

【作用】スライダは、例えばフェライト等の磁性体で構
成されているから、加工性、耐摩耗性及び摺動性が向上
する。

【００１０】下部ポール部は、磁性体でなるスライダ部
分によって構成されているから、従来と異なって、下部
ポール部を得るための下部磁性膜形成工程が不要でる。このため、工程数が減少する。

【００１１】しかも、下部ポール部は、空気ベアリング
面の媒体流出方向と交叉する方向に間隔を隔てて形成さ
れた２つの凹部間のスライダ部分によって構成されてい
るから、凹部の位置によって、ポール部のトラック方向
幅を調整し、例えば高密度記録に対応するためのトラッ
ク方向幅の狭幅化等を容易に実現できる。

【００１２】

【実施例】図１は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの斜視図
、図２は薄膜磁気変換素子部分の拡大図、図３は同じく
その拡大斜視図、図４は同じく拡大断面図である。図に
おいて、図１３〜図１４と同一の参照符号は同一性ある
構成部分を示している。５はスライダである。スライダ
５は、その全体が例えばフェライト等の磁性体で構成さ
れている。このため、耐摩耗性及び摺動性が向上する。図示のスライダ５は、従来と同様に、媒体対向面側に、
間隔をおいて２本のレール部５１、５２を突設し、レー
ル部５１、５２の表面を高度の平面度を有する空気ベア
リング面５３、５４とすると共に、レール部５１、５２
の空気流出方向ａの端部のそれぞれに薄膜磁気変換素子
２を設けてある。

【００１３】薄膜磁気変換素子２は、スライダ５による
下部磁性体と、下部磁性体と共に磁気回路を構成する上
部磁性膜２３と、下部磁性体及び上部磁性膜２３の一部
として、先端面が空気ベアリング面５３、５４に現われ
るように形成された下部ポール部５５及び上部ポール部
２３１と、下部ポール部５５及び上部ポール部２３１の
間に設けられたギャップ膜２２と、後方においてスライ
ダ５で構成された下部磁性体及び上部磁性膜２３を結合
する結合部２３３と、結合部２３３の周りに渦巻状に形
成されたコイル２４とを有している。２５１〜２５３は
膜間絶縁膜である。

【００１４】スライダ５は、薄膜磁気変換素子２を設け
た一端側に、空気ベアリング面５３、５４の媒体流出方
向ａと交叉する方向に間隔Ｗ２を隔てて設けられた２つ
の凹部６１、６２を有している。図示の凹部６１、６２
は、幅Ｗ１　を有して媒体流出方向ａにほぼ平行に延び
る凹溝となっている。下部ポール部５５はこの凹部６１
ー６２間のスライダ部分によって形成されている。上述
のように、下部ポール部５５は、磁性体でなるスライダ
部分によって構成されているから、従来と異なって、下
部ポール部を得るための下部磁性膜形成工程が不要でる
。このため、工程数が減少する。

【００１５】しかも、下部ポール部５５は、空気ベアリ
ング面５３、５４の媒体流出方向ａと交叉する方向に間
隔　Ｗ２　を隔てて形成された２つの凹部６１ー６２間
のスライダ部分によって構成されているから、凹部６１
、６２の位置、幅等によって、下部ポール部５５のトラ
ック方向幅Ｗ２　を調整し、高密度記録に対応するため
のトラック方向幅の狭幅化等を容易に実現できる。

【００１６】凹部６１、６２の深さｄ１　は１μｍ以上
であって、上部ポール部２３１のスロートハイトＴＨと
ほぼ同じか、または、それよりも少し大きくなるように
設定する。このような凹部６１、６２は、マスク及びイ
オンミーリングの併用またはフォーカスド・イオンミー
リング等の手段によって形成できる。

【００１７】図示の凹部６１、６２は、媒体流出方向ａ
の外端面を構成する保護膜２６の表面２６１に達してい
る。かかる構造であると、媒体摺動時における凹部６１
、６２の摺動ダスト排出が容易になる。

【００１８】図５は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの他の
実施例を示す部分拡大斜視図である。この実施例では、
凹部６１、６２は、下部ポール部５５のみならず、上部
ポール部２３１のトラック方向幅Ｗ２を設定するように
設けられている。

【００１９】図６は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に
別の実施例を示す部分拡大斜視図である。この実施例で
は、凹部６１、６２は三方を開口させた段状に形成され
ている。

【００２０】図７は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に
別の実施例を示す斜視図である。磁性体で構成されたス
ライダ５は、媒体対向面側の空気ベアリング面５６がレ
ール部のない平面となっている。薄膜磁気変換素子２は
１個だけであり、この１個の薄膜磁気変換素子２に対し
て、凹部６１、６２による下部ポール部５５が形成され
ている。

【００２１】図８は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に
別の実施例における斜視図を示している。薄膜磁気変換
素子２は磁性体でなるスライダ５の幅方向のほぼ中間部
に配置されている。また、取出電極４１、４２はスライ
ダ５の幅方向に横並びに配置されている。スライダ５は
薄膜磁気変換素子２を設けた一端側に、空気ベアリング
面５６の媒体流出方向ａと交叉する方向に間隔を隔てて
設けられた２つの凹部６１、６２を有しており、下部ポ
ール部５５は凹部６１ー６２間のスライダ部分によって
形成されている。

【００２２】図７及び図８の実施例によれば高密度記録
、高速アクセスに適した小型の薄膜磁気ヘッドを実現で
きる。

【００２３】図９は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に
別の実施例を示す部分拡大斜視図、図１０は同じくその
作用を説明する図である。スライダ５は、ポール部のト
ラック方向幅を定める凹部６１、６２の外に、上部ポー
ル部２３１のギャップ膜２２とは反対側の端部にかかる
ように設けられた他の凹部６３を有する。凹部６３の底
面は凹部６１、６２の底面は一致させてもよい。また、
凹部６３は段状ではなく、傾斜面であってもよい。この
ような凹部６３は凹部６１、６２と同様の手段によって
形成できる。図１０を参照すると、凹部６３を設けた上
部ポール部２３１の端面は、第１の端面Ｐ１１と第２の
端面Ｐ１２とで構成さる。第２の端面Ｐ１２は変換ギャ
ップＧのある方向とは反対側にあって、第１の端面Ｐ１
１から後退量ｄ２を持って段差状に後退する。

【００２４】上述のような構造であると、磁界分布に関
して支配的なポール端面の先端厚みが、第１の端面Ｐ１
１の先端厚みＴ１１によって定まる値まで縮小する。こ
のため、磁界分布Ｌ２　が鋭化され、媒体Ｍ上の磁化分
布Ｌ２　が決定される媒体流出端側における磁界強度の
傾斜が急峻になる。

【００２５】しかも、再生時には、第１の端面Ｐ１１と
第２の端面Ｐ１２とを分ける境界に生じる副パルスが主
パルスと近接した位置で発生する。得られる再生波形は
、主パルスと境界に生じる副パルスとの合成となるから
、副パルスが主パルスの鋭化を助長する方向に作用する
。これらの２つの理由で、再生波形が鋭化され、ＰＷ５
０値が小さくなり、高密度記録が可能になる。また、境
界に発生する副パルスが主パルスと合成される結果、再
生波形におけるアンダーシュートが抑制される。再生波
形の鋭化については、図１１及び図１２の実施例におい
て、更に詳しく説明する。

【００２６】図１１は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更
に別の実施例を示す部分拡大斜視図、図１２は同じくそ
の作用を説明する図である。スライダ５は、ポール部の
トラック方向幅を定める凹部６１、６２、上部ポール部
２３１のギャップ膜２２とは反対側の端部にかかるよう
に設けられた凹部６３の外に、下部ポール部５５のギャ
ップ膜２２とは反対側の端部にかかるように設けられた
凹部６４を有する。凹部６４を設けた下部ポール部５５
の端面は、第３の端面Ｐ２１と第４の端面Ｐ２２とで構
成されている。第４の端面Ｐ２２は変換ギャップＧのあ
る方向とは反対側にあって、第３の端面Ｐ２１から後退
量ｄ３　を持って段差状に後退する。

【００２７】この実施例の場合は、凹部６３の作用に対
し、凹部６４の作用も加わるので、磁界分布が一層鋭化
され、媒体上の磁化分布が決定される媒体流出端側にお
ける磁界強度の傾斜が更に急峻になる。

【００２８】しかも、再生時には、凹部６３による第１
の端面Ｐ１１と第２の端面Ｐ１２とを分ける境界に生じ
る副パルスＬ１２、及び、凹部６４による第３の端面Ｐ
２１と第４の端面Ｐ２２とを分ける境界に生じる副パル
スＬ１３が主パルスＬ１１と近接した位置で発生する。得られる再生波形Ｌ１　は、主パルスＬ１１と副パルス
Ｌ１２、　Ｌ１３との合成となるから、副パルスＬ１２
、Ｌ１３が主パルスＬ１１の鋭化を助長する方向に作用
する。これらの２つの理由で、再生波形Ｌ１　が鋭化さ
れ、ＰＷ５０値が小さくなり、高密度記録が可能になる
。しかも、境界に発生する副パルスＬ１２、Ｌ１３が主
パルスＬ１１と合成される結果、再生波形Ｌ１　におけ
るアンダーシュートが抑制される。

【００２９】図示は省略するが、図１〜図１２の実施例
を組合せた変形例が多数存在することは言うまでもない
。

【００３０】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果が得られる。（ａ）スライダは、フェライト等の磁性体で構成されて
いるから、加工性、耐摩耗性及び摺動性の高い薄膜磁気
ヘッドを提供できる。（ｄ）下部ポール部は磁性体でなるスライダ部分によっ
て構成されているから、下部ポール部を得るための下部
磁性膜形成工程が不要で、工程数が少なく、低コストの
製造の容易な薄膜磁気ヘッドを提供できる。（ｃ）下部ポール部は、空気ベアリング面の媒体流出方
向と交叉する方向に間隔を隔てて形成された２つの凹部
間のスライダ部分によって構成されているから、凹部の
位置によって、ポール部のトラック方向幅を調整し、高
密度記録に対応するためのトラック方向幅の狭幅化等を
容易に実現し得る薄膜磁気ヘッドを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの斜視図である。

【図２】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの薄膜磁気変換素
子部分の拡大図である。

【図３】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの磁気変換素子部
分の拡大斜視図である。

【図４】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの拡大断面図であ
る。

【図５】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの他の実施例を示
す部分拡大斜視図である。

【図６】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に別の実施例
を示す部分拡大斜視図である。

【図７】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に別の実施例
を示す斜視図である。

【図８】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に別の実施例
を示す斜視図である。

【図９】図９は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に別の
実施例を示す部分拡大斜視図である。

【図１０】図９に示した本発明に係る薄膜磁気ヘッドの
作用を説明する図である。

【図１１】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に別の実施
例を示す部分拡大斜視図である。

【図１２】図１１に示した本発明に係る薄膜磁気ヘッド
の作用を説明する図である。

【図１３】従来の薄膜磁気ヘッドの斜視図である。

【図１４】従来の薄膜磁気ヘッドの磁気変換素子部分の
拡大断面図である。

【符号の説明】

２　　　　　　　　　　　　　　　　　　磁気変換素子
２２　　　　　　　　　　　　　　　　ギャップ膜２３
　　　　　　　　　　　　　　　　上部磁性膜２３１　
　　　　　　　　　　　　　上部ポール部２４　　　　
　　　　　　　　　　　　コイル５　　　　　　　　　
　　　　　　　　　スライダ５３、５４、５６　　　　
空気ベアリング面５５　　　　　　　　　　　　　　　
　下部ポール部６１、６２　　　　　　　　　　凹部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　スライダと、前記スライダの媒体流出
方向の一端側に設けられた薄膜磁気変換素子とを含む薄
膜磁気ヘッドであって、前記スライダは、磁性体で構成
されており、前記薄膜磁気変換素子は、前記スライダに
よる下部磁性体と、前記下部磁性体と共に磁気回路を構
成する上部磁性膜と、前記下部磁性体及び上部磁性膜の
一部として、先端面が空気ベアリング面に現われるよう
に形成された下部ポール部及び上部ポール部と、前記下
部ポール部及び前記上部ポール部の間に設けられたギャ
ップ膜と、後方において前記下部磁性体及び上部磁性膜
を結合する結合部と、前記結合部の周りに渦巻状に形成
されたコイルとを有しており、前記スライダは、前記薄
膜磁気変換素子を設けた一端側に、前記空気ベアリング
面の媒体流出方向と交叉する方向に間隔を隔てて設けら
れた２つの凹部を有しており、前記下部ポール部は、前
記凹部間のスライダ部分によって形成されていることを
特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項２】　　前記スライダは、フェライトで構成さ
れていることを特徴とする請求項１に記載の薄膜磁気ヘ
ッド。
【請求項３】　　前記凹部は、媒体流出方向の外端面に
達していることを特徴とする請求項１または２に記載の
薄膜磁気ヘッド。
【請求項４】　　前記凹部は、前記上部ポール部のトラ
ック方向幅を設定するように設けられていることを特徴
とする請求項１、２または３に記載の薄膜磁気ヘッド。
【請求項５】　　前記スライダは、前記空気ベアリング
面に、前記上部ポール部の前記ギャップ膜とは反対側の
端部にかかるように設けられた他の凹部を有することを
特徴とする請求項１、２、３または４に記載の薄膜磁気
ヘッド。
【請求項６】　　前記スライダは、前記空気ベアリング
面に、前記下部ポール部の前記ギャップ膜とは反対側の
端部にかかるように設けられた他の凹部を有することを
特徴とする請求項１、２、３、４または５に記載の薄膜
磁気ヘッド。