JPH0427503B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0427503B2 JPH0427503B2 JP58204716A JP20471683A JPH0427503B2 JP H0427503 B2 JPH0427503 B2 JP H0427503B2 JP 58204716 A JP58204716 A JP 58204716A JP 20471683 A JP20471683 A JP 20471683A JP H0427503 B2 JPH0427503 B2 JP H0427503B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic head
- sample
- support rod
- fixing member
- ultrasonic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 claims description 3
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は超音波顕微鏡に関するものである。
（従来技術）
超音波顕微鏡においては、通常、圧電トランス
ジユーサを有する超音波ヘツドと、試料を載置し
た試料台との距離を近づけながら、その出力によ
り自動的に、あるいは手動的に焦点合わせを行な
うようにしている。しかし、このようにして焦点
合わせを行なうにあたつて、従来、超音波ヘツド
と試料とが当接したのを検知する特別な手段がな
かつたため、これらが当接しているにも拘らず更
に両者を押し付けてしまつて試料や超音波ヘツド
あるいはその支持機構等を損傷することがしばし
ばあつた。また、試料の走査中に、試料面の凹凸
によつて超音波ヘツドと試料とが当接して同様に
試料や超音波ヘツド等が損傷することがあつた。
ジユーサを有する超音波ヘツドと、試料を載置し
た試料台との距離を近づけながら、その出力によ
り自動的に、あるいは手動的に焦点合わせを行な
うようにしている。しかし、このようにして焦点
合わせを行なうにあたつて、従来、超音波ヘツド
と試料とが当接したのを検知する特別な手段がな
かつたため、これらが当接しているにも拘らず更
に両者を押し付けてしまつて試料や超音波ヘツド
あるいはその支持機構等を損傷することがしばし
ばあつた。また、試料の走査中に、試料面の凹凸
によつて超音波ヘツドと試料とが当接して同様に
試料や超音波ヘツド等が損傷することがあつた。
（発明の目的）
本発明の目的は、上述した点に鑑み、超音波ヘ
ツドと試料との当接による試料、超音波ヘツド等
の損傷を有効に防止し得るよう適切に構成した超
音波顕微鏡を提供しようとするものである。
ツドと試料との当接による試料、超音波ヘツド等
の損傷を有効に防止し得るよう適切に構成した超
音波顕微鏡を提供しようとするものである。
（発明の概要）
本発明の超音波顕微鏡は、圧電トランスジユー
サを有する超音波ヘツドを保持し、超音波の投射
方向と直交する方向に延在する支持棒と、この支
持棒をエアベアリングを介して長手方向に変位可
能に保持する固定部材と、前記支持棒と固定部材
との間に直列に接続した電源および通電検知回路
を有し、前記超音波ヘツドの試料への当接による
前記支持棒と固定部材との接触を検知する保護装
置とを具えることを特徴とするものである。
サを有する超音波ヘツドを保持し、超音波の投射
方向と直交する方向に延在する支持棒と、この支
持棒をエアベアリングを介して長手方向に変位可
能に保持する固定部材と、前記支持棒と固定部材
との間に直列に接続した電源および通電検知回路
を有し、前記超音波ヘツドの試料への当接による
前記支持棒と固定部材との接触を検知する保護装
置とを具えることを特徴とするものである。
（実施例）
第１図、第２図および第３図は本発明の超音波
顕微鏡の要部の一例の構成を示す断面図、部分平
面図および側面図である。圧電トランスジユーサ
を有する超音波ヘツド１１は、超音波の投射方向
と直交する方向に延在する導電性の支持棒１２の
ほぼ中央に着脱自在に取付け、この支持棒１２を
超音波ヘツド１１の両側においてエアベアリング
１３，１４を介して導電性の固定部材１５に保持
すると共に、その両端部を固定部材１５に絶縁部
材１６，１７を介して取付けた板ばね１８，１９
に支持して、固定部材１５と電気的に絶縁した状
態で長手方向に変位可能に構成する。この支持棒
１２の一端には、ボイスコイル２０を、その中心
軸が支持棒１２の長手方向で、かつ磁気回路を構
成するポールピース２１の外周に位置するように
取付ける。磁気回路は、ポールピース２１と、こ
のポールピース２１の一端に設けた磁石２２と、
この磁石２２から発生する磁束がボイスコイル２
０を横切るように、ボイスコイル２０を介してポ
ールピース２１と対向して配置したリング状のヨ
ーク２３と、このヨーク２３と磁石２２とを連結
するヨーク２４とをもつて構成し、超音波ヘツド
１１の先端がヨーク２３，２４から突出するよう
に、非磁性スリーブ２５を介して非磁性のねじ２
６により固定部材１５に取付ける。
顕微鏡の要部の一例の構成を示す断面図、部分平
面図および側面図である。圧電トランスジユーサ
を有する超音波ヘツド１１は、超音波の投射方向
と直交する方向に延在する導電性の支持棒１２の
ほぼ中央に着脱自在に取付け、この支持棒１２を
超音波ヘツド１１の両側においてエアベアリング
１３，１４を介して導電性の固定部材１５に保持
すると共に、その両端部を固定部材１５に絶縁部
材１６，１７を介して取付けた板ばね１８，１９
に支持して、固定部材１５と電気的に絶縁した状
態で長手方向に変位可能に構成する。この支持棒
１２の一端には、ボイスコイル２０を、その中心
軸が支持棒１２の長手方向で、かつ磁気回路を構
成するポールピース２１の外周に位置するように
取付ける。磁気回路は、ポールピース２１と、こ
のポールピース２１の一端に設けた磁石２２と、
この磁石２２から発生する磁束がボイスコイル２
０を横切るように、ボイスコイル２０を介してポ
ールピース２１と対向して配置したリング状のヨ
ーク２３と、このヨーク２３と磁石２２とを連結
するヨーク２４とをもつて構成し、超音波ヘツド
１１の先端がヨーク２３，２４から突出するよう
に、非磁性スリーブ２５を介して非磁性のねじ２
６により固定部材１５に取付ける。
このようにして、ボイスコイル２０に所要の交
番電流を供給することにより、ボイスコイル２０
および支持棒１２を介して超音波ヘツド１１を超
音波の投射方向と直交する方向に振動させて、超
音波ヘツド１１の下方に配置される試料を走査す
る。
番電流を供給することにより、ボイスコイル２０
および支持棒１２を介して超音波ヘツド１１を超
音波の投射方向と直交する方向に振動させて、超
音波ヘツド１１の下方に配置される試料を走査す
る。
本例では、第２図に示すように、固定部材１５
および絶縁部材１６に保持される一方の板ばね１
８の一端部にそれぞれ接続して給電端子２７，２
８を設け、これら給電端子２７，２８間に保護装
置２９を設ける。本例ではこの保護装置２９を、
給電端子２７，２８間に直列に接続した電源３０
および通電検知回路３１と、この通電検知回路３
１の出力によつて制御されるランプやブザーを有
する警報回路３２とをもつて構成し、超音波ヘツ
ド１１と試料とが当接して、エアベアリング１
３，１４の部分において支持棒１２が固定部材１
５に接触したときの通電検知回路３０の出力によ
り警報回路３２を作動させる。
および絶縁部材１６に保持される一方の板ばね１
８の一端部にそれぞれ接続して給電端子２７，２
８を設け、これら給電端子２７，２８間に保護装
置２９を設ける。本例ではこの保護装置２９を、
給電端子２７，２８間に直列に接続した電源３０
および通電検知回路３１と、この通電検知回路３
１の出力によつて制御されるランプやブザーを有
する警報回路３２とをもつて構成し、超音波ヘツ
ド１１と試料とが当接して、エアベアリング１
３，１４の部分において支持棒１２が固定部材１
５に接触したときの通電検知回路３０の出力によ
り警報回路３２を作動させる。
このようにすれば、警報回路３２の作動によ
り、超音波ヘツド１１と試料との接触を検知する
ことができるから、これにより例えば試料台の超
音波ヘツド１１の方向への移動を停止させること
によつて、試料や超音波ヘツド１１等の損傷を有
効に防止することができる。
り、超音波ヘツド１１と試料との接触を検知する
ことができるから、これにより例えば試料台の超
音波ヘツド１１の方向への移動を停止させること
によつて、試料や超音波ヘツド１１等の損傷を有
効に防止することができる。
なお、本発明は上述した例にのみ限定されるも
のではなく、幾多の変形または変更が可能であ
る。例えば、上述した例では通電検知回路３１の
出力によつて警報回路３２を駆動させるようにし
たが、その出力によつてボイスコイル２０への通
電を遮断したり、試料台を超音波ヘツド１１から
離間する方向に自動的に移動させることもでき
る。また上述した例は、試料台を超音波ヘツド１
１に対して接近および離間する方向に移動させる
場合について説明したが、これは超音波ヘツド１
１、その支持および駆動機構を含む第１図に示す
構成部分全体を試料台に対して接近および離間す
る方向に移動させる場合でも同様である。更に、
超音波ヘツド１１を振動させる手段は上述したボ
イスコイルを用いる以外に、圧電バイモルフ板、
偏心カム、電磁石等を用いて構成することもでき
る。
のではなく、幾多の変形または変更が可能であ
る。例えば、上述した例では通電検知回路３１の
出力によつて警報回路３２を駆動させるようにし
たが、その出力によつてボイスコイル２０への通
電を遮断したり、試料台を超音波ヘツド１１から
離間する方向に自動的に移動させることもでき
る。また上述した例は、試料台を超音波ヘツド１
１に対して接近および離間する方向に移動させる
場合について説明したが、これは超音波ヘツド１
１、その支持および駆動機構を含む第１図に示す
構成部分全体を試料台に対して接近および離間す
る方向に移動させる場合でも同様である。更に、
超音波ヘツド１１を振動させる手段は上述したボ
イスコイルを用いる以外に、圧電バイモルフ板、
偏心カム、電磁石等を用いて構成することもでき
る。
（発明の効果）
以上述べたように、本発明においては、試料と
超音波ヘツドとの当接を検知するようにしたか
ら、これにより試料と超音波ヘツドとの必要以上
の当接を有効に防止できる。したがつて、これら
試料や超音波ヘツド等の損傷を有効に防止するこ
とができる。
超音波ヘツドとの当接を検知するようにしたか
ら、これにより試料と超音波ヘツドとの必要以上
の当接を有効に防止できる。したがつて、これら
試料や超音波ヘツド等の損傷を有効に防止するこ
とができる。
第１図は本発明の超音波顕微鏡の要部の一例の
構成を示す断面図、第２図は第１図の部分平面
図、第３図は同じく側面図である。 １１…超音波ヘツド、１２…支持棒、１３，１
４…エアベアリング、１５…固定部材、１６，１
７…絶縁部材、１８，１９…板ばね、２０…ボイ
スコイル、２１…ポールピース、２２…磁石、２
３，２４…ヨーク、２５…非磁性スリーブ、２６
…ねじ、２７，２８…給電端子、２９…保護装
置、３０…電源、３１…通電検知回路、３２…警
報回路。
構成を示す断面図、第２図は第１図の部分平面
図、第３図は同じく側面図である。 １１…超音波ヘツド、１２…支持棒、１３，１
４…エアベアリング、１５…固定部材、１６，１
７…絶縁部材、１８，１９…板ばね、２０…ボイ
スコイル、２１…ポールピース、２２…磁石、２
３，２４…ヨーク、２５…非磁性スリーブ、２６
…ねじ、２７，２８…給電端子、２９…保護装
置、３０…電源、３１…通電検知回路、３２…警
報回路。
Claims (1)
- １ 圧電トランスジユーサを有する超音波ヘツド
を保持し、超音波の投射方向と直交する方向に延
在する支持棒と、この支持棒をエアベアリングを
介して長手方向に変位可能に保持する固定部材
と、前記支持棒と固定部材との間に直列に接続し
た電源および通電検知回路を有し、前記超音波ヘ
ツドの試料への当接による前記支持棒と固定部材
との接触を検知する保護装置とを具えることを特
徴とする超音波顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58204716A JPS6097258A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58204716A JPS6097258A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6097258A JPS6097258A (ja) | 1985-05-31 |
| JPH0427503B2 true JPH0427503B2 (ja) | 1992-05-12 |
Family
ID=16495120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58204716A Granted JPS6097258A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6097258A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102788847A (zh) * | 2012-07-20 | 2012-11-21 | 广西大学 | 声发射检测中连接传感器的谐振传导杆 |
-
1983
- 1983-11-02 JP JP58204716A patent/JPS6097258A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6097258A (ja) | 1985-05-31 |
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