JPH04276091A - 連続電鋳方法 - Google Patents
連続電鋳方法Info
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- JPH04276091A JPH04276091A JP3352100A JP35210091A JPH04276091A JP H04276091 A JPH04276091 A JP H04276091A JP 3352100 A JP3352100 A JP 3352100A JP 35210091 A JP35210091 A JP 35210091A JP H04276091 A JPH04276091 A JP H04276091A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、一般に精密マイクロフ
ァブリケーションにより部品を成形する連続プロセスに
関しており、特に、インクジェットプリンタのプリント
ヘッド用インクジェットオリフィスプレートを組み立て
るプロセスに関している。
ァブリケーションにより部品を成形する連続プロセスに
関しており、特に、インクジェットプリンタのプリント
ヘッド用インクジェットオリフィスプレートを組み立て
るプロセスに関している。
【０００２】
【従来技術および発明が解決しようとする課題】インク
ジェットプリンタ用プリントヘッドは、プリントヘッド
の各々に、基板と、中間障壁層と、各々が基板の気化室
と対をなしているノズルオリフィスの配列を含むノズル
プレートとを含むことが知られている。また、インクジ
ェットプリントヘッド一式には、気化キャビティを１つ
のインキ供給リザーバと接続する手段を含む。
ジェットプリンタ用プリントヘッドは、プリントヘッド
の各々に、基板と、中間障壁層と、各々が基板の気化室
と対をなしているノズルオリフィスの配列を含むノズル
プレートとを含むことが知られている。また、インクジ
ェットプリントヘッド一式には、気化キャビティを１つ
のインキ供給リザーバと接続する手段を含む。
【０００３】実際、インクジェットプリンタの印字特性
は、プリントヘッドのノズルの物理的特性により決まる
。プリントヘッドオリフィスノズルの形状は、例えば、
インキ小滴噴射の大きさ、軌道、および速度に影響を及
ぼす。さらに、プリントヘッドオリフィスノズルの形状
は、関連する気化室へのインキ供給流量に影響を及ぼし
、ときには、隣接ノズルからインキを噴射する方法に影
響を及ぼすことがある。
は、プリントヘッドのノズルの物理的特性により決まる
。プリントヘッドオリフィスノズルの形状は、例えば、
インキ小滴噴射の大きさ、軌道、および速度に影響を及
ぼす。さらに、プリントヘッドオリフィスノズルの形状
は、関連する気化室へのインキ供給流量に影響を及ぼし
、ときには、隣接ノズルからインキを噴射する方法に影
響を及ぼすことがある。
【０００４】実際、インクジェットプリントヘッド用ノ
ズルプレートは、しばしば、石版電鋳プロセスによりニ
ッケルで組み立てられる。適切な石版電鋳プロセスの一
例は、米国特許第４，７７３，９７１号に記述されてい
る。該特許に記述されたプロセスでは、ニッケルノズル
プレートは、パターンを付けた誘電体層で被われた導電
体を含む再使用可能なマンドレルにより形成される。ノ
ズルプレートを形成するためには、再使用可能マンドレ
ルを電鋳浴に入れて、マンドレルの導電部分にニッケル
が電気メッキされる。
ズルプレートは、しばしば、石版電鋳プロセスによりニ
ッケルで組み立てられる。適切な石版電鋳プロセスの一
例は、米国特許第４，７７３，９７１号に記述されてい
る。該特許に記述されたプロセスでは、ニッケルノズル
プレートは、パターンを付けた誘電体層で被われた導電
体を含む再使用可能なマンドレルにより形成される。ノ
ズルプレートを形成するためには、再使用可能マンドレ
ルを電鋳浴に入れて、マンドレルの導電部分にニッケル
が電気メッキされる。
【０００５】ヒューレットパッカード・ジャーナル、１
９８５年５月号、３３−３７頁グレイ・エル・シーウェ
ル（Ｇｒａｙ Ｌ．Ｓｉｅｗｅｌｌ）他により著され
た“シンクジェットオリフィスプレート：多くの機能を
伴うパート”という論文に、入念に制御されたオーバプ
レーティングによりフォトレジストのピラーのまわりに
ノズルを形成するという、１つの電鋳ステップにより作
るオリフィスプレートが開示されている。さらに詳細に
は、該論文は、ステンレス鋼マンドレルが（１）バリ取
りされ、バニシ仕上げされて、清掃され、（２）フォト
レジスト層が表面上に回転加工（ｓｐｕｎ）され、マニ
フォールドに保護部分を形成するためにパターン化され
、（３）露出表面は指定深さまで均一にエッチングされ
、（４）レジストは除去されて、マンドレルはバニシ仕
上げされて再び清掃され、（５）フォトレジストの新し
い被覆が回転加工されパターン化されて障壁およびスタ
ンドオフを定義し、（６）障壁およびスタンドオフがエ
ッチングされることを開示している。
９８５年５月号、３３−３７頁グレイ・エル・シーウェ
ル（Ｇｒａｙ Ｌ．Ｓｉｅｗｅｌｌ）他により著され
た“シンクジェットオリフィスプレート：多くの機能を
伴うパート”という論文に、入念に制御されたオーバプ
レーティングによりフォトレジストのピラーのまわりに
ノズルを形成するという、１つの電鋳ステップにより作
るオリフィスプレートが開示されている。さらに詳細に
は、該論文は、ステンレス鋼マンドレルが（１）バリ取
りされ、バニシ仕上げされて、清掃され、（２）フォト
レジスト層が表面上に回転加工（ｓｐｕｎ）され、マニ
フォールドに保護部分を形成するためにパターン化され
、（３）露出表面は指定深さまで均一にエッチングされ
、（４）レジストは除去されて、マンドレルはバニシ仕
上げされて再び清掃され、（５）フォトレジストの新し
い被覆が回転加工されパターン化されて障壁およびスタ
ンドオフを定義し、（６）障壁およびスタンドオフがエ
ッチングされることを開示している。
【０００６】さらに、シーウェル氏の論文は、次のよう
にしてオリフィスプレートを作ることができることを開
示している。（１）乾燥膜フォトレジストによりステン
レス鋼マンドレルを積層し、（２）オリフィスまたはノ
ズルに円形パッドまたはピラーを残しておくようにレジ
ストを露出して現し、（３）障壁およびスタンドオフを
定めるために、マンドレルにエッチングされる溝の内部
を含めた、露出ステンレス鋼部分にニッケルでマンドレ
ルを電気メッキし、（４）マンドレルからメッキを剥し
、メッキされた金属を酸化物表面にほんの弱く固着させ
てあるステンレス鋼上の酸化物表面により、電気メッキ
膜は容易に除去され、（５）ニッケル箔からフォトレジ
ストを剥すことによりオリフィスプレートを作ることが
できる。該論文に依れば、レジストがマンドレル上にあ
る限りニッケル箔には開口部がある。さらに、該論文は
、マンドレル上に形成される非常に多くのオリフィスプ
レートを、単体で除去して、薄膜基板の相アレイに結合
させ、個々のプリントヘッドに分割させることのできる
ブレークタブ（ｂｒｅａｋ ｔａｂｓ）などの、各オ
リフィスプレートの縁を定めるために、レジストが用い
られることを明言している。
にしてオリフィスプレートを作ることができることを開
示している。（１）乾燥膜フォトレジストによりステン
レス鋼マンドレルを積層し、（２）オリフィスまたはノ
ズルに円形パッドまたはピラーを残しておくようにレジ
ストを露出して現し、（３）障壁およびスタンドオフを
定めるために、マンドレルにエッチングされる溝の内部
を含めた、露出ステンレス鋼部分にニッケルでマンドレ
ルを電気メッキし、（４）マンドレルからメッキを剥し
、メッキされた金属を酸化物表面にほんの弱く固着させ
てあるステンレス鋼上の酸化物表面により、電気メッキ
膜は容易に除去され、（５）ニッケル箔からフォトレジ
ストを剥すことによりオリフィスプレートを作ることが
できる。該論文に依れば、レジストがマンドレル上にあ
る限りニッケル箔には開口部がある。さらに、該論文は
、マンドレル上に形成される非常に多くのオリフィスプ
レートを、単体で除去して、薄膜基板の相アレイに結合
させ、個々のプリントヘッドに分割させることのできる
ブレークタブ（ｂｒｅａｋ ｔａｂｓ）などの、各オ
リフィスプレートの縁を定めるために、レジストが用い
られることを明言している。
【０００７】
【課題を解決するための手段】概して言えば、本発明は
、精密マイクロファブリケーションを要求する部品を製
造するための、連続電鋳プロセスおよび装置をもたらす
。望ましい実施例では、該プロセスに、再使用可能パタ
ーンを有するマンドレルの表面を電鋳槽に通して移動さ
せる第一ステップと、マンドレル表面を浴槽で移動させ
ながら、パターンの形状のマンドレル表面上に金属層を
蒸着させる第二ステップと、金属層を選択厚さまで蒸着
した後で、マンドレル表面から金属層を分離する第三ス
テップがある。
、精密マイクロファブリケーションを要求する部品を製
造するための、連続電鋳プロセスおよび装置をもたらす
。望ましい実施例では、該プロセスに、再使用可能パタ
ーンを有するマンドレルの表面を電鋳槽に通して移動さ
せる第一ステップと、マンドレル表面を浴槽で移動させ
ながら、パターンの形状のマンドレル表面上に金属層を
蒸着させる第二ステップと、金属層を選択厚さまで蒸着
した後で、マンドレル表面から金属層を分離する第三ス
テップがある。
【０００８】実際、該マンドレルは様々な形をとること
ができる。例えば、マンドレルを可動ベルトにすること
ができる。別の実施例では、マンドレルを回転ドラムに
することができる。
ができる。例えば、マンドレルを可動ベルトにすること
ができる。別の実施例では、マンドレルを回転ドラムに
することができる。
【０００９】マンドレルを可動ベルトにするときには、
ベルトは、例えば、再使用可能パターンを形成するチタ
ンまたはクロム／チタンなどの金属化薄膜を有するポリ
イミドなどの重合体シートで作ることができる。その代
りに、ベルトは、再使用可能パターンを定めるための炭
化珪素、窒化物または酸化物などの誘電体を有する電気
導電体シートで作ることもできる。
ベルトは、例えば、再使用可能パターンを形成するチタ
ンまたはクロム／チタンなどの金属化薄膜を有するポリ
イミドなどの重合体シートで作ることができる。その代
りに、ベルトは、再使用可能パターンを定めるための炭
化珪素、窒化物または酸化物などの誘電体を有する電気
導電体シートで作ることもできる。
【００１０】マンドレルをドラムにするときには、再使
用可能パターンを定めるための炭化珪素、窒化物または
酸化物などの誘電体を有するステンレス鋼などの電気導
電体を、ドラムに含めることができる。電気導電体によ
り、ニッケルなどの金属の電気メッキ層を、再使用可能
パターンの形でその上に形成することができる。
用可能パターンを定めるための炭化珪素、窒化物または
酸化物などの誘電体を有するステンレス鋼などの電気導
電体を、ドラムに含めることができる。電気導電体によ
り、ニッケルなどの金属の電気メッキ層を、再使用可能
パターンの形でその上に形成することができる。
【００１１】再使用可能パターンは、高さ、幅および深
さ寸法がミクロン単位の細部を有するデバイス形状であ
ることが望ましい。さらに詳細には、該デバイスはオリ
フィスプレートを含み、再使用可能パターンは写真石版
術によりプレートの特徴を定める。
さ寸法がミクロン単位の細部を有するデバイス形状であ
ることが望ましい。さらに詳細には、該デバイスはオリ
フィスプレートを含み、再使用可能パターンは写真石版
術によりプレートの特徴を定める。
【００１２】
【実施例】以下に、精密マイクロファブリケーションに
より部品を製造するための連続電鋳プロセスを記述する
。マイクロファブリケーションにより組み立てられる部
品には、例えば、プリンタ用オリフィスプレート、イン
クジェットオリフィスプレート、およびレーザー処理ま
たは分光光度計用マスクがある。
より部品を製造するための連続電鋳プロセスを記述する
。マイクロファブリケーションにより組み立てられる部
品には、例えば、プリンタ用オリフィスプレート、イン
クジェットオリフィスプレート、およびレーザー処理ま
たは分光光度計用マスクがある。
【００１３】マイクロファブリケーションプロセスでは
、第一ステップに、再使用可能パターンを有するマンド
レル表面を電鋳槽中に移動させることを含む。第二ステ
ップには、マンドレル表面を浴槽の中に移動させながら
、再使用可能パターンの形でマンドレル表面上に金属層
を蒸着させることを含む。第三ステップは、金属層を選
択厚さまで蒸着した後で、マンドレル表面から金属層を
分離させることを含む。実際、マンドレルは様々な形を
とることができる。例えば、ある実施例では、マンドレ
ルは可動ベルトの形状である。別の実施例では、マンド
レルは回転ドラムの形状である。
、第一ステップに、再使用可能パターンを有するマンド
レル表面を電鋳槽中に移動させることを含む。第二ステ
ップには、マンドレル表面を浴槽の中に移動させながら
、再使用可能パターンの形でマンドレル表面上に金属層
を蒸着させることを含む。第三ステップは、金属層を選
択厚さまで蒸着した後で、マンドレル表面から金属層を
分離させることを含む。実際、マンドレルは様々な形を
とることができる。例えば、ある実施例では、マンドレ
ルは可動ベルトの形状である。別の実施例では、マンド
レルは回転ドラムの形状である。
【００１４】図１に、マンドレル２が可動ベルト３の形
である電鋳装置１を示す（ベルト３は図２に単独に示す
）。実施例では、ベルト３は、電気防食用ニッケル陽極
などの陽極５を含む電鋳槽４の中を移動する。電鋳装置
の動作では、陽極５とベルト３との間に電流が加えられ
る。その結果、ベルトは陰極として作用し、金属層６が
ベルトに蒸着される。
である電鋳装置１を示す（ベルト３は図２に単独に示す
）。実施例では、ベルト３は、電気防食用ニッケル陽極
などの陽極５を含む電鋳槽４の中を移動する。電鋳装置
の動作では、陽極５とベルト３との間に電流が加えられ
る。その結果、ベルトは陰極として作用し、金属層６が
ベルトに蒸着される。
【００１５】図１および図２に示す実施例では、ベルト
３は、例えば左回りに回転するようにサポートされたエ
ンドレスベルトである。この実施例では、ガイド８は浴
槽４内に沈められ、浴槽４の外側にある駆動ローラ７お
よび７ａによりベルト３がサポートされる。蒸着金属層
６は、ガイト９と駆動ローラ７ａとの交点の隣接位置で
浴槽４の外側に位置するベルト３から分離される。分離
された金属層６ａは次にリール１０に巻き取られる。
３は、例えば左回りに回転するようにサポートされたエ
ンドレスベルトである。この実施例では、ガイド８は浴
槽４内に沈められ、浴槽４の外側にある駆動ローラ７お
よび７ａによりベルト３がサポートされる。蒸着金属層
６は、ガイト９と駆動ローラ７ａとの交点の隣接位置で
浴槽４の外側に位置するベルト３から分離される。分離
された金属層６ａは次にリール１０に巻き取られる。
【００１６】図２のベルト３を詳細に参照すると、該ベ
ルトに、極微細寸法の再使用可能パターン１１の細部を
含むことが注目される。図示の実施例では、該ベルト３
に直線経路を移動する下部があり、陽極５は該直線経路
と平行でベルトの下部と向き合っている。
ルトに、極微細寸法の再使用可能パターン１１の細部を
含むことが注目される。図示の実施例では、該ベルト３
に直線経路を移動する下部があり、陽極５は該直線経路
と平行でベルトの下部と向き合っている。
【００１７】マンドレルが可動ベルトのときには、再使
用可能パターンを形成するチタンまたはクロム／チタン
などの金属化薄膜を有するポリイミドなどの重合体シー
トを含むポリマーシートでマンドレルを構成することが
できる。その代わりに、ベルトを、電気導電体上に再使
用可能パターンを定めるための炭化珪素、窒化物または
酸化物などの誘電体を有する電気導電体シートで構成す
ることができる。ベルトは約４ミル厚さであることが望
ましい。
用可能パターンを形成するチタンまたはクロム／チタン
などの金属化薄膜を有するポリイミドなどの重合体シー
トを含むポリマーシートでマンドレルを構成することが
できる。その代わりに、ベルトを、電気導電体上に再使
用可能パターンを定めるための炭化珪素、窒化物または
酸化物などの誘電体を有する電気導電体シートで構成す
ることができる。ベルトは約４ミル厚さであることが望
ましい。
【００１８】この他に、マンドレルをドラムにして、ド
ラム外面に放射状にパターンを定めるための誘電体（炭
化珪素、窒化物または酸化物など）を有するステンレス
鋼または他の金属（無電解ニッケルを被覆した銅、黄銅
、および鋼を含む）などの電気導電体から構成すること
ができる。
ラム外面に放射状にパターンを定めるための誘電体（炭
化珪素、窒化物または酸化物など）を有するステンレス
鋼または他の金属（無電解ニッケルを被覆した銅、黄銅
、および鋼を含む）などの電気導電体から構成すること
ができる。
【００１９】マンドレル２がベルト３である場合、金属
化薄膜は、真空蒸着などのプロセスにより塗布すること
ができる。この場合、さらに詳細には、該ベルトは、ポ
リイミドのシート上にチタン層を含めることができる。 ポリイミド材料は、例えば、デュポンの製品である。 “カプトン（ＫＡＰＴＯＮ）”または日本の宇部社の製
品である“ウピレックス（ＵＰＩＬＥＸ）”にすること
ができる。この代りに、該金属化薄膜には、付着を改善
するクロムの第一層と、チタンの第二層とを含めるのこ
とができる。さらに別の方法では、該ベルトは、チタン
層上の窒化珪素など誘電体層を伴う、ボリイミドシート
上のチタン層にすることができる。誘電体は、例えば、
真空蒸着などのプロセスにより塗布することができる。
化薄膜は、真空蒸着などのプロセスにより塗布すること
ができる。この場合、さらに詳細には、該ベルトは、ポ
リイミドのシート上にチタン層を含めることができる。 ポリイミド材料は、例えば、デュポンの製品である。 “カプトン（ＫＡＰＴＯＮ）”または日本の宇部社の製
品である“ウピレックス（ＵＰＩＬＥＸ）”にすること
ができる。この代りに、該金属化薄膜には、付着を改善
するクロムの第一層と、チタンの第二層とを含めるのこ
とができる。さらに別の方法では、該ベルトは、チタン
層上の窒化珪素など誘電体層を伴う、ボリイミドシート
上のチタン層にすることができる。誘電体は、例えば、
真空蒸着などのプロセスにより塗布することができる。
【００２０】ベルトは多くの方法により組み立てること
ができる。例えば、薄い金属膜をポリイミド基板上に金
属化することができる。金属化膜は、ベルト上に金属層
を電鋳するときに、最高品質の部品をもたらすために、
鏡面磨きをすることが望ましい。ベルト３上の再使用可
能パターン１１は、薄い金属膜上にパターン１１形状を
有するフォトレジストをもたらすように、写真石版術に
より形成することができる。薄い金属膜は、エッチング
後に残る薄い金属膜にフォトレジストの形状があるよう
に、ポリイミド基板に、化学的エッチング、乾式エッチ
ングまたはプラズマエッチングなどによりエッチングさ
れる。次に、該フォトレジストが除去され、再使用可能
パターン１１の付いたベルト３が得られる。
ができる。例えば、薄い金属膜をポリイミド基板上に金
属化することができる。金属化膜は、ベルト上に金属層
を電鋳するときに、最高品質の部品をもたらすために、
鏡面磨きをすることが望ましい。ベルト３上の再使用可
能パターン１１は、薄い金属膜上にパターン１１形状を
有するフォトレジストをもたらすように、写真石版術に
より形成することができる。薄い金属膜は、エッチング
後に残る薄い金属膜にフォトレジストの形状があるよう
に、ポリイミド基板に、化学的エッチング、乾式エッチ
ングまたはプラズマエッチングなどによりエッチングさ
れる。次に、該フォトレジストが除去され、再使用可能
パターン１１の付いたベルト３が得られる。
【００２１】ベルトを作る別の方法は次の通りである。
まず、ポリイミドなどの重合体シートを、チタンなどの
電気導電体層またはクロムの第一層およびクロムの上の
チタンの第二層でのスパッタ蒸着などによるプロセスに
より被覆する。次に、該電気誘電体を、炭化珪素、窒化
物または酸化物などの誘電体層で被覆する。次に、誘電
体層上に再使用可能パターン１１の形状のフォトレジス
トマスクをもたらすように、写真石版術により再使用可
能パターン１１を形成する。エッチングステップ後に残
る誘電体層にフォトレジストの形状があるように、化学
的エッチング、乾式エッチングまたはプラズマ・エッチ
ングなどにより、電気導電体に、誘電体層がエッチング
される。次に、フォトレジストは除去され、それにより
、該パターン１１のある該ベルト３が得られる。
電気導電体層またはクロムの第一層およびクロムの上の
チタンの第二層でのスパッタ蒸着などによるプロセスに
より被覆する。次に、該電気誘電体を、炭化珪素、窒化
物または酸化物などの誘電体層で被覆する。次に、誘電
体層上に再使用可能パターン１１の形状のフォトレジス
トマスクをもたらすように、写真石版術により再使用可
能パターン１１を形成する。エッチングステップ後に残
る誘電体層にフォトレジストの形状があるように、化学
的エッチング、乾式エッチングまたはプラズマ・エッチ
ングなどにより、電気導電体に、誘電体層がエッチング
される。次に、フォトレジストは除去され、それにより
、該パターン１１のある該ベルト３が得られる。
【００２２】ドラムは同様な方法で作ることができる。
特に、ドラムがステンレス鋼製である場合には、該パタ
ーン１１は、ドラムの外面に写真石版術により形成する
ことができる。この１つの利点は、絶縁体または誘電体
が該パターン１１を形成することである。
ーン１１は、ドラムの外面に写真石版術により形成する
ことができる。この１つの利点は、絶縁体または誘電体
が該パターン１１を形成することである。
【００２３】前述の電鋳プロセスでは、蒸着金属層６を
所定厚さにした後で、蒸着金属層６を、浴槽４の外側で
マンドレル２から分離することが望ましい。蒸着金属層
６の厚さを制御するために、陽極５とマンドレル２に印
加される電流、またはマンドレル２の表面が浴槽４内で
移動する速度を調整することができる。
所定厚さにした後で、蒸着金属層６を、浴槽４の外側で
マンドレル２から分離することが望ましい。蒸着金属層
６の厚さを制御するために、陽極５とマンドレル２に印
加される電流、またはマンドレル２の表面が浴槽４内で
移動する速度を調整することができる。
【００２４】該浴槽４は、ニッケル・ワッツ（Ｗａｔｔ
ｓ）浴槽、ニッケル・スルファメート浴槽または他の適
した浴槽にすることができる。該陽極は、電気防食用陽
極にすることができ、または、蒸着金属層６は、浴槽の
電解液から直接得ることができる。ニッケル・ワッツ浴
槽を使用する場合、塩化ニッケル、硫酸ニッケル、ホウ
酸、およびレベラー（ｌｅｖｅｌｅｒ）、光沢剤および
ストレス・リデューサ（ｓｔｒｅｓｓ ｒｅｄｕｃｅ
ｒ）などの有機添加剤を浴槽に入れることができる。
ｓ）浴槽、ニッケル・スルファメート浴槽または他の適
した浴槽にすることができる。該陽極は、電気防食用陽
極にすることができ、または、蒸着金属層６は、浴槽の
電解液から直接得ることができる。ニッケル・ワッツ浴
槽を使用する場合、塩化ニッケル、硫酸ニッケル、ホウ
酸、およびレベラー（ｌｅｖｅｌｅｒ）、光沢剤および
ストレス・リデューサ（ｓｔｒｅｓｓ ｒｅｄｕｃｅ
ｒ）などの有機添加剤を浴槽に入れることができる。
【００２５】インクジェットオリフィスプレートを製造
するために前述のプロセスを用いる場合には、インクジ
ェットオリフィスプレートを形成するために、マンドレ
ル上のパターン１１を使用することができる。したがっ
て、マンドレル２から分離する蒸着金属層６には、連続
シートの形でプレートが一緒に連結された、インクジェ
ットオリフィスプレートの形状および特徴を各々が有し
ている多数のプレートを含む。該プロセスには、該プレ
ートを適切な薄膜基板に結合するステップと、結合した
プレートおよび基板を個々のプリントヘッドに分離する
ステップとをさらに含めることができる。
するために前述のプロセスを用いる場合には、インクジ
ェットオリフィスプレートを形成するために、マンドレ
ル上のパターン１１を使用することができる。したがっ
て、マンドレル２から分離する蒸着金属層６には、連続
シートの形でプレートが一緒に連結された、インクジェ
ットオリフィスプレートの形状および特徴を各々が有し
ている多数のプレートを含む。該プロセスには、該プレ
ートを適切な薄膜基板に結合するステップと、結合した
プレートおよび基板を個々のプリントヘッドに分離する
ステップとをさらに含めることができる。
【００２６】
【発明の効果】以上の如く本発明に係るプロセスおよび
装置を用いることにより、プリンタ用オリフィスプレー
ト、インクジェットオリフィスプレートならびにレーザ
ー処理または分光光度計用マスク等の精密部品を容易か
つ連続的に製造することができる。
装置を用いることにより、プリンタ用オリフィスプレー
ト、インクジェットオリフィスプレートならびにレーザ
ー処理または分光光度計用マスク等の精密部品を容易か
つ連続的に製造することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す概略側面図である。
【図２】図１に示したベルトの斜視図である。
１：電鋳装置
２：マンドレル
３：ベルト
４：電鋳層
５：陽極
６：金属層
７、７ａ：駆動ローラ
８：ガイド
９：ガイド
１０：リール
１１：パターン
Claims (2)
- 【請求項１】インクジェットオリフィス板等の精密な組
立てを要求される部品を形成する連続電鋳プロセスにお
いて、再使用できるパターンを備えたマンドレルの表面
を、電鋳槽内を通過するよう移動させる第１のステップ
と、マンドレルの表面が電鋳槽内を移動中に、該マンド
レルの表面に金属層のパターンを蒸着させる第２のステ
ップと、上記マンドレル表面に付着させた金属層を分離
する第３のステップと、を備えたことを特徴とする連続
電鋳プロセス。 - 【請求項２】インクジェットオリフィス板等の精密な組
立てを要求される部品を電鋳する装置において、電鋳槽
と、表面に導電部材による再使用できるパターンを備え
たマンドレルと、上記マンドレルの表面に金属層を電気
蒸着する間、上記マンドレルの表面が上記電鋳槽内を連
続的に移動するように、上記マンドレルを支持する手段
と、分離手段により上記マンドレルから分離された金属
層を巻き取るリール手段と、からなることを特徴とする
電鋳装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US626,808 | 1990-12-13 | ||
| US07/626,808 US5236572A (en) | 1990-12-13 | 1990-12-13 | Process for continuously electroforming parts such as inkjet orifice plates for inkjet printers |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04276091A true JPH04276091A (ja) | 1992-10-01 |
Family
ID=24511945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3352100A Pending JPH04276091A (ja) | 1990-12-13 | 1991-12-13 | 連続電鋳方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5236572A (ja) |
| EP (1) | EP0490061B1 (ja) |
| JP (1) | JPH04276091A (ja) |
| DE (1) | DE69120222T2 (ja) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5527586A (en) * | 1992-03-18 | 1996-06-18 | Printron, Inc. | Apparatus and method for depositing metal particles on a dielectric substrate |
| DE19519561A1 (de) * | 1995-05-27 | 1996-11-28 | Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh | Verfahren zur Herstellung von mikrostrukturierten Gegenständen |
| US5738799A (en) * | 1996-09-12 | 1998-04-14 | Xerox Corporation | Method and materials for fabricating an ink-jet printhead |
| US5820771A (en) * | 1996-09-12 | 1998-10-13 | Xerox Corporation | Method and materials, including polybenzoxazole, for fabricating an ink-jet printhead |
| US6145963A (en) * | 1997-08-29 | 2000-11-14 | Hewlett-Packard Company | Reduced size printhead for an inkjet printer |
| US6402296B1 (en) | 1998-10-29 | 2002-06-11 | Hewlett-Packard Company | High resolution inkjet printer |
| RU2151066C1 (ru) * | 1998-11-03 | 2000-06-20 | Самсунг Электроникс Ко., Лтд. | Узел пластины сопла микроинжектора и способ его изготовления |
| CN1286172A (zh) * | 1999-08-25 | 2001-03-07 | 美商·惠普公司 | 制造薄膜喷墨打印头的方法 |
| JP3694890B2 (ja) * | 2000-06-05 | 2005-09-14 | 富士ゼロックス株式会社 | 無端状ベルトの製造方法並びに無端状ベルト及び画像形成装置 |
| EP1225253A1 (en) * | 2001-01-22 | 2002-07-24 | DSL Dresden Material-Innovation GmbH | A continuous electroforming process to form a strip for battery electrodes and a mandrel to be used in said electroforming process |
| US6533394B1 (en) * | 2001-08-29 | 2003-03-18 | Hewlett-Packard Company | Orifice plate with break tabs and method of manufacturing |
| US7060349B2 (en) * | 2002-09-24 | 2006-06-13 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Resin composition, process for producing the same and electrophotographic fixing member |
| US7387370B2 (en) * | 2004-04-29 | 2008-06-17 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Microfluidic architecture |
| US7293359B2 (en) * | 2004-04-29 | 2007-11-13 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method for manufacturing a fluid ejection device |
| KR100686778B1 (ko) * | 2005-01-12 | 2007-02-23 | 엘에스전선 주식회사 | 금속 전해박 제조장치 |
| GB2432847A (en) * | 2005-12-02 | 2007-06-06 | Microstencil Ltd | Electroformed component manufacture |
| US8916038B2 (en) | 2013-03-13 | 2014-12-23 | Gtat Corporation | Free-standing metallic article for semiconductors |
| US8569096B1 (en) | 2013-03-13 | 2013-10-29 | Gtat Corporation | Free-standing metallic article for semiconductors |
| US8936709B2 (en) | 2013-03-13 | 2015-01-20 | Gtat Corporation | Adaptable free-standing metallic article for semiconductors |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB902375A (en) * | 1961-05-15 | 1962-08-01 | Dominion Eng Works Ltd | Continuous perforated sheet belt for paper making machines and the method of making said belt |
| US3414487A (en) * | 1965-06-30 | 1968-12-03 | Texas Instruments Inc | Method of manufacturing printed circuits |
| NL130465C (ja) * | 1965-12-29 | |||
| GB1215864A (en) * | 1968-03-25 | 1970-12-16 | Buckbee Mears Co | Electro-forming of continuous sheets |
| US3654115A (en) * | 1968-12-30 | 1972-04-04 | Texas Instruments Inc | Manufacture of perforated metal foil |
| US4675083A (en) * | 1986-04-02 | 1987-06-23 | Hewlett-Packard Company | Compound bore nozzle for ink jet printhead and method of manufacture |
| US4773971A (en) * | 1986-10-30 | 1988-09-27 | Hewlett-Packard Company | Thin film mandrel |
-
1990
- 1990-12-13 US US07/626,808 patent/US5236572A/en not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-10-17 DE DE69120222T patent/DE69120222T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-10-17 EP EP91117734A patent/EP0490061B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-12-13 JP JP3352100A patent/JPH04276091A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69120222T2 (de) | 1997-01-02 |
| EP0490061A3 (en) | 1993-03-03 |
| EP0490061B1 (en) | 1996-06-12 |
| DE69120222D1 (de) | 1996-07-18 |
| US5236572A (en) | 1993-08-17 |
| EP0490061A2 (en) | 1992-06-17 |
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