JPH04281375A - 振動モータの駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波モータの駆動装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、超音波モータの駆動電極に印
加する駆動電圧波形と、超音波モータの弾性体の振動に
応じた周波電圧を発生するモニタ電極の電圧波形との位
相差が、安定した駆動状態が得られる所定の値になるよ
うに、駆動周波数を制御する超音波モータの駆動装置が
知られている（例えば、特開昭６１−２５１４９０号公
報参照）。

【０００３】この種の超音波モータの駆動装置の構成を
図９に示す。発振部１で発生された周波数ｆ１の駆動信
号は、移相部２で互にπ／２だけ位相が異なる２つの駆
動信号に変換され、これらの駆動信号はそれぞれ別個に
出力増幅部３により増幅されて超音波モータ１０の圧電
体１１の駆動電極１１ａ，１１ｂに印加される。

【０００４】超音波モータ１０の圧電体１１がこれらの
駆動信号によって励振されると、この圧電体１１に接合
される弾性体１２の駆動面に進行性振動波を発生する。 そして、弾性体１２の駆動面に加圧接触される移動子１
３は、この進行性振動波により駆動されて回転する。

【０００５】出力検出部４は、弾性体１２の振動に応じ
てモニタ電極１１ｃに発生する周波電圧（以下、モニタ
電圧と呼ぶ）と、駆動電極１１ａ，１１ｂに印加される
駆動電圧との位相差を検出し、出力制御部５は、この位
相差が安定した駆動状態が得られる所定の値になるよう
に発振部１を制御する。すなわち、出力検出部４および
出力制御部５は、超音波モータ駆動装置のフィードバッ
ク回路を構成する。

【０００６】ところで、複数の超音波モータを用いて１
つの回転軸や回転筒などを駆動させる場合、各超音波モ
ータの駆動信号に対する動特性が異なるため、それぞれ
の超音波モータに対して駆動装置を独立に設けたものが
提案されている（例えば、特開平１−２２７６６９号公
報参照）。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、１つの
回転軸や回転筒などを駆動する複数の超音波モータのそ
れぞれに、図９に示すフィードバック回路を有した超音
波モータ駆動装置を用いると、回路が大規模になって装
置が大型になる上、各超音波モータごとに調整を行なう
必要があり、操作性が悪いという問題がある。

【０００８】本発明の目的は、複数の超音波モータを制
御して１つの回転体を駆動し、最小限の回路構成で小型
化を計るとともに、調整工数を低減して操作性を向上さ
せる超音波モータの駆動装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】一実施例の構成を示す図
１に対応づけて本発明を説明すると、請求項１の発明は
、圧電体１１，２１の励振により弾性体１２，２２に進
行性振動波を発生する少なくとも２個の固定子（１１，
１２），（２１，２２）と、進行性振動波により駆動さ
れる少なくとも１個の移動子１３，２３とから成る超音
波モータの駆動装置であって、駆動信号を発生する発振
部１と、その駆動信号を増幅して少なくとも２個の固定
子（１１，１２），（２１，２２）の内のいずれか１個
の固定子１１，１２の駆動電極１１ａ，１１ｂに駆動電
圧を印加する駆動信号増幅部２，３と、超音波モータ１
０の出力を検出し安定な駆動状態が得られるように発振
部１を制御する検出部４，５とから成る第１の駆動回路
と、この第１の駆動回路に駆動される固定子１１，１２
の動特性が他の固定子２１，２２の動特性と一致するよ
うに、発振部１からの駆動信号を補正する駆動信号補正
部７（７Ａ）と、補正された駆動信号を増幅して、第１
の駆動回路に駆動される固定子１１，１２以外の固定子
２１，２２の駆動電極２１ａ，２１ｂに駆動電圧を印加
する駆動信号増幅部２，３とから成る第２の駆動回路と
を備えることにより、上記目的が達成される。また請求
項２の超音波モータは、１個の固定子に対して１個の移
動子が設けられた超音波モータが複数組１０，２０存在
し、各移動子１３，２３は同一回転体６を介して直結さ
れる。さらに請求項３の超音波モータは、移動子の両側
に固定子が配置され、複数の固定子と複数の移動子とか
ら成るものである。

【００１０】

【作用】請求項１では、第１の駆動回路において、発振
部１が駆動信号を発生し、駆動信号増幅部２，３が、発
振部１からの駆動信号を増幅して、少なくとも２個の固
定子の内のいずれか１個の固定子１１，１２の駆動電極
１１ａ，１１ｂに駆動電圧を印加する。そして、検出部
４，５は、超音波モータ１０の出力を検出し安定な駆動
状態が得られるように発振部１を制御する。一方、第２
の駆動回路では、駆動信号補正部７（７Ａ）が、第１の
駆動回路に駆動される固定子１１，１２の動特性が他の
固定子２１，２２の動特性と一致するように、発振部１
からの駆動信号を補正し、駆動信号増幅部２，３が、補
正された駆動信号を増幅して、第１の駆動回路に駆動さ
れる固定子１１，１２以外の固定子２１，２２の駆動電
極２１ａ，２１ｂに駆動電圧を印加する。また請求項２
の超音波モータの駆動装置は、１個の固定子に対して１
個の移動子が設けられた超音波モータが複数組存在し、
各移動子は同一回転体６を介して直結される超音波モー
タ１０，２０を駆動する。さらに請求項３の超音波モー
タの駆動装置は、移動子の両側に固定子が配置され、複
数の固定子と複数の移動子とから成る超音波モータを駆
動する。

【００１１】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段および作用の項では、本発明を分り
やすくするために実施例の図を用いたが、これにより本
発明が実施例に限定されるものではない。

【００１２】

【実施例】−第１の実施例− 図１は、本発明の第１の実施例の構成を示すブロック図
である。なお、図９に示す従来装置と同様な機器に対し
ては同符号を付して相違点を中心に説明する。２０は、
超音波モータ１０と同様な構成を有する超音波モータで
あり、その移動子２３は超音波モータ１０の移動子１３
と回転体６を介して直結される。なお超音波モータ１０
，２０は、駆動電圧の周波数に対してそれぞれ図２（ａ
），図２（ｂ）に示すような回転速度特性を有する。

【００１３】超音波モータ１０の駆動回路は、図９に示
す駆動回路と同様な回路が用いられる。一方、超音波モ
ータ２０の駆動回路は、発振部１からの駆動信号の周波
数を補正する出力補正部７と、補正後の駆動信号を互に
π／２だけ位相が異なる２つの駆動信号に変換する移相
部２と、それらを増幅して超音波モータ２０の駆動電極
２１ａ，２１ｂに印加する出力増幅部３とから構成され
る。

【００１４】図３に出力補正部７の構成を示す。図にお
いて、７１は、駆動信号に微分演算を行なう微分回路、
７２は、微分演算後の駆動信号を整流する整流回路、７
３は、不図示の定電圧源から供給される正の一定電圧＋
Ｖｄと負の一定電圧−Ｖｄとを切り換えるスイッチであ
る。７４は、後述する非反転型の増幅回路であり、スイ
ッチ７３により選択された入力電圧を増幅して電圧±△
Ｖを出力する。なお、スイッチ７３により正の一定電圧
＋Ｖｄが選択された時は、増幅回路７４は正の電圧＋△
Ｖを出力し、負の一定電圧−Ｖｄが選択された時は、増
幅回路７４は負の電圧−△Ｖを出力する。７５は加算回
路であり、整流回路７２の出力電圧Ｖと増幅回路７４の
出力電圧±△Ｖとを加算する。さらに７６は、電圧制御
発振器（以下、ＶＣＯと呼ぶ）であり、図４に示すよう
に入力電圧に比例した周波数の周波電圧を出力する。

【００１５】図５は、増幅回路７４の詳細な回路を示す
。増幅回路７４は、非反転型アンプＡＭＰ１と抵抗器Ｒ
ｓ，Ｒｆとから構成され、その出力電圧△Ｖは次式によ
り算出される。 　　　　△Ｖ＝（＋Ｖｄまたは−Ｖｄ）×（１＋Ｒｆ／
Ｒｓ）　　　　　　　　・・・（１）すなわち、抵抗器
Ｒｆの抵抗値を調整することにより、出力電圧△Ｖを変
化させることができる。

【００１６】図６は、出力補正部７の回路各部の電圧波
形を示し、（ａ）は発振部１の駆動信号波形を示し、（
ｂ）は微分回路７１の出力電圧ｆＤの波形を示し、（ｃ
）は整流回路７２の出力電圧Ｖの波形を示し、（ｄ）は
加算回路７５の出力電圧Ｖ＋△Ｖの波形を示し、（ｅ）
はＶＣＯ７６の出力電圧波形を示す。これらの図を参照
して出力補正部７の動作を説明する。発振部１から発生
された周波数ｆ１の駆動信号Ａ・ｓｉｎ（２π・ｆ１・
ｔ）は、出力補正部７の端子ＩＮを経て微分回路７１へ
入力される。微分回路７１は、入力駆動信号に対して微
分演算を行い、図６（ｂ）に示す信号ｆＤ＝２π・ｆ１
・Ａ・ｃｏｓ（２π・ｆ１・ｔ）を出力する。なお、こ
の信号ｆＤは、駆動信号の周波数ｆ１が高いほどその振
幅が大きくなる。次に整流回路７２は、微分された駆動
信号を図６（ｃ）に示す直流電圧Ｖに変換して加算回路
７５へ出力する。一方、増幅回路７４は、スイッチ７３
により選択された正の一定電圧＋Ｖｄを増幅し、電圧＋
△Ｖを加算回路７５へ出力する。加算回路７５は、これ
らの電圧Ｖおよび＋△Ｖを加算し、図６（ｄ）に示す出
力電圧Ｖ＋△ＶをＶＣＯ７６へ出力する。ＶＣＯ７６は
、図４に示すように、入力電圧Ｖ＋△Ｖに比例した周波
数ｆ１＋△ｆの方形波の周波電圧（図６（ｅ））を出力
し、さらに不図示の波形整形回路を経て周波数ｆ１＋△
ｆの正弦波電圧を端子ＯＵＴへ出力する。すなわち、発
振部１からの駆動信号は、その信号周波数がｆ１＋△ｆ
に補正される。逆に、スイッチ７３により−Ｖｄが選択
された時は、増幅回路７４は−△Ｖを出力し、加算回路
７５は電圧Ｖ−△Ｖを出力する。その結果、駆動信号の
周波数はｆ１−△ｆに補正される。なお、スイッチ７３
により切り換えられる正負の一定電圧±Ｖｄを変化させ
ても、増幅回路７４の出力電圧±△Ｖを変えることがで
きる。

【００１７】この出力補正部７では、補正量が発振部１
から入力される駆動信号とは別個に設定されるので、駆
動信号の電圧および周波数の変化に影響されることがな
い。

【００１８】次に、第１の実施例装置の動作を説明する
。まず超音波モータ１０の駆動回路において、発振部１
から発生された周波数ｆ１の駆動信号は、移相部２で互
にπ／２の位相差を有する２つの駆動信号に変換され、
それらは出力増幅部３でそれぞれ別個に増幅されて超音
波モータ１０の駆動電極１１ａ，１１ｂに印加される。 これによって、超音波モータ１０の弾性体１２の駆動面
に進行性振動波が発生し、移動子１３が駆動されて図２
（ａ）に示すように回転速度ｎ１で回転する。超音波モ
ータ１０のモニタ電極１１ｃで発生するモニタ電圧、お
よび駆動電極１１ａの駆動電圧は出力検出部４により検
出され、それらの電圧波形の位相差が算出される。この
位相差は出力制御部５に入力され、超音波モータ１０の
安定した駆動状態が得られる所定の位相差になるように
、発振部１の周波数ｆ１が補正される。これによって、
発振部１は、超音波モータ１０に体して最適な周波数の
駆動信号を発生する。

【００１９】なお、例えば特開昭６３−２０６１７１号
公報に示されるように、回転体６にパルス発生器を設け
、出力検出部４でパルス数をカウントして移動子の１３
の回転速度を検出し、出力制御部５で超音波モータ１０
が安定な駆動状態となるように発振部１を制御してもよ
い。

【００２０】超音波モータ１０の出力を検出し安定な駆
動状態が得られるように補正された発振部１の駆動信号
は、超音波モータ２０の駆動回路の出力補正部７にも供
給される。出力補正部７は、図２（ａ）に示すように、
超音波モータ２０の回転速度特性が超音波モータ１０の
それと一致するように駆動信号を補正する。すなわち、
出力補正部７から出力される駆動信号の周波数がｆ１−
△ｆとなるように、図３に示すスイッチ７３で負の一定
電圧−Ｖｄを選択し、さらに増幅回路７４の抵抗器Ｒｆ
を調整する。その後、出力補正部７の出力駆動信号は、
移相部２で互にπ／２の移相差を有する２つの駆動信号
に変換され、それらは出力増幅部３でそれぞれ別個に増
幅されて超音波モータ２０の駆動電極２１ａ，２１ｂに
印加される。この結果、図２（ａ）に示すように両超音
波モータ１０，２０の動特性が一致し、超音波モータ２
０は、周波数ｆ２＝ｆ１−△ｆの駆動電圧で駆動され、
移動子２３は、超音波モータ１０の移動子１３と等しい
回転速度ｎ１に駆動制御される。

【００２１】なお上記実施例では、出力補正部７で発振
部１の駆動信号の周波数を補正し、超音波モータ１０の
回転速度と一致するように超音波モータ２０を制御した
が、超音波モータの駆動周波数領域における回転速度は
その駆動電圧に比例することが知られており、超音波モ
ータ２０の駆動電圧を補正して超音波モータ１０の回転
速度と一致するように制御してもよい。図７は、発振部
１で発生された駆動信号の周波数をｆ１のままとし、駆
動信号の電圧だけを補正する出力補正部７Ａの回路を示
す。この出力補正部７Ａは、アンプＡＭＰ２および抵抗
器Ｒｓ，Ｒｆから構成される反転型の増幅回路であり、
発振部１の駆動信号入力Ｖｉｎに対する出力Ｖｏｕｔは
次式で示される。 　　Ｖｏｕｔ＝Ｖｉｎ・（−Ｒｆ／Ｒｓ）　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　・・・（２）す
なわち、抵抗器Ｒｆを調整することによって、出力補正
部７Ａの出力電圧Ｖｏｕｔ、つまり駆動信号の電圧が補
正される。補正された駆動信号は、上述したように、超
音波モータ２０の駆動回路の移相部２および出力増幅部
３を介して超音波モータ２０の駆動電極２１ａ，２１ｂ
に印加される。この結果、図２（ｂ）に示すように両超
音波モータ１０，２０の動特性が一致し、超音波モータ
２０は、駆動周波数ｆ１における補正前の回転速度ｎ２
から、超音波モータ１０と等しい回転速度ｎ１に増速さ
れて駆動制御される。

【００２２】この出力補正部７Ａは演算増幅回路のみか
ら構成されるので、図３に示す出力補正部７のように複
雑な回路構成を必要とせず、さらに小型化されるととも
に、最小限な回路構成で超音波モータ２０に対する最適
な駆動信号を生成することができる。なお、出力補正部
７，７Ａにおける駆動信号の周波数または電圧の補正方
法は、上記実施例に限定されなく、超音波モータ２０の
動特性が超音波モータ１０のそれと一致するように駆動
制御する方法であればよい。

【００２３】このように、一対の固定子と移動子とを有
する２組の超音波モータ１０，２０に対して、駆動信号
を発生する発振部１と、その駆動信号を互にπ／２だけ
位相が異なる２つの駆動信号に変換するとともに、それ
らを増幅して一方の超音波モータ１０の固定子の駆動電
極１１ａ，１１ｂに駆動電圧を印加する移相部２および
出力増幅部３と、超音波モータ１０の出力を検出し安定
な駆動状態が得られるように発振部１を制御する出力検
出部４および出力制御部５とから成る第１の駆動回路と
、超音波モータ２０の回転速度が超音波モータ１０の回
転速度と一致するように、発振部１からの駆動信号を補
正する出力補正部７（７Ａ）と、補正された駆動信号を
互にπ／２だけ位相が異なる２つの駆動信号に変換する
とともに、それらを増幅して超音波モータ２０の固定子
の駆動電極２１ａ，２１ｂに印加する出力増幅部３とか
ら成る第２の駆動回路とを設けるようにしたので、各超
音波モータ１０，２０に対してそれぞれ別個に発振部１
、および出力検出部４と出力制御部５とから成るフィー
ドバック回路を設ける必要がなく、回路構成が小規模と
なって装置が小型化されるとともに、調整工数が低減さ
れて操作性が向上する。

【００２４】また、発振部１で、超音波モータ１０に対
して安定な駆動状態が得られる最適な駆動信号が発生さ
れるとともに、出力補正部７（７Ａ）で、超音波モータ
２０の回転速度が超音波モータ１０の回転速度に一致す
るように、発振部１の駆動信号を補正するので、互に異
なる制御特性の超音波モータ１０，２０であっても両者
の動特性はほぼ一致し、駆動効率が向上するとともに、
両超音波モータ１０，２０に駆動される回転体６の制御
精度が向上する。

【００２５】上記第１の実施例では、一対の固定子と移
動子とを有する２組の超音波モータ１０，２０を例に上
げて説明したが、１個の移動子の両側に２個の固定子を
それぞれ加圧接触させて駆動する超音波モータに対して
も本発明を適用でき、同様な効果を得ることができる。

【００２６】−第２の実施例− 次に、一対の固定子および移動子から成る３組の超音波
モータを駆動する第２の実施例を説明する。図８は、こ
の第２の実施例の構成を示すブロック図である。なお、
第１の実施例の構成を示す図１と同様な機器に対しては
同符号を付して相違点を中心に説明する。各超音波モー
タ１０，２０，３０の移動子１３，２３，３３は、同一
の回転体６に直結されている。超音波モータ１０，２０
の駆動回路は上述した図１に示す回路と同様であり、さ
らに、超音波モータ３０の駆動回路は超音波モータ２０
の駆動回路と同様である。すなわち、超音波モータ３０
の出力補正部７（７Ａ）は、発振部１に接続され、発振
部１から駆動信号が供給される。

【００２７】発振部１で発生された駆動信号は、超音波
モータ１０の移相部２と、超音波モータ２０および超音
波モータ３０の出力補正部７（７Ａ）とに供給される。 超音波モータ１０の駆動回路では、上述したように、駆
動信号が移相部２で互にπ／２だけ位相が異なる２つの
駆動信号に変換され、さらにそれらは出力増幅部３でそ
れぞれ別個に増幅されて超音波モータ１０の駆動電極１
１ａ，１１ｂに印加される。また、超音波モータ２０の
駆動回路では、上述したように、出力補正部７（７Ａ）
で超音波モータ２０の駆動速度が超音波モータ１０の駆
動速度と一致するように駆動信号が補正され、補正され
た駆動信号は移相部２で互にπ／２だけ位相が異なる２
つの駆動信号に変換され、さらにそれらは出力増幅部３
でそれぞれ別個に増幅されて超音波モータ２０の駆動電
極２１ａ，２１ｂに印加される。さらに、超音波モータ
３０の駆動回路では、超音波モータ２０の駆動回路と同
様に、出力補正部７（７Ａ）で超音波モータ３０の駆動
速度が超音波モータ１０の駆動速度と一致するように駆
動信号が補正され、補正された駆動信号は移相部２で互
にπ／２だけ位相が異なる２つの駆動信号に変換され、
さらにそれらは出力増幅部３でそれぞれ別個に増幅され
て超音波モータ３０の駆動電極３１ａ，３１ｂに印加さ
れる。

【００２８】このように、３台の超音波モータ１０，２
０，３０で同一の回転体６を駆動する場合でも、各超音
波モータ１０，２０，３０に対してそれぞれ別個に発振
部１と、フィードバック回路を構成する出力検出部４お
よび出力制御部５とを設ける必要がなく、回路構成が小
規模となって装置が小型化されるとともに、調整工数が
低減されて操作性が向上する。

【００２９】また、発振部１で、超音波モータ１０に対
して安定な駆動状態が得られる最適な駆動信号が発生さ
れるとともに、超音波モータ２０の駆動回路の出力補正
部７（７Ａ）で、超音波モータ２０の回転速度が超音波
モータ１０の回転速度に一致するように、発振部１の駆
動信号を補正し、同様に、超音波モータ３０の駆動回路
の出力補正部７（７Ａ）で、超音波モータ３０の回転速
度が超音波モータ１０の回転速度に一致するように、発
振部１の駆動信号を補正するので、第１の実施例と同様
に、互に動特性が異なる超音波モータ１０，２０，３０
であってもそれらの動特性がほぼ一致し、駆動効率およ
び制御精度が向上する。

【００３０】なお、上記実施例では、２個および３個の
超音波モータの駆動装置を例に上げて説明したが、４個
以上の超音波モータに対しても本発明を応用することが
でき、上述したと同様な効果が得られる。

【００３１】また、上記実施例では、超音波モータ１０
に対して発振部１，出力検出部４および出力制御部５を
設けたが、超音波モータ２０または超音波モータ３０に
設けてもよい。

【００３２】以上の実施例の構成において、圧電体１１
と弾性体１２，圧電体２１と弾性体２２，圧電体３１と
弾性体３２がそれぞれ固定子を、移動子１３，２３，３
３が移動子を、発振部１が発振部を、移相部２および出
力増幅部３が駆動信号増幅部を、出力検出部４および出
力制御部５が検出部を、出力補正部７または７Ａが駆動
信号補正部をそれぞれ構成する。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように請求項１の発明によ
れば、少なくとも２個の固定子と少なくとも１個の移動
子とから成る超音波モータに対して、駆動信号を発生す
る発振部と、その駆動信号を増幅して少なくとも２個の
固定子の内のいずれか１個の固定子の駆動電極に駆動電
圧を印加する駆動信号増幅部と、超音波モータの出力を
検出し安定な駆動状態が得られるように発振部を制御す
る検出部とから成る第１の駆動回路と、第１の駆動回路
に駆動される固定子の動特性が他の固定子の動特性と一
致するように、発振部からの駆動信号を補正する駆動信
号補正部と、補正された駆動信号を増幅して、第１の駆
動回路に駆動される固定子以外の固定子の駆動電極に駆
動電圧を印加する駆動信号増幅部とから成る第２の駆動
回路とを設けるようにしたので、各超音波モータに対し
てそれぞれ別個に発振部と検出部とを設ける必要がなく
、回路構成が小型化されるとともに、調整工数が低減さ
れて操作性が向上する。また、駆動信号補正部で、各固
定子の動特性が一致するように発振部の駆動信号を補正
するので、互に異なる動特性の超音波モータであっても
それらの動特性がほぼ一致し、駆動効率および制御精度
が向上する。また請求項２の発明によれば、１個の固定
子に１個の移動子が設けられた複数組の超音波モータに
対しても、各超音波モータに対してそれぞれ別個に発振
部と検出部とを設ける必要がなく、上記と同様な効果が
ある。さらに請求項３の発明によれば、移動子の両側に
固定子が配置され、複数の固定子と複数の移動子とから
成る超音波モータに対しても、各固定子に対してそれぞ
れ別個に発振部と検出部とを設ける必要がなく、上記と
同様な効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施例の構成を示すブロック図である。

【図２】超音波モータの駆動電圧の周波数に対する回転
速度特性を示す図で、（ａ）は、２個の超音波モータの
内の一方の駆動周波数を補正して、両超音波モータの駆
動速度特性を一致させる駆動信号補正方法を示し、（ｂ
）は、２個の超音波モータの内の一方の駆動電圧を補正
して、両超音波モータの駆動速度特性を一致させる駆動
信号補正方法を示す。

【図３】出力補正部の構成を示すブロック図である。

【図４】電圧制御発振器（ＶＣＯ）の入力電圧に対する
出力周波数特性を示す図である。

【図５】非反転型増幅回路の詳細な回路図である。

【図６】出力補正部の回路各部の電圧波形を示す図で、
（ａ）は発振部の駆動信号波形を示し、（ｂ）は微分回
路の出力電圧ｆＤの波形を示し、（ｃ）は整流回路の出
力電圧Ｖの波形を示し、（ｄ）は加算回路の出力電圧Ｖ
＋△Ｖの波形を示し、（ｅ）は電圧制御発振器（ＶＣＯ
）の出力電圧波形を示す。

【図７】他の出力補正部の回路図である。

【図８】第２の実施例の構成を示すブロック図である。

【図９】従来の超音波モータの駆動装置を示すブロック
図である。

【符号の説明】

１　　発振部 ２　　移相部 ３　　出力増幅部 ４　　出力検出部 ５　　出力制御部 ６　　回転体 ７，７Ａ　　出力補正部 １０，２０，３０　　超音波モータ １１，２１，３１　　圧電体 １１ａ，１１ｂ，２１ａ，２１ｂ，３１ａ，３１ｂ　　
駆動電極 １１ｃ　　モニタ電極 １２，２２，３２　　弾性体 １３，２３，３３　　移動子 ７１　　微分回路 ７２　　整流回路 ７３　　スイッチ ７４　　増幅回路 ７５　　加算回路 ７６　　電圧制御発振器（ＶＣＯ） ＡＭＰ１，ＡＭＰ２　　アンプ Ｒｓ，Ｒｆ　　抵抗器

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】圧電体の励振により弾性体に進行性振動波
   を発生する少なくとも２個の固定子と、前記進行性振動
   波により駆動される少なくとも１個の移動子とから成る
   超音波モータの駆動装置であって、駆動信号を発生する
   発振部と、その駆動信号を増幅して前記少なくとも２個
   の固定子の内のいずれか１個の固定子の駆動電極に駆動
   電圧を印加する駆動信号増幅部と、前記超音波モータの
   出力を検出し安定な駆動状態が得られるように前記発振
   部を制御する検出部とから成る第１の駆動回路と、前記
   第１の駆動回路に駆動される前記固定子の動特性が他の
   固定子の動特性と一致するように、前記発振部からの駆
   動信号を補正する駆動信号補正部と、補正された駆動信
   号を増幅して、前記第１の駆動回路に駆動される固定子
   以外の固定子の駆動電極に駆動電圧を印加する駆動信号
   増幅部とから成る第２の駆動回路とを備える超音波モー
   タの駆動装置。
2. 【請求項２】請求項１に記載の超音波モータの駆動装置
   において、前記超音波モータは、１個の固定子に対して
   １個の移動子が設けられた超音波モータが複数組存在し
   、前記各移動子は同一回転体を介して直結されることを
   特徴とする超音波モータの駆動装置。
3. 【請求項３】請求項１に記載の超音波モータの駆動装置
   において、前記超音波モータは、移動子の両側に固定子
   が配置され、複数の固定子と複数の移動子とから成る超
   音波モータであることを特徴とする超音波モータの駆動
   装置。