JPH04282402A - 差動型干渉プリズム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は差動型レーザー干渉測長
計に用いられる差動型干渉プリズム（以下、単に干渉プ
リズムと言う）に関する。

【０００２】

【発明の背景】差動型レーザー干渉測長計は、レーザー
光を参照光束と測長光束とに分岐し、それぞれの光束を
同一方向同一向きに配置された参照光束を折り返す参照
鏡と測定光束を折り返す測長鏡とに導き、次いで両光束
を合わせた光路差情報光束からヘテロダイン方式または
干渉縞計数方式で干渉縞検出信号を得て測長するもので
ある。この検出信号の安定度を高めるためには、参照光
束と測長光束にできるだけ近い光路をとらせて、温度変
化に伴う光学素子の膨縮や大気のゆらぎ、大気圧変動等
の参照光束と測長光束の光路差に及ぼす影響を少なくす
ることが肝要である。すなわち、参照光束と測長光束は
常に同軸であることが上述のような外乱因子の影響を共
通に受けて光路差への影響を打消されるので好ましい。 しかしそれは、参照光束と測長光束を分離することを難
しくする。そのため、通常参照光束と測長光束は１０ｍ
ｍ以上離れている。したがって、差動型と言ってもレー
ザー干渉測長計では、参照光束と測長光束が大かれ少な
かれ空間的に異なる光路をとり、そのために前述の外乱
因子が両光束の光路差に相当の影響を与える。このこと
は、ナノメータ以下の測長分解能を得ようとした場合に
、検出信号上の不安定性（ドリフト、ノイズ等）として
大きな問題となる。

【０００３】図４，５はそれぞれ従来の差動型レーザー
干渉測長計の光路配置を示し、図においてＬはレーザー
光束、Ｒは参照光束、Ｍは測長光束、Ｉは参照光束Ｒと
測長光束Ｌの重疊から成り、それから従来公知のヘテロ
ダイン方式または干渉縞計数方式で干渉縞検出信号を得
ることができる光路差情報光束、１は偏光ビームスプリ
ッタ、１１は偏光シエアリング板、２はλ／２移相板、
３はλ／４移相板、４はコーナーキューブプリズム、５
は反射鏡、６は参照鏡、７は測長鏡、７４は測長鏡と同
じ機能のコーナーキューブプリズムである。図４，５に
示したように、従来の差動型測長計は、差動型の光路配
置を得るために、キューブプリズムを用いた光路の引き
回しが非常に多く、分岐された参照光束Ｒと測長光束Ｍ
の光路長がそれぞれ２００ｍｍ以上にも達し、そのうち
の光学素子内の光路長が８０％以上を占めるものもある
。そのため、温度変化による光学素子の密度や寸法の不
均衡等、光路環境に過渡的に生ずる外乱の影響によって
も参照光束Ｒと測長光束Ｍの光路差が大きく変化するよ
うになり、ナノメータ以下の精度の測長が難しいと言う
問題があった。

【０００４】

【発明の目的】本発明は、上述の問題を解消するために
なされたものであり、差動型のメリットを活かしてサブ
ナノメータの精度の測長を安定して可能にするレーザー
干渉測長計に用いられる干渉プリズムを提供する。

【０００５】

【発明の構成】本発明は、コーナーキューブプリズムの
一反射面に偏光ビームスプリットコートが設けられてい
て、該コート面にλ／２移相板または９０°旋光板を挟
んで接合された平行四辺形プリズムと三角プリズムとが
三角プリズムをコーナーキューブプリズムの中心側にし
て接合されていることを特徴とする差動型干渉プリズム
にあり、この構成によって前記目的を達成する。

【０００６】

【作用】すなわち、本発明の干渉プリズムは、平行四辺
形プリズムのコーナーキューブプリズムへの接合面と交
わる外向面からレーザ光を入射されると、コーナーキュ
ーブプリズムの偏光ビームスプリットコート面の平行四
辺形プリズム接合面で参照光束と測長光束とに分岐し、
両光束をそれぞれコーナーキューブプリズムの透過面と
λ／４移相板を間に介在させた参照鏡との間および測長
鏡との間で２往復させ、その後両光束をコーナーキュー
ブプリズムの偏光ビームスプリットコート面の三角プリ
ズム接合面で合わせて参照鏡と測長鏡間の光路差の情報
を担持した光路差情報光束として三角プリズムの外向面
から出射するものであり、光学素子内で参照光束と測長
光束の光路が離れているのは１個のコーナーキューブプ
リズム内だけであり、したがってその間の光路長が短く
、両光路の離れを少なくすることも比較的容易にできる
から、温度変化等の外乱の両光束の光路差への影響を小
さくでき、安定したサブナノメータの精度の測長を可能
にする。

【０００７】

【実施例】以下さらに、本発明を図１，２にそれぞれ示
した実施例によって説明する。

【０００８】図１，２はそれぞれ本発明の干渉プリズム
を用いたレーザー干渉測長計の光路配置図である。

【０００９】図１において、本発明の干渉プリズム１０
に用いられるコーナーキューブプリズム１４は３面の反
射面の中心軸Ｚと透過面１４ａの成す角が垂直ではなく
、垂直からＣＯＳ−１（１／√３）−４５°の角度だけ
傾いていて、偏光ビームスプリットコートを設けた反射
面のコート面１４ｂと透過面１４ａの成す角が４５°に
なっている。偏光ビームスプリットコートはコート面１
４ｂに入射する光をその偏光状態により選択的に反射さ
せまたは透過させる。

【００１０】コート面１４ｂには、４面を光学面として
一対の対頂角を４５°とした平行四辺形プリズム１８が
４５°の頂角を挟む一方の面を接合面とし、他方の面を
コーナーキューブプリズム１４の透過面１４ａに垂直な
レーザー光束Ｌの入射面または光路差情報光束Ｉの出射
面となる外向面１８ａとするように接合されている。さ
らに９０°頂角の二等辺三角プリズム１９が、９０°頂
角を挟む直交面の一方と平行四辺形プリズム１８の外向
面１８ａに平行な面との間にλ／２移相板または９０°
旋光板（以下、変光板と言う）１２を挟み、斜面を接合
面として、コーナーキューブプリズム１４のコート面１
４ｂに接合されている。この三角プリズム１９は、９０
°頂角を挟む直交面の他方の外向面１９ａを光路差情報
光束Ｉの出射面またはレーザー光束Ｌの入射面とする。

【００１１】干渉プリズム１０は以上から成り、そのコ
ーナーキューブプリズム１４の透過面１４ａ側に、図４
，５の光路配置における偏光ビームスプリッタ１の出射
面側と同様、λ／４移相板３と参照鏡６および測長鏡７
が配設される。λ／４移相板３はコーナーキューブプリ
ズム１４の透過面１４ａに接合しても、しなくてもよい
。空気界面との迷光を減らす目的では接合した方が良い
が、透過光束の波面を歪ませないためには、離した方が
有利である。

【００１２】干渉プリズム１０に入射するレーザー光束
Ｌは、ヘテロダイン方式の互いに直交した直線偏光の２
波長でも、干渉縞計数方式の単一波長の円偏光でもよい
。 また、平行四辺形プリズム１８から入射しても、三角プ
リズム１９から入射しても同様の結果が得られる。

【００１３】例えば、平行四辺形プリズム１８の外向面
１８ａから干渉プリズムに入射したレーザー光束Ｌはコ
ーナーキューブプリズム１４のコート面１４ｂにより入
射面に垂直な方向と平行な方向の直線偏光に分岐される
。どちらを参照光束Ｒまたは測長光束Ｍとしても良いが
、図１ではコート面１４ｂで反射される紙面に垂直な方
向の直線偏光を参照光束Ｒ、コート面１４ｂを透過する
平行方向の直線偏光を測長光束Ｍとしている。

【００１４】参照光束Ｒは、コート面１４ｂで反射した
後、平行四辺形プリズム１８のコーナーキューブプリズ
ム１４への接合面と平行な面で反射し、変光板１２によ
りその偏光方向を９０°変換されて紙面に平行な方向の
直線偏光となり、三角プリズム１９内に入射する。そし
てもう一度コーナーキューブプリズム１４のコート面１
４ｂに入射し、今度はコート面１４ｂを透過してコーナ
ーキューブプリズム１４内に入射する。この状態で参照
光束Ｒは測長光束Ｍと偏光状態が同じである。

【００１５】参照光束Ｒと測長光束Ｍはコーナーキュー
ブプリズム１４の反射面でそれぞれ反射して透過面１４
ａから出射し、λ／４移相板３により円偏光に変換され
、それぞれ参照鏡６と測長鏡７で折り返されて再びλ／
４移相板３により紙面に垂直な直線偏光に変換され、透
過面１４ａからコーナーキューブプリズム１４に入射す
る。この参照光束Ｒと測長光束Ｍはそれぞれコーナーキ
ューブプリズム１４内で２又は３回反射して再び透過面
１４ａから出射し、それぞれ前と同様に参照鏡６と測長
鏡７で折り返されて再び透過面１４ａに入射する往復の
間にλ／４移相板３を２度通過し、それにより参照鏡６
と測長鏡７の間の光路差を２往復分与えられて測長感度
を２倍に高める。

【００１６】再度コーナーキューブプリズム１４に入射
した参照光束Ｒと測長光束Ｍは、共に紙面に平行な直線
偏光になっているから、今度はそれぞれコート面１４ｂ
を透過する。そのうち参照光束Ｒはそのまま三角プリズ
ム１９を通過して干渉プリズム１０外に出射するが、測
長光束Ｍは平行四辺形プリズム１８内で１回で反射して
変光板１２を透過し三角プリズム１９のコート面１４ｂ
との接合面に入射する。この測長光束Ｍは、変光板１２
によって紙面に垂直の偏光方向にされているからコート
面１４ｂで反射して、コート面１４ｂを透過した参照光
束Ｒと同軸で重疊して光路差情報光束Ｉとなり干渉プリ
ズムから出射する。

【００１７】光路差情報光束Ｉは、互いに直交する直線
偏光の参照光束Ｒと測長光束Ｍの重量したものであるか
ら、これからヘテロダイン方式ではビート周波数の変化
として測長鏡７の変位速度を検出でき、干渉縞計数方式
では干渉縞状態の変化として、直接測長鏡７の変位を検
出できる。

【００１８】図１のレーザー干渉測長計は、従来の差動
型測長計と異なり、干渉プリズム１０のコーナーキュー
ブプリズム１４以外にキューブプリズムを全く用いてい
ないため、測長計内での光路の引き回しが殆んどない。 また、平行四辺形プリズム１８と三角プリズム１９内で
の光路は参照光束Ｒと測長光束Ｍとで完全に同軸となる
ので、この部分では環境変化による外乱因子や、光学素
子の不均一性に基づく測長信号への光学的な影響が完全
に除去される。すなわち、接合に用いた接着剤の温度変
化による膨縮の影響も完全に除去できる。したがって参
照光束Ｒと測長光束Ｍの非同軸となる光路は干渉プリズ
ム１０のコーナーキューブプリズム１４内だけとなる。 これは従来の測長計におけると同じビーム径のレーザー
光束Ｌを用いた場合、光路長が１／６以下に短くなり、
外乱因子に基づく測長計内の不安定度もこの光路長が短
くなることに比例して大幅に改善される。さらに、光学
素子数が図４の従来法より３点少なくなり、図５の従来
法より２点少なくなって、コスト的にも優れている。

【００１９】また図１のレーザー干渉測長計は、干渉プ
リズム１０の参照光束Ｒと測長光束Ｌの折り返しを行っ
ているコーナーキューブプリズム１４が測長計のほぼ中
央に位置していて、その頂点を支点として光学系のアラ
イントの調整を行えば測長計のテイルトは殆んど影響を
与えなくなるので、光学系のアラインメントが著しく容
易になると言う利点もある。さらに、先にも触れたよう
にレーザー光束Ｌを三角プリズム１９の外向面１９ａに
入射して光路差情報光束Ｉを平行四辺形プリズム１８の
外向面１８ａから出射するようにしても同様の効果が得
られるから、光源と検出光学系の位置を交換するだけで
レーザー光束Ｌの方向と測長光束Ｍの方向を同方向に配
置したり、９０°の交叉方向に配置したりすることがで
きる。図３は干渉プリズム１０をレーザー光束Ｌと測長
光束Ｍが９０°の交叉方向になるように用いると、２軸
方向に移動するＸ−Ｙテーブルの位置検出用測長計が、
図４，５の従来の測長計またはレーザー光束Ｌと測長光
束Ｍが同方向になるように本発明の干渉プリズム１０を
用いた図６のＸ−Ｙテーブル位置検出用測長計に比較し
て、２個の反射鏡５を用いなくて済むようになるだけ構
造が簡単になることを示している。

【００２０】図３，６において、図１，２や図４，５に
おけると同一符号は同一の機能部材あるいは機能部分を
示し、２０はレーザー光源、２１はビームスプリッタ、
２２は位置検出ヘッド、２３は図４または図５の参照鏡
６よりも左側にある光学素子群のパッケージである。こ
の図３，６では固定台に設けられる参照鏡の図示を省略
している。

【００２１】平行四辺形プリズム１８内での反射は、そ
の反射面に何もコートをしてない場合は全反射となり、
反射の前後での強度損失は０となる。しかし、全反射に
おいてはその入射面に対するＰ成分、Ｓ成分で位相とび
が発生し、リタデーションが発生するため、反射前後で
偏光状態が変わる。それは互いに直交してそれぞれの混
信を最小にしていた参照光束Ｒと測長光束Ｌの偏光状態
が崩れる事を意味し、検出信号のＳ／Ｎ比を大きく下げ
る要因となる。そこで、この反射面にＡｇやＡｌ等の金
属コートを施すと、この位相とびによるリタデーション
を最小にでき、それにより検出信号のＳ／Ｎ比を高く維
持して測長する事が可能となる。しかし、金属コートを
施した場合は、反射率が９５％前後と言ったように、強
度減衰が比較的大きい。その点、反射面に誘電体コート
を施すと、位相とびによるリタデーションをコートのな
い場合よりは少なくし、反射率の低下も金属コートの場
合よりは少なくすることができる。

【００２２】また、平行四辺形プリズム１８内での反射
は参照光束Ｒも測長光束Ｌも共に１回づつで、しかも同
軸であるから、反射前後での強度減衰量はそれぞれ同じ
になる。したがって、光路差検出時のゲインが同じに保
たれる。これは、検出信号を差動化してコモンモードノ
イズを除去する上で非常に重要で効果的な特徴である。 平行四辺形プリズム１８の反射面についてと同様のコー
トを、コーナーキューブプリズム１４のコート面１４ｂ
以外の２面の全反射面に施すと、同様の効果が得られる
。特にコーナーキューブプリズム１４では参照光束Ｒと
測長光束Ｍの反射回数が偏光ビームスプリット面以外で
両方とも４回となるから、反射前後の強度減衰をできる
だけ少なくすることが重要である。変光板１２はλ／２
移相板でも９０°旋光板でも同じ効果を奏する。そして
、いずれも水晶を材料に用いると、λが４３６ｎｍでは
λ／２移相板の厚みが約２．２ｍｍとなり、９０°旋光
板は４１．５°／ｍｍの旋光角であるから、これも約２
．２ｍｍの板厚となって、寸法的にも両者を全く同様に
扱える。しかしλ／２移相板は板厚だけでなく軸方位を
正確に４５°方位に設定する必要があるため、板厚をあ
まり厚くしなくて済む範囲では９０°旋光板を用いた方
がプリズムの組立て上有利である。

【００２３】平行四辺形プリズム１８のレーザー光束入
射面となる外向面１８ａと接合面のなす角θを４５°と
せずに、平行四辺形プリズム１８とコーナーキューブプ
リズム１４の屈折率をｎとしてθ＝４５°−ｓｉｎ−１
（ｎ・ｓｉｎ（ｃｏｓ−１（１／√３）−４５°））と
いう角度に設定すると、通常の中心軸Ｚと透過面１４ａ
が垂直であるコーナーキューブプリズム１４を使用でき
て、平行四辺形プリズム１８に入射するレーザ光束Ｌと
コーナーキューブプリズム１４から参照鏡６や測長鏡７
までの間の参照光束Ｒや測長光束Ｍとの垂直度を保つこ
とができる。図２がその例を示しており、コーナーキュ
ーブプリズム１４のコート面１４ｂに対する入出射角も
図１と同様に４５°になし得る。

【００２４】また三角プリズム１９の外向面１９ａから
出射する光路差情報光束Ｉについても、三角プリズム１
９の頂角αを９０度でなく、三角プリズム１９とコーナ
ーキューブプリズム１４の屈折率をｎとしてα＝９０°
−ｓｉｎ−１（ｎ・ｓｉｎ（ｃｏｓ−１（１／√３）−
４５°））という角度にすると、レーザー光束Ｌとの垂
直度を維持できる。

【００２５】図２の例のメリットは、干渉プリズム１０
のコーナーキューブプリズム１４に中心軸と透過面が９
０°の現在最も普及しているコーナーキューブプリズム
を利用する事ができコスト的に有利な点と、干渉プリズ
ム１０のレーザー光束Ｌと光路差情報光束Ｉの空気界面
での入出射角が０でないから不用な反射光が同軸となら
ず、そのため検出信号のＳ／Ｎ比を改善できる点にある
。しかし反面、屈折を積極的に用いるため、参照光束Ｒ
と測長光束Ｍの偏光方向が幾分偏る点と、後述の複数波
長を用いる用途には屈折で複数波長の同軸が失われるよ
うになるから使いにくい点が欠点として挙げられる。

【００２６】これまでの実施例は、レーザー光束Ｌとし
て１波長もしくはビート周波数として検知し易い数ＭＨ
Ｚ〜数十ＭＨＺの周波数差を持った２波長のレーザ光束
を用い、本発明の干渉プリズム１０を用いて光路差情報
光束Ｉの情報精度を高めるものである。しかしなお、光
路差情報に外乱因子の影響によるノイズが加わり、それ
には測長計内の大気のゆらぎの影響によるものが最も大
きな割合を占めるようになる。このような大気のゆらぎ
の影響を除去するレーザー干渉測長方法が第２回ナノ機
構懇話会資料（１９８８．１１．１６）「大気ゆらぎの
影響を除去したナノメータレーザー測長」等により知ら
れている。それは、複数の波長のレーザー光束を用いて
、大気の持つ分散によりそれぞれ異なる光路長における
それぞれの測長値の等価な変化分のみを幾何学的な距離
変化としてカウントする方法である。

【００２７】前述の図１の測長計で上述の方法を実施し
た場合、複数波長の光束は同軸であるから反射について
は同様に行われて問題ないが、変光板１２によるリタデ
ーションや旋光角については波長依存性があるため問題
となる。例えば、変光板１２が板厚約０．５ｍｍの水晶
板で、波長λが４００ｎｍのλ／２移相板である場合、
波長λが７２０ｎｍの光ではリタデーションは波長に反
比例するから１００°程度にしかならず、λ／２にはな
らない。そこで、変光板１２の板厚を９倍の４．５ｍｍ
にすると、λ４００ｎｍではリタデーションが９（λ／
２）＝（λ／２）＋４λすなわちλ／２と同じになり、
λ７２０ｎｍでは９×１００×（λ／２）／１８０＝（
λ／２）＋２λすなわちλ／２と同じになる。

【００２８】すなわち、図１の干渉プリズム１０の変光
板１２を複数の波長λ１，λ２等に対してλ１／２，λ
２／２等の移相板となる厚さのものにすることによって
、本発明の干渉プリズム１０を大気ゆらぎの影響を除去
する測長方法に適用し得る。この場合、コーナーキュー
ブプリズム１４の透過面１４ａの外側に用いるλ／４移
相板３も変光板１２と同様に、λ１／４，λ２／４等の
移相板にすべきことは言うまでもない。λ１／２，λ２
／２移相板を得るのは、λ１＜λ２，λ１／２移相板の
１つの厚さ（好ましくは最小厚さ）をｄとして、（２ｎ
＋１）＝（２ｍ＋１）λ２／λ１（但し、ｎ，ｍは０ま
たは正整数でｎ＞ｍ）を満足する（２ｎ＋１）ｄの厚さ
の移相板を作ればよい。前述のλ１４００ｎｍ，λ２７
２０ｎｍの例ではｎ＝４，ｍ＝２としている。λ１／４
，λ２／４移相板もλ１／４移相板の厚さ（好ましくは
最小厚さ）を（４ｎ＋１）倍（但し、（４ｎ＋１）＝（
４ｍ＋１）λ２／λ１）する方法で得られ、前述のλ１
４００ｎｍ，λ２７２０ｎｍ，λ１／４移相板の最小厚
さ０．２５ｍｍの例ではｎ＝２，ｍ＝１すなわち、９×
０．２５＝２．２５ｍｍ（変光板１２の厚さ４．５ｍｍ
の１／２の厚さ）にすればよい。

【００２９】変光板１２に９０°旋光板を用いる場合は
、λ１の旋光角がπ／２になる厚さｄでλ２の旋光角が
ψとなるとき、（２ｎ＋１）＝（２ｍ＋１）π／２ψ（
但し、ｎ，ｍは０または正整数で、ｎ＞ｍ）を満足する
（２ｎ＋１）ｄの厚さの旋光板を作ればよい。変光板１
２にこの旋光板を用いた干渉プリズム１０は同様に大気
ゆらぎの影響を除去する測長方法に適用し得る。なお、
旋光板は旋光角のλ依存性が移相板と異なってλ−２に
比例するため、変光板１２を複数波長λ１，λ２にマッ
チングさせるにの一般にｎとｍの差が大きくなり、移相
板よりも板厚が厚くなり易い。

【００３０】以上のような複数波長にマッチングした干
渉プリズム１０を用いると、干渉プリズム１０内の光学
的な安定度を高く保って、何ら光学素子を追加すること
なく、大気ゆらぎの影響を補正した高精度の測長を行う
ことができる。

【００３１】

【発明の効果】本発明の干渉プリズムを用いることによ
って、温度変化による光学素子の密度や寸法の不均衡等
が参照光束と測長光束の光路差に及ぼす影響を大幅に軽
減することができ、差動型のメリットを活かしてサブナ
ノメータの精度の測長も安定してできるようなレーザー
干渉測長計を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

図１，２はそれぞれ本発明の干渉プリズムを用いたレー
ザー干渉測長計の光路配置図、図３は本発明の干渉プリ
ズムを用いたＸ−Ｙ２軸テーブルの位置検出用測長計の
例を示す概要斜視図、図４，５はそれぞれ従来の差動型
レーザー干渉測長計の光路配置図、図６は従来の差動型
レーザー干渉測長計を用いたＸ−Ｙ２軸テーブルの位置
検出測長計の要部斜視図である。

【符号の説明】

Ｉ…光路差情報光束、　　　　　　　　　　　　　　　
　Ｌ…レーザー光束、Ｍ…測長光束、　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　Ｒ…参照光束、３…λ／
４移相板、　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
４…コーナーキューブプリズム、５…反射鏡、　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　６…参照鏡
、７…測長鏡、　　　　　　　　　　　　１０…干渉プ
リズム、１２…変光板、　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　１４…コーナーキューブプリズム
、１４ａ…透過面、　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　１４ｂ…コート面、１８…平行四辺形プリ
ズム、　　　　　　　　　　　　１８ａ…外向面、１９
…三角プリズム、　　　　　　　　　　　　　　　　　
　１９ａ…外向面、２０…レーザー光源、　　　　　　
　　　　　　　　　　　　２１…ビームスプリッタ、２
２…検出ヘッド。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】コーナーキューブプリズムの一反射面に偏
   光ビームスプリットコートが設けられていて、該コート
   面にλ／２移相板または９０°旋光板を挟んで接合され
   た平行四辺形プリズムと三角プリズムとが三角プリズム
   をコーナーキューブプリズムの中心側にして接合されて
   いることを特徴とする差動型干渉プリズム。
2. 【請求項２】前記コーナーキューブプリズムの偏光ビー
   ムスプリットコート面以外の反射面に金属または誘電体
   の反射コートを設けた請求項１の差動型干渉プリズム。
3. 【請求項３】前記コーナーキューブプリズムの透過面と
   偏光ビームスプリットコート面との成す角が４５°であ
   る請求項１の差動型干渉プリズム。
4. 【請求項４】前記平行四辺形プリズムのコーナーキュー
   ブプリズムへの接合面と平行な反射面に金属または誘電
   体の反射コートが設けられている請求項１の差動型干渉
   プリズム。
5. 【請求項５】前記平行四辺形プリズムのコーナーキュー
   ブプリズムへの接合面のコーナーキューブプリズムの中
   心から遠い端縁の頂角とその対頂角とが４５°である請
   求項３の差動型干渉プリズム。
6. 【請求項６】前記三角プリズムのコーナーキューブプリ
   ズムへの接合面の対頂角が９０°である請求項１の差動
   型干渉プリズム。
7. 【請求項７】前記λ／２移相板が複数波長λｉ（ｉは１
   ，２等）の光に対してλｉ／２移相板である請求項１の
   差動型干渉プリズム。
8. 【請求項８】前記９０°旋光板が複数波長λｉ（ｉは１
   ，２等）の光に対して９０°旋光板である請求項１の差
   動型干渉プリズム。