JPH0428285B2 - - Google Patents
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- JPH0428285B2 JPH0428285B2 JP58165664A JP16566483A JPH0428285B2 JP H0428285 B2 JPH0428285 B2 JP H0428285B2 JP 58165664 A JP58165664 A JP 58165664A JP 16566483 A JP16566483 A JP 16566483A JP H0428285 B2 JPH0428285 B2 JP H0428285B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- positive
- distortion
- aberration
- becomes
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B25/00—Eyepieces; Magnifying glasses
- G02B25/001—Eyepieces
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lenses (AREA)
Description
（発明の技術分野）
本発明は、顕微鏡用の広視野接眼レンズに関す
る。 （発明の背景） 従来の一般的接眼レンズは正の単レンズ又は接
合レンズで構成されたものが多く、従つてペツツ
ヴアール和が大きく像面彎曲が残存し、また歪曲
収差も大きいものが多かつた。生物分野に使われ
る顕微鏡の場合、その対象となる標本は透過標本
で厚みのあるものが多く、またその形状も不規則
であり、像面彎曲や歪曲収差の残存している光学
系でもある程度は問題がなかつた。ところが、最
近のIC産業の発達に伴ない、その検査工程など
でも顕微鏡が使われることが多くなつた。これら
の標本は生物分野における標本とは異なり、多く
の場合反射光で観察する平坦な標本であり、また
微細な規則的なパターンの連続したものである。
従つて、これらを観察する場合には、その光学系
の像面彎曲と歪曲収差を小さくしておく必要があ
る。顕微鏡光学系において、対物レンズと接眼レ
ンズの歪曲収差を比べた場合、一般に接眼レンズ
の歪曲収差の方が大きく残存しており、まず接眼
レンズの改良が望まれていた。 このため、写真レンズでよく知られているトリ
プレツト型レンズを基本とした接眼レンズが、例
えば特開昭54−154342号公報により知られてい
る。この接眼レンズは強い負屈折力のレンズを設
けることによりペツツバール和を小さくし、非点
収差及びコマ収差を良好に補正したものであつ
た。しかしながら、この接眼レンズでは、歪曲収
差が最大画角においてまだ数％残存し、しかも瞳
の球面収差の補正も未だ十分ではなかつた。瞳の
球面収差とは、対物レンズの射出瞳が接眼レンズ
により、アイポイント位置に結像する際の画角に
よる光軸方向のズレ量である。即ち画角によりア
イポイント位置が異なつてしまうことを意味す
る。この瞳の球面収差が大きいと、視野周辺部、
中間部、中央部付近の光束が同じ位置に集光せ
ず、著しい場合には、視野にケラレを生じてしま
う。 （発明の目的） 本発明の目的は、歪曲収差が小さく、瞳の球面
収差も良好に補正され、像面の平坦性に優れた、
しかも簡単な構成からなる広視野接眼レンズを提
供することにある。 （発明の概要） 本発明による広視野接眼レンズは、第１図に示
す如く、光の入射側すなわち、空間像Ｉ側より順
に、正レンズの第１レンズL1、両凹負レンズの
第２レンズL2、正レンズの第３レンズL3、入射
光側により曲率の強い面を向けた正レンズの第４
レンズL4を有するものである。そして、この基
本構成に基づいて、全体の焦点距離をＦ、該第２
レンズ及び該第４レンズの焦点距離をそれぞれ
f2，f4、該第１〜第３レンズの合成焦点距離を
F′とし、該第４レンズの射出光側のレンズ面の曲
率半径をr8とするとき、 0.5F＜｜f2｜＜0.8F (1) 0.9F＜f4＜1.25F (2) 0.1F′＜f4＜0.5F′ (3) −0.7＜Ｆ／r8＜0.7 (4) の各条件を満足するようにしたものである。 上記本発明の接眼レンズもまたいわゆるトリプ
レツト型レンズを基本とするものではあるが、最
も射出光側の正レンズすなわち第４レンズL4の
屈折力が比較的小さいことを主たる特徴とするも
のである。すなわち、前述した特開昭54−154342
号公報に開示された接眼レンズでは、眼に最も近
い正レンズの屈折力が強く、しかも眼側により強
い凸面を向けた構成であるため、ここで発生する
歪曲収差がその直前に位置する負レンズによつて
も打消すことができず残存する傾向にあり、ま
た、瞳の球面収差については、このような眼側の
強い正屈折力のために補正不足となつていること
が判明し、これらの改善のために、必要な上記の
ごとき最適条件を見い出したのである。 以下、上記の各条件について説明する。 (1)式は第２レンズとしての負レンズのパワーに
関するものである。この負レンズは歪曲収差の補
正、アイレリーフ（眼距）の確保、像面彎曲の補
正、即ちペツツヴアール和を小さくするために必
要である。この条件の下限を超えると負レンズの
パワーが強くなり過ぎ、メリデイオナル像面、及
び歪曲収差がプラスに行き過ぎ、第４レンズとし
ての正レンズで補正した場合にも最大画角付近で
歪曲収差がＵターンする曲がりを生じる。また、
瞳の球面収差もプラスに行き過ぎる。他方、上限
を超えると、負レンズのパワーが弱くなり過ぎ、
ペツツバール和が大きくなり、像面彎曲が大きく
なる。また、光束の発散作用も小さくなるためア
イリーフも小さくならざるを得ない。 (2)式は第４レンズとしての正レンズのパワーに
関するものである。この正レンズは第２レンズの
負レンズと共に、像面彎曲と歪曲収差の補正のバ
ランスを良くするためのものであり、この正レン
ズは、第２レンズの負レンズで大きく発生した正
の歪曲収差を打消すべく、負の歪曲収差を発生さ
せている。この条件の下限を超えると正レンズの
パワーが強くなり、第１〜第３レンズの合成のパ
ワーが相対的に弱くなり、倍率色収差が補正不足
になる。また、後述の条件式(6)，(7)の範囲とも関
連するが、この範囲の既存の硝種をもつてしても
単レンズのままでは補正が困難になる。また、像
面と第１レンズとの間隔が短かくなり、レンズ面
のゴミやキズが目立つようになる、他方、この条
件の上限を超えると正レンズのパワーが弱くなり
過ぎ、メリデイオナル像面が歪曲収差に比べて大
きく正方向に動くため、これを第２レンズの負レ
ンズで打消した場合、歪曲収差が打消しきれず残
存してしまう。 逆に歪曲収差を打消した場合には、メリデイオ
ナル像面が負に行き過ぎ、また瞳の球面収差がオ
ーバーになつてしまう。 (3)式は第１〜第３レンズの合成と第４レンズと
のパワーの比に関するものである。下限を超える
と第４レンズの正のパワーが相対的に強くなり過
ぎ、(2)式の説明と同様に倍率色収差がアンダーと
なり、単レンズのみの構成では補正が困難にな
る。他方上限を超えると第４レンズの正のパワー
が相対的に弱くなり、メリデイオナル像面と歪曲
収差の補正のバランスが難しくなる。つまり第４
レンズのパワーの変化はメリデイオナル像面に大
きく影響を及ぼし、第１〜第３レンズの合成のパ
ワーの変化は歪曲収差に大きく影響を及ぼすた
め、第４レンズのパワーと第１〜第３レンズの合
成のパワーは上記の条件式(3)を満足しないと収差
のバランスをとることが難しくなる。 (4)式は第４レンズの眼側のレンズ面の曲率に関
するものである。この条件の下限を超えると眼に
対しての正屈折力が強くなり、歪曲収差とメリデ
イオナル像面がプラスに行きすぎる。特に歪曲収
差は、画角が大きくなるに従つて急激に正方向に
動き、第２レンズの負レンズで最大画角の歪曲収
差を打消しても中間の歪曲収差が大きく残存す
る。これを実際に観察すると視野の中間部分は糸
巻型歪曲、周辺部分が樽型歪曲という好ましくな
い歪曲となつてしまう。逆に上限を超えると眼に
対しての正屈折力が弱くなり、歪曲収差とメリデ
イオナル像面がマイナスに行きすぎる。歪曲収差
を第１〜第３レンズで補正した場合でもメリデイ
オナル像面がマイナスのまま大きく残つてしま
う。また、瞳の球面収差が大きくプラスに動き、
画角によるアイポイント位置が異なり、更に主点
が像側に寄るためアイレリーフ自体も短かくなり
観察の際不便である。 上記のごとき本発明の構成において、第２レン
ズと第３レンズとの空気間隔をd4、第２レンズ及
び第４レンズのアツベ数をそれぞれ、ν2，ν4とす
るとき、 0.08｜f2｜＜d4＜0.22｜f2｜ (5) ν2＜30 (6) ν4＞45 (7) の条件を満足することが望ましい。 (5)式の条件は第２レンズとしての負レンズの焦
点距離f2と第２レンズと第３レンズとの間隔d4の
比に関するものである。d4が下限を超えると、即
ち第２レンズと第３レンズとの間隔が小さくなる
と、第２レンズの凹レンズではね上げられた光束
があまり上がらないうちに第３レンズの正レンズ
で収束させられるため、アイレリーフが短かくな
る。また、d4をあまり小さくすると第２レンズと
第３レンズとがぶつかつてしまうので、これ以下
にはできない。他方d4が上限を超えると、即ち第
２レンズ、第３レンズとの間隔が大きくなると、
倍率色収差が補正不足になり単レンズのままでは
既存の硝種では補正が困難である。また、像面か
ら第１レンズまでの距離が小さくなり、レンズ面
のキズやゴミが目立ち易く、観察上好ましくな
い。 (6)，(7)式は主に倍率色収差の補正に関するもの
である。(6)式は第２レンズとしての負レンズのア
ツベ数の適切な範囲を規定するものである。本構
成においては、負レンズは１個のみであり、また
接合レンズが存在しない為、負レンズのアツベ数
は(6)式の範囲にないと、倍率色収差が補正しきれ
ない。(7)式は第４レンズとしての正レンズのアツ
ベ数の適切な範囲を規定するものである。本構成
において、正レンズは３個存在するが、倍率色収
差に最も効くのが第４レンズとしての正レンズで
ある、従つて、この第４レンズとしての正レンズ
のアツベ数が上記の範囲にないと倍率色収差が補
正しきれない。 尚、本構成において、第１レンズと第４レンズ
とのいずれかを接合レンズにすれば、(6)，(7)式の
範囲はもつと広くなるが、安価で簡単な構成とす
るためには、単レンズのままとし、上記の範囲を
満足するのが望ましい。 （実施例） 以下に本発明による実施例について説明する。 各実施例はいずれも上記本発明の条件を全て満た
すものである。そして、第１実施例では次のごと
く極めて簡単な構成になつている。すなわち第１
〜第４レンズは全て単一レンズで形成され、第１
レンズと第３レンズは同一のものであり、第２レ
ンズとしての負レンズは両面の曲率半径の絶対値
が等しい両凹レンズであり、第４レンズの眼側の
レンズ面は平面である。さらに３個の正レンズの
硝種は同一である。従つて、研磨面合計８面のう
ち、平面以外の曲率原器及び皿は４種類のみであ
り、工具の種類が少なく、工数の低減効果が著し
いものである。 本発明による第１〜第４実施例の諸元を順に下
表に示す。但し、r1，r2，r3……は入射光側すな
わち対物レンズ側から順次の各レンズ面の曲率半
径を表わし、d1，d2，d3……は各レンズの中心厚
及び空気間隔、n1，n2……は各レンズのｄ線（λ
＝587.6nm）に対する屈折率、ν1，ν2……は各レ
ンズのアツベ数を表わすものとする。また、各実
施例の焦点距離は25mm、画角は2ω＝44°で共通で
あり、Ｐはペツツバール和、EPはアイレリーフ
（眼距すなわち最終レンズ面頂点からアイポイン
トまでの距離）を表わすものとする。
る。 （発明の背景） 従来の一般的接眼レンズは正の単レンズ又は接
合レンズで構成されたものが多く、従つてペツツ
ヴアール和が大きく像面彎曲が残存し、また歪曲
収差も大きいものが多かつた。生物分野に使われ
る顕微鏡の場合、その対象となる標本は透過標本
で厚みのあるものが多く、またその形状も不規則
であり、像面彎曲や歪曲収差の残存している光学
系でもある程度は問題がなかつた。ところが、最
近のIC産業の発達に伴ない、その検査工程など
でも顕微鏡が使われることが多くなつた。これら
の標本は生物分野における標本とは異なり、多く
の場合反射光で観察する平坦な標本であり、また
微細な規則的なパターンの連続したものである。
従つて、これらを観察する場合には、その光学系
の像面彎曲と歪曲収差を小さくしておく必要があ
る。顕微鏡光学系において、対物レンズと接眼レ
ンズの歪曲収差を比べた場合、一般に接眼レンズ
の歪曲収差の方が大きく残存しており、まず接眼
レンズの改良が望まれていた。 このため、写真レンズでよく知られているトリ
プレツト型レンズを基本とした接眼レンズが、例
えば特開昭54−154342号公報により知られてい
る。この接眼レンズは強い負屈折力のレンズを設
けることによりペツツバール和を小さくし、非点
収差及びコマ収差を良好に補正したものであつ
た。しかしながら、この接眼レンズでは、歪曲収
差が最大画角においてまだ数％残存し、しかも瞳
の球面収差の補正も未だ十分ではなかつた。瞳の
球面収差とは、対物レンズの射出瞳が接眼レンズ
により、アイポイント位置に結像する際の画角に
よる光軸方向のズレ量である。即ち画角によりア
イポイント位置が異なつてしまうことを意味す
る。この瞳の球面収差が大きいと、視野周辺部、
中間部、中央部付近の光束が同じ位置に集光せ
ず、著しい場合には、視野にケラレを生じてしま
う。 （発明の目的） 本発明の目的は、歪曲収差が小さく、瞳の球面
収差も良好に補正され、像面の平坦性に優れた、
しかも簡単な構成からなる広視野接眼レンズを提
供することにある。 （発明の概要） 本発明による広視野接眼レンズは、第１図に示
す如く、光の入射側すなわち、空間像Ｉ側より順
に、正レンズの第１レンズL1、両凹負レンズの
第２レンズL2、正レンズの第３レンズL3、入射
光側により曲率の強い面を向けた正レンズの第４
レンズL4を有するものである。そして、この基
本構成に基づいて、全体の焦点距離をＦ、該第２
レンズ及び該第４レンズの焦点距離をそれぞれ
f2，f4、該第１〜第３レンズの合成焦点距離を
F′とし、該第４レンズの射出光側のレンズ面の曲
率半径をr8とするとき、 0.5F＜｜f2｜＜0.8F (1) 0.9F＜f4＜1.25F (2) 0.1F′＜f4＜0.5F′ (3) −0.7＜Ｆ／r8＜0.7 (4) の各条件を満足するようにしたものである。 上記本発明の接眼レンズもまたいわゆるトリプ
レツト型レンズを基本とするものではあるが、最
も射出光側の正レンズすなわち第４レンズL4の
屈折力が比較的小さいことを主たる特徴とするも
のである。すなわち、前述した特開昭54−154342
号公報に開示された接眼レンズでは、眼に最も近
い正レンズの屈折力が強く、しかも眼側により強
い凸面を向けた構成であるため、ここで発生する
歪曲収差がその直前に位置する負レンズによつて
も打消すことができず残存する傾向にあり、ま
た、瞳の球面収差については、このような眼側の
強い正屈折力のために補正不足となつていること
が判明し、これらの改善のために、必要な上記の
ごとき最適条件を見い出したのである。 以下、上記の各条件について説明する。 (1)式は第２レンズとしての負レンズのパワーに
関するものである。この負レンズは歪曲収差の補
正、アイレリーフ（眼距）の確保、像面彎曲の補
正、即ちペツツヴアール和を小さくするために必
要である。この条件の下限を超えると負レンズの
パワーが強くなり過ぎ、メリデイオナル像面、及
び歪曲収差がプラスに行き過ぎ、第４レンズとし
ての正レンズで補正した場合にも最大画角付近で
歪曲収差がＵターンする曲がりを生じる。また、
瞳の球面収差もプラスに行き過ぎる。他方、上限
を超えると、負レンズのパワーが弱くなり過ぎ、
ペツツバール和が大きくなり、像面彎曲が大きく
なる。また、光束の発散作用も小さくなるためア
イリーフも小さくならざるを得ない。 (2)式は第４レンズとしての正レンズのパワーに
関するものである。この正レンズは第２レンズの
負レンズと共に、像面彎曲と歪曲収差の補正のバ
ランスを良くするためのものであり、この正レン
ズは、第２レンズの負レンズで大きく発生した正
の歪曲収差を打消すべく、負の歪曲収差を発生さ
せている。この条件の下限を超えると正レンズの
パワーが強くなり、第１〜第３レンズの合成のパ
ワーが相対的に弱くなり、倍率色収差が補正不足
になる。また、後述の条件式(6)，(7)の範囲とも関
連するが、この範囲の既存の硝種をもつてしても
単レンズのままでは補正が困難になる。また、像
面と第１レンズとの間隔が短かくなり、レンズ面
のゴミやキズが目立つようになる、他方、この条
件の上限を超えると正レンズのパワーが弱くなり
過ぎ、メリデイオナル像面が歪曲収差に比べて大
きく正方向に動くため、これを第２レンズの負レ
ンズで打消した場合、歪曲収差が打消しきれず残
存してしまう。 逆に歪曲収差を打消した場合には、メリデイオ
ナル像面が負に行き過ぎ、また瞳の球面収差がオ
ーバーになつてしまう。 (3)式は第１〜第３レンズの合成と第４レンズと
のパワーの比に関するものである。下限を超える
と第４レンズの正のパワーが相対的に強くなり過
ぎ、(2)式の説明と同様に倍率色収差がアンダーと
なり、単レンズのみの構成では補正が困難にな
る。他方上限を超えると第４レンズの正のパワー
が相対的に弱くなり、メリデイオナル像面と歪曲
収差の補正のバランスが難しくなる。つまり第４
レンズのパワーの変化はメリデイオナル像面に大
きく影響を及ぼし、第１〜第３レンズの合成のパ
ワーの変化は歪曲収差に大きく影響を及ぼすた
め、第４レンズのパワーと第１〜第３レンズの合
成のパワーは上記の条件式(3)を満足しないと収差
のバランスをとることが難しくなる。 (4)式は第４レンズの眼側のレンズ面の曲率に関
するものである。この条件の下限を超えると眼に
対しての正屈折力が強くなり、歪曲収差とメリデ
イオナル像面がプラスに行きすぎる。特に歪曲収
差は、画角が大きくなるに従つて急激に正方向に
動き、第２レンズの負レンズで最大画角の歪曲収
差を打消しても中間の歪曲収差が大きく残存す
る。これを実際に観察すると視野の中間部分は糸
巻型歪曲、周辺部分が樽型歪曲という好ましくな
い歪曲となつてしまう。逆に上限を超えると眼に
対しての正屈折力が弱くなり、歪曲収差とメリデ
イオナル像面がマイナスに行きすぎる。歪曲収差
を第１〜第３レンズで補正した場合でもメリデイ
オナル像面がマイナスのまま大きく残つてしま
う。また、瞳の球面収差が大きくプラスに動き、
画角によるアイポイント位置が異なり、更に主点
が像側に寄るためアイレリーフ自体も短かくなり
観察の際不便である。 上記のごとき本発明の構成において、第２レン
ズと第３レンズとの空気間隔をd4、第２レンズ及
び第４レンズのアツベ数をそれぞれ、ν2，ν4とす
るとき、 0.08｜f2｜＜d4＜0.22｜f2｜ (5) ν2＜30 (6) ν4＞45 (7) の条件を満足することが望ましい。 (5)式の条件は第２レンズとしての負レンズの焦
点距離f2と第２レンズと第３レンズとの間隔d4の
比に関するものである。d4が下限を超えると、即
ち第２レンズと第３レンズとの間隔が小さくなる
と、第２レンズの凹レンズではね上げられた光束
があまり上がらないうちに第３レンズの正レンズ
で収束させられるため、アイレリーフが短かくな
る。また、d4をあまり小さくすると第２レンズと
第３レンズとがぶつかつてしまうので、これ以下
にはできない。他方d4が上限を超えると、即ち第
２レンズ、第３レンズとの間隔が大きくなると、
倍率色収差が補正不足になり単レンズのままでは
既存の硝種では補正が困難である。また、像面か
ら第１レンズまでの距離が小さくなり、レンズ面
のキズやゴミが目立ち易く、観察上好ましくな
い。 (6)，(7)式は主に倍率色収差の補正に関するもの
である。(6)式は第２レンズとしての負レンズのア
ツベ数の適切な範囲を規定するものである。本構
成においては、負レンズは１個のみであり、また
接合レンズが存在しない為、負レンズのアツベ数
は(6)式の範囲にないと、倍率色収差が補正しきれ
ない。(7)式は第４レンズとしての正レンズのアツ
ベ数の適切な範囲を規定するものである。本構成
において、正レンズは３個存在するが、倍率色収
差に最も効くのが第４レンズとしての正レンズで
ある、従つて、この第４レンズとしての正レンズ
のアツベ数が上記の範囲にないと倍率色収差が補
正しきれない。 尚、本構成において、第１レンズと第４レンズ
とのいずれかを接合レンズにすれば、(6)，(7)式の
範囲はもつと広くなるが、安価で簡単な構成とす
るためには、単レンズのままとし、上記の範囲を
満足するのが望ましい。 （実施例） 以下に本発明による実施例について説明する。 各実施例はいずれも上記本発明の条件を全て満た
すものである。そして、第１実施例では次のごと
く極めて簡単な構成になつている。すなわち第１
〜第４レンズは全て単一レンズで形成され、第１
レンズと第３レンズは同一のものであり、第２レ
ンズとしての負レンズは両面の曲率半径の絶対値
が等しい両凹レンズであり、第４レンズの眼側の
レンズ面は平面である。さらに３個の正レンズの
硝種は同一である。従つて、研磨面合計８面のう
ち、平面以外の曲率原器及び皿は４種類のみであ
り、工具の種類が少なく、工数の低減効果が著し
いものである。 本発明による第１〜第４実施例の諸元を順に下
表に示す。但し、r1，r2，r3……は入射光側すな
わち対物レンズ側から順次の各レンズ面の曲率半
径を表わし、d1，d2，d3……は各レンズの中心厚
及び空気間隔、n1，n2……は各レンズのｄ線（λ
＝587.6nm）に対する屈折率、ν1，ν2……は各レ
ンズのアツベ数を表わすものとする。また、各実
施例の焦点距離は25mm、画角は2ω＝44°で共通で
あり、Ｐはペツツバール和、EPはアイレリーフ
（眼距すなわち最終レンズ面頂点からアイポイン
トまでの距離）を表わすものとする。
【表】
上記第１〜第４実施例それぞれにおける本発明
による上記条件式の対応値を下表にそれぞれ示し
ておく。
による上記条件式の対応値を下表にそれぞれ示し
ておく。
【表】
上記第１〜第４実施例の諸収差図をそれぞれ順
に第２図〜第４図に示す。各収差図には、瞳の球
面収差（PSph）を基準光線としてのｄ線（λ＝
587.6nm）、Ｃ線（λ＝656.3nm）、Ｆ線（λ＝
486.1nm）、ｇ線（λ＝435.8nm）について示し、
また、眼側から光線追跡計算を行なつた場合の非
点収差（Ast）、コマ収差（Coma）、歪曲収差
（Dis）をそれぞれ示した。尚、接眼レンズの性
能を分り易く説明するために、収差計算において
は、対物レンズを無収差とした。また、瞳の球面
収差（PSph）の図における縦軸のスケールは対
物レンズによつて形成される中間像の像高を示
し、FNはここでは対物レンズの像高ｙに相当す
る値を示している。 上記の各収差図より、各実施例とも瞳の球面収
差が十分良好に補正され、像面彎曲、コマ収差、
歪曲収差も良好に補正されており、特に歪曲収差
が約１％と極めて良好に補正されていることが明
らかである。 （発明の効果） 以上のごとく、本発明によれば、歪曲収差が小
さく、瞳の球面収差も良好に補正され像面の平坦
性にも優れた高性能の広視野接眼レンズが簡単に
製造でき、IC素子等の平坦な規則的微細パター
ンの検査に適した接眼レンズの大量かつ安価な供
給が可能となる。
に第２図〜第４図に示す。各収差図には、瞳の球
面収差（PSph）を基準光線としてのｄ線（λ＝
587.6nm）、Ｃ線（λ＝656.3nm）、Ｆ線（λ＝
486.1nm）、ｇ線（λ＝435.8nm）について示し、
また、眼側から光線追跡計算を行なつた場合の非
点収差（Ast）、コマ収差（Coma）、歪曲収差
（Dis）をそれぞれ示した。尚、接眼レンズの性
能を分り易く説明するために、収差計算において
は、対物レンズを無収差とした。また、瞳の球面
収差（PSph）の図における縦軸のスケールは対
物レンズによつて形成される中間像の像高を示
し、FNはここでは対物レンズの像高ｙに相当す
る値を示している。 上記の各収差図より、各実施例とも瞳の球面収
差が十分良好に補正され、像面彎曲、コマ収差、
歪曲収差も良好に補正されており、特に歪曲収差
が約１％と極めて良好に補正されていることが明
らかである。 （発明の効果） 以上のごとく、本発明によれば、歪曲収差が小
さく、瞳の球面収差も良好に補正され像面の平坦
性にも優れた高性能の広視野接眼レンズが簡単に
製造でき、IC素子等の平坦な規則的微細パター
ンの検査に適した接眼レンズの大量かつ安価な供
給が可能となる。
第１図は本発明による接眼レンズの光路図、第
２図〜第５図は本発明による第１〜第４実施例の
諸収差図である。 主要部分の符号の説明、L1……第１レンズ、
L2……第２レンズ、L3……第３レンズ、L4……
第４レンズ。
２図〜第５図は本発明による第１〜第４実施例の
諸収差図である。 主要部分の符号の説明、L1……第１レンズ、
L2……第２レンズ、L3……第３レンズ、L4……
第４レンズ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 光の入射側より順に、正レンズの第１レン
ズ、両凹負レンズの第２レンズ、正レンズの第３
レンズ、入射光側により曲率の強い面を向けた正
レンズの第４レンズを有し、全体の焦点距離を
Ｆ、該第２レンズ及び該第４レンズの焦点距離を
それぞれf2，f4、該第１〜第３レンズの合成焦点
距離をF′とし、該第４レンズの射出光側のレンズ
面の曲率半径をr8とするとき、 0.5F＜｜f2｜＜0.8F (1) 0.9F＜f4＜1.25F (2) 0.1F′＜f4＜0.5F′ (3) −0.7＜Ｆ／r8＜0.7 (4) の各条件を満足することを特徴とする広視野接眼
レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58165664A JPS6057315A (ja) | 1983-09-08 | 1983-09-08 | 広視野接眼レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58165664A JPS6057315A (ja) | 1983-09-08 | 1983-09-08 | 広視野接眼レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6057315A JPS6057315A (ja) | 1985-04-03 |
| JPH0428285B2 true JPH0428285B2 (ja) | 1992-05-14 |
Family
ID=15816666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58165664A Granted JPS6057315A (ja) | 1983-09-08 | 1983-09-08 | 広視野接眼レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6057315A (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5227918A (en) * | 1988-11-10 | 1993-07-13 | Olympus Optical Co., Ltd. | Wide field eyepiece lens system |
| JP3250739B2 (ja) * | 1991-10-24 | 2002-01-28 | オリンパス光学工業株式会社 | 顕微鏡用超広視野接眼レンズ |
| JP3401317B2 (ja) * | 1994-02-23 | 2003-04-28 | ペンタックス株式会社 | ルーペ |
| JPH08254660A (ja) * | 1995-01-17 | 1996-10-01 | Asahi Optical Co Ltd | 接眼レンズ |
| US6011655A (en) * | 1995-01-17 | 2000-01-04 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Eyepiece |
| CN107884924B (zh) * | 2012-10-04 | 2021-03-23 | 株式会社尼康 | 目镜光学系统和光学装置 |
| JP6003504B2 (ja) * | 2012-10-04 | 2016-10-05 | 株式会社ニコン | 接眼光学系、光学機器 |
| JP6816347B2 (ja) * | 2015-05-29 | 2021-01-20 | 株式会社ニコン | 接眼レンズ、接眼レンズを有する光学機器 |
| JP6634767B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2020-01-22 | 株式会社ニコン | 接眼レンズおよび光学機器 |
| CN110824694A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-02-21 | 北方夜视技术股份有限公司 | 基于分色膜的增强型夜视镜目视系统 |
| JP7191005B2 (ja) | 2019-12-25 | 2022-12-16 | 富士フイルム株式会社 | 接眼レンズ、観察光学系、および光学装置 |
| JP7140181B2 (ja) * | 2020-12-24 | 2022-09-21 | 株式会社ニコン | 接眼レンズ、接眼レンズを有する光学機器、および接眼レンズの製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE616565C (de) * | 1932-06-23 | 1935-07-31 | Zeiss Carl Fa | Sammelndes, aus zwei frei stehenden Linsengruppen bestehendes Okular |
| JPS53138357A (en) * | 1977-05-09 | 1978-12-02 | Yoshihiko Yamauchi | Eyepiece lens |
-
1983
- 1983-09-08 JP JP58165664A patent/JPS6057315A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6057315A (ja) | 1985-04-03 |
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