JPH04283062A - 平面研削方法及びその平面研削装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、被加工材を研
削盤に取付けて所望の研削加工をするに先立って該研削
盤に対する被加工材の取付け面を基準面として研削する
平面研削方法及び平面研削装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の平面研削装置にあっては
、上向きの平面状の研削面を有しかつ積極回転されるデ
イスク砥石と、このデイスク砥石の研削面に乗載されか
つ該研削面を目立修正する修正リングとを備え、このデ
イスク砥石の研削面を修正リングにより目立修正して該
研削面の平面度を修正するとともに、その研削面に被加
工材を乗載して平面研削加工をなすように構成されてい
た。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のものにあっては、修正リングによる研削面の修
正作業は必ずしも正確に行われず、研削面の平面度の崩
れにしたがって目立修正してしまい適性な平面度を確保
することが困難であった。そこで、本発明は、上記した
従来の問題点に鑑み、デイスク砥石の研削面の切れ味を
良化するとともに高精度な平面度を確保しながら被加工
材を平面研削することができる平面研削方法及びその平
面研削装置を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明方法の第１の請求項は、デイスク砥石の
上向き平面状の研削面上に目立修正リングを乗載して該
デイスク砥石を回転しながら研削面の目立作用をし、前
記研削面上に被加工材を乗載して研削する平面研削方法
であって、前記目立修正リングをその中心部がデイスク
砥石の研削面における径方向の中立点に位置させて該目
立修正リングにより研削面の目立とともにその平面状態
を修正しながら被加工材を研削するようにしたことを要
旨とするものである。また、本発明方法の第２の請求項
は、デイスク砥石の上向き平面状の研削面上に目立修正
リングを乗載して該デイスク砥石を回転しながら研削面
の目立作用をし、前記研削面上に被加工材を乗載して研
削する平面研削方法であって、前記目立修正リングをそ
の中心部がデイスク砥石の研削面における径方向の中立
点に位置させ、該目立修正リングを研削面の平面度の状
態に対応して該研削面に対する中立点から半径方向に移
動しながら同研削面の目立とともにその平面状態を修正
して被加工材を研削するようにしたことを要旨とするも
のである。そして、本発明装置の第３の請求項は、デイ
スク砥石の平面状の研削面上に目立修正リングを乗載し
て該デイスク砥石を回転しながら研削面の目立及び平面
状態の修正作用をなし、前記研削面上に被加工材を乗載
して研削する平面研削装置であって、前記目立修正リン
グをその中心部がデイスク砥石の研削面における径方向
の中立点に位置保持する保持手段と、前記目立修正リン
グを研削面の平面度に対応して該研削面の半径方向に移
動調整する手段と、被加工材を研削面上に保持する保持
手段とを備えてなるを要旨とするものである。さらに、
本発明装置の第４の請求項は、デイスク砥石の平面状の
研削面上に目立修正リングを乗載して該デイスク砥石を
回転しながら研削面の目立及び平面状態の修正作用をな
し、前記研削面上に被加工材を乗載して研削する平面研
削装置であって、前記目立修正リングをその中心部がデ
イスク砥石の研削面における径方向の中立点に位置保持
する保持手段と、前記目立修正リングを研削面の半径方
向に移動調整する手段と、前記研削面の平面度を測定す
る測定手段と、被加工材を研削面上に保持する保持手段
とを備え、前記測定手段により研削面の平面度の凹凸面
状態を測定して凹面状態であれば目立修正リングを中立
点から半径方向に外周側に向けて移動修正しかつ凸面状
態であれば中立点から半径方向に中心側に向けて移動修
正するように連続的に位置制御したことを要旨とするも
のである。

【０００５】

【作用】上記した構成により、目立修正リングをその中
心部がデイスク砥石の研削面における径方向の中立点に
位置させることによって、該目立修正リングにより研削
面の目立作用とその平面状態の修正作用とを最適になし
、そして、該目立修正されたデイスク砥石の研削面によ
り被加工材を研削することができる。また、目立修正リ
ングをデイスク砥石の研削面の平面度の状態に対応して
該研削面に対する中立点から半径方向に修正移動するこ
とによって、同研削面を常にその平面度の状態に対応し
た目立作用とその平面状態の修正作用とを最適になして
被加工材を研削することができる。そして、研削面の平
面度を測定手段により測定して、該測定結果が凹面状態
であれば目立修正リングを中立点から半径方向に外周側
に向けて移動修正し、また、凸面状態であれば目立修正
リングを中立点から半径方向の中心側に向けて移動修正
するように連続的に位置制御して該研削面の目立作用と
その平面状態の修正作用とを最適になし、そして、目立
修正されたデイスク砥石の研削面により被加工材を研削
することができる。

【０００６】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面にしたがって
詳述すると、図において、１は本例の平面研削装置の全
体を示し、大別すると、デイスク砥石２を備えた砥石装
置部３と、該デイスク砥石２の研削面２ａを目立修正す
る目立修正リング４の保持装置部５と、研削すべき被加
工材Ｒを保持する保持装置部６と、前記砥石装置部３の
デイスク砥石２の平面度を測定する測定装置部７とから
構成されている。

【０００７】砥石装置部３のデイスク砥石２は、中心部
に所望の径の孔を有する所望の厚みの円盤状（リング状
ともいう）に形成されてその上面を幅広の平面状の研削
面２ａとなし、下面側には円盤状の基盤８を介して砥石
軸９が垂下されている。そして、デイスク砥石２はその
砥石軸９が箱形状の前側フレーム１０の上面板１０ａ上
のほぼ中央部に軸受部材１１により回転可能に支承され
て該フレーム１０内に装設された減速装置１２を介して
駆動モータ１３に連結されている。

【０００８】前記目立修正リング４の保持装置部４につ
いて説明すると、前記前側フレーム１０と一体に形成さ
れた後側フレーム１４には主ブラケット１５が支軸１６
により若干の水平回動可能に配置され、その下部フラン
ジには取付け用の長孔１７〜１７が同一円周上に形成さ
れていて該長孔１７〜１７に嵌挿された固定ボルト１８
〜１８により前記後側フレーム１４にその支軸１６周り
の位置調節可能に固定されている。　　主ブラケット１
５上には対の支持突片１９，１９が突設され、両支持突
片１９，１９間には前後に所定の間隔をおいてガイド軸
２０，２０が横架されており、また前面にはブラケット
２１を介して後述する目立修正リング４の移動用の第１
の駆動モータ２２がそのモータ軸を上向きにして垂下状
に取付けられている。

【０００９】可動ブラケット２３は水平状の横枠２３ａ
と、該横枠２３ａ上に立設された対の縦枠２３ｂとから
なり、その縦枠２３ｂが前記両ガイド軸２０，２０に対
して水平方向へのスライド可能に装設されている。また
、可動ブラケット２３の縦枠２３ｂ間には前記一方（前
側）のガイド軸２０を傾動支点とするほぼ鉤形状の支持
アーム２４が上下方向への傾動可能に配設され、この支
持アーム２４の角筒形状の水平部２４ａの先端下部には
目立修正リング４が垂下状に装設されている。すなわち
、支持アーム２４の水平部２４ａの先端は前記デイスク
砥石２の上方に延出されていてその下部には固定軸２５
が垂下され、この固定軸２５の下端部に球面ベアリング
２６を介して支持円盤２７が回転可能かつ首振り自在に
支承され、そして、この支持円盤２７の下面には目立修
正リング４が複数個の取付けボルト２８により固定され
ている。しかして、目立修正リング４は前記デイスク砥
石２の研削面２ａに対して図２においてほぼ左半分の部
位に位置されるとともに、その中心部を前記前記デイス
ク砥石２における研削面２ａを円周方向において外側と
内側とに２分する円周上の点（本明細書においては中立
点という。）に合致するように設定位置されている。こ
の目立修正リング４は、デイスク砥石２の研削面２ａに
おける切れ味の劣化した不用な砥粒を脱落させ鋭い切刃
を有する新しい砥粒だけを残す、いわゆる目立作用をな
すもので、例えば、鋳鉄製から形成されており、そのリ
ング径は前記デイスク砥石２の研削面２ａの１／３以上
の径がのぞましい。なお、目立修正リング４は図示リン
グ状の形状の他、円盤、多角形等種々の形状のものを採
用してもよい。

【００１０】可動ブラケット２３の横枠２３ａ上には前
記他方のガイド軸２０に一部が挿通された固定ブラケッ
ト２９が立設され、この固定ブラケット２９の上端部に
は前記支持アーム２４のエアー圧等で動作される傾動用
作動シリンダ３０が上下方向への傾動可能に支持されて
おり、そのロッド３０ａの先端が前記支持アーム２４の
垂直部２４ｂのほぼ上部にブラケットを介して枢着され
ている。この傾動用作動シリンダ３０によるロッド３０
ａの進退動により支持アーム２４が上下方向に傾動され
、デイスク砥石２に対して目立修正リング４を上方に退
避したり当接させたりするものである。

【００１１】また、前記支持アーム２４の水平部２４ａ
の上面上にはウエート３１が乗載され、このウエート３
１は該水平部２４ａの上面中央部の長手方向に沿って形
成された一条のガイド溝３２に挿通された固定ボルト３
３により水平部２４ａの長手方向の位置調整可能に固止
されており、これによって、デイスク砥石２に対する目
立修正リング４の押付け力が調整されるものである。

【００１２】そして、前記可動ブラケット２３の横枠２
３ａの下面中央部の前側には前記ガイド軸２０，２０と
直交方向に対のガイド板３４，３４を固着して一条の直
線状カム溝３５が形成されており、この直線状カム溝３
５内には前記第１の駆動モータ２２により駆動されるカ
ムローラ３６がスライド可能に嵌合されている。すなわ
ち、前記ブラケット２１に回転可能に支承された支軸３
７が前記第１の駆動モータ２２のモータ軸と軸継手３８
を介して連結され、この支軸３７の上端部には検出円盤
３９と、カム円盤４０とが同軸上に取付けられ、該カム
円盤４０上にはその中心より半径方向に偏位した部位に
前記カムローラ３６が回転可能に装設されている。しか
して、第１の駆動モータ２２により支軸３７とともにカ
ム円盤４０が回転され、この回転によってカムローラ３
６が直線状カム溝３５内をガイド板３４，３４に摺接し
ながら支軸３７回りを偏心回転されるので、この偏心量
に対応して可動ブラケット２３が支持アーム２４ととも
に主ブラケット１５のガイド軸２０，２０に沿って直線
状に往復動され、これによって目立修正リング４を研削
面２ａの中立点から半径方向の外周側及び中心側に移動
されてその位置が修正されるものである。前記検出円盤
３９の外周には回転位置検出手段が形成されており、こ
の回転位置検出手段は、研削面２ａに対する目立修正リ
ング４の中立点に対応するカムローラ３６と同位置に形
成された中立点用の検知片４１ａと、該中立点からの中
心側に移動する最大量２Ｌの半分の移動量Ｌに対応する
カムローラ３６と同位置に形成された第１の検知片４１
ｂと、中立点からの中心側に移動する最大量２Ｌに対応
するカムローラ３６と同位置に形成された第２の検知片
４１ｃと、中心側の最大移動位置から中立点に移動する
量の半分の移動量Ｌに対応するカムローラ３６と同位置
に形成された第３の検知片４１ｄと、前記中立点用の検
知片４１ａと１８０度変位して対応する中立点用の検知
片４１ｅと、この中立点からの外周側に移動する最大量
２Ｌの半分の移動量Ｌに対応するカムローラ３６と同位
置に形成された第４の検知片４１ｆと、中立点からの外
周側に移動する最大量２Ｌに対応するカムローラ３６と
同位置に形成された第５の検知片４１ｇと、この最大移
動位置から中立点に移動する量の半分の移動量Ｌに対応
するカムローラ３６と同位置に形成された第６の検知片
４１ｈとから構成され、そして、前記目立修正リング４
の中立点に対応するカムローラ３６の位置と同一位置上
に配置された近接スイッチ等の検出器４２が前記前側フ
レーム１０の後面に固定されており、この検出器４２は
目立修正リング４の中立点に対応するカムローラ３６の
位置にあってそれぞれ前記各検知片４１ａ〜４１ｈによ
りその各位置を検出して第１の駆動モータ２２の駆動停
止を制御するものである。

【００１３】つぎに、被加工材の保持装置部５について
説明すると、前記後側フレーム１４上には前記目立修正
リング４の保持装置４の主ブラケット１５と並設された
旋回軸４３ａにより旋回フレーム４３が支承されており
、その前面にはブラケット４４を介して後述するワーク
ホルダーの首振り用の第２の駆動モータ４５がそのモー
タ軸を上向きにして垂下状に取付けられている。そして
、後側フレーム１４上のブラケット４６を介してエアー
圧等で動作される旋回用作動シリンダ４７が水平方向へ
の傾動可能に支持されており、そのロッド４７ａの先端
が前記旋回フレーム４３の外周ほぼ下部にブラケットを
介して枢着されている。この旋回用作動シリンダ４７に
よるロッド４７ａの進退動により旋回フレーム４３が旋
回軸４３ａを中心として水平状に旋回されるように構成
されている。

【００１４】旋回軸４３ａ上には前側に延出した固定ブ
ラケット４８が装設され、この固定ブラケット４８の先
端部には支軸４９を傾動支点とするほぼ鉤形状の支持ア
ーム５０が上下方向への傾動可能に配設されており、こ
の支持アーム５０の角筒形状の水平部５０ａの先端下部
には円盤状のワークホルダ５１が垂下状に装設されてい
る。すなわち、支持アーム５０の水平部５０ａの先端は
前記デイスク砥石２の上方に延出されていてその下部に
は回転軸５２が垂下され、この回転軸５２の下端部に球
面ベアリング５３を介して支持円盤５４が回転可能かつ
首振り自在に支承され、この支持円盤５４の下面には被
加工材Ｒを上部から押付けるワークホルダ５１が装設さ
れている。そして、前記回転軸５２のほぼ下端部には回
転伝達盤５５が嵌着されており、この回転伝達盤５５の
下部に対向する前記支持円盤５４との間の複数カ所）に
は連結ピン５６が該回転伝達盤５５と支持円盤５４の両
者にわたって嵌合されており、これにより、ワークホル
ダ５１と回転軸５２とが一体的に回転されるように構成
されている。また、ワークホルダ５１は磁石等の吸着手
段（図示しない）を複数ヶ所配設して被加工材Ｒを吸着
状態で保持するとともに、前記デイスク砥石２の研削面
２ａに対して図２においてほぼ右半分の所望部位に位置
されるものである。

【００１５】支持アーム５０の垂直部５０ｂの下部一端
には前記支軸４９の軸端部を傾動支点とする傾動アーム
５７が立設されており、また固定ブラケット４８の後方
にはブラケット５８が立設され、このブラケット５８の
上端部にはエアー圧等で動作される支持アーム５０の傾
動用作動シリンダ５９が上下方向への傾動可能に支持さ
れており、そのロッド５９ａの先端が前記傾動アーム５
７の上端部に枢着されている。この傾動用作動シリンダ
５９によるロッド５９ａの進退動により傾動アーム５７
を介して支持アーム５０が上下方向に傾動され、デイス
ク砥石２に対してワークホルダ５１を上方に退避したり
接近させたりするものである。

【００１６】また、前記支持アーム５０の水平部５０ａ
の上面上にはウエート６０が乗載され、このウエート６
０は該水平部５０ａの上面中央部の長手方向に沿って形
成された一条のガイド溝６１に挿通された固定ボルト６
２により水平部５０ａの長手方向の位置調整可能に固止
されており、これによって、デイスク砥石２に対するワ
ークホルダ５１の押付け力が調整されるものである。

【００１７】そして、支持アーム５０の水平部５０ａ内
の長手方向には伝達軸６３が回転可能に支承されていて
、この伝達軸６３の先端部には前記回転軸５２のベベル
ギヤ６４ａと噛合されたベベルギヤ６４ｂが嵌着され、
後端部は該支持アーム５０の垂直部５０ｂに装設された
駆動モータ６５のモータ軸６５ａと連結されている。こ
れにより、ワークホルダ５１は積極的に回転されるもの
である。

【００１８】そして、前記固定ブラケット４８の下面中
央部の前側には前記と同様に対のガイド板６６，６６を
固着して一条の直線状カム溝６７が形成されており、こ
の直線状カム溝６７内には前記第２の駆動モータ４５に
より駆動されるカムローラ６８がスライド可能に嵌合さ
れている。すなわち、前記ブラケット４４に回転可能に
支承された支軸６９が前記第２の駆動モータ４５のモー
タ軸と軸継手７０を介して連結され、この支軸６９の上
端部にはカム円盤７１が取付けられ、該カム円盤７１上
にはその中心より半径方向に偏位した部位に前記カムロ
ーラ６８が回転可能に装設されている。しかして、第２
の駆動モータ４５により支軸６９とともにカム円盤７１
が回転され、この回転によってカムローラ６８が直線状
カム溝６７内をガイド板６６，６６に摺接しながら支軸
６９回りを偏心回転されるので、この偏心量に対応して
固定ブラケット４８が支持アーム５０とともに旋回軸４
３ａを中心として首振り動作され、これによってワーク
ホルダ５１を研削面２ａ上においてほぼ半径方向に首振
り動作するものである。

【００１９】つづいて、前記測定装置部６について説明
すると、後側フレーム１４の後部ほぼ中央部には固定支
柱７２が立設されており、この固定支柱７２には水平状
に固定アーム７３が前記デイスク砥石２の研削面２ａの
上方に延出されている。この固定アーム７３の先端部に
流体圧シリンダ７４が上下方向に装設されていて、その
ロッド７４ａが下方に垂下されている。支持フレーム７
５はほぼ前記デイスク砥石２の直径に相当する長さを有
し、かつその中央部が前記ロッド７４ａに対して上下動
自在に嵌合されていて、該デイスク砥石２の研削面２ａ
に対して前記目立修正リング４とワークホルダ５１との
間における研削面２ａ上に当接可能に対向されている。 この支持フレーム７５の下面のほぼ両端部及びほぼ中央
部には前記研削面２ａの平面度、すなわち、面状態がデ
イスク砥石２の研削面２ａにあってその外周側より内周
側の高さが低い凹面状か、外周側より内周側の高さが高
い凸面状か、また外周側と内周側との高さがほぼ同一の
偏平面状かを測定するための例えばセラミックス製の接
触子（ブロック）７６ａ〜７６ｃが取付けられ、その両
端の接触子７６ａ，７６ｃは固定形となしかつ中央部の
接触子７６ｂは前記面状態が凹面状か凸面状か、また偏
平面かに対応して電気的に検出するセンサ７７を備えた
可動形となしている。そして、この両端部の接触子７６
ａ，７６ｃが研削面２ａに当接した状態においてセンサ
７７を備えた接触子７６ｂが該面状態の凹面状か凸面状
か、また偏平面状かに対応する微動によってそれぞれの
状態を検知測定するものである。そして、センサ７７に
よる検知信号は電気制御部に入力され、それに基づいて
凸面状であれば目立修正リング４を中立点から中心側に
移動するように、また凹面状であれば目立修正リング４
を中立点から外周側に移動するように、そして偏平面状
であれば目立修正リング４を中立点に保持するように、
第１の駆動モータ２２を前記検出円盤３９の各検知片４
１ａ〜４１ｈ及びこれに対応する検出器４２と協働して
駆動停止制御されるものである。

【００２０】上述のように構成された本実施例の作用に
ついて説明する。まず、目立修正リング４がデイスク砥
石２の研削面２ａに対して第２図においてほぼ左半分の
部位に位置されるとともに、その中心部を前記前記デイ
スク砥石２における研削面２ａを円周方向において外側
と内側とに２分する円周上の点、すなわち、中立点に合
致して該研削面２ａに当接させる。この当接状態は支持
アーム２４の水平部２４ａにおけるウエート３１の位置
を調節して該目立修正リング４に所望の重力を付与して
研削面２ａに対して所望の押圧力で圧接されるものであ
る。

【００２１】一方、平面研削すべき被加工材Ｒをワーク
ホルダ５１により吸着状態で保持するとともに、該ワー
クホルダ５１をデイスク砥石２の研削面２ａ上に当接位
置させる。この当接状態は支持アーム５０の水平部５０
ａにおけるウエート６０の位置を調節して該ワークホル
ダ５１に所望の重力を付与して研削面２ａに対して所望
の押圧力で圧接されるものである。

【００２２】そこで、駆動モータ１３を駆動して減速装
置１２、砥石軸８を介してデイスク砥石２を高速で回転
すると、該デイスク砥石２の研削面２ａに圧接された目
立修正リング４が同デイスク砥石２の回転に伴って支持
アーム２４の固定軸２５を中心として球面ベアリング２
６を介して自由状態で回転されるので、この回転される
目立修正リング４によりデイスク砥石２の研削面２ａに
対して切れ味の劣化した不用な砥粒を脱落させ鋭い切刃
を有する新しい砥粒だけを残す、いわゆる目立作用と平
面状態の修正作用が行われる。一方、デイスク砥石２の
研削面２ａに圧接されかつワークホルダ５１により吸着
保持された被加工材Ｒは目立修正された研削面２ａによ
りその下面の平面研削される。すなわち、デイスク砥石
２の研削面２ａは目立修正リング４により常に目立作用
及び平面状態の修正作用とがなされながら被加工材Ｒの
下面の平面研削するものである。

【００２３】この研削加工中にあって、ワークホルダ５
１は駆動モータ６５の駆動により伝達軸６３、ベベルギ
ヤ６４ａ，６４ｂ、回転軸５２、回転伝達盤５５、連結
ピン５６、支持円盤５４を介して回転されて被加工材Ｒ
を積極的に回転する。また、第２の駆動モータ４５を駆
動して支軸６９、カム円盤７１を回転すると、該カム円
盤７１のカムローラ６８が直線状カム溝６７内をガイド
板６６，６６に摺接しながら支軸６９回りを偏心回転さ
れるので、この偏心量に対応して固定ブラケット４８が
支持アーム５０とともに旋回軸４３ａを中心として首振
り動作され、これによってワークホルダ５１を研削面２
ａ上においてほぼ半径方向に首振り動作して被加工材Ｒ
を積極的に研削面２ａ上をほぼ半径方向に沿って往復動
する。したがって、前記被加工材Ｒの積極的な回転動作
と、半径方向に沿って往復動（首振り動作）によって、
被加工材Ｒの研削状態の良化を図るものである。

【００２４】そして、研削の終了に伴って、傾動用作動
シリンダ５９を作動して、そのロッド５９ａを退動する
と、傾動アーム５７を介して支持アーム５０が支軸４９
を支点として上方向に傾動され、デイスク砥石２に対し
てワークホルダ５１全体を上方に退避するとともに、旋
回用作動シリンダ４７を作動して、そのロッド４７ａの
進動すると、被加工材Ｒの保持装置５の旋回フレーム４
３が旋回軸４３ａを中心として水平状に旋回されて被加
工材Ｒをデイスク砥石２の研削面２ａ上から退避して、
研削を終了した被加工材Ｒを取外し、つぎの研削すべき
被加工材Ｒを装着して前述とは逆の動作により、研削す
べき被加工材Ｒをつぎの研削加工に対応するものである
。

【００２５】さて、デイスク砥石２における研削面２ａ
の平面度を修正する作用について説明する。回転を停止
しかつ被加工材Ｒが乗載されていない研削加工の休止時
間の状態において、デイスク砥石２の研削面２ａに対し
て測定装置部６における流体圧シリンダ７４を作動して
そのロッド７４ａを下降して支持フレーム７５の各接触
子７６ａ〜７６ｃを研削面２ａに当接する。そして、こ
の両端部の接触子７６ａ，７６ｃが研削面２ａに当接し
た状態においてセンサ７７を備えた接触子７６ｂがその
センサ７７による該面状態の凹面状か、凸面状か、また
偏平面状かに対応する微動によってそれぞれの状態を検
知測定するものである。この測定は複数回、例えば、３
回行なってその内の多数検知測定された面状態をその測
定結果とし、今仮に、面状態が凸面状として検知測定さ
れ、目立修正リング４の位置が研削面２ａに対して最も
中心側に位置された状態にある場合、該センサ７７によ
る検知信号が電気制御部に入力され、それに基づいて目
立修正リング４を中立点から中心側に移動するように第
１の駆動モータ２２を駆動する。しかし、検出器４２が
検出円盤３９における研削面２ａに対して目立修正リン
グ４の位置の最も中心側に位置された部位に対応した第
２の検知片４１ｃを検出しているので、第１の駆動モー
タ２２は駆動されない。したがって、目立修正リング４
は研削面２ａに対して最も中心側に位置された状態を維
持される。そこで、前述のようにしてデイスク砥石２を
回転して目立修正リング４により研削面２ａの平面状態
を目立修正しながらつぎの被加工材Ｒの下面の平面研削
するものである。この場合、研削面２ａは次第に内面側
が目立修正されるものである。

【００２６】ついで、所定の時間各被加工材Ｒを研削し
たのち、再び前述のように測定装置部６により研削面２
ａの平面度を測定してその状態を検知し、依然凸面状も
しく偏平面状であれば、前述した状態を継続して、その
状態によるつぎの研削加工工程を続行する。そして、こ
の測定工程と研削加工工程とを繰り返し行なうと、研削
面２ａは次第にとくに内面側が目立修正された状態とな
り、つぎの測定により凹面状を検知測定した場合は、第
１の駆動モータ２２を駆動して中心側の最大移動位置か
ら中立点に移動する量の半分の移動量Ｌに対応するカム
ローラ３６と同位置に形成された第３の検知片４１ｄを
検知器４２が検知するまで回転する。この場合、カムロ
ーラ３６が直線状カム溝３５内をガイド板３４，３４に
摺接しながら支軸３７回りを偏心回転されるので、この
偏心量に対応して可動ブラケット２３が支持アーム２４
とともに主ブラケット１５のガイド軸２０，２０に沿っ
て直線状に移動される。したがって、目立修正リング４
が研削面２ａの中心側から中立点に一段近づいた量移動
されてその位置が前述の状態から修正位置される。

【００２７】上記の状態にあって、再び、前述のように
してデイスク砥石２を回転して目立修正リング４により
研削面２ａの目立修正しながらつぎの被加工材Ｒの下面
の平面研削するものである。

【００２８】ついで、所定の時間各被加工材Ｒを研削し
たのち、再び前述のように測定装置部６により研削面２
ａの平面度を測定してその状態を検知し、依然凹面状で
あれば、第１の駆動モータ２２を再び駆動してら中立点
に対応するカムローラ３６と同位置に形成された第３の
検知片４１ｅを検知器４２が検知するまで回転する。こ
の場合、目立修正リング４が前述のようにして研削面２
ａの中立点に移動されてその位置が前述の状態から修正
位置される。

【００２９】そして、前述のように測定装置部６により
研削面２ａの平面度を測定してその状態を検知し、依然
凹面状であれば、第１の駆動モータ２２を再び駆動して
ら中立点からの外周側に移動する最大量２Ｌの半分の移
動量Ｌに対応するカムローラ３６と同位置に形成された
第４の検知片４１ｆを検知器４２が検知するまで回転す
る。この場合、目立修正リング４が前述のようにして研
削面２ａの中立点から外周側に一段近づいた量移動され
てその位置が前述の状態から修正位置される。この場合
、研削面２ａは次第に外周側が目立修正されるものであ
る。

【００３０】さらに、測定状態が依然凹面状であれば、
第１の駆動モータ２２を再び駆動して中立点からの外周
側に移動する最大量２Ｌに対応するカムローラ３６と同
位置に形成された第５の検知片４１ｇを検知器４２が検
知するまで回転する。この場合、目立修正リング４が前
述のようにして研削面２ａの外周側に最大量移動されて
その位置が前述の状態から修正位置される。この場合、
研削面２ａは次第に外周側がとくに目立修正されるもの
である。

【００３１】ついで、再び前述のように測定装置部６に
より研削面２ａの平面度を測定してその状態を検知し、
偏平面状であれば、前述した状態を継続して、その状態
によるつぎの研削加工工程を続行する。

【００３２】そして、測定状態が凸面状であれば、第１
の駆動モータ２２を再び駆動して最大移動位置から中立
点に移動する量の半分の移動量Ｌに対応するカムローラ
３６と同位置に形成された第６の検知片４１ｈを検知器
４２が検知するまで回転する。この場合、目立修正リン
グ４が研削面２ａの外周側から中立点に一段近づいた量
移動されてその位置が前述の状態から修正位置される。

【００３３】このようにして、研削加工休止時間にデイ
スク砥石２の研削面２ａを検知測定して、その平面状態
に対応して目立修正リング４をデイスク砥石２の研削面
２ａの中立点から内周側或いは外周側に半径方向に移動
して研削面２ａを目立修正しながら被加工材Ｒを研削す
るものである。そのデイスク砥石２の研削面２ａの状態
に対する目立修正リング４の位置との関係を図１４に示
す。

【００３４】

【発明の効果】以上のように、本発明は、目立修正リン
グをその中心部がデイスク砥石の研削面における径方向
の中立点に位置させることによって、該目立修正リング
により研削面を最適に目立作用とともにその平面状態の
修正作用を行ない、そして、該目立修正されたデイスク
砥石の研削面により被加工材を研削することができる。 また、目立修正リングをデイスク砥石の研削面の平面度
の状態に対応して該研削面に対する中立点から半径方向
に修正移動することによって、同研削面を常にその平面
度の状態に対応した適性な目立作用とともにその平面状
態の修正作用をなし、被加工材を研削することができる
。そして、研削面の平面度を測定手段により測定して、
該測定結果が凹面状態であれば目立修正リングを中立点
から半径方向に外周側に向けて移動修正し、また、凸面
状態であれば目立修正リングを中立点から半径方向の中
心側に向けて移動修正するように連続的に位置制御して
該研削面を最適に目立作用とともにその平面状態の修正
作用を行ない、そして、目立修正されたデイスク砥石の
研削面により被加工材を研削することができる。このこ
とは、デイスク砥石の研削面の良好な切れ味を常に維持
するとともに高精度な平面度を確保しながら被加工材を
平面研削することができる利点を有するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す装置の側面図である。

【図２】同じく装置の平面図である。

【図３】同じく目立修正リングの保持装置部の側面図で
ある。

【図４】同じく目立修正リングの保持装置部の平面図で
ある。

【図５】同じく図３のＡ−Ａ線断面図である。

【図６】同じく図３のＢ−Ｂ線断面図である。

【図７】同じく目立修正リングの取付け状態を示す断面
図である。

【図８】同じく検出円盤と検出器との関係を示す平面図
である。

【図９】同じく被加工材の保持装置部の側面図である。

【図１０】同じく被加工材の保持装置部の平面図である
。

【図１１】同じく図７のＣ−Ｃ線断面図である。

【図１２】同じくワークホルダの取付け状態を示す断面
図である。

【図１３】同じく測定装置部を示す側面図である。

【図１４】同じく目立修正リングの位置とデイスク砥石
の研削面との位置関係をグラフとして示す説明図である
。

【符号の説明】

２　　デイスク砥石 ２ａ　　研削面 ４　　目立修正リング ５　　目立修正リングの保持装置部 ６　　被加工材の保持装置部 ７　　測定装置部 Ｒ　　被加工材

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　デイスク砥石の上向き平面状の研削面
   上に目立修正リングを乗載して該デイスク砥石を回転し
   ながら研削面の目立作用をし、前記研削面上に被加工材
   を乗載して研削する平面研削方法であって、前記目立修
   正リングをその中心部がデイスク砥石の研削面における
   径方向の中立点に位置させて該目立修正リングにより研
   削面の目立作用とともにその平面状態の修正作用をしな
   がら被加工材を研削するようにしたことを特徴とする平
   面研削方法。
2. 【請求項２】　　デイスク砥石の上向き平面状の研削面
   上に目立修正リングを乗載して該デイスク砥石を回転し
   ながら研削面の目立作用をし、前記研削面上に被加工材
   を乗載して研削する平面研削方法であって、前記目立修
   正リングをその中心部がデイスク砥石の研削面における
   径方向の中立点に位置させ、該目立修正リングを研削面
   の平面度の状態に対応して該研削面に対する中立点から
   半径方向に移動しながら同研削面の目立作用とともにそ
   の平面状態の修正作用をして被加工材を研削するように
   したことを特徴とする平面研削方法。
3. 【請求項３】　　デイスク砥石の平面状の研削面上に目
   立修正リングを乗載して該デイスク砥石を回転しながら
   研削面の目立及び平面状態の修正作用をなし、前記研削
   面上に被加工材を乗載して研削する平面研削装置であっ
   て、前記目立修正リングをその中心部がデイスク砥石の
   研削面における径方向の中立点に位置保持する保持手段
   と、前記目立修正リングを研削面の平面度に対応して該
   研削面の半径方向に移動調整する手段と、被加工材を研
   削面上に保持する保持手段とを備えてなるを特徴とする
   平面研削装置。
4. 【請求項４】　　デイスク砥石の平面状の研削面上に目
   立修正リングを乗載して該デイスク砥石を回転しながら
   研削面の目立及び平面状態の修正作用をなし、前記研削
   面上に被加工材を乗載して研削する平面研削装置であっ
   て、前記目立修正リングをその中心部がデイスク砥石の
   研削面における径方向の中立点に位置保持する保持手段
   と、前記目立修正リングを研削面の半径方向に移動調整
   する手段と、前記研削面の平面度を測定する測定手段と
   、被加工材を研削面上に保持する保持手段とを備え、前
   記測定手段により研削面の平面度の凹凸面状態を測定し
   て凹面状態であれば目立修正リングを中立点から半径方
   向に外周側に向けて移動修正しかつ凸面状態であれば中
   立点から半径方向に中心側に向けて移動修正するように
   連続的に位置制御したことを特徴とする平面研削装置。