JPH04283070A - 研磨スピンドル - Google Patents
研磨スピンドルInfo
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- JPH04283070A JPH04283070A JP3044829A JP4482991A JPH04283070A JP H04283070 A JPH04283070 A JP H04283070A JP 3044829 A JP3044829 A JP 3044829A JP 4482991 A JP4482991 A JP 4482991A JP H04283070 A JPH04283070 A JP H04283070A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- permanent magnet
- polishing tool
- load cell
- spindle
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/04—Headstocks; Working-spindles; Features relating thereto
- B24B41/044—Grinding spindles with magnetic or electromagnetic bearings; Features related thereto
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B13/00—Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/10—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation involving electrical means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/16—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the load
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は球面、非球面等総てのガ
ラスレンズ研磨仕上げ工程、いわゆるポリシング工程に
おける研磨装置の研磨スピンドルに関するものである。
ラスレンズ研磨仕上げ工程、いわゆるポリシング工程に
おける研磨装置の研磨スピンドルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、光学ガラスレンズは単なる光学機
器だけでなく情報通信装置やらＡ機器にも活用され、ま
すます小型化，軽量化，高機能化，高制度化の要求が高
まっている。とりわけ半導体を製造する露光装置などに
おいては、超高制度なガラスレンズが必要になりレンズ
を研磨する技術はもはや人為による制度領域を越えよう
としている。
器だけでなく情報通信装置やらＡ機器にも活用され、ま
すます小型化，軽量化，高機能化，高制度化の要求が高
まっている。とりわけ半導体を製造する露光装置などに
おいては、超高制度なガラスレンズが必要になりレンズ
を研磨する技術はもはや人為による制度領域を越えよう
としている。
【０００３】球面レンズは従来研磨皿と呼ばれる研磨工
具に、ポリウレタンゴムなどのシートを貼り、研磨液を
掛けながら原器と摺り合わせて研磨皿を仕上げ、この皿
の内面を被加工ガラスレンズ面に同様に摺り合わせてそ
の内面形状を転写することにより献上制度を得て来た。 このとき同知のごとく、被加工レンズの性能が研磨工具
の形状制度に依存することはもとよりであるが、さらに
加工条件としてのメッシュサイズ、周速、加圧力、加工
時間や研磨液の濃度、供給料など経験的、実験的なパラ
メータも被加工レンズの性能に大きく影響を与える。
具に、ポリウレタンゴムなどのシートを貼り、研磨液を
掛けながら原器と摺り合わせて研磨皿を仕上げ、この皿
の内面を被加工ガラスレンズ面に同様に摺り合わせてそ
の内面形状を転写することにより献上制度を得て来た。 このとき同知のごとく、被加工レンズの性能が研磨工具
の形状制度に依存することはもとよりであるが、さらに
加工条件としてのメッシュサイズ、周速、加圧力、加工
時間や研磨液の濃度、供給料など経験的、実験的なパラ
メータも被加工レンズの性能に大きく影響を与える。
【０００４】以下図面を参照しながら、上述した従来の
方法に用いられている研磨スピンドルの一例について説
明する。
方法に用いられている研磨スピンドルの一例について説
明する。
【０００５】第３図は、従来の研磨スピンドルを示す。
図において、１は研磨皿、２はカンザシと呼ばれるピボ
ット軸受、３はカンザシ２を支持する自在断手，４はカ
ンザシのシャット部，５はカンザシシャフトを支持する
フランジ，６はバランスウエイトである。
ット軸受、３はカンザシ２を支持する自在断手，４はカ
ンザシのシャット部，５はカンザシシャフトを支持する
フランジ，６はバランスウエイトである。
【０００６】主軸であるスプラインシャフト１８は上下
ガイド１６とガイド１０を備え、これらは互いに軸方向
に移動可能である。ガイド１０は割り付きハウジング１
１とベアリング９，ナット７，８を介してスピンドル本
体１２に回転可能に内節されている。ガイド１６も同様
にダイミングプーリー１５に拘持され、ベアリング１３
とナット８，１４を介してスピンドル本体１２に内節さ
れ回転可能である。図示はしないがタイミングプーリー
１５には駆動部がある。
ガイド１６とガイド１０を備え、これらは互いに軸方向
に移動可能である。ガイド１０は割り付きハウジング１
１とベアリング９，ナット７，８を介してスピンドル本
体１２に回転可能に内節されている。ガイド１６も同様
にダイミングプーリー１５に拘持され、ベアリング１３
とナット８，１４を介してスピンドル本体１２に内節さ
れ回転可能である。図示はしないがタイミングプーリー
１５には駆動部がある。
【０００７】スプラインシャット１８の上下動を検出す
るため近接スイッチ２０ａ等を備えたブラケット２０が
スプラインシャット１８にベアリング１９，ナット８を
介して設けられ、ポール２１で廻り止めされている。１
７は下限ストッパー，２２は装置本体（図示省略）への
ブランケットである。
るため近接スイッチ２０ａ等を備えたブラケット２０が
スプラインシャット１８にベアリング１９，ナット８を
介して設けられ、ポール２１で廻り止めされている。１
７は下限ストッパー，２２は装置本体（図示省略）への
ブランケットである。
【０００８】以上のように構成された研磨スピンドルに
ついて、以下その動作を説明する。まず、図示しない駆
動部よりタイミングプーリ−１５へ回転力が伝達される
と、タイミングプーリー１５はブランケット２２で支持
されているスピンドル本体１２にベアリング１３を介し
て軸支されているため、ガイド１６及びスプラインシャ
フト１８に回転力が与えられる。一方、ガイド１０もス
ピンドル本体１２に対してはベアリング９を介して軸支
されているため回転可能であり、結果としてハウジング
１１とともにスプラインシャフト１８に運動して回転す
る。さらに、スプラインシャフト１８の軸端に拘持され
たフランジ５とバランスエイト６，カンザシシャフト４
，自在断手３，カンザシ２，研磨皿１もθ方向に回転す
る。
ついて、以下その動作を説明する。まず、図示しない駆
動部よりタイミングプーリ−１５へ回転力が伝達される
と、タイミングプーリー１５はブランケット２２で支持
されているスピンドル本体１２にベアリング１３を介し
て軸支されているため、ガイド１６及びスプラインシャ
フト１８に回転力が与えられる。一方、ガイド１０もス
ピンドル本体１２に対してはベアリング９を介して軸支
されているため回転可能であり、結果としてハウジング
１１とともにスプラインシャフト１８に運動して回転す
る。さらに、スプラインシャフト１８の軸端に拘持され
たフランジ５とバランスエイト６，カンザシシャフト４
，自在断手３，カンザシ２，研磨皿１もθ方向に回転す
る。
【０００９】次に、ブランケット２２を降下させて研磨
皿１を矢印Ｚのように下げると研磨皿１が被加工レンズ
（図示省略）に当接する。そして、スプラインシャフト
１８その他の上下駆動部材の自動が被加工レンズに加圧
力として作用し、同時にカンザシ２と研磨皿１の中心が
自動的に被加工レンズの曲率中心に向き、自動調芯を起
きる。このとき研磨液を被加工レンズに供給することで
研磨砥粒が被加工レンズの研磨を促進する。
皿１を矢印Ｚのように下げると研磨皿１が被加工レンズ
（図示省略）に当接する。そして、スプラインシャフト
１８その他の上下駆動部材の自動が被加工レンズに加圧
力として作用し、同時にカンザシ２と研磨皿１の中心が
自動的に被加工レンズの曲率中心に向き、自動調芯を起
きる。このとき研磨液を被加工レンズに供給することで
研磨砥粒が被加工レンズの研磨を促進する。
【００１０】研磨皿１が被加工物に摺接するとスプライ
ンシャフト１８は反力で矢印Ｚとは反対方向へ移動し、
ストッパ１７がガイド１６から離れる。このときスプラ
インシャフト１８とともにブラケット２０も上昇するた
め、近接スイッチ２０ａが作動して、研磨皿１と被加工
レンズとの接触が検出される。
ンシャフト１８は反力で矢印Ｚとは反対方向へ移動し、
ストッパ１７がガイド１６から離れる。このときスプラ
インシャフト１８とともにブラケット２０も上昇するた
め、近接スイッチ２０ａが作動して、研磨皿１と被加工
レンズとの接触が検出される。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成では、大口径レンズになればなる程、また高
制度化が要求される程、研磨皿１を大きくしたり、摺合
わせ仕上げの制度を高くしたりする必要がある。他方、
加圧力バランスは、静的にはカウンタウエイト６で制御
することができるか、動的なコントロールが不可能であ
った。さらに、スプラインシャフト１８とガイド１０，
１６の間には数十μｍ程度の隙間があり、回転軸が動的
に振れるため、精密な球面形状を得ることが根本的に難
しい。このような理由で上記従来の研磨スピンドルは大
口径で高制度なレンズの研磨には不十分であった。
ような構成では、大口径レンズになればなる程、また高
制度化が要求される程、研磨皿１を大きくしたり、摺合
わせ仕上げの制度を高くしたりする必要がある。他方、
加圧力バランスは、静的にはカウンタウエイト６で制御
することができるか、動的なコントロールが不可能であ
った。さらに、スプラインシャフト１８とガイド１０，
１６の間には数十μｍ程度の隙間があり、回転軸が動的
に振れるため、精密な球面形状を得ることが根本的に難
しい。このような理由で上記従来の研磨スピンドルは大
口径で高制度なレンズの研磨には不十分であった。
【００１２】本発明は、上記問題点に鑑み、大口径で高
制度なレンズの研磨を実現する研磨スピンドルを提供す
ることを課題とするものである。
制度なレンズの研磨を実現する研磨スピンドルを提供す
ることを課題とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明の研磨スピンドルは、回転可能な加工ヘッ
ド部と、その軸線上に配置され薄板状の板バネを介して
前記軸線方向への往復動可能に前記加工ヘッドに弾性的
に支持された研磨工具と、この研磨工具よりも内側にお
いて前記軸線上に配置され前記研磨工具といったいにな
った永久磁石と、研磨スピンドル本体に支持されたコー
ドセルと、前記永久磁石との間に磁場のなび得る範囲内
のギャップを隔てて前記ロードセルに固定された電磁石
とを備えたものである。
めに、本発明の研磨スピンドルは、回転可能な加工ヘッ
ド部と、その軸線上に配置され薄板状の板バネを介して
前記軸線方向への往復動可能に前記加工ヘッドに弾性的
に支持された研磨工具と、この研磨工具よりも内側にお
いて前記軸線上に配置され前記研磨工具といったいにな
った永久磁石と、研磨スピンドル本体に支持されたコー
ドセルと、前記永久磁石との間に磁場のなび得る範囲内
のギャップを隔てて前記ロードセルに固定された電磁石
とを備えたものである。
【００１４】
【作用】本発明は、上記した構成によって、軸線方向（
Ｚ方向）の加圧力を微細にかつ動的に制御することと、
スプラインシャフトを使用せず板バネを活用することで
ラジアル方向の振れを除去することができ、局部的な被
加工レンズの形状修正を実現することができることとな
る。
Ｚ方向）の加圧力を微細にかつ動的に制御することと、
スプラインシャフトを使用せず板バネを活用することで
ラジアル方向の振れを除去することができ、局部的な被
加工レンズの形状修正を実現することができることとな
る。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の一実施例の研磨スピンドルに
ついて、図面を参照しながら説明する。
ついて、図面を参照しながら説明する。
【００１６】図１は本発明の実施例にかかる研磨スピン
ドルの局部縦断面を示している。図にみるように、装置
本体（図示省略）に固定されてブラケット２２に研磨ス
ピンドル本体２４を割り締めリング２３，２５で拘持し
てある。この研磨スピンドル本体２４にはロードセル２
６が付設してあり、ロードセル２６の検出部のもう一端
には電磁石２９が懸吊してある。研磨スピンドル本体２
４には外装部２７を設けておいてロードセル２６，電磁
石２９を保護する。外装部２７にはベアリング３３とス
ペーサ３１，３２とヘッドカバー３４を外嵌し、駆動部
（図示省略）とタイミングプーリ４５をヘッドカバー３
４に付設してヘッドカバー３４を回転するようになって
いる。ヘッドカバー３４には外輪押え３６が嵌入され、
これは板バネ３８をスペーサ３７で固定している。スペ
ーサ３７には板バネ３９を押さえプレート４３で固定し
ている。
ドルの局部縦断面を示している。図にみるように、装置
本体（図示省略）に固定されてブラケット２２に研磨ス
ピンドル本体２４を割り締めリング２３，２５で拘持し
てある。この研磨スピンドル本体２４にはロードセル２
６が付設してあり、ロードセル２６の検出部のもう一端
には電磁石２９が懸吊してある。研磨スピンドル本体２
４には外装部２７を設けておいてロードセル２６，電磁
石２９を保護する。外装部２７にはベアリング３３とス
ペーサ３１，３２とヘッドカバー３４を外嵌し、駆動部
（図示省略）とタイミングプーリ４５をヘッドカバー３
４に付設してヘッドカバー３４を回転するようになって
いる。ヘッドカバー３４には外輪押え３６が嵌入され、
これは板バネ３８をスペーサ３７で固定している。スペ
ーサ３７には板バネ３９を押さえプレート４３で固定し
ている。
【００１７】板バネ３８と板バネ３９としては薄板円形
状のもので板厚０．２ｍｍ以下のものが適している。そ
して、各々中心近傍で低バネ定数を持たせるために、図
２に示したように、同心半円弧状の切欠きを同一半径前
後で２個ずつ、外周縁に向かって設け、半径方向に隣接
する切欠きな互いに円周方向に略９０°ずつ位置がずれ
て千鳥状配置となるようにしてある。各板バネの中心に
は貫通用の下穴を設けている。図２は図１の研磨工具支
持部、この板バネ３８と３９の係合関係を中心近傍だけ
示している。
状のもので板厚０．２ｍｍ以下のものが適している。そ
して、各々中心近傍で低バネ定数を持たせるために、図
２に示したように、同心半円弧状の切欠きを同一半径前
後で２個ずつ、外周縁に向かって設け、半径方向に隣接
する切欠きな互いに円周方向に略９０°ずつ位置がずれ
て千鳥状配置となるようにしてある。各板バネの中心に
は貫通用の下穴を設けている。図２は図１の研磨工具支
持部、この板バネ３８と３９の係合関係を中心近傍だけ
示している。
【００１８】図２にみるように、板バネ３８と３９の間
にはカラー３５を狭み、頭に永久磁石４８を付設したボ
ルト３０とナット４０で板バネ３８と３９を狭み付け固
定する。ナット４０の下端には水切り板４４を固定する
加工ヘッド座４１が取付けられ、加工ヘッド座４１の先
端にウレタンゴム等の研磨工具４２が貼着してある。
にはカラー３５を狭み、頭に永久磁石４８を付設したボ
ルト３０とナット４０で板バネ３８と３９を狭み付け固
定する。ナット４０の下端には水切り板４４を固定する
加工ヘッド座４１が取付けられ、加工ヘッド座４１の先
端にウレタンゴム等の研磨工具４２が貼着してある。
【００１９】図１にみるように、研磨工具４２は、板バ
ネ３８と３９、外輪押さえ３６を介してヘッドカバー３
４に上下方向への弾性的な往復運動可能な状態で支持さ
れている。さらに永久磁石４８と磁石２９は、相互間に
一定のギャップを設け、電磁石２９が発生する磁力と永
久磁石４８の磁力が反発する方向に内設する。
ネ３８と３９、外輪押さえ３６を介してヘッドカバー３
４に上下方向への弾性的な往復運動可能な状態で支持さ
れている。さらに永久磁石４８と磁石２９は、相互間に
一定のギャップを設け、電磁石２９が発生する磁力と永
久磁石４８の磁力が反発する方向に内設する。
【００２０】前述した外装部２７にはホルダ２８を外装
し、研磨液を吐き出させるノズル４６と流量調整バルブ
４７を固定している。
し、研磨液を吐き出させるノズル４６と流量調整バルブ
４７を固定している。
【００２１】以上のように構成された研磨スピンドルに
ついて以下、図１及び図２を用いてその動作を説明する
。
ついて以下、図１及び図２を用いてその動作を説明する
。
【００２２】まず、ヘッドカバー３４は図示していない
駆動部からタイミングプーリー４５に伝達された回転力
により回転する。この回転に伴い外輪押さえ３６と板バ
ネ３８が回転し、これに付随して永久磁石４８、ボルト
３０，カラー３５，スペーサ３２，３７，板バネ３９，
ナット４０，水切り板４４，加工ヘッド座４１，研磨工
具４２も回転する。
駆動部からタイミングプーリー４５に伝達された回転力
により回転する。この回転に伴い外輪押さえ３６と板バ
ネ３８が回転し、これに付随して永久磁石４８、ボルト
３０，カラー３５，スペーサ３２，３７，板バネ３９，
ナット４０，水切り板４４，加工ヘッド座４１，研磨工
具４２も回転する。
【００２３】このように、タイミングプーリー４５を回
転することにより研磨工具４２を同期して回転させるこ
とができる。
転することにより研磨工具４２を同期して回転させるこ
とができる。
【００２４】次に、装置本体（図示省略）がブラケット
２２を降下させることにより本研磨スピンドル全体が降
下し、研磨工具４２がその下方にある被加工レンズと当
接し、さらに降下が進むと研磨工具４２は反力で板バネ
３８，３９を撓ませながら上方に偏移する。
２２を降下させることにより本研磨スピンドル全体が降
下し、研磨工具４２がその下方にある被加工レンズと当
接し、さらに降下が進むと研磨工具４２は反力で板バネ
３８，３９を撓ませながら上方に偏移する。
【００２５】この研磨工具４２の偏移に伴って、永久磁
石４８も上方に偏移し、この永久磁石４８と電磁石２９
との空隙がせまくなるため、互いの反発磁力が増大し、
ロードセル２６に圧縮力Ｆが作用する。予め圧縮力Ｆ（
ロードセル計測値）と加圧力ｆ（研磨工具４２と被加工
レンズとの実圧接力）との相関関係は把握できるので、
連続的に圧縮力Ｆを計測することで動的に加圧力ｆを知
ることができる。
石４８も上方に偏移し、この永久磁石４８と電磁石２９
との空隙がせまくなるため、互いの反発磁力が増大し、
ロードセル２６に圧縮力Ｆが作用する。予め圧縮力Ｆ（
ロードセル計測値）と加圧力ｆ（研磨工具４２と被加工
レンズとの実圧接力）との相関関係は把握できるので、
連続的に圧縮力Ｆを計測することで動的に加圧力ｆを知
ることができる。
【００２６】このようにして、微少の加圧力Δｆで局部
的な修正研磨を行なう場合、対応する圧縮力がΔＦとす
ると、ロードセル計測値をこのΔＦに収束するように電
磁石２９に与える電流をフィードバック制御することで
、上記の微少加圧力Δｆが得られる。従って、この制御
系をハード構成し、研磨加工中の動的補償として扱い、
一種の力制御系のサーボシステムを形成することで高制
度に加圧Δｆを安定させることができるのである。
的な修正研磨を行なう場合、対応する圧縮力がΔＦとす
ると、ロードセル計測値をこのΔＦに収束するように電
磁石２９に与える電流をフィードバック制御することで
、上記の微少加圧力Δｆが得られる。従って、この制御
系をハード構成し、研磨加工中の動的補償として扱い、
一種の力制御系のサーボシステムを形成することで高制
度に加圧Δｆを安定させることができるのである。
【００２７】この状態を維持しながらノズル４６より流
量調整バルブ４７で調整された研磨液を吐き出して研磨
工具４２の加圧力Δｆと回転力により被加工レンズの研
磨加工を実現する。
量調整バルブ４７で調整された研磨液を吐き出して研磨
工具４２の加圧力Δｆと回転力により被加工レンズの研
磨加工を実現する。
【００２８】以上のように、本発明によれば、一端を研
磨スピンドル本体に固定し、もう一端に電磁石を付設し
たロードセルと、異なる半径で千鳥に穿孔した単数また
は複数の薄板状の板バネと、前記板バネの中心に付設さ
れ、下端に研磨工具を有する軸と前記軸の上端に永久磁
石を付設して前記電磁石の磁場内でその永久磁石が往復
運転するように前記板バネを内接した回転可能は加工ヘ
ッド部とを備えることにより従来のごとき摺動部材をな
くしたため、回転軸の振れが抑制でき、微少な加圧力を
動的に制御が可能で、微細な領域での局部修正研磨が実
現することができる。
磨スピンドル本体に固定し、もう一端に電磁石を付設し
たロードセルと、異なる半径で千鳥に穿孔した単数また
は複数の薄板状の板バネと、前記板バネの中心に付設さ
れ、下端に研磨工具を有する軸と前記軸の上端に永久磁
石を付設して前記電磁石の磁場内でその永久磁石が往復
運転するように前記板バネを内接した回転可能は加工ヘ
ッド部とを備えることにより従来のごとき摺動部材をな
くしたため、回転軸の振れが抑制でき、微少な加圧力を
動的に制御が可能で、微細な領域での局部修正研磨が実
現することができる。
【００２９】なお、上記の実施例では２枚の板バネで研
磨工具を支持したが１枚であっても多数枚であってもよ
い。
磨工具を支持したが１枚であっても多数枚であってもよ
い。
【００３０】
【発明の効果】以上のように、本発明はロードセルの光
端に電磁石を設け、その下方の電磁石の磁場内で永久磁
石を往復運転するように板バネで保持し、その中心軸の
先端に研磨工具を設けて回転させる構成をとっているた
め、ロードセルの計測圧力が一定になるよう電磁石の電
流を制御することで動的な定圧研磨加工を実現すること
ができる。
端に電磁石を設け、その下方の電磁石の磁場内で永久磁
石を往復運転するように板バネで保持し、その中心軸の
先端に研磨工具を設けて回転させる構成をとっているた
め、ロードセルの計測圧力が一定になるよう電磁石の電
流を制御することで動的な定圧研磨加工を実現すること
ができる。
【００３１】従って、本発明は、大口系レンズ，超高制
度レンズなどの局部修正研磨スピンドルとしての実用化
を実現する。
度レンズなどの局部修正研磨スピンドルとしての実用化
を実現する。
【図１】本発明の実施例における研磨スピンドルの局部
縦断面斜視図
縦断面斜視図
【図２】図１における研磨工具支持部の斜視図
【図３】
従来の研磨スピンドルの局部縦断面斜視図
従来の研磨スピンドルの局部縦断面斜視図
１ 研磨皿
６ バランスウエイト
９，１３ ベアリング
１０，１６ ガイド
１８ スプラインシャフト
１５，４５ タイミングプーリー
２６ ロードセル
２９ 電磁石
３３ ベアリング
３８，３９ 板バネ
４０ ナット
４１ 加工ヘッド座
４２ 研磨工具
４６ ノズル
４８ 永久磁石
Claims (1)
- 【請求項１】 回転可能な加工ヘッド部と、その軸線
上に配置され薄板状の板バネを介して前記軸線方向への
往復動可能に前記加工ヘッドに弾性的に支持された研磨
工具と、この研磨工具よりも内側において前記軸線上に
配置され前記研磨工具と一体になった永久磁石と、研磨
スピンドル本体に支持されたコードセルと、前記永久磁
石との間に磁場のなび得る範囲内のギャップを隔てて前
記ロードセルに固定された電磁石とをそれぞれ備えた研
磨スピンドル。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3044829A JP2827540B2 (ja) | 1991-03-11 | 1991-03-11 | 研磨スピンドル |
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