JPH04283915A - 保管容器 - Google Patents
保管容器Info
- Publication number
- JPH04283915A JPH04283915A JP4800091A JP4800091A JPH04283915A JP H04283915 A JPH04283915 A JP H04283915A JP 4800091 A JP4800091 A JP 4800091A JP 4800091 A JP4800091 A JP 4800091A JP H04283915 A JPH04283915 A JP H04283915A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- storage
- pressure
- storage container
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Packages (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被保管物、例えば半導
体ウェーハや露光用のレチクル等（以下、ウェーハとい
う）を清浄な保管室内で保管する保管容器、特に高圧状
態の気体の膨張エネルギーを利用して保管室内を清浄に
できる保管容器に関する。
体ウェーハや露光用のレチクル等（以下、ウェーハとい
う）を清浄な保管室内で保管する保管容器、特に高圧状
態の気体の膨張エネルギーを利用して保管室内を清浄に
できる保管容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】次に、従来の保管容器について図３を参
照しながら説明する。図３は、従来の保管容器を説明す
るための模式的側断面図である。なお、本明細書におい
ては同一部品、同一材料等に対しては全図をとおして同
じ符号を付与してある。
照しながら説明する。図３は、従来の保管容器を説明す
るための模式的側断面図である。なお、本明細書におい
ては同一部品、同一材料等に対しては全図をとおして同
じ符号を付与してある。
【０００３】従来の保管容器は、図３に示すように、被
保管物１０を保管する保管室１１ａ と広い空間を有す
る与圧室１１ｂ とがＨＥＰＡフィルタ （Ｈｉｇｈ
Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉ
ｒ−Ｆｉｌｔｅｒ） 等の除塵フィルタ１２により仕切
られた容器本体１１と、平板状の盲板１３ａ の中央部
に設けた開口に筒状の送風筒１３ｂ を嵌着し、配設さ
れた与圧室１１ｂ を高圧室１１ｂ１と減圧室１１ｂ２
とに分割する分離板１３と、回転軸の先端に固定したプ
ロペラ１５を送風筒１３ｂ 内で回転させる電動モータ
１４と、減圧室１１ｂ２の側板を開口して設けられて、
減圧室１１ｂ２内と大気中とを連通させる吸入孔１６と
、保管室１１ａ の側板に設けた貫通孔に嵌着されて、
保管室１１ａ 内と大気中とを連通させる気体放出管１
７と、全面に点在した複数の通気孔１８ａ を有し、保
管室１１ａ 内に水平に配設された載置棚１８等を含ん
で構成したものである。そして、かかる保管容器は、半
導体製造工場等のクリーンルーム等内に設置されて、昼
夜を問わず終夜運転されるのが一般的である。
保管物１０を保管する保管室１１ａ と広い空間を有す
る与圧室１１ｂ とがＨＥＰＡフィルタ （Ｈｉｇｈ
Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉ
ｒ−Ｆｉｌｔｅｒ） 等の除塵フィルタ１２により仕切
られた容器本体１１と、平板状の盲板１３ａ の中央部
に設けた開口に筒状の送風筒１３ｂ を嵌着し、配設さ
れた与圧室１１ｂ を高圧室１１ｂ１と減圧室１１ｂ２
とに分割する分離板１３と、回転軸の先端に固定したプ
ロペラ１５を送風筒１３ｂ 内で回転させる電動モータ
１４と、減圧室１１ｂ２の側板を開口して設けられて、
減圧室１１ｂ２内と大気中とを連通させる吸入孔１６と
、保管室１１ａ の側板に設けた貫通孔に嵌着されて、
保管室１１ａ 内と大気中とを連通させる気体放出管１
７と、全面に点在した複数の通気孔１８ａ を有し、保
管室１１ａ 内に水平に配設された載置棚１８等を含ん
で構成したものである。そして、かかる保管容器は、半
導体製造工場等のクリーンルーム等内に設置されて、昼
夜を問わず終夜運転されるのが一般的である。
【０００４】この保管容器の保管室１１ａ 内が塵埃の
極めて少ない雰囲気になる過程は、常時作動している電
動モータ１４により回転しているプロペラ１５が、吸入
孔１６から気体、例えばクリーンルーム内から取り込ん
だ空気Ａを分離板１３の送風筒１３ｂ から勢い良く与
圧室１１ｂ の高圧室１１ｂ１内に送り込む。すると、
高圧室１１ｂ１が陽圧（ 大気圧以上の圧力） となっ
て空気Ａが除塵フィルタ１２を通過しながらそのなかの
塵埃を除去されて清浄な空気Ｂ（以下、クリーンエアー
Ｂという）となって、保管室１１ａ に静かに噴出する
。
極めて少ない雰囲気になる過程は、常時作動している電
動モータ１４により回転しているプロペラ１５が、吸入
孔１６から気体、例えばクリーンルーム内から取り込ん
だ空気Ａを分離板１３の送風筒１３ｂ から勢い良く与
圧室１１ｂ の高圧室１１ｂ１内に送り込む。すると、
高圧室１１ｂ１が陽圧（ 大気圧以上の圧力） となっ
て空気Ａが除塵フィルタ１２を通過しながらそのなかの
塵埃を除去されて清浄な空気Ｂ（以下、クリーンエアー
Ｂという）となって、保管室１１ａ に静かに噴出する
。
【０００５】このクリーンエアーＢは、連続して保管室
１１ａ 内に送り込まれるからこの流量に見合う流量で
、保管室１１ａ 内のクリーンエアーＢは気体放出管か
ら、例えばクリーンルーム外に放出されることとなる。
１１ａ 内に送り込まれるからこの流量に見合う流量で
、保管室１１ａ 内のクリーンエアーＢは気体放出管か
ら、例えばクリーンルーム外に放出されることとなる。
【０００６】このような構成した保管容器の保管室１１
ａ に、被保管物、例えばウェーハホルダ１９に垂直に
差し立てしたウェーハ１０を保管しておくと、ウェーハ
１０は保管中にクリーンエアーＢにより洗われてその表
面はより塵埃が少なくなる。
ａ に、被保管物、例えばウェーハホルダ１９に垂直に
差し立てしたウェーハ１０を保管しておくと、ウェーハ
１０は保管中にクリーンエアーＢにより洗われてその表
面はより塵埃が少なくなる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前述した従
来の保管容器においては、何らかの原因により停電状態
となって電動モータ１４が突然停止すると、保管室１１
ａ へのクリーンエアーＢの供給も停止するために、保
管室１１ａ 内を無塵状態に保持することは極めて困難
であった。
来の保管容器においては、何らかの原因により停電状態
となって電動モータ１４が突然停止すると、保管室１１
ａ へのクリーンエアーＢの供給も停止するために、保
管室１１ａ 内を無塵状態に保持することは極めて困難
であった。
【０００８】本発明は、このような問題を解消するため
になされたものであって、その目的は高圧状態の気体の
エネルギーにより保管室内を無塵状態にすることのでき
る保管容器の提供にある。
になされたものであって、その目的は高圧状態の気体の
エネルギーにより保管室内を無塵状態にすることのでき
る保管容器の提供にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的は、図１に示す
如く、保管室２１ａ と与圧室２１ｂ とを有し、保管
室２１ａと与圧室２１ｂ とが除塵フィルタ２２を介し
て連通した容器本体２１と、高圧状態の気体を供給され
て、高圧状態の気体を噴出した際の膨張エネルギーを利
用して与圧室２１ｂ の圧力を大気圧以上にする与圧手
段２３と、保管室２１ａ 内をその外部に連通する気体
放出手段２４とを含んで構成したことを特徴とする保管
容器により達成される。
如く、保管室２１ａ と与圧室２１ｂ とを有し、保管
室２１ａと与圧室２１ｂ とが除塵フィルタ２２を介し
て連通した容器本体２１と、高圧状態の気体を供給され
て、高圧状態の気体を噴出した際の膨張エネルギーを利
用して与圧室２１ｂ の圧力を大気圧以上にする与圧手
段２３と、保管室２１ａ 内をその外部に連通する気体
放出手段２４とを含んで構成したことを特徴とする保管
容器により達成される。
【００１０】
【作用】本発明の保管容器は、高圧状態の気体が噴出す
る際の膨張エネルギーにより与圧室２１ｂ 内を大気圧
以上にし、そして、与圧室２１ｂ 内での圧力が大気圧
以上になった気体は除塵フィルター２２を通過しながら
その中に含まれる塵埃を除去されて保管室２１ａ に吹
き出させている。
る際の膨張エネルギーにより与圧室２１ｂ 内を大気圧
以上にし、そして、与圧室２１ｂ 内での圧力が大気圧
以上になった気体は除塵フィルター２２を通過しながら
その中に含まれる塵埃を除去されて保管室２１ａ に吹
き出させている。
【００１１】したがって、本発明の保管容器は、電気を
使用していないために、突発的な停電が発生してもその
保管室２１ａ を清浄な状態に保持できることとなる。
使用していないために、突発的な停電が発生してもその
保管室２１ａ を清浄な状態に保持できることとなる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の第１及び第２の実施例の保管
容器について、それぞれ図１及び図２を参照しながら説
明する。図１は、第１の実施例の保管容器の模式的断面
図、図２は、第２の実施例の保管容器の模式的側断面図
である。
容器について、それぞれ図１及び図２を参照しながら説
明する。図１は、第１の実施例の保管容器の模式的断面
図、図２は、第２の実施例の保管容器の模式的側断面図
である。
【００１３】本発明の第１の実施例の保管容器は、図１
に示す如く、ウェーハホルダ１９に垂直に差し立てられ
たウェーハ１０等の被保管物を保管して置く保管室２１
ａ と、室内の圧力が陽圧、例えば１．００５気圧程度
にされる与圧室２１ｂ とを有し、保管室２１ａ と与
圧室２１ｂ とがＨＥＰＡフィルタ等の除塵フィルタ２
２を介して連通する容器本体２１と、容器本体２１の両
側面に配設されて保管室２１ａ と与圧室２１ｂ とを
連通させるダクト状の気体還流路２３と、気体還流路２
３で先端を与圧室２１ｂ 方向にし、高圧状態の気体、
例えば、高圧状態の空気Ａを貯蔵している高圧タンク（
図示せず）側に他端を連結し、気体還流路２３内で高圧
タンクから供給された高圧の空気Ａを勢い良く与圧室２
１ｂ 方向に噴射し、与圧室２１ｂ の圧力を１．００
５気圧程度の陽圧状態にする与圧手段、例えば高圧気体
噴出管２４と、保管室２１ａ の底板を貫通してこの保
管室２１ａ 内と大気中とを連通させる気体放出管２５
とを含んで構成したものである。
に示す如く、ウェーハホルダ１９に垂直に差し立てられ
たウェーハ１０等の被保管物を保管して置く保管室２１
ａ と、室内の圧力が陽圧、例えば１．００５気圧程度
にされる与圧室２１ｂ とを有し、保管室２１ａ と与
圧室２１ｂ とがＨＥＰＡフィルタ等の除塵フィルタ２
２を介して連通する容器本体２１と、容器本体２１の両
側面に配設されて保管室２１ａ と与圧室２１ｂ とを
連通させるダクト状の気体還流路２３と、気体還流路２
３で先端を与圧室２１ｂ 方向にし、高圧状態の気体、
例えば、高圧状態の空気Ａを貯蔵している高圧タンク（
図示せず）側に他端を連結し、気体還流路２３内で高圧
タンクから供給された高圧の空気Ａを勢い良く与圧室２
１ｂ 方向に噴射し、与圧室２１ｂ の圧力を１．００
５気圧程度の陽圧状態にする与圧手段、例えば高圧気体
噴出管２４と、保管室２１ａ の底板を貫通してこの保
管室２１ａ 内と大気中とを連通させる気体放出管２５
とを含んで構成したものである。
【００１４】かかる構成をした保管容器においては、そ
の高圧気体噴出管２４から高圧状態の空気Ａを勢い良く
与圧室２１ｂ 方向に連続的に噴出し、与圧室２１ｂ
内の圧力を陽圧状態にすると、与圧室２１ｂ 内の空気
Ａは、除塵フィルタ２２を通過しながらその中に含まれ
ている塵埃を捕捉されてクリーンエアーＢとなって保管
室２１ａ に静かに吹き出すこととなる。
の高圧気体噴出管２４から高圧状態の空気Ａを勢い良く
与圧室２１ｂ 方向に連続的に噴出し、与圧室２１ｂ
内の圧力を陽圧状態にすると、与圧室２１ｂ 内の空気
Ａは、除塵フィルタ２２を通過しながらその中に含まれ
ている塵埃を捕捉されてクリーンエアーＢとなって保管
室２１ａ に静かに吹き出すこととなる。
【００１５】したがって、かかる状態の保管室２１ａ
内に、ウェーハホルダ１９に垂直に差し立てしたウェー
ハ１０の被保管物を保管すると、その表面は保管中にク
リーンエアーＢに洗われてより塵埃の少ない表面となる
。
内に、ウェーハホルダ１９に垂直に差し立てしたウェー
ハ１０の被保管物を保管すると、その表面は保管中にク
リーンエアーＢに洗われてより塵埃の少ない表面となる
。
【００１６】なお、保管室２１ａ の気体放出管２５か
らは、高圧気体噴出管２４から噴出している空気Ａの流
量に相当する流量でクリーンエアーＢが放出されるとと
もに、ベルヌイの定理により高圧気体噴出管２４の近傍
は減圧状態となるから、保管室２１ａ 内のクリーンエ
アーＢは気体還流路２３を介し与圧室２１ｂ に還流さ
れることとなる。
らは、高圧気体噴出管２４から噴出している空気Ａの流
量に相当する流量でクリーンエアーＢが放出されるとと
もに、ベルヌイの定理により高圧気体噴出管２４の近傍
は減圧状態となるから、保管室２１ａ 内のクリーンエ
アーＢは気体還流路２３を介し与圧室２１ｂ に還流さ
れることとなる。
【００１７】また、図２に示す本発明の第２の実施例の
保管容器は、第１の実施例の保管容器をベースにして構
成したものであって、第１の実施例の保管容器から高圧
気体噴出管２３を撤去するとともに、与圧室２１ｂ を
、エアーモータ３１とその回転ロータ３１ａ の外周に
固定したプロペラ３２とで高圧室２１ｂ１と減圧室２１
ｂ２により分離して構成したものである。
保管容器は、第１の実施例の保管容器をベースにして構
成したものであって、第１の実施例の保管容器から高圧
気体噴出管２３を撤去するとともに、与圧室２１ｂ を
、エアーモータ３１とその回転ロータ３１ａ の外周に
固定したプロペラ３２とで高圧室２１ｂ１と減圧室２１
ｂ２により分離して構成したものである。
【００１８】すなわち、高圧気体供給３３から高圧の空
気Ａをエアーモータ３１に供給すると、その回転ロータ
３１ａ はプロペラ３２とともに回転し、減圧室２１ｂ
２内の空気Ａを高圧室２１ｂ１に連続的に送り込んで陽
圧にすると、高圧室２１ｂ１の空気Ａは、通過した除塵
フィルタ２２によりその中に含まれる塵埃等を捕捉さた
クリーンエアーＢとなって保管室２１ａ に連続的に吹
き出すこととなる。
気Ａをエアーモータ３１に供給すると、その回転ロータ
３１ａ はプロペラ３２とともに回転し、減圧室２１ｂ
２内の空気Ａを高圧室２１ｂ１に連続的に送り込んで陽
圧にすると、高圧室２１ｂ１の空気Ａは、通過した除塵
フィルタ２２によりその中に含まれる塵埃等を捕捉さた
クリーンエアーＢとなって保管室２１ａ に連続的に吹
き出すこととなる。
【００１９】なお、エアーモータ３１の回転ロータ３１
ａ を回転させるために、高圧気体供給管３３からエア
ーモータ３１に供給された高圧状態の空気Ａも高圧室２
１ｂ１に噴出した後、除塵フィルタ２２を通過して保管
室２１ａ 内に吹き出すように構成されている。
ａ を回転させるために、高圧気体供給管３３からエア
ーモータ３１に供給された高圧状態の空気Ａも高圧室２
１ｂ１に噴出した後、除塵フィルタ２２を通過して保管
室２１ａ 内に吹き出すように構成されている。
【００２０】また、第２の実施例の保管容器においても
、保管室２１ａ の気体放出管２５からは、高圧気体供
給管３３から噴出している空気Ａの流量より僅かに少な
い流量でクリーンエアーＢが放出されるとともに、減圧
室２１ｂ２内はエアーモータ３１の作動により減圧され
るために、気体還流路２３を介して保管室２１ａ から
クリーンエアーＢが減圧室２１ｂ２に還流されることと
なる。
、保管室２１ａ の気体放出管２５からは、高圧気体供
給管３３から噴出している空気Ａの流量より僅かに少な
い流量でクリーンエアーＢが放出されるとともに、減圧
室２１ｂ２内はエアーモータ３１の作動により減圧され
るために、気体還流路２３を介して保管室２１ａ から
クリーンエアーＢが減圧室２１ｂ２に還流されることと
なる。
【００２１】
【発明の効果】前述したように本発明は、高圧状態の気
体の膨張エネルギーを利用して保管室内を清浄にできる
保管容器を提供できる。したがって、本発明の保管容器
は、突発な事故等により停電となってもその保管室はク
リーンな状態に保持できることとなる。
体の膨張エネルギーを利用して保管室内を清浄にできる
保管容器を提供できる。したがって、本発明の保管容器
は、突発な事故等により停電となってもその保管室はク
リーンな状態に保持できることとなる。
【図１】は、第１の実施例の保管容器の模式的側断面図
、
、
【図２】は、第２の実施例の保管容器の模式的側断面図
、
、
【図３】は、従来の保管容器を説明するための模式的側
断面図である。
断面図である。
１０は、被保管物 （ウェーハ） 、
１１と２１は、容器本体、
１１ａ と２１ａ は、保管室、
１１ｂ と２１ｂ は、与圧室、
１２と２２は、除塵フィルタ、
１３は、分離板、
１３ａ は、盲板、
１３ｂ は、送風筒、
１４は、電動モータ、
１５と３２は、プロペラ、
１６は、吸入孔、
１７と２５は、気体放出管、
１８は、載置棚、
１８ａ は、通気孔、
１９は、ウェーハホルダ、
２３は、気体還流路、
２４は、高圧気体噴出管、
３１は、エアーモータ、
３１ａ は、回転ロータ、
３３は、高圧気体供給管をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 【請求項１】 保管室（２１ａ） と与圧室（２１ｂ
） とを有し、保管室（２１ａ） と与圧室（２１ｂ）
とが除塵フィルタ（２２）を介して連通した容器本体
（２１）と、高圧状態の気体を供給されて、高圧状態の
気体を噴出した際の膨張エネルギーを利用して前記与圧
室（２１ｂ） の圧力を大気圧以上にする与圧手段（２
３）と、前記保管室（２１ａ）内をその外部に連通する
気体放出手段（２４）とを含んで構成したことを特徴と
する保管容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4800091A JPH04283915A (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | 保管容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4800091A JPH04283915A (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | 保管容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04283915A true JPH04283915A (ja) | 1992-10-08 |
Family
ID=12791049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4800091A Withdrawn JPH04283915A (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | 保管容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04283915A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106678964A (zh) * | 2016-12-23 | 2017-05-17 | 青岛海尔空调器有限总公司 | 一种子母空调器 |
| CN117125394A (zh) * | 2023-10-26 | 2023-11-28 | 泰兴荟萃人力资源有限公司 | 一种人力资源档案整理用的自动仓储装置 |
-
1991
- 1991-03-13 JP JP4800091A patent/JPH04283915A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106678964A (zh) * | 2016-12-23 | 2017-05-17 | 青岛海尔空调器有限总公司 | 一种子母空调器 |
| CN117125394A (zh) * | 2023-10-26 | 2023-11-28 | 泰兴荟萃人力资源有限公司 | 一种人力资源档案整理用的自动仓储装置 |
| CN117125394B (zh) * | 2023-10-26 | 2024-02-13 | 泰兴荟萃人力资源有限公司 | 一种人力资源档案整理用的自动仓储装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6500051B1 (en) | Polishing apparatus and method | |
| JP6613864B2 (ja) | ミニエンバイロメント装置 | |
| KR101433068B1 (ko) | 기판 수납 장치 | |
| JPS62269334A (ja) | ウエ−ハキヤリア | |
| JPS62188322A (ja) | 洗浄装置 | |
| US20200198093A1 (en) | Substrate polishing apparatus | |
| JP2013089689A (ja) | 基板処理装置 | |
| ES2136753T3 (es) | Aspirador. | |
| CN111299253A (zh) | 一种等离子清洗装置 | |
| JP2008213022A (ja) | レーザー加工方法及びこれに用いる集塵装置 | |
| JP3803130B2 (ja) | ポリッシング装置及びポリッシング方法 | |
| CN113573532A (zh) | 一种硅产品生产加工用电器元件的保护屏外壳 | |
| JP4417781B2 (ja) | 半導体ウェハ収納容器内空気清浄装置 | |
| KR100885907B1 (ko) | 에어 크린룸용 에어 크리닝 유니트 | |
| CN114242626B (zh) | 一种干法晶圆片清洗设备 | |
| JPH11347937A (ja) | 研磨加工室の換気構造 | |
| JP3697275B2 (ja) | 局所クリーン化におけるインターフェイスボックス及びそのクリーンルーム | |
| CN220920373U (zh) | 一种晶圆盒搬运设备用倒流系统 | |
| US20190139802A1 (en) | Front opening unified pod loading and air filling system | |
| JPH02278746A (ja) | ウェハー保管箱 | |
| JPS62252147A (ja) | 半導体ウエハ移し替え装置 | |
| TW202109797A (zh) | 裝載埠模組的前開式晶圓傳送盒的降低濕度裝置及具備其的半導體製程裝置 | |
| CN220633635U (zh) | 一种喷漆烘干房 | |
| JPH04118015A (ja) | 簡易型クリーンルーム | |
| CN217450497U (zh) | 一种模块立轴式破碎站 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |