JPH042852B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、微生物を含む微粒子を有する室内の
汚染空気を浄化する空気清浄方法に関し、特にバ
イオロジカルクリーンムールの空気清浄に実施し
て好適な空気清浄方法に関する。

［従来技術］ この種の方法を大別すると、（）機械的濾過
による機械式フイルター方式と、（）静電気的
に捕集を行う静電式フイルター方式がある。

このうち、（）の方式の主な構成はフアン及
びフイルターであり、清浄度を上げるために目が
細かいフイルターを使用している。この方式は一
般に集塵効率が高いが圧損も高い。このため圧損
を小さくしようとしてフイルターの目を粗くする
と集塵効率が低下する。又目づまりによる圧力損
失の増加が著しく、フイルターの寿命が短かく、
かつフイルターの価格も高い。

クリーンルーム工場（例えば半導体製造）での
フイルター交換では、その期間工場をストツプせ
ねばならない。又復帰まで時間がかかつた。この
ため生産能力に無駄があつた。更に清浄度を上げ
るために換気回数を増やすので動力費がなかりか
かつた。

又（）の方式の主な構成はフアン、予備荷電
部、静電フイルターであり、予備荷電部は高圧電
源を要した。このため装置の大型化、安全性の問
題、維持管理の複雑さ（例えば極板上へ粒子の堆
積及び飛散があり、高いクリーン度を維持するに
はかなりの安全率を見込んだ運転を必要とし、コ
スト高となる。）などがあつた。

以上のように（）及び（）の空気清浄方式
は、コストの面で問題があつた。またこれらの方
式は工業的クリーンルームには使用できるが、バ
イオロジカルクリーンルーム関係（クリーンベン
チ、クリントンネルなど局所高クリーン装置を含
む）への使用は困難であつた。即ちフイルターに
は必ずピンホールがあり汚染空気の一部がリーク
しているため、フイルターのみによる（）及び
（）の空気清掃方式は、バイオロジカルクリー
ンルームへの使用には限界がある（ある種の微生
物は短時間にかなり増殖して危険である）。

そのために、特公昭38−23438号公報には紫外
線を照射し、微粒子をフイルターにより捕集する
技術が開示されている。しかしながら、かかる公
知技術では例えばフイルターのピンホールからリ
ークした汚染空気中の微生物が増殖する場合があ
る。

［解決しようとする課題］ したがつて本発明の目的は、汚染空気のリーク
があつて短時間に微生物が増殖することのない空
気清浄方法を提供するにある。

［課題を解決する手段］ 本発明によれば、微生物を含む微粒子を有する
室内の汚染空気を浄化する空気清浄方法におい
て、汚染空気を窒素富化空気とし、該窒素富化空
気に紫外線を照射し、死滅した微生物および微粒
子をフイルタにより捕集するようになつている。

［作用効果の説明］ したがつて、汚染空気の一部がリークしても窒
素富化空気により空気の不活性が行われ、、微生
物が短時間に増殖する危険が回避され、バイオロ
ジカルクリーンルームの空気の清浄として極めて
効果的である。

［好ましい実施の態様］ 本発明の実施に際しては、紫外線としては遠紫
外線を用いるのが好ましい。また流入空気を予め
プレフイルタに通して微粒子を除去し、さらに流
入空気に旋回運動を与えて紫外線照射を行うよう
にすると良い。また死滅した微生物を含む微粒子
を捕集するフイルターとしては静電フイルターが
好適に用い得る。窒素富化に際しては窒素の濃度
は82％以上とする。

［実施例］ 以下、本発明をバイオロジカルクリーンルーム
におけるクリーンブース併用方式（作業領域内の
ある一部だけを高清浄度にする方式の一つ）に実
施した場合を例に上げ、その実施例につき説明す
る。

第１図において、従来のメカニカルフイルター
によりクリーンルーム１内を中程度清浄度（クラ
ス）に保ち、作業場（クリーンベンチ１５内）の
み高清浄度を保つものである。クリーンルーム１
の空気は外気２に含まれる粗粒子をプレフイルタ
ー３にて除いた空気及びクリーンルーム１内の空
気を空気取出口４から取出し、フアン５を介して
空気調和装置６にて空気調和（温度、湿度の制
御）後、フイルター７により微粒子を除去し供給
され、清浄度（クラス）100000が保持される。

クリーンベンチ１５は窒素富化膜室１４、紫外
線照射部９、静電フイルター１０からなり、もつ
て作業台１３上が清浄度（クラス）100が保持さ
れる。すなわちクリーンベンチ１５ではクリーン
ルーム１内の清浄度（クラス）100000の空気が窒
素富化膜室１４に吸引ブロワー１７により吸引さ
れる。窒素富化膜室１４は主に空気吸入部及び窒
素富化膜セルよりなり、空気中の酸素を分離し窒
素富化空気が得られ、この空気はフアン１８によ
り作業台１３上を一定気流で通気される。

ここでの窒素濃度は82％以上、好ましくは85％
以上、最も好ましくは90％以上であり、最適濃度
は作業の種類、適用分野、用途、経済性などによ
り決まる。一般に薬品や食品関係のように無菌状
態での作業が好ましい場合は窒素濃度は高い方が
好ましいが、医療、農材、畜産関係のように菌、
かび組織の培養を行う場合は窒素濃度は比較的低
くて良い。

次いで窒素富化空気は紫外線照射部９にて紫外
線照射され、微生物（例えばウイルス、バクテリ
ヤ、各種菌類、酵母、かび）が殺菌される。次い
でフイルター１０により微生物死骸を含む微粒子
が除去され、不活性及び殺菌空気が一定気流で作
業台１３上を覆う。

クリーンベンチ１５内の作業台１３への器具、
製品等の出し入れはクリーンベンチ１５に付設の
可動シヤツター１６により行う。窒素富化膜室１
４、紫外線照射部９、フイルター部１０、フアン
１８の配列順は通常においては、前述の順である
が、空気清浄方式の型式の規模、気流の方式など
によつて異なつてくる。本方法の適用分野として
は医療、薬品、食品、農林畜産が挙げられ、又用
途としてはクリーンブース、クリーントンネル、
クリーンベンチ、安全キヤビネツト、無菌室、パ
スボツクス、無菌エアカーテンが挙げられる。

［発明の効果］ 本発明による効果を列挙すれば次のようであ
る。

(イ) 微生物の殺菌ができ、殺菌クリーン空気が得
られる。

(ロ) バイオテクノロジー関係（例えば医療、薬
品、食品、農材畜産関係）のように微生物の存
在が重大で微粒子の存在があまり重大でない場
合有効である。

(ハ) 従来のメカニカルフイルターではピンホール
のためリークがあり、バイオテクノロジー関係
ではリーク空気等に起因する微生物のもれ込
み、急激な増殖、汚染が心配されたが、殺菌作
用によりフイルターでの捕集は厳密なものでは
なくてもよく、又リークも許容できる。

(ニ) 作業場のフイルターは前述のことからして比
較的目の粗いものでよく、換気回数も少なくて
よいことから交換頻度が少なくなる（長持ち
し、維持、管理が容易）。又動力費も安くなる。

(ホ) 微生物死骸を含む微粒子は予備荷電されるの
で、後流に静電式フイルターを備えることで効
率良く除去できる。

(ヘ) 不活性でかつ微生物の殺菌ができ、不活性な
殺菌クリーン空気が得られる。

(ト) O₂がすくないことからO₃、NOxのような有
害成分の発生がない。

(チ) 窒素富化空気出口の逆の出口は酸素富化空気
になり、この空気は燃焼装置等へ供給するなど
して有効利用できる。またこの空気は医療用
（例えばO₂ボンベの代用）に有効利用できる。

(リ) 主な構成はフアン部、紫外線照射部、フイル
ター部、或いは吸引ブロワー及びフアン部、窒
素富化部、紫外線照射部、フイルター部であ
り、維持管理が安全で安全性の問題もない。ま
た、不活性な空気が得られることから微生物の
活動が沈静化し、バイオテクノロジー関連設備
において有用となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の方法を実施する装置
の系統図である。 １……クリーンルーム、２……外気、３……プ
レフイルター、４……空気取出口、５……フア
ン、６……空気調和装置、７……フイルター、９
……紫外線照射部、１０……静電フイルター、１
１……透明カーテン、１３……作業台、１４……
窒素富化膜室、１５……クリーンベンチ（作業
場）、１６……可動シヤツター、１７……吸引ブ
ロワー、１８……フアン。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 微生物を含む微粒子を有する室内の汚染空気
   を浄化する空気清浄方法において、汚染空気を窒
   素富化空気とし、該窒素富化空気に紫外線を照射
   し、死滅した微生物および微粒子をフイルタによ
   り捕集することを特徴とする空気清浄方法。