JPH04285830A - 半導体レーザの光周波数偏移量の測定,制御装置 - Google Patents

半導体レーザの光周波数偏移量の測定,制御装置

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JPH04285830A
JPH04285830A JP3049712A JP4971291A JPH04285830A JP H04285830 A JPH04285830 A JP H04285830A JP 3049712 A JP3049712 A JP 3049712A JP 4971291 A JP4971291 A JP 4971291A JP H04285830 A JPH04285830 A JP H04285830A
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optical frequency
semiconductor laser
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signal
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英之 宮田
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寛 尾中
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザの光周波数変調
を用いる通信、計測等において、入力した変調信号に基
づいて周波数もしくは位相変調されたレーザ光の光周波
数偏移量の測定、制御を行う半導体レーザの光周波数偏
移量測定、制御装置に関する。
【0002】近年、半導体レーザに対し直接光周波数変
調を用いることによって通信、計測等が行われるように
なってきた。例えば通信においてはレーザ光に直接光周
波数変調を加えることにより、伝送路へ送出する光デー
タとするという光通信システムが実用化されつつある。 その一方式として、コヒーレント光を用いたFSK(F
requency Shift Keying) 方式
によるコヒーレント光通信システムが挙げられる。この
FSK方式では、送信すべきデータの2論理値(“1”
,“0”)に対応して、半導体レーザからの出力光の周
波数を第1光周波数f1 、第2光周波数f2 に変化
させるようなデータ変調(FM変調)を行う。
【0003】この場合、半導体レーザ自身のバイアス経
年変化あるいはこれを含んだ光モジュールの経年劣化等
により、FM変調効率(半導体レーザの単位電流あたり
の光周波数可変量)が変化する。そうすると、半導体レ
ーザを同一駆動電流で変調したとしても、変調指数、す
なわち中心周波数F0 に対する第1及び第2光周波数
f1 ,f2 の周波数偏移量が初期に設定した一定値
からずれてくる。このズレは光通信システムのおける受
信系において、その受信感度を著しく劣化させてしまう
ことになる。
【0004】本発明は上記のズレを生じさせない、半導
体レーザの光周波数偏移量の測定、制御装置について述
べるものである。なお、本発明はコヒーレント光を用い
た光計測システム等にも応用できるものである。
【0005】
【従来の技術】半導体レーザに対し直接光周波数変調を
行うという技術はきわめて最近現れたものであり、光周
波数偏移量の測定、制御の概念ななく、従来技術として
確立したものは未だ知られていない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は簡単な構成で
小型化できしかも安価に実現できる半導体レーザの光周
波数偏移量の測定、制御装置を提供することを目的とす
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】第1図は、本発明の原理
構成を示すブロック図である。同図において、10は半
導体レーザであり、高速の変調信号の“1”,“0”に
対応して光周波数を第1周波数f1 、第2周波数f2
 に変化させられた(FSK変調のかけられた)出力光
H0 を出力する。
【0008】本発明に係る半導体レーザの光周波数偏移
量の測定,制御装置は、半導体レーザ10からFSK変
調のかかった出力光H0 を受けて動作するもので、図
示するとおり、光干渉器20と、受光器30と、動作点
設定手段40と、光周波数偏移量検出手段50とからな
る。
【0009】光干渉器20は、半導体レーザ10からの
出力光H0 を受け、光周波数弁別特性に従った干渉光
Hi を出力する。受光器30は、干渉光Hi を受け
てその光強度を電気信号ELに変換する。
【0010】動作点設定手段40は、電気信号ELを受
信し、光干渉器20の動作点が、前記光周波数弁別特性
の最大値と最小値の中央値に対応する光周波数に一致す
るように動作点を設定する。
【0011】光周波数偏移量検出手段50は、前記動作
点のもとで予め低周波変調された前記干渉光Hi の平
均光出力強度の低周波信号成分を前記電気信号ELから
同期検波により抽出し、光周波数偏移量を検出する。
【0012】
【作用】本発明に係る半導体レーザの光周波数偏移量の
測定,制御装置の動作原理は、i)光干渉器20におけ
る光周波数弁別特性の中央値に対応する光周波数に、該
光干渉器20の動作点を安定化させること、ii)その
安定化された動作点のもとで、予め低周波変調されて光
干渉器20から出力される干渉光Hi の平均光出力強
度の低周波信号成分を受光器30より出力される電気信
号から低周波信号で同期検波することにより抽出し、得
られた同期検波出力信号から光周波数偏移量を検出する
こと、の2点に大別される。
【0013】上記i)およびii)の各操作は主として
動作点設定手段40および光周波数偏移量検出手段50
が各々行う。これについてさらに詳しく述べる。初めに
、動作点の設定について説明する。
【0014】図2(a) は、光干渉器20の光周波数
弁別特性を示すグラフである。本グラフの横軸は光周波
数すなわち光干渉器の動作周波数を示し、縦軸は光干渉
器20からの干渉光Hi の光強度Pを示す。なお、干
渉光Hi は2つあり光干渉器20からの相補的な関係
にある干渉光Hi1,Hi2である。図2(a) にお
いて実線が干渉光Hi1の、また鎖線が相補的な干渉光
Hi2の光周波数弁別特性曲線である。光干渉器20と
しては、ファブリ・ペロー干渉器、マイケルソンあるい
はマッハツェンダー干渉器等が良く知られているが、本
発明ではいずれの干渉器を用いても良い。本グラフはマ
ッハツェンダー干渉器を用いたときの例を示すが、この
ような形の光周波数弁別特性が観測される。
【0015】一般に、マッハツェンダー干渉器を用いた
場合光周波数弁別特性は光周波数の変化に対し正弦波状
に変化する光強度を示すが、そのうちの一部を取り出し
たのが本グラフである。図示するとおり、光強度は極大
値MAXと極小値MINをとる。極大値MAXを生じさ
せる光周波数はfmax 、極小値MINを生じさせる
光周波数はfmin である。本発明では動作点(第1
光周波数f1 と第2光周波数f2 の中間の光周波数
f0 )がこれらの極値間の中央値MED(周波数fm
ed)と常に一致するようにする。
【0016】上記の2つの干渉光Hi1及びHi2は互
いに相補的な干渉光であるから、これらを各々受光しそ
の出力を加算すると図2(a) の一点鎖線の如く平坦
な出力となる。この平坦な出力値は半導体レーザ10の
光出力に比例する。また、上記2つの相補的な干渉光H
i1及びHi2を各々受光しその出力を減算すると、振
幅が2倍となりしかも中央値MEDすなわち動作点のと
ころで零点とクロスする。従って、この減算された信号
が常に零になるように、半導体レーザ10あるいは光干
渉器20のバイアスあるいは温度を制御すれば、動作点
を光周波数弁別特性の中央値MEDに一致させることが
できる。
【0017】次に、光周波数偏移量の検出について説明
する。ここでは、説明を簡単にするために、半導体レー
ザ10からの出力光H0 にはマーク率1/2 の理想
的なFSK変調がかけられているものとする。マーク率
とは、変調信号の“1”と“0”の発生する比率のこと
であり、“1”と“0”とが等確率で発生すればマーク
率は1/2 、“1”と“0”の比が1:3であればマ
ーク率は1/4 である。理想的なFSK変調とは、光
周波数のf1 とf2 の間の遷移時間が無限に小さい
ということである。
【0018】上記のように、動作点を光周波数弁別特性
の中央値MEDに安定させる。この状態を図3(a) 
に示す。便宜上、光周波数偏移量ΔfをΔf=FSR/
2とした。FSRとはフリースペクトラルレンジで光周
波数弁別特性の隣り合う極大値(極小値)間の光周波数
差である。動作点を中央値MEDに安定させておいて、
低周波周波信号Sで変動させる。図3(b) に示すよ
うに、動作点が右方へ移動すれば、光周波数f1 ,f
2 各々も右方へ移動し、光周波数f1 での光出力P
1 は上昇し、光周波数f2 での光出力P2 は下降
する。また図3(c) に示すように、動作点が左方へ
移動すれば光周波数f1 ,f2 各々も左方へ移動し
、光周波数f1 での光出力P1 は上昇し、光周波数
f2 での光出力P2 は下降する。この光出力P1 
,P2 の変動は、光干渉器20からの平均光出力強度
の変動として観測される。このように、2つの光周波数
f1 ,f2 の差(f1 −f2 )である光周波数
偏移量Δfの大きさにより、光干渉器20からの平均光
出力の強度の変動の位相、振幅に変化が起こる。以下、
詳述する。
【0019】図4(a) は、光周波数偏移量Δfの値
が光干渉器20のFSR/2よりも小さい場合である。 同図において、動作点を低周波信号Sで変動させると、
動作点が右方へ移動するに従い光周波数f1 ,f2 
が右方へ移動し、その右方移動に応じて光出力は各々上
昇し、動作点が左方へ移動するに従い光周波数f1 ,
f2 が左方へ移動し、その左方移動に応じて光出力は
各々下降する。従って、平均光出力強度の変動は図の右
方に示す通りである。
【0020】図4(b) は、光周波数偏移量Δfの値
が光干渉器20のFSR/2と一致する、すなわちΔf
=FSR/2の場合である。このとき、図2(b) に
も示したように光出力が集中している光周波数f1 ,
f2 が互いに相補的な動きをするため、移動に応じて
出力される光出力の増加分と減少分は等しいから、動作
点を低周波信号Sで変動させるにもかかわらず、図4(
b) の右に示す通り平均光出力強度の変動は無い。
【0021】図4(c) は、光周波数偏移量Δfの値
が光干渉器20のFSR/2よりも大きい場合である。 同図において、動作点を低周波信号Sで変動させると、
動作点が右方へ移動するに従い光周波数f1 ,f2 
が右方へ移動し、その移動に応じて出力される光出力は
各々下降する。動作点が左方へ移動するに従い光周波数
f1 ,f2 が左方へ移動し、その移動に応じて出力
される光出力は各々上昇する。従って、平均光出力強度
の変動は図の右に示す通りである。この図4(c) に
示したΔf>FSR/2の場合は、図4(a) に示し
たΔf<FSR/2の場合に対し位相が反転している。
【0022】このように、光周波数偏移量Δfの大きさ
に応じて、平均光出力強度の変動の位相、振幅に変化が
生じる。従って、光干渉器20からの平均光出力強度を
受光器30で電気信号に変換し、この電気信号を低周波
信号Sで同期検波すれば光周波数偏移量Δfの大きさが
求められる。
【0023】光周波数偏移量Δfに対してこの平均光出
力強度の同期検波出力信号は一般的に図5に示すように
なる。動作点が光周波数弁別特性曲線の正負どちらかの
傾きに設定されているか同期検波の参照信号の位相によ
って、実線,鎖線のどちらかの信号が出力される。ここ
で、同期検波出力信号の零からのズレは光周波数偏移量
ΔfのFSR/2からのズレを表わし、光周波数偏移量
ΔfがFSR/2と一致する場合は同期検波出力信号は
零となる。これにより、同期検波出力信号を測定すれば
、光周波数偏移量Δfの値が測定される。よって、光周
波数偏移量Δfの値は測定され、また、光周波数偏移量
(変調指数)の制御も可能となる。
【0024】かくして、図1の動作点設定手段40は図
2のグラフに着目して設けられ、図1の偏移量検出手段
50は図5のグラフに着目して設けられたものである。 本発明による特徴は、干渉光Hi1の光強度を制御変数
として用いしかも光強度の低周波成分のみを扱うことで
ある。従って、本発明に係る半導体レーザの光周波数偏
移量の測定、制御装置構成が簡単で極めて低い周波数で
動作する装置でよいということになる。
【0025】
【実施例】図6は、本発明に基づく一実施例を示すブロ
ック図である。なお、全図を通じて同様の構成要素には
同一の参照番号または記号を付して示す。
【0026】同図において、半導体レーザ10の例えば
その前方光(前方光から制御用の信号をとる場合もある
)は光データDh として図示しない伝送路に入射され
る。この光データDh は送信すべきデータDinの“
1”,“0”に応じて光変調(f1 ,f2 )あるい
は位相変調されたものである。この送信すべきデータD
inによる変調は変調回路11により行われる。また、
図示しないがこの光変調が最適な駆動条件で行われるよ
うに半導体レーザ10に周知のバイアス部が設けられる
【0027】本発明に係る装置は、半導体レーザ10か
らの例えば後方光からなるFSK変調のかけられた出力
光H0 を受けて動作する。光干渉器20は、半導体レ
ーザ10からの出力光H0 を受けて、光周波数弁別特
性に従った互いに相補的な2つの干渉光Hi1,Hi2
を出力する。
【0028】図7に、2つの相補的な干渉光を出力する
光干渉器の例を示す。同図において、(a)はマッハツ
ェンダー干渉器を示す図であり、Mはハーフミラー、M
′はミラーであって、2つの光路の光路長間に所定の差
をもたせて干渉させ相補的な2つの干渉光Hi1及びH
i2を発生させる。これら相補的な2つの干渉光Hi1
及びHi2の光周波数弁別特性は図2(a) に示した
とおりである。
【0029】図7において、(b) はファブリ・ペロ
ー干渉器を示す図であり、一方の干渉光Hi1は通常の
透過光であるのに対し、他方の干渉光Hi2は反射光で
ある。ファブリ・ペロー干渉器FPが出力光H0 の光
軸に対し傾斜しているのは、反射光Hi2を半導体レー
ザ10側に戻さないようにするためである。同図(c)
 は、(b) における2つの干渉光の光周波数弁別特
性を示す図である。2つの相補的な干渉光を得る方法は
他にもあるが、ここでは示さない。
【0030】図6に戻り、これら2つの干渉光Hi1,
Hi2を受けるためフォトダイオード等を用いて2つの
受光器31,36が設けられ、干渉光Hi1,Hi2の
光強度は各々電気信号EL1 ,EL2 に変換される
。また、後述の減算器41、加算器43にて電気信号E
L1 ,EL2 の各々に対応する電圧信号を減算、加
算するので電圧検出抵抗32,37、これらと各々対を
なす計装アンプ33,38が設けられる。
【0031】減算器41は、2つの受光器31,36か
らの各電気信号EL1 ,EL2 の差成分を出力する
。加算器43は、2つの受光器31,36からの各電気
信号EL1 ,EL2 の加算成分を出力する。
【0032】本実施例では動作点設定手段40は、動作
点制御回路42とAPC制御回路44とからなる。動作
点制御回路42は、減算器41から各電気信号EL1 
,EL2 の差成分を受信してその差成分を動作点検出
信号として用い、動作点を光周波数弁別特性の中央値M
EDに常に一致させる。この動作点のシフトは、制御線
L1 を介して半導体レーザ10のバイアスあるいは温
度に帰還し半導体レーザ10の発振周波数を制御して行
う方法と、これとは別に制御線L1 を介して光干渉器
20のバイアスあるいは温度に帰還し光干渉器20の干
渉特性を制御して行う方法がある。また、これらの両方
法が用いられても良い。なお、温度に帰還して制御を行
う場合には周知のペルチェ素子が用いられる。上記の2
つの干渉光Hi1,Hi2は各々相補的な干渉光である
から、これらの差をとると図2(b) に示すように中
央値MEDのところで零点とクロスする。つまり、前記
の電気信号EL1 及びEL2 を減算器41で減算し
た出力は中央値MEDで零点とクロスするから、電気信
号EL1 とEL2 の差信号を動作点検出信号として
用い、この差信号が常に零になるように半導体レーザ1
0のバイアスあるいは温度、または光干渉器20のバイ
アスあるいは温度に帰還をかければ差信号が零となる光
周波数に動作点が安定化する。このとき、半導体レーザ
10のバイアスあるいは温度に帰還する場合には、動作
点の周波数の制御がそのまま半導体レーザ10の出力H
0 の発振周波数も制御することになるから、動作点の
安定化と同時に半導体レーザ10の自動周波数制御(A
FC)も行うことができる。
【0033】APC制御回路44は、加算器43からの
各電気信号EL1 ,EL2 の加算成分を光出力検出
信号として用い、例えば比較部からなり、その第1入力
には上記光出力検出信号を受信し、その第2の入力には
予め定めた設定電圧V1 を受信し、この設定電圧V1
 に対しての光出力検出信号の変動分を検出し、これら
の間の誤差分が常に零になるように制御線L2 を介し
て半導体レーザ10のバイアスに帰還する。上記の2つ
の干渉光Hi1及びHi2は互いに相対的な干渉光であ
るから、これらを加え合わせると、図2(a) の一点
鎖線の如く平坦な出力となる。この平坦な出力は半導体
レーザ10の光出力に比例する。つまり、前期の電気信
号EL1 及び電気信号EL2 を加算器43で加算し
た出力は平坦な信号となり、この平坦な信号に対応させ
て電圧V1 を設定し、平坦な信号のレベルが常に一定
のレベルになるように半導体レーザ10に帰還をかけれ
ば自動光出力制御(APC)が実現される。
【0034】光周波数変移量検出手段50は、低周波発
振器51、同期検波回路52、光周波数偏移量安定化回
路53及び、アンプ54からなる。低周波発振器51は
、光周波数弁別特性における動作点の発振周波数を変化
させるため、制御線L3 を介して半導体レーザ10の
発動周波数あるいは光干渉器20の干渉特性を低周波で
変化させる。低周波とはデータの伝送速度の周波数に対
して低周波という意味で、例えば 100Hzであり、
動作点設定手段40の回路の応答速度よりも早い速度の
低周波信号Sで動作点を変動させる。低周波信号Sは後
述の同期検波回路52で同期検波用信号として用いられ
るのもので、この同期検波用信号を、半導体レーザ10
のバイアスであるいは温度に重畳することにより、また
は光干渉器20のバイアスあるいは温度に重畳すること
により、動作点の発振周波数を変化させる。
【0035】図8は、低周波発振器51による動作を説
明するための波形図である。ただし低周波発振器51の
発振出力を半導体レーザ10の駆動電流に重畳した場合
を例にとり説明する。駆動電流を2値に変化させること
により、半導体レーザ10の出力光H0 が有する光周
波数は、中心周波数f0 を中心として第1光周波数f
1 及び第2光周波数f2 のように変化する。この状
態で、低周波発振器51の発振出力を重畳すると、この
発振出力の周波数fs をもって図示するごとく波状に
うねりを伴う。このようにして低周波成分を含ませた電
気信号ELは、同期検波回路52にて低周波発振出力に
より同期検波される。
【0036】また、光干渉器20のバイアスを変化させ
ることは容易であり、基本的には光干渉器20の共振器
長や遅延時間差を変化させれば良い。具体的には、■ 
 光弾圧性効果を利用して変化させる、■  電気光学
的効果を利用して変化させる、■  機械的外力を加え
て変化させる、■  熱光学効果を利用して変化させる
、等の方法が良く知られている。
【0037】図6に戻り、同期検波回路52は、減算器
41からの各電気信号EL1 ,EL2 の差成分信号
と低周波発振器51からの同期検波用変調信号とを入力
として、該差成分信号に対し同期検波を行い該同期検波
用変調信号に同期した信号成分を抽出する。この同期検
波により抽出された信号成分が光周波数偏移量検出信号
であり、光周波数偏移量測定が行われる。以下、同期検
波回路52での光周波数偏移量Δfの測定について説明
する。
【0038】上記のようにFSK変調された光信号の動
作点を干渉器20の光周波数弁別特性の中央MEDに安
定させ、その動作点のもとで、同期検波用変調信号の低
周波信号Sで変動させると、図4に示したように光周波
数偏移量Δfの大きさに応じて平均光出力強度の変動の
位相、振幅に変化が起こる。従って、干渉器20からの
平均光出力強度を受光器30で電気信号に変換し、この
電気信号を低周波信号Sで同期検波すれば光周波数偏移
量Δfの大きさが求められる。
【0039】光周波数偏移量Δfに対しての平均光出力
強度の同期検波出力信号は図5に示すようになり、同図
において同期検波出力信号の零からのズレは光周波数変
移量ΔfのFSR/2からのズレを表わし、光周波数偏
移量ΔfがFSR/2と一致する場合は同期検波出力信
号は零となる。これにより、同期検波出力信号を測定す
れば光周波数偏移量Δfの値が測定される。
【0040】光周波数偏移量安定回路53は、例えば比
較部からなり、その第1入力には同期検波回路52で求
められた光周波数偏移量Δfの検出信号を受信し、その
第2入力には予め定められた設定電圧V2 を受信しこ
れらの間の誤差分が0になるように変調回路11に帰還
し、常に光周波数偏移量Δf(変調指数)を一定に保つ
。設定電圧V2 に対応する光周波数偏移量Δfが一定
値に保持すべき光周波数偏移量Δfということになり、
光周波数偏移量(変調指数)安定化の制御が可能となる
【0041】同期検波回路52への入力としては、電気
信号EL1 とEL2 の差信号を用いる。この差信号
は、図5の実線のカーブに対し点線のカーブを極性反転
して加えることと等価であり、つまり傾斜の鋭い特性の
信号をもって光周波数偏移量を制御できることになる。 これは光周波数偏移量制御におけるS/N比を著しく増
大させたことになる。
【0042】アンプ54は、同期検波用変調信号を低周
波発振器51から制御線L3 を介して半導体レーザ1
0のバイアスに重畳する場合に、光周波数偏移量検出信
号を光周波数偏移量安定化回路53から同期検波用変調
信号の変調振幅に帰還して、該変調信号による光FM変
調の光周波数偏移量を一定に保ち、半導体レーザ10の
光源部分の変調効率に光周波数偏移量検出手段50が影
響を受けないようにするため設けられている。
【0043】つまり、半導体レーザ10自身のバイアス
経年変化等により、FM変調効率(バイアス電流の単位
電流あたりの光周波数可変量)が小さくなると、最悪の
場合、低周波信号Sが重畳されなくなることがある。そ
のため動作点が設定したようには変動しなくなり、同期
検波が不可能となることがある。これを解消するため、
FM変調効率が小さくなった場合には、アンプ54で同
期検波用変調信号の振幅を大きくし、FM変調効率が大
きくなりすぎた場合には、アンプ54で同期検波用変調
信号の振幅を小さくなるように、つまり常に低周波信号
Sが同程度の振幅になるようにしている。このFM変調
効率の大小は光周波数偏移量Δfの大小から判断できる
ことである。
【0044】マーク率モニタ手段60は、例えば変調回
路11内に設けられた積分器からなる。変調回路11に
より半導体レーザ10の出力光H0 の周波数を送信す
べきデータの2論理値“1”,“0”に対応して第1光
周波数f1 または第2光周波数f2 に変化させるよ
うなデータ変調を行う場合の論理値“1”と“0”の発
生する確率をトータル演算し、光周波数偏移量検出手段
50の動作状態を制御する手段である。
【0045】図2に示したグラフは、マーク率が1/2
の場合であったが、マーク率が例えば1/4となった場
合、つまり“1”の発生する割合と“0”の発生する割
合が1:3となった場合には、図3において平均光出力
強度が右上方に移動し、そのため図5に示す光周波数偏
移量Δfに対する同期検波出力信号のグラフが変化し、
同期検波出力信号が零となるΔfの値がマーク率の大小
により変化することになる。そのため、光周波数偏移量
安定化回路53における設定電圧V2 をマーク率に応
じて換える必要がある。マーク率モニタ手段60は変調
回路11による変調信号のマーク率を演算し、その値に
基づき設定電圧V2 を変化させて光周波数偏移量検出
手段50の動作状態を制御する。つまり、入力した変調
信号のマーク率モニタ信号を光周波数偏移量安定化回路
53に帰還し、マーク率変動の影響を与えない。
【0046】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、従来より課題となっていた光周波数偏移量の測定、
制御が可能となる。さらに広帯域な受光器、電子回路を
含まない簡単な構成であるため、装置が小型化、簡略化
されしかもコストを抑えて構成することができる。また
、光周波数偏移量の測定、制御と同時に光源のAPC,
AFC動作を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理構成を示すブロック図である。
【図2】マッハツェンダー光干渉器の光周波数弁別特性
を示す図であり、(a) は2つの干渉光の光周波数弁
別特性を示す図、(b) は(a) の2つの干渉光の
減算結果強度を示す図である。
【図3】マッハツェンダー光干渉器の光周波数弁別特性
を示す図であり、(a) は動作点を中央値に安定させ
て場合、(b) は動作点を右に移動させた時の模式図
、(c) は動作点を左に移動させた時の模式図である
【図4】動作点を変動させた時の平均光出力強度の変動
を示す模式図であり、(a) はΔf<FSR/2、(
b) はΔf=FSR/2、(c) はΔf>FSR/
2の場合である。
【図5】光周波数偏移量に対する同期検波出力信号のグ
ラフである。
【図6】本発明の一実施例の構成を示す図である。
【図7】相補的な2つの干渉光を出力する光干渉器を示
す図であり、(a) はマッハツェンダー干渉器を示す
図、(b) はファブリ・ペロー干渉器を示す図、(c
) は(b) における2つの干渉光の光周波数弁別特
性を示す図である。
【図8】低周波発振器による動作を説明するための波形
図である。
【符号の説明】
10                  半導体レー
ザ20                  光干渉器
30,31,36      受光器

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  入力した変調信号に基づいて周波数も
    しくは位相変調された光を出力するレーザ光源の、光周
    波数偏移量を測定、あるいは予め定めた一定値に制御す
    る半導体レーザの光周波数偏移量の測定,制御装置にお
    いて、前記半導体レーザ(10)からの出力光(H0 
    )を受け、光周波数弁別特性に従った干渉光(Hi )
    を出力する光干渉器(20)と、前記干渉光(Hi )
    を受けてその光強度を電気信号(EL)に変換する受光
    器(30)と、前記電気信号(EL)を受信し、前記光
    干渉器(20)の動作点が前記光周波数弁別特性の最大
    値と最小値の中央値に対応する光周波数に一致するよう
    に該動作点を設定する動作点設定手段(40)と、前記
    動作点のもとで予め低周波変調された前記干渉光(Hi
     )の平均光出力強度の低周波信号成分を前記電気信号
    (EL)から同期検波により抽出し、光周波数偏移量を
    検出する光周波数偏移量検出手段(50)と、からなる
    ことを特徴とする半導体レーザの光周波数偏移量の測定
    ,制御装置。
  2. 【請求項2】  前記動作点設定手段(40)が、光干
    渉器(20)から出力される相補的な関係にある2つの
    干渉光(Hi1,Hi2)を2つの受光器(31,36
    )で受光し、各受光器(31,36)の出力信号の差成
    分を動作点検出信号として用い、各受光器(31,36
    )の加算成分を半導体レーザ(10)の光出力検出信号
    として用いることを特徴とする請求項1記載の半導体レ
    ーザの光周波数偏移量の測定,制御装置。
  3. 【請求項3】  前記動作点設定手段(40)が、各受
    光器(31,36)から出力される出力信号の加算成分
    を半導体レーザ(10)の光出力検出信号として用い、
    該光出力検出信号と設定値との誤差信号を半導体レーザ
    (10)のバイアスあるいは温度に帰還することで同時
    に半導体レーザ(10)の光出力の安定化を行うことを
    特徴とする請求項1記載の半導体レーザの光周波数偏移
    量の測定,制御装置。
  4. 【請求項4】  前記動作点設定手段(40)が、各受
    光器(31,36)から出力される出力信号の差成分を
    動作点検出信号として用い、該動作点検出信号を半導体
    レーザ(10)のバイアスあるいは温度に帰還すること
    により、動作点の安定化及び半導体レーザ(10)の発
    振周波数の安定化を同時に行うことを特徴とする請求項
    2記載の半導体レーザの光周波数偏移量の測定,制御装
    置。
  5. 【請求項5】  前記動作点設定手段(40)が、各受
    光器(31,36)から出力される出力信号の差成分を
    動作点検出信号として用い、該動作点検出信号を光干渉
    器(20)のバイアスあるいは温度に帰還することによ
    り動作点の安定化を行うことを特徴とする請求項2記載
    の半導体レーザの光周波数偏移量の測定,制御装置。
  6. 【請求項6】  前記光周波数偏移量検出手段(50)
    が、同期検波のための変調信号を、光干渉器(20)の
    バイアスあるいは温度に重畳することを特徴とする請求
    項1記載の半導体レーザの光周波数偏移量の測定,制御
    装置。
  7. 【請求項7】  前記光周波数偏移量検出手段(50)
    が、同期検波のための変調信号を、半導体レーザ(10
    )のバイアスあるいは温度に重畳することを特徴とする
    請求項1記載の半導体レーザの光周波数偏移量の測定,
    制御装置。
  8. 【請求項8】  前記光周波数偏移量検出手段(50)
    が、同期検波のための変調信号を半導体レーザ(10)
    のバイアスに重畳するとともに、光周波数偏移量検出信
    号を該変調信号の変調振幅に帰還し、該変調信号による
    光FM変調の光周波数偏移量を一定に保ち、半導体レー
    ザ(10)の光源部分の変動効率に前記光周波数偏移量
    検出手段(50)が影響を受けないようにすることを特
    徴とする請求項7記載の半導体レーザの光周波数偏移量
    の測定,制御装置。
  9. 【請求項9】  入力した変調信号のマーク率変動が上
    記光周波数偏移量検出手段(50)に影響を与えないよ
    うに、マーク率モニタ信号を該光周波数偏移量検出手段
    (50)に帰還するマーク率モニタ手段(60)を有す
    ることを特徴とする請求項1記載の半導体レーザの光周
    波数偏移量の測定,制御装置。
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JPH06338652A (ja) * 1993-05-31 1994-12-06 Nec Corp レーザの波長安定化方法及び波長安定化用半導体レ ーザモジュール
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CN115351929A (zh) * 2022-07-22 2022-11-18 宁波泰睿思微电子有限公司 一种半导体条状切割工序防止产品切割偏移的方法

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