JPH0428791A - 摺動部品 - Google Patents
摺動部品Info
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- JPH0428791A JPH0428791A JP13385590A JP13385590A JPH0428791A JP H0428791 A JPH0428791 A JP H0428791A JP 13385590 A JP13385590 A JP 13385590A JP 13385590 A JP13385590 A JP 13385590A JP H0428791 A JPH0428791 A JP H0428791A
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- JP
- Japan
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- substrate
- graphite
- vacuum tank
- sliding
- carbon hard
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- Pending
Links
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/24—Brasses; Bushes; Linings with different areas of the sliding surface consisting of different materials
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Lubricants (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は接触する摺動面にカーボン硬質膜を形成した摺
動部品、特に給油レス摺動部品に関するものである。
動部品、特に給油レス摺動部品に関するものである。
従来技術による摺動部品は、ボールベアリング、ローラ
ーベアリング等のように金属接触のものが多く、摩擦抵
抗を小さくするために、グリースや油の給油をしていた
。また、特開昭６０−１３５５６４号公報のように耐摩
耗性・潤滑性を改善するために、ＴｉＮ等の硬質材料と
Ａｇ等の固体潤滑を有する材料な摺動面に蒸着したもの
もある。
ーベアリング等のように金属接触のものが多く、摩擦抵
抗を小さくするために、グリースや油の給油をしていた
。また、特開昭６０−１３５５６４号公報のように耐摩
耗性・潤滑性を改善するために、ＴｉＮ等の硬質材料と
Ａｇ等の固体潤滑を有する材料な摺動面に蒸着したもの
もある。
前記従来の摺動部品は、ベアリングのボール等部品点数
が多く加工負荷が大であり、金属部材であるため部品と
しても重く、グリース等の注油の必要がある。また、耐
摩耗性・潤滑性改善のため、硬質材料や潤滑材料を蒸着
したものについても、２種類の材料を蒸着しなければな
らず手間のかかるものである。
が多く加工負荷が大であり、金属部材であるため部品と
しても重く、グリース等の注油の必要がある。また、耐
摩耗性・潤滑性改善のため、硬質材料や潤滑材料を蒸着
したものについても、２種類の材料を蒸着しなければな
らず手間のかかるものである。
本発明は上述した従来の欠点を無くし、耐摩耗性に優れ
、軽量でベアリングボール等の部品を使わず安価な給油
レスの摺動部品を提供することを目的としている。
、軽量でベアリングボール等の部品を使わず安価な給油
レスの摺動部品を提供することを目的としている。
本発明は互いに摺動接触する部品の少なくとも一方のグ
ラファイト基材でできた部品の摺動面に、炭化水素を含
有するガス雰囲気中におけるプラズマ重合処理により潤
滑性に富むカーボン硬質膜を部分的に形成し、前記摺動
面のグラファイト部分に潤滑油を含浸させたことを特徴
とするものである。
ラファイト基材でできた部品の摺動面に、炭化水素を含
有するガス雰囲気中におけるプラズマ重合処理により潤
滑性に富むカーボン硬質膜を部分的に形成し、前記摺動
面のグラファイト部分に潤滑油を含浸させたことを特徴
とするものである。
以下本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
第１図は本発明の第１実施例を示す摺動部品の摺動面の
要部断面図、第２図は第１図に示す摺動部品の斜視図、
第３図は本発明の第２実施例の摺動部品の摺動面の要部
断面図である。
要部断面図、第２図は第１図に示す摺動部品の斜視図、
第３図は本発明の第２実施例の摺動部品の摺動面の要部
断面図である。
（実施例１）
摺動部品として切削加工または成形加工したグラファイ
ト基材１を洗浄後、プラズマ重合装置の真空槽内のカソ
ード電極上にセットする。このカソード電極はマツチン
グボックスを介して高周波電源と接続されている。グラ
ファイト基材１はあらかじめパターン状マスクを密着さ
せ部分的に成膜できるようにしてお（。次に真空槽内を
排気後、ガス導入口より流量３０ｃｃ／ｍｉｎ でメ
タンガスを導入し、圧力１３．３ＰＨに保持する。そし
てカソード電極に１３．５６ ＭＨｚの高周波電力を印
加し、プラズマを発生させ、グラファイト基材１上に厚
さ約２μｍのカーボン硬質膜４を形成させる。カーボン
硬質膜４が形成されたグラファイト基材１を真空槽内か
ら取り出し、パターン状マスクをはずし、グラファイト
基材１の露出した縞状のグラファイト部分２に潤滑油６
を含浸させ摺動部品を得た。
ト基材１を洗浄後、プラズマ重合装置の真空槽内のカソ
ード電極上にセットする。このカソード電極はマツチン
グボックスを介して高周波電源と接続されている。グラ
ファイト基材１はあらかじめパターン状マスクを密着さ
せ部分的に成膜できるようにしてお（。次に真空槽内を
排気後、ガス導入口より流量３０ｃｃ／ｍｉｎ でメ
タンガスを導入し、圧力１３．３ＰＨに保持する。そし
てカソード電極に１３．５６ ＭＨｚの高周波電力を印
加し、プラズマを発生させ、グラファイト基材１上に厚
さ約２μｍのカーボン硬質膜４を形成させる。カーボン
硬質膜４が形成されたグラファイト基材１を真空槽内か
ら取り出し、パターン状マスクをはずし、グラファイト
基材１の露出した縞状のグラファイト部分２に潤滑油６
を含浸させ摺動部品を得た。
このようにして得られた摺動部品について耐摩耗試験機
により試験を行った。条件としては荷重２．５ｆｋＩ９
ｆ、研磨紙は５ｉＣ６００番で、８００サイクルにおい
て下地のグラファイト基材１が露出することなく、すぐ
れた耐摩耗性を有する結果であった。また、このカーボ
ン硬質膜４の硬度は１５００ＨＶ以上であった。
により試験を行った。条件としては荷重２．５ｆｋＩ９
ｆ、研磨紙は５ｉＣ６００番で、８００サイクルにおい
て下地のグラファイト基材１が露出することなく、すぐ
れた耐摩耗性を有する結果であった。また、このカーボ
ン硬質膜４の硬度は１５００ＨＶ以上であった。
通常のプラズマ重合法で形成したカーボン硬質膜４の密
着に関しては、ステンレス鋼等の金属部材では密着を得
るのは非常に難しく、シリコン等の中間膜を入れている
が、本発明の摺動部品は、カーボン硬質膜４と同じカー
ボンであるグラファイトが基材なので中間膜を形成する
ことなく直接形成することができ、非常に密着良く成膜
をすることができる。また、潤滑性については、カーボ
ン硬質膜４およびグラファイトは固体潤滑性に富み、さ
らにパターン状にグラファイト部分２を露出させ、グラ
ファイトの含浸性の良い点を利用し潤滑油を含浸させる
ことにより、さらに潤滑性が良くなり、潤滑油を給油し
なくともスムーズな摺動を得ることができる。
着に関しては、ステンレス鋼等の金属部材では密着を得
るのは非常に難しく、シリコン等の中間膜を入れている
が、本発明の摺動部品は、カーボン硬質膜４と同じカー
ボンであるグラファイトが基材なので中間膜を形成する
ことなく直接形成することができ、非常に密着良く成膜
をすることができる。また、潤滑性については、カーボ
ン硬質膜４およびグラファイトは固体潤滑性に富み、さ
らにパターン状にグラファイト部分２を露出させ、グラ
ファイトの含浸性の良い点を利用し潤滑油を含浸させる
ことにより、さらに潤滑性が良くなり、潤滑油を給油し
なくともスムーズな摺動を得ることができる。
さらに、グラファイトは比重が２．３であり、特に金属
部材の鉄の７．９に比べると３倍以上軽（、非常に軽量
の摺動部材となる。
部材の鉄の７．９に比べると３倍以上軽（、非常に軽量
の摺動部材となる。
（実施例２）
グラファイト基材１を摺動部品として加工する際に、あ
らかじめ摺動面のカーボン硬質膜４を形成する場所に凹
部を設け、実施例１と同様にカーボン硬質膜４を形成さ
せる。第３図に示すように摺動面は平らになり、グラフ
ァイト部分２に潤滑油３を含浸させても良い。
らかじめ摺動面のカーボン硬質膜４を形成する場所に凹
部を設け、実施例１と同様にカーボン硬質膜４を形成さ
せる。第３図に示すように摺動面は平らになり、グラフ
ァイト部分２に潤滑油３を含浸させても良い。
尚、実施例ではカーボン硬質膜を縞状ツバターンで形成
したが、これに代えて円状、網目状、異形状等のパター
ンに形成しても良いことはいうまでもない。
したが、これに代えて円状、網目状、異形状等のパター
ンに形成しても良いことはいうまでもない。
以上の説明で明らかなように、本発明によればグラファ
イトの摺動面に部分的にカーボン硬質膜を形成し、グラ
ファイト部分に潤滑油を含浸させることにより、耐摩耗
性に優れ、軽量で安価な給油レスの優れた摺動部品を提
供することが可能となった。
イトの摺動面に部分的にカーボン硬質膜を形成し、グラ
ファイト部分に潤滑油を含浸させることにより、耐摩耗
性に優れ、軽量で安価な給油レスの優れた摺動部品を提
供することが可能となった。
第１図から第３図は本発明の実施例で、第１図及び第３
図は摺動部品の摺動面の要部断面図、第２図は第１図に
示す摺動部品の斜視図である。第３図は本発明の他の実
施例の要部断面図である。 １・・・・・・グラファイト基材、 ２・・・・・・グラファイト部分、 ６・・・・・・潤滑油、 ４・・・・・・カーボン硬質膜。 砿故中葭人 、ツキイソ！！８曾十廊廿Ａう↓ルー
図は摺動部品の摺動面の要部断面図、第２図は第１図に
示す摺動部品の斜視図である。第３図は本発明の他の実
施例の要部断面図である。 １・・・・・・グラファイト基材、 ２・・・・・・グラファイト部分、 ６・・・・・・潤滑油、 ４・・・・・・カーボン硬質膜。 砿故中葭人 、ツキイソ！！８曾十廊廿Ａう↓ルー
Claims (1)
- 互いに摺動接触する部品の少なくとも一方のグラファイ
ト基材でできた部品の摺動面に、炭化水素を含有するガ
ス雰囲気中におけるプラズマ重合処理により潤滑性に富
むカーボン硬質膜を部分的に形成し、前記摺動面のグラ
ファイト部分に潤滑油を含浸させたことを特徴とする摺
動部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13385590A JPH0428791A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 摺動部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13385590A JPH0428791A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 摺動部品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0428791A true JPH0428791A (ja) | 1992-01-31 |
Family
ID=15114613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13385590A Pending JPH0428791A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 摺動部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0428791A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006095907A1 (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-14 | The Circle For The Promotion Of Science And Engineering | 基体上にセグメント構造硬質膜と固体潤滑層または流体状潤滑層を含む複合摺動構造物、及びそれらの製造方法 |
| JP2012219252A (ja) * | 2011-04-14 | 2012-11-12 | Akebono Brake Ind Co Ltd | 固体潤滑材の製造方法 |
| JP2016164307A (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-08 | キヤノン株式会社 | 摺動用部材およびそれを有する摺動装置およびそれを有する電子写真方式の画像形成装置 |
| CN111003504A (zh) * | 2019-12-03 | 2020-04-14 | 大同新成新材料股份有限公司 | 具有翻转机构的智能碳滑板碳条上料机及其操作方法 |
-
1990
- 1990-05-25 JP JP13385590A patent/JPH0428791A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006095907A1 (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-14 | The Circle For The Promotion Of Science And Engineering | 基体上にセグメント構造硬質膜と固体潤滑層または流体状潤滑層を含む複合摺動構造物、及びそれらの製造方法 |
| JPWO2006095907A1 (ja) * | 2005-03-09 | 2008-08-21 | 国立大学法人東京工業大学 | 基体上にセグメント構造硬質膜と固体潤滑層または流体状潤滑層を含む複合摺動構造物、及びそれらの製造方法 |
| JP4711265B2 (ja) * | 2005-03-09 | 2011-06-29 | 国立大学法人東京工業大学 | 基体上にセグメント構造硬質膜と固体潤滑層または流体状潤滑層を含む複合摺動構造物、及びそれらの製造方法 |
| JP2012219252A (ja) * | 2011-04-14 | 2012-11-12 | Akebono Brake Ind Co Ltd | 固体潤滑材の製造方法 |
| JP2016164307A (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-08 | キヤノン株式会社 | 摺動用部材およびそれを有する摺動装置およびそれを有する電子写真方式の画像形成装置 |
| CN111003504A (zh) * | 2019-12-03 | 2020-04-14 | 大同新成新材料股份有限公司 | 具有翻转机构的智能碳滑板碳条上料机及其操作方法 |
| CN111003504B (zh) * | 2019-12-03 | 2021-03-05 | 大同新成新材料股份有限公司 | 具有翻转机构的智能碳滑板碳条上料机及其操作方法 |
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