JPH04287987A - ガスレーザ - Google Patents
ガスレーザInfo
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- JPH04287987A JPH04287987A JP60891A JP60891A JPH04287987A JP H04287987 A JPH04287987 A JP H04287987A JP 60891 A JP60891 A JP 60891A JP 60891 A JP60891 A JP 60891A JP H04287987 A JPH04287987 A JP H04287987A
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- gas
- laser
- electrode
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- arc electrode
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- Pending
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガスレーザに関するも
のである。
のである。
【０００２】
【従来の技術】以下の詳細な説明では、ガスレーザとし
てエキシマレーザを側に採り説明する。
てエキシマレーザを側に採り説明する。
【０００３】従来のエキシマレーザの一例を図３に示す
。
。
【０００４】このエキシマレーザについては、文献「オ
プトロニクス（ＯＰＴＲＯＮＩＣＳ）」５月号（１９８
６年）に詳細に記載されている。この従来のエキシマレ
ーザでは、励起回路に２組のコンデンサとサイラトロン
とからなる容量移行型励起回路を用い、レーザガスを封
じ込めるレーザ容器内に放電電極８と、一対のアース側
アーク電極６と高圧側アーク電極７が放電電極８の長さ
方向に放電電極８に沿って多数個並べたスパークギャッ
プアレーとから構成されている。さらに、レーザガス中
のハロゲンガスによるレーザ容器内の腐食、不純ガス発
生及びハロゲンガス低減によるレーザガスの劣化を防ぐ
ためにレーザ容器内は耐ハロゲン性の高い金属材料及び
絶縁材料で構成されている。
プトロニクス（ＯＰＴＲＯＮＩＣＳ）」５月号（１９８
６年）に詳細に記載されている。この従来のエキシマレ
ーザでは、励起回路に２組のコンデンサとサイラトロン
とからなる容量移行型励起回路を用い、レーザガスを封
じ込めるレーザ容器内に放電電極８と、一対のアース側
アーク電極６と高圧側アーク電極７が放電電極８の長さ
方向に放電電極８に沿って多数個並べたスパークギャッ
プアレーとから構成されている。さらに、レーザガス中
のハロゲンガスによるレーザ容器内の腐食、不純ガス発
生及びハロゲンガス低減によるレーザガスの劣化を防ぐ
ためにレーザ容器内は耐ハロゲン性の高い金属材料及び
絶縁材料で構成されている。
【０００５】ところで、エキシマレーザにおいてレーザ
光を発振させるために、アース側アーク電極６と高圧側
アーク電極７間のアーク放電で発生する紫外線でレーザ
ガスを予備電離し、放電電極８間のグロー放電でレーザ
ガスを励起している。
光を発振させるために、アース側アーク電極６と高圧側
アーク電極７間のアーク放電で発生する紫外線でレーザ
ガスを予備電離し、放電電極８間のグロー放電でレーザ
ガスを励起している。
【０００６】
【発明が解決しようとしている課題】上記したように、
従来のエキシマレーザでレーザを発振させることにより
、アーク放電が生じているスパークギャップアレーから
は、アーク放電によりスパッタされた金属粉やハロゲン
ガスと化学反応した化合物粉のダストがレーザガス中に
拡散する。このため、これらのダストが絶縁材料表面に
堆積し絶縁特性の劣化やレーザＣＶＤでレーザの共振器
である光学窓材表面に堆積する。この結果、放電電極間
に印加する高電圧のリークが発生しやすくなり放電空間
の注入エネルギーの減少によるレーザゲインの低下や光
学窓表面の堆積物によるレーザ光の取り出し効率の低下
で、レーザ出力が動作ショット数と共に急激に減少する
欠点があった。
従来のエキシマレーザでレーザを発振させることにより
、アーク放電が生じているスパークギャップアレーから
は、アーク放電によりスパッタされた金属粉やハロゲン
ガスと化学反応した化合物粉のダストがレーザガス中に
拡散する。このため、これらのダストが絶縁材料表面に
堆積し絶縁特性の劣化やレーザＣＶＤでレーザの共振器
である光学窓材表面に堆積する。この結果、放電電極間
に印加する高電圧のリークが発生しやすくなり放電空間
の注入エネルギーの減少によるレーザゲインの低下や光
学窓表面の堆積物によるレーザ光の取り出し効率の低下
で、レーザ出力が動作ショット数と共に急激に減少する
欠点があった。
【０００７】本発明の目的は、長時間動作においてもレ
ーザ出力の減少が少なくレーザガス寿命が長くなるレー
ザガス中のダストの除去機構を備えたガスレーザを提供
することである。
ーザ出力の減少が少なくレーザガス寿命が長くなるレー
ザガス中のダストの除去機構を備えたガスレーザを提供
することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によるガスレーザ
は、スパークギャップアレーの少なくともアーク電極の
一方がレーザガスを吸入する機構を備え、吸入したレー
ザガスを清浄にするガス清浄器と、レーザガスを吸入す
る機構とガス清浄器とをつなぐガス吸気管とガス清浄器
とレーザ容器とをつなぐ配管を新たに設置したことを特
徴としいる。
は、スパークギャップアレーの少なくともアーク電極の
一方がレーザガスを吸入する機構を備え、吸入したレー
ザガスを清浄にするガス清浄器と、レーザガスを吸入す
る機構とガス清浄器とをつなぐガス吸気管とガス清浄器
とレーザ容器とをつなぐ配管を新たに設置したことを特
徴としいる。
【０００９】
【作用】本発明によるガスレーザには、従来のエキシマ
レーザと異なり、スパークギャップアレーの少なくとも
アーク電極の一方がレーザガスを吸入する機構とガスを
清浄にするガス清浄器とこれら及びガス清浄器とレーザ
容器とをつなぐガス配管を備えている。さらに、レーザ
ガスを吸入する機構で吸入されたレーザガスは、ガス清
浄器を通りレーザ容器に戻るようになっている。このた
め、レーザ発振を行わせた時にスパークギャップアレー
からスパッタされた金属やハロゲンと化学反応した化合
物のダストは、レーザガス中に広がる前にレーザガスを
吸入する機構を通りガス清浄器に送られ、レーザガス中
からダストが除去される。この結果、絶縁材料や光学窓
への堆積が防がれレーザ出力の低下が抑えられてレーザ
ガスの長寿命化が図れる。
レーザと異なり、スパークギャップアレーの少なくとも
アーク電極の一方がレーザガスを吸入する機構とガスを
清浄にするガス清浄器とこれら及びガス清浄器とレーザ
容器とをつなぐガス配管を備えている。さらに、レーザ
ガスを吸入する機構で吸入されたレーザガスは、ガス清
浄器を通りレーザ容器に戻るようになっている。このた
め、レーザ発振を行わせた時にスパークギャップアレー
からスパッタされた金属やハロゲンと化学反応した化合
物のダストは、レーザガス中に広がる前にレーザガスを
吸入する機構を通りガス清浄器に送られ、レーザガス中
からダストが除去される。この結果、絶縁材料や光学窓
への堆積が防がれレーザ出力の低下が抑えられてレーザ
ガスの長寿命化が図れる。
【００１０】
【実施例】次に、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。
る。
【００１１】図１は本発明の一実施例を示すエキシマレ
ーザの縦断面図、図２は図１に示したエキシマレーザの
横断面図を各々示している。
ーザの縦断面図、図２は図１に示したエキシマレーザの
横断面図を各々示している。
【００１２】図１は、図３に構造図を示した従来のエキ
シマレーザの構造と異なり、アース側アーク電極１が円
筒管でできており、アース側の放電電極５と接している
ガス吸気管３につながっている。また、ガス吸気管３は
、ガス洗浄器４のガス吸入口とつながり、ガス洗浄器４
のガス排気口がレーザ容器とつながっている。さらに、
ガス洗浄器４は、ダストを除去するフィルターとレーザ
ガスの吸気及び排気のためのポンプとから構成されてい
る。このエキシマレーザにおいて、レーザ発振動作を行
わせると、従来のエキシマレーザと同様にアース側アー
ク電極１と高圧側アーク電極２間のアーク放電でアーク
電極の金属材料がスパッタされ、金属ダストやハロゲン
ガスと化学反応した化合物ダストが発生する。しかし、
アース側アーク電極１である円筒管からレーザガスを吸
入しているため、ダストがレーザガス中に広がる前にガ
ス吸気管３を通りガス洗浄器４に送られる。ガス洗浄器
４に送られたレーザガスは、フィルターでダストが除去
され、ダストが除かれた清浄なレーザガスの状態で再び
レーザ容器内に戻る。この結果、ダストによる高電圧の
リークが発生及び光学窓表面への堆積物によるレーザ光
の取り出し効率の低下が抑えられエキシマレーザの寿命
が伸びる。
シマレーザの構造と異なり、アース側アーク電極１が円
筒管でできており、アース側の放電電極５と接している
ガス吸気管３につながっている。また、ガス吸気管３は
、ガス洗浄器４のガス吸入口とつながり、ガス洗浄器４
のガス排気口がレーザ容器とつながっている。さらに、
ガス洗浄器４は、ダストを除去するフィルターとレーザ
ガスの吸気及び排気のためのポンプとから構成されてい
る。このエキシマレーザにおいて、レーザ発振動作を行
わせると、従来のエキシマレーザと同様にアース側アー
ク電極１と高圧側アーク電極２間のアーク放電でアーク
電極の金属材料がスパッタされ、金属ダストやハロゲン
ガスと化学反応した化合物ダストが発生する。しかし、
アース側アーク電極１である円筒管からレーザガスを吸
入しているため、ダストがレーザガス中に広がる前にガ
ス吸気管３を通りガス洗浄器４に送られる。ガス洗浄器
４に送られたレーザガスは、フィルターでダストが除去
され、ダストが除かれた清浄なレーザガスの状態で再び
レーザ容器内に戻る。この結果、ダストによる高電圧の
リークが発生及び光学窓表面への堆積物によるレーザ光
の取り出し効率の低下が抑えられエキシマレーザの寿命
が伸びる。
【００１３】本発明の実施例においては、アース側アー
ク電極側にガスを吸入する機構を設けているが、高圧側
アーク電極側及び両方のアーク電極に設けても良い。ま
た、本発明の実施例ではガス吸入機構である円筒管をア
ーク電極として用いたが、別々にしても良く、さらに円
筒管をガス吸入機構に用いたが特に限定されるものでは
ない。
ク電極側にガスを吸入する機構を設けているが、高圧側
アーク電極側及び両方のアーク電極に設けても良い。ま
た、本発明の実施例ではガス吸入機構である円筒管をア
ーク電極として用いたが、別々にしても良く、さらに円
筒管をガス吸入機構に用いたが特に限定されるものでは
ない。
【００１４】本発明では、簡便のためにガスレーザとし
てエキシマレーザについて述べたが、その他のガスレー
ザに用いることができるのは明らかである。
てエキシマレーザについて述べたが、その他のガスレー
ザに用いることができるのは明らかである。
【００１５】
【発明の効果】以上述べたように、本発明を用いたガス
レーザではレーザガスが長寿命になる。
レーザではレーザガスが長寿命になる。
【図１】本発明の一実施例を用いたエキシマレーザの縦
断面図。
断面図。
【図２】図１に示したエキシマレーザの横断面図。
【図３】従来のエキシマレーザの構造図。
１，６ アース側アーク電極
２，７ 高圧側アーク電極
３ ガス吸気管
４ ガス清浄器
５，８ 放電電極
Claims (1)
- 【請求項１】 少なくともコンデンサ，レーザ励起の
放電を行なう一対の放電電極、スイッチング素子とから
なる励起回路と、アース側アーク電極と高圧側アーク電
極からなる一対のアーク電極が多数個前記放電電極の長
さ方向に沿って並んでいるスパークギャップアレーと、
レーザガスを封じ込めるレーザ容器とからなるガスレー
ザにおいて、前記一対のアーク電極の少くとも一方を筒
状とし、レーザガスを清浄にするガス清浄器を備え、前
記筒状アーク電極の端部と前記ガス清浄器とをつなぐガ
ス吸気管と、前記ガス清浄器と前記レーザ容器とをつな
ぐ配管とを備えたことを特徴としたガスレーザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60891A JPH04287987A (ja) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | ガスレーザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60891A JPH04287987A (ja) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | ガスレーザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04287987A true JPH04287987A (ja) | 1992-10-13 |
Family
ID=11478451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60891A Pending JPH04287987A (ja) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | ガスレーザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04287987A (ja) |
-
1991
- 1991-01-08 JP JP60891A patent/JPH04287987A/ja active Pending
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