JPH0429041B2 - - Google Patents
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- JPH0429041B2 JPH0429041B2 JP55135862A JP13586280A JPH0429041B2 JP H0429041 B2 JPH0429041 B2 JP H0429041B2 JP 55135862 A JP55135862 A JP 55135862A JP 13586280 A JP13586280 A JP 13586280A JP H0429041 B2 JPH0429041 B2 JP H0429041B2
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- Japan
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- temperature
- glass
- light intensity
- light
- filter
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
- G03F7/70883—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature of optical system
- G03F7/70891—Temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
- H01J9/2271—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines by photographic processes
- H01J9/2272—Devices for carrying out the processes, e.g. light houses
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- H01J9/2271—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines by photographic processes
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- H01J9/2273—Auxiliary lenses and filters
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Control Of Exposure In Printing And Copying (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はカラーブラウン管や半導体集積回路の
製造工程におけるパターン加工の露光用に使用し
て好適な露光装置に関するものである。
製造工程におけるパターン加工の露光用に使用し
て好適な露光装置に関するものである。
例えばカラーブラウン管のフエースパネル内面
に各色のけい光体パターンを形成する際に、光源
から電子ビームと同じ軌跡を通るように光を放射
し、感光性膜上に照射してこの部分を露光するよ
うにしている。この場合、露光量は感光性膜に照
射される光の強度に比例するが、光源を点灯して
所定時間はこの光強度が変化し、露光量にむらが
できてパターン加工量がばらつくという問題があ
つた。
に各色のけい光体パターンを形成する際に、光源
から電子ビームと同じ軌跡を通るように光を放射
し、感光性膜上に照射してこの部分を露光するよ
うにしている。この場合、露光量は感光性膜に照
射される光の強度に比例するが、光源を点灯して
所定時間はこの光強度が変化し、露光量にむらが
できてパターン加工量がばらつくという問題があ
つた。
この原因を調べたところ、露光装置の光学系に
用いるフイルタやレンズのうち、あるものが温度
によつて短波長側の遮断周波数が変化するため、
光源を点灯してフイルタやレンズの温度が時間と
ともに上昇すると被露光面の光強度がこれに応じ
て変化することが判明した。すなわち、この種の
露光装置における光源は水銀灯を発光源とするも
のであるが、このような光源から照射される光の
波長は約200nm〜10μｍ程度の広範囲に亘るもの
であるが、前述したフイルタやレンズ等のガラス
材は室温においてはその遮断波長は約360nm以下
となつている。ところが前述したガラス材はその
温度上昇によりこれが400nm程度まで変位し、こ
れに伴ない特に約200〜400nm領域の波長の光透
過率が極端に低下し被露光面の光強度が変化する
ことが判明した。
用いるフイルタやレンズのうち、あるものが温度
によつて短波長側の遮断周波数が変化するため、
光源を点灯してフイルタやレンズの温度が時間と
ともに上昇すると被露光面の光強度がこれに応じ
て変化することが判明した。すなわち、この種の
露光装置における光源は水銀灯を発光源とするも
のであるが、このような光源から照射される光の
波長は約200nm〜10μｍ程度の広範囲に亘るもの
であるが、前述したフイルタやレンズ等のガラス
材は室温においてはその遮断波長は約360nm以下
となつている。ところが前述したガラス材はその
温度上昇によりこれが400nm程度まで変位し、こ
れに伴ない特に約200〜400nm領域の波長の光透
過率が極端に低下し被露光面の光強度が変化する
ことが判明した。
本発明はこのような点にもとずいて考えられた
もので、その目的とするところは、被露光面にお
いて常に一定の光強度が得られるような露光装置
を提供することにある。
もので、その目的とするところは、被露光面にお
いて常に一定の光強度が得られるような露光装置
を提供することにある。
このような目的を達成するために、本発明は、
水銀灯を発光源とする光源から発光された光を紫
外線領域における遮断周波数が温度によつて変化
するガラス材に透過させて被露光面上に照射させ
る露光装置において、温度制御手段によつてガラ
ス材の温度を制御して被露光面の光強度を一定に
制御するようにしたものである。
水銀灯を発光源とする光源から発光された光を紫
外線領域における遮断周波数が温度によつて変化
するガラス材に透過させて被露光面上に照射させ
る露光装置において、温度制御手段によつてガラ
ス材の温度を制御して被露光面の光強度を一定に
制御するようにしたものである。
以下、本発明を実施例にもとずいて詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明に係る露光装置の一実施例の構
成図である。図において、１は光源となる水銀
灯、２は水銀灯に電力を供給する点灯電源、３は
波長300〜400nmの範囲に山形の透過特性を有す
る分光フイルタ、４は厚さ1.3mmの青板ガラスか
らなる第１レンズとしてのグレーデイングフイル
タ、５は第２レンズ、６は第３レンズとしての補
正フイルタ、７は第４レンズとしての補正レン
ズ、８はグレーデイングフイルタ４に装着された
ガラス基板９上に光軸中心から約10mm離して接着
したツエナダイオードからなる温度センサ、１０
は高圧エヤーを送出するための送風機、１１は高
圧エヤーをガラス基板９上に供給するためのホー
ス、１２はカラーブラウン管のフエースパネル、
１３はシヤドウマスク、１４ａはフエースパネル
１２の中心位置に設けられた光強度を測定するた
めの受光センサ、１４ｂは同じく周辺位置に設け
られた受光センサである。なお、受光センサ１４
ａ，１４ｂは光強度測定時はフエースパネル１２
の内面に設けられるが、実際の露光時にはフエー
スパネル１２の内面には感光性膜が形成される。
成図である。図において、１は光源となる水銀
灯、２は水銀灯に電力を供給する点灯電源、３は
波長300〜400nmの範囲に山形の透過特性を有す
る分光フイルタ、４は厚さ1.3mmの青板ガラスか
らなる第１レンズとしてのグレーデイングフイル
タ、５は第２レンズ、６は第３レンズとしての補
正フイルタ、７は第４レンズとしての補正レン
ズ、８はグレーデイングフイルタ４に装着された
ガラス基板９上に光軸中心から約10mm離して接着
したツエナダイオードからなる温度センサ、１０
は高圧エヤーを送出するための送風機、１１は高
圧エヤーをガラス基板９上に供給するためのホー
ス、１２はカラーブラウン管のフエースパネル、
１３はシヤドウマスク、１４ａはフエースパネル
１２の中心位置に設けられた光強度を測定するた
めの受光センサ、１４ｂは同じく周辺位置に設け
られた受光センサである。なお、受光センサ１４
ａ，１４ｂは光強度測定時はフエースパネル１２
の内面に設けられるが、実際の露光時にはフエー
スパネル１２の内面には感光性膜が形成される。
第２図は温度計測回路図である。図において、
１５は室内の温度を検出するための温度センサ、
１６は演算増幅器、１７は表示計、RFは帰還抵
抗、R1〜R4は入力抵抗、VRは可変抵抗である。
ここで温度センサ８に流れる電流をISとし、R1＝
R3＝4.3KΩ、R2＝R4、温度センサ８，１５の検
出温度＝T1，T2，Ｋ＝定数とすると、演算増幅
器１６の出力電圧は次のようになる。
１５は室内の温度を検出するための温度センサ、
１６は演算増幅器、１７は表示計、RFは帰還抵
抗、R1〜R4は入力抵抗、VRは可変抵抗である。
ここで温度センサ８に流れる電流をISとし、R1＝
R3＝4.3KΩ、R2＝R4、温度センサ８，１５の検
出温度＝T1，T2，Ｋ＝定数とすると、演算増幅
器１６の出力電圧は次のようになる。
Vout≒−R／4.3｛KT1／ｅ
In（１＋−１／IS・（T1））
−KT2／ｅIn（１＋１／IS（T2））｝
これにより、ガラス基板すなわちグレーデイン
グフイルタの温度を表示計から読みとることがで
きる。
グフイルタの温度を表示計から読みとることがで
きる。
そして、水銀灯１を点灯すると時間経過ととも
にグレーデイングフイルタの温度は上昇し、これ
にともない光の透過率が減少する。しかし、ホー
ス１１から高圧エヤーをガラス基板９上に吹き付
けると、温度上昇が抑えられる光透過率は一定に
なり、これによりフエースパネル１２の内面上の
光強度も一定に保持される。
にグレーデイングフイルタの温度は上昇し、これ
にともない光の透過率が減少する。しかし、ホー
ス１１から高圧エヤーをガラス基板９上に吹き付
けると、温度上昇が抑えられる光透過率は一定に
なり、これによりフエースパネル１２の内面上の
光強度も一定に保持される。
次に本実施例における各測定結果をグラフによ
り示す。
り示す。
第３図は光学系の各レンズの温度上昇特性図で
ある。なお、室温は25℃、水銀灯の電力は1KW
である。また、光源からの距離は、グレーデイン
グフイルタ４が57.6mm、第２レンズが59.0mm補正
フイルタ６が79.6mmである。なお、補正フイルタ
６も青板ガラスからなる。図において、実線は通
常の冷却しないときの特性、点線は送風機１０を
動作させて0.5Kg／cm2の高圧エアーをガラス基板
９上に供給したときの特性である。イはグレーデ
イングフイルタ４、ロは第２レンズ５、ハは補正
フイルタ６の各特性である。グレーデイングフイ
ルタ４を冷却すると他のレンズも温度上昇を抑え
ることができるが、距離が遠いもの程その効果は
少なくなる。図からわかるように点灯後２〜３分
で各レンズの温度上昇を抑えることができる。
ある。なお、室温は25℃、水銀灯の電力は1KW
である。また、光源からの距離は、グレーデイン
グフイルタ４が57.6mm、第２レンズが59.0mm補正
フイルタ６が79.6mmである。なお、補正フイルタ
６も青板ガラスからなる。図において、実線は通
常の冷却しないときの特性、点線は送風機１０を
動作させて0.5Kg／cm2の高圧エアーをガラス基板
９上に供給したときの特性である。イはグレーデ
イングフイルタ４、ロは第２レンズ５、ハは補正
フイルタ６の各特性である。グレーデイングフイ
ルタ４を冷却すると他のレンズも温度上昇を抑え
ることができるが、距離が遠いもの程その効果は
少なくなる。図からわかるように点灯後２〜３分
で各レンズの温度上昇を抑えることができる。
第４図は高圧エアーの圧力を変え冷却条件を変
えた場合のグレーデイングフイルタの温度上昇特
性図である。イは冷却なしの特性、ロは0.2Kg／
cm2、ハは0.5Kg／cm2、ニは1.0Kg／cm2、ホは2.0Kg／
cm2の各圧力のときの特性である。イの冷却なしに
比して比較的弱い冷却ロ，ハでも可成りの効果が
得られる。
えた場合のグレーデイングフイルタの温度上昇特
性図である。イは冷却なしの特性、ロは0.2Kg／
cm2、ハは0.5Kg／cm2、ニは1.0Kg／cm2、ホは2.0Kg／
cm2の各圧力のときの特性である。イの冷却なしに
比して比較的弱い冷却ロ，ハでも可成りの効果が
得られる。
第５図は同じく高圧エアーの圧力を変え冷却条
件を変えた場合のフエースパネル内面の中央位置
の相対光強度の特性図である。変動率は受光セン
サ１４ａで検出した中央位置の光強度の初期の値
を100としたときの比率で示されている。イは冷
却なしの特性、ロは0.2Kg／cm2、ハは1.0Kg／cm2、
ニは2.0Kg／cm2の各圧力のときの特性である。点
灯後10分以上を経た時点で、イは９％低下する
が、ロは３％、ハは１％、ニは0.8％程度のわず
かな低下にすぎない。
件を変えた場合のフエースパネル内面の中央位置
の相対光強度の特性図である。変動率は受光セン
サ１４ａで検出した中央位置の光強度の初期の値
を100としたときの比率で示されている。イは冷
却なしの特性、ロは0.2Kg／cm2、ハは1.0Kg／cm2、
ニは2.0Kg／cm2の各圧力のときの特性である。点
灯後10分以上を経た時点で、イは９％低下する
が、ロは３％、ハは１％、ニは0.8％程度のわず
かな低下にすぎない。
第６図は中央位置の光強度と受光センサ１４ｂ
で検出した周辺位置の光強度との比率の特性図で
ある。イは冷却なしの特性、ロは圧力1.0Kg／cm2
で冷却したときの特性である。イは点灯後６分経
過した時点５％上昇するが、ロは１％上昇するだ
けである。
で検出した周辺位置の光強度との比率の特性図で
ある。イは冷却なしの特性、ロは圧力1.0Kg／cm2
で冷却したときの特性である。イは点灯後６分経
過した時点５％上昇するが、ロは１％上昇するだ
けである。
以上の実施例では、グレーデイングフイルタを
厚さ1.3mmの青板ガラスで形成したが、他の各種
材料も使用できる。次に各ガラスの温度に対する
相対透過率の変化を説明する。
厚さ1.3mmの青板ガラスで形成したが、他の各種
材料も使用できる。次に各ガラスの温度に対する
相対透過率の変化を説明する。
第７図はガラスの温度と室温（25℃）状態での
透過率を100としたときの各温度の透過率を示す
相対透過率特性図である。各ガラスはグレーデイ
ングフイルタに使用し、圧力1.0Kg／cm2で冷却し
た。イは厚さ2.5mmのBK−７ガラス、ロは厚さ
2.5mmのBK−７ガラスに35％Ni蒸着を施したフ
イルタ、ハは前記実施例と同様の厚さ1.3mmの青
板ガラス、ニはレンズガラス、ホは厚さ3.0mmの
青板ガラス、ヘは厚さ1.3mmの青板ガラスに35％
Ni蒸着を施したフイルタの各特性である。ガラ
スの素材、厚さ、蒸着の有無等によつて特性が変
わることがわかる。特に、BK−７ガラスは温度
による分光透過率変化が少なく、青板ガラスを用
いたものより安定な光強度が得られる。
透過率を100としたときの各温度の透過率を示す
相対透過率特性図である。各ガラスはグレーデイ
ングフイルタに使用し、圧力1.0Kg／cm2で冷却し
た。イは厚さ2.5mmのBK−７ガラス、ロは厚さ
2.5mmのBK−７ガラスに35％Ni蒸着を施したフ
イルタ、ハは前記実施例と同様の厚さ1.3mmの青
板ガラス、ニはレンズガラス、ホは厚さ3.0mmの
青板ガラス、ヘは厚さ1.3mmの青板ガラスに35％
Ni蒸着を施したフイルタの各特性である。ガラ
スの素材、厚さ、蒸着の有無等によつて特性が変
わることがわかる。特に、BK−７ガラスは温度
による分光透過率変化が少なく、青板ガラスを用
いたものより安定な光強度が得られる。
第８図は青板ガラスとBK−７ガラスを比較し
た温度上昇特性図である。実験条件は第７図と同
様である。イは青板ガラスに35％Ni蒸着を施し
たフイルタの特性、ロはBK−７ガラス板（厚さ
2.5mm）の特性、ハはBK−７ガラスに35％Ni蒸
着を施したフイルタの特性である。
た温度上昇特性図である。実験条件は第７図と同
様である。イは青板ガラスに35％Ni蒸着を施し
たフイルタの特性、ロはBK−７ガラス板（厚さ
2.5mm）の特性、ハはBK−７ガラスに35％Ni蒸
着を施したフイルタの特性である。
第９図は第８図と同じものにおいて、中央位置
の相対光強度の特性図を示したものである。イの
青板ガラスが６分経過後３％下降するのに対しロ
のBK−７ガラスは１％程度しか下降しない。
の相対光強度の特性図を示したものである。イの
青板ガラスが６分経過後３％下降するのに対しロ
のBK−７ガラスは１％程度しか下降しない。
第１０図は水銀灯の電力を変えた場合のグレー
デイングフイルタ（青ガラス）の温度上昇特性
図、第１１図は同じくフエースパネル内面の中央
位置の光強度（照度値）特性図である。冷却条件
はエアー圧力0.5Kg／cm2である。各図において、
イは水銀灯の電力が500Wのときの特性、ロは
500Wから700W、ハは500Wから900W、ニは
500Wから1100Wに一気に上昇させたときの各特
性である。各管電力において急瞬な変化を行なつ
ても中央位置の光強度はその照度でほぼ一定に保
持される。
デイングフイルタ（青ガラス）の温度上昇特性
図、第１１図は同じくフエースパネル内面の中央
位置の光強度（照度値）特性図である。冷却条件
はエアー圧力0.5Kg／cm2である。各図において、
イは水銀灯の電力が500Wのときの特性、ロは
500Wから700W、ハは500Wから900W、ニは
500Wから1100Wに一気に上昇させたときの各特
性である。各管電力において急瞬な変化を行なつ
ても中央位置の光強度はその照度でほぼ一定に保
持される。
以上の実施例では検出温度と冷却風の圧力との
相関はなかつたが、グレーデイングフイルタの温
度信号を送風機に帰還して一定温度になるように
エアー圧力を制御することもできる。このように
すると、被覆光面の光強度を所定の値に一定に制
御することが可能になる。
相関はなかつたが、グレーデイングフイルタの温
度信号を送風機に帰還して一定温度になるように
エアー圧力を制御することもできる。このように
すると、被覆光面の光強度を所定の値に一定に制
御することが可能になる。
このように、本発明に係る露光装置によると、
グレーデイングフイルタ等のガラスを温度制御す
ることにより、このガラスの分光透過率を一定に
抑えることが可能となるため、被覆光面の光強度
を光源点灯後短時間で安定させ得る効果がある。
グレーデイングフイルタ等のガラスを温度制御す
ることにより、このガラスの分光透過率を一定に
抑えることが可能となるため、被覆光面の光強度
を光源点灯後短時間で安定させ得る効果がある。
第１図は本発明に係る露光装置の一実施例の構
成図、第２図は温度計測回路図、第３図は各レン
ズの温度上昇特性図、第４図は冷却条件を変えた
場合のグレーデイングフイルタの温度上昇特性
図、第５図は同じく中央位置の相対光強度特性
図、第６図は中央位置と周辺位置との光強度比率
特性図、第７図は各ガラスの相対透過率特性図、
第８図は青板ガラスとBK−７ガラスの温度上昇
特性図、第９図は同じく相対光強度特性図、第１
０図は水銀灯電力を変えた場合の温度上昇特性
図、第１１図は同じく光強度特性図である。 １…水銀灯、２…点灯電源、３…水分フイル
タ、４…グレーデイングフイルタ、５…第２レン
ズ、６…補正フイルタ、７…補正レンズ、８…温
度センサ、１０…送風機、１１…ホース、１２…
フエースパネル、１３…シヤドウマスク、１４
ａ，１４ｂ…受光センサ。
成図、第２図は温度計測回路図、第３図は各レン
ズの温度上昇特性図、第４図は冷却条件を変えた
場合のグレーデイングフイルタの温度上昇特性
図、第５図は同じく中央位置の相対光強度特性
図、第６図は中央位置と周辺位置との光強度比率
特性図、第７図は各ガラスの相対透過率特性図、
第８図は青板ガラスとBK−７ガラスの温度上昇
特性図、第９図は同じく相対光強度特性図、第１
０図は水銀灯電力を変えた場合の温度上昇特性
図、第１１図は同じく光強度特性図である。 １…水銀灯、２…点灯電源、３…水分フイル
タ、４…グレーデイングフイルタ、５…第２レン
ズ、６…補正フイルタ、７…補正レンズ、８…温
度センサ、１０…送風機、１１…ホース、１２…
フエースパネル、１３…シヤドウマスク、１４
ａ，１４ｂ…受光センサ。
Claims (1)
- １ 水銀灯を発光源とする光源と、この光源と被
露光面間で前記光源から所定距離離隔して配設さ
れた紫外線波長域における遮断周波数が温度によ
つて変化するガラス材と、前記紫外線波長域の波
長の透過を保証する温度域内に前記ガラス材の温
度を制御する温度制御手段とを備えたことを特徴
とする露光装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55135862A JPS5762008A (en) | 1980-10-01 | 1980-10-01 | Exposure device |
| US06/306,606 US4535234A (en) | 1980-10-01 | 1981-09-29 | Light exposure apparatus with cooling means |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55135862A JPS5762008A (en) | 1980-10-01 | 1980-10-01 | Exposure device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5762008A JPS5762008A (en) | 1982-04-14 |
| JPH0429041B2 true JPH0429041B2 (ja) | 1992-05-15 |
Family
ID=15161495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55135862A Granted JPS5762008A (en) | 1980-10-01 | 1980-10-01 | Exposure device |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4535234A (ja) |
| JP (1) | JPS5762008A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6153630A (ja) * | 1984-08-23 | 1986-03-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 半導体光源の露光補正方法 |
| US20050264158A1 (en) * | 2002-07-11 | 2005-12-01 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Lens system for manufacturing crt screens |
| US10375901B2 (en) | 2014-12-09 | 2019-08-13 | Mtd Products Inc | Blower/vacuum |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1932172A1 (de) * | 1968-06-29 | 1970-05-27 | Sony Corp | Kuehlvorrichtung |
| FR2286394A1 (fr) * | 1974-09-30 | 1976-04-23 | Comp Generale Electricite | Dispositif optique |
-
1980
- 1980-10-01 JP JP55135862A patent/JPS5762008A/ja active Granted
-
1981
- 1981-09-29 US US06/306,606 patent/US4535234A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5762008A (en) | 1982-04-14 |
| US4535234A (en) | 1985-08-13 |
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