JPH0429366A - 密着型イメージセンサ - Google Patents
密着型イメージセンサInfo
- Publication number
- JPH0429366A JPH0429366A JP2135049A JP13504990A JPH0429366A JP H0429366 A JPH0429366 A JP H0429366A JP 2135049 A JP2135049 A JP 2135049A JP 13504990 A JP13504990 A JP 13504990A JP H0429366 A JPH0429366 A JP H0429366A
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- Japan
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- sensor
- substrate
- transparent film
- wiring
- flexible transparent
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、密着型イメージセンサに関し、詳しくは、
センサ基板に設けられた光センサ部を原稿面に当てて、
光センサ部と原稿面が密着した状態で画像情報を読み取
る密着型のイメージセンサに関するものである。
センサ基板に設けられた光センサ部を原稿面に当てて、
光センサ部と原稿面が密着した状態で画像情報を読み取
る密着型のイメージセンサに関するものである。
イメージセンサは、光センサ素子が多数並べられたセン
サアレイと、LEDアレイ等の照明用光源とを備え、照
明用光源からの光を原稿面で反射させてセンサアレイで
画像情報を読み取る。従来のイメージセンサでは、セン
サアレイと光源は横に並べて設けられていたので、光源
から原稿面を経てセンサアレイへと光を反射させるには
、センサアレイと原稿面の間にある程度の距離が必要に
なる。そのため、センサアレイと原稿面の間にレンズア
レイを設け、原稿面からの反射光をレンズアレイで集束
させ、センサアレイ上に焦点を合わせて画像情報を得る
ようにしている。
サアレイと、LEDアレイ等の照明用光源とを備え、照
明用光源からの光を原稿面で反射させてセンサアレイで
画像情報を読み取る。従来のイメージセンサでは、セン
サアレイと光源は横に並べて設けられていたので、光源
から原稿面を経てセンサアレイへと光を反射させるには
、センサアレイと原稿面の間にある程度の距離が必要に
なる。そのため、センサアレイと原稿面の間にレンズア
レイを設け、原稿面からの反射光をレンズアレイで集束
させ、センサアレイ上に焦点を合わせて画像情報を得る
ようにしている。
近年、センサアレイを直接原稿面に密着させた状態で、
センサアレイの背後に設けられた光源から、センサアレ
イの搭載基板等を透過させて光を照射し、原稿面からの
反射光をセンサアレイに送り込む、いわゆる密着型イメ
ージセンサが提案されている。この密着型イメージセン
サは、センサアレイと原稿面が密着しているため、画像
の歪みが極めて少なく、正確な画像情報が得られる。ま
た、レンズアレイがないのでイメージセンサの小型化お
よびコストダウンが図れるという利点をすしている。
センサアレイの背後に設けられた光源から、センサアレ
イの搭載基板等を透過させて光を照射し、原稿面からの
反射光をセンサアレイに送り込む、いわゆる密着型イメ
ージセンサが提案されている。この密着型イメージセン
サは、センサアレイと原稿面が密着しているため、画像
の歪みが極めて少なく、正確な画像情報が得られる。ま
た、レンズアレイがないのでイメージセンサの小型化お
よびコストダウンが図れるという利点をすしている。
第5図は、従来における密着型イメージセンサの構造を
示している。支持基板1の上に、光セ〉す部2を備えた
センサ基板3と、光セン学部2と外部回路との接続用配
線4aが形成された接続片基板4が設けられている。セ
ンサ基板3の表面にも光センサ部2につながる配線3a
が設けられ了いる。そして、センサ基板3の配線3aと
接続片基板4の配線4aにまたがってAgペーストが乾
布形成されて導通部5が設けられており、配線3aと配
線4aが電気的に接続されている。接続片基板4の配線
4aには、フレキシブル基板6の配線6aがハンダ7を
介して接続されている。このフレキシブル基板6の配線
6aが、画像情報の幻理回路や電源の供給回路等の外部
回路につながる。支持基板1の背後に設けられた光源か
ら、支持基板1等を透過させて光を照射し、原稿面Pか
らの反射光を原稿面Pに密着させた光センサ部2に取り
入れて画像情報を読み取る。
示している。支持基板1の上に、光セ〉す部2を備えた
センサ基板3と、光セン学部2と外部回路との接続用配
線4aが形成された接続片基板4が設けられている。セ
ンサ基板3の表面にも光センサ部2につながる配線3a
が設けられ了いる。そして、センサ基板3の配線3aと
接続片基板4の配線4aにまたがってAgペーストが乾
布形成されて導通部5が設けられており、配線3aと配
線4aが電気的に接続されている。接続片基板4の配線
4aには、フレキシブル基板6の配線6aがハンダ7を
介して接続されている。このフレキシブル基板6の配線
6aが、画像情報の幻理回路や電源の供給回路等の外部
回路につながる。支持基板1の背後に設けられた光源か
ら、支持基板1等を透過させて光を照射し、原稿面Pか
らの反射光を原稿面Pに密着させた光センサ部2に取り
入れて画像情報を読み取る。
しかし、連続走行する原稿面Pに光センサ部2が直接に
接触すると、光センサ部2に傷が付いたり内部回路が損
傷したりする危険がある。そのため、光センサ部2の表
面には透明な薄膜ガラス8を貼り付けて保護している。
接触すると、光センサ部2に傷が付いたり内部回路が損
傷したりする危険がある。そのため、光センサ部2の表
面には透明な薄膜ガラス8を貼り付けて保護している。
なお、上記構造で、センサ基板3とは別に接続用基板4
を用いているのは、光センサ部2を備えたセンサ基板3
と、配置p4aのみを備えた接続用基板4を別々に製造
することによって、それぞれの機能や構造に合わせて最
適な製造工程あるいは製造条件を採用でき、全体として
の製造能率の向上あるいはコストダウンが図れるためで
ある。
を用いているのは、光センサ部2を備えたセンサ基板3
と、配置p4aのみを備えた接続用基板4を別々に製造
することによって、それぞれの機能や構造に合わせて最
適な製造工程あるいは製造条件を採用でき、全体として
の製造能率の向上あるいはコストダウンが図れるためで
ある。
ところが、上記のような従来の密着型イメージセンサで
は、センサ基板3の配線3aと接続用基板4の配線4a
をつなぐAgペースト導通部5があるために、薄膜ガラ
ス8をセンサ基板3および接続用基板4の表面にぴった
りと密着させて貼り付けることができないという問題が
あった。
は、センサ基板3の配線3aと接続用基板4の配線4a
をつなぐAgペースト導通部5があるために、薄膜ガラ
ス8をセンサ基板3および接続用基板4の表面にぴった
りと密着させて貼り付けることができないという問題が
あった。
すなわち、Agペースト導通部5は、塗布形成されるの
で、比較的厚みがあり、センサ基板3および接続用基板
4の表面から高く盛り上がった状態になる。そのため、
薄膜ガラス8がセンサ基板3および接続用基板4に密着
せず、無理に貼り付けようにすると、薄膜ガラス8が割
れたリヒビが入ったり、あるいは、Agペースト導通部
5を損傷して断線させたりしてしまい、製造歩留まりが
極めて悪いものであった。
で、比較的厚みがあり、センサ基板3および接続用基板
4の表面から高く盛り上がった状態になる。そのため、
薄膜ガラス8がセンサ基板3および接続用基板4に密着
せず、無理に貼り付けようにすると、薄膜ガラス8が割
れたリヒビが入ったり、あるいは、Agペースト導通部
5を損傷して断線させたりしてしまい、製造歩留まりが
極めて悪いものであった。
また、Agペースト導通部5の厚みを正確に制御するこ
とが出来ないため、光センサ部2の表面から薄膜ガラス
80表面すなわち原稿面Pまでの距離にバラツキが生じ
る。光センサ部2から原稿面Pまでの距離が変わると、
解像度等の特性が変わってしまい、イメージセンサの品
質性能が安定しなくなる。
とが出来ないため、光センサ部2の表面から薄膜ガラス
80表面すなわち原稿面Pまでの距離にバラツキが生じ
る。光センサ部2から原稿面Pまでの距離が変わると、
解像度等の特性が変わってしまい、イメージセンサの品
質性能が安定しなくなる。
そこで、この発明の課題は、前記したような従来の密着
型イメージセンサの問題点を解消し、光センサ部の保護
を確実かつ良好に行え、製造歩留まりも良く、品質性能
の安定した密着型イメージセンサを提供することにある
。
型イメージセンサの問題点を解消し、光センサ部の保護
を確実かつ良好に行え、製造歩留まりも良く、品質性能
の安定した密着型イメージセンサを提供することにある
。
上記課題を解決するこの発明にかかる密着型イメージセ
ンサは、センサ基板の光センサ部表面に透明保護体が設
けられた密着型イメージセンサにおいて、透明保護体が
可撓性透明フィルムからなり、この可撓性透明フィルム
のセンサ基板への接合面に、光センサ部と外部回路をつ
なぐ配線パターンが設けられている。
ンサは、センサ基板の光センサ部表面に透明保護体が設
けられた密着型イメージセンサにおいて、透明保護体が
可撓性透明フィルムからなり、この可撓性透明フィルム
のセンサ基板への接合面に、光センサ部と外部回路をつ
なぐ配線パターンが設けられている。
〔作 用]
光センサ部を保護する透明保護体が可撓性透明フィルム
であれば、センサ基板の表面に少しぐらいの凹凸があっ
ても、可撓性透明フィルムが柔軟に変形して、センサ基
板の表面に密着して貼り付けることができる。可撓性透
明フィルムは変形させても割れたりヒビが入ることはな
い。可撓性透明フィルムがセンサ基板の表面に密着して
いれば、光セン学部から可撓性透明フィルム表面すなわ
ち原稿面までの距離が正確に設定される。
であれば、センサ基板の表面に少しぐらいの凹凸があっ
ても、可撓性透明フィルムが柔軟に変形して、センサ基
板の表面に密着して貼り付けることができる。可撓性透
明フィルムは変形させても割れたりヒビが入ることはな
い。可撓性透明フィルムがセンサ基板の表面に密着して
いれば、光セン学部から可撓性透明フィルム表面すなわ
ち原稿面までの距離が正確に設定される。
また、可撓性透明フィルムに、光セン学部と外部回路を
つなぐ配線回路の一部となる配線パターンを設けておけ
ば、従来のようにAgペースト導通部を設ける必要がな
い。可撓性透明フィルムに配線パターンを設けるには、
通常の薄膜形成技術や微細加工技術を用いて、薄膜の配
線パターンを容易に形成できるので、Agペースト導通
部のように分厚くならず、可撓性透明フィルムの変形量
も少なくて済む。その結果、前記したセンサ基板への貼
り付けがより良好に行え、解像度等の特性もより安定す
る。
つなぐ配線回路の一部となる配線パターンを設けておけ
ば、従来のようにAgペースト導通部を設ける必要がな
い。可撓性透明フィルムに配線パターンを設けるには、
通常の薄膜形成技術や微細加工技術を用いて、薄膜の配
線パターンを容易に形成できるので、Agペースト導通
部のように分厚くならず、可撓性透明フィルムの変形量
も少なくて済む。その結果、前記したセンサ基板への貼
り付けがより良好に行え、解像度等の特性もより安定す
る。
第2図に、イメージセンサの要部の断面構造を示し、第
1図に、その製造途中の状態を示している。
1図に、その製造途中の状態を示している。
ガラス等からなる支持基板10の上に、光センサ部22
を設けたセンサ基板20と、外部回路への接続用基板3
0を備えている。センサ基板20の表面には光センサ部
22につながる配線24が形成されている。接続用基板
30の表面には、外部回路につながる配線32が形成さ
れている。接続用基板30の配線32には、外部回路へ
の接続用フレキシブル基板40に設けられた配線42が
、異方導電性樹脂50を介して接続されている。
を設けたセンサ基板20と、外部回路への接続用基板3
0を備えている。センサ基板20の表面には光センサ部
22につながる配線24が形成されている。接続用基板
30の表面には、外部回路につながる配線32が形成さ
れている。接続用基板30の配線32には、外部回路へ
の接続用フレキシブル基板40に設けられた配線42が
、異方導電性樹脂50を介して接続されている。
異方導電性樹脂50としては、熱硬化性樹脂にNi等の
フィラーを混入させて導電性を付与したもの等、通常の
回路分野で利用されている回路接続用の導電性樹脂が使
用できる。この異方導電性樹脂50による接続部分は、
剥離して再使用することができるので、組み立てられた
イメージセンサを検査してセンサネ良が発見された場合
、フレキシブル基板40を接続用基板30から剥がして
再利用することが可能になる。
フィラーを混入させて導電性を付与したもの等、通常の
回路分野で利用されている回路接続用の導電性樹脂が使
用できる。この異方導電性樹脂50による接続部分は、
剥離して再使用することができるので、組み立てられた
イメージセンサを検査してセンサネ良が発見された場合
、フレキシブル基板40を接続用基板30から剥がして
再利用することが可能になる。
センサ基板20および接続用基板30の上には、可撓性
透明フィルム60が貼り付けられる。可撓性透明フィル
ム60としては、光透過性や耐摩耗性の優れた材料から
なるものが好ましく、PET樹脂等からなる各種フィル
ムが使用できる。可撓性透明フィルム60の貼り付は手
段は、接着その他の通常の接合方法が採用できる。可撓
性透明フィルム60の下面、すなわちセンサ基板20等
への接合面には、配線パターン62が形成されている。
透明フィルム60が貼り付けられる。可撓性透明フィル
ム60としては、光透過性や耐摩耗性の優れた材料から
なるものが好ましく、PET樹脂等からなる各種フィル
ムが使用できる。可撓性透明フィルム60の貼り付は手
段は、接着その他の通常の接合方法が採用できる。可撓
性透明フィルム60の下面、すなわちセンサ基板20等
への接合面には、配線パターン62が形成されている。
配線パターン62の形成手段は、蒸着その他の薄膜形成
技術等を利用した通常の配線回路製造手段が通用できる
。配線パターン62を構成する導体材料は、Niその他
の通常の導体材料が用いられる。可撓性透明フィルム6
0をセンサ基板20および接続用基板30の表面に貼り
付けた状態で、可撓性透明フィルム60の配線パターン
62が、センサ基板20の配線24および接続用基板3
0の配線32にまたがって接続されるようになっている
。可撓性透明フィルム60は、各基板20.30の配線
24.32および配線パターン62による凹凸を吸収す
るように柔軟に変形して、各基板20.30の表面に密
着して貼り付けられる。
技術等を利用した通常の配線回路製造手段が通用できる
。配線パターン62を構成する導体材料は、Niその他
の通常の導体材料が用いられる。可撓性透明フィルム6
0をセンサ基板20および接続用基板30の表面に貼り
付けた状態で、可撓性透明フィルム60の配線パターン
62が、センサ基板20の配線24および接続用基板3
0の配線32にまたがって接続されるようになっている
。可撓性透明フィルム60は、各基板20.30の配線
24.32および配線パターン62による凹凸を吸収す
るように柔軟に変形して、各基板20.30の表面に密
着して貼り付けられる。
図示したイメージセンサの構造には、光源や信号の処理
部分、電源等の構造は表されていないが、これらの構造
部分については、通常の密着型イメージセンサと同様の
構造が採用できるので、詳細な説明は省略する。
部分、電源等の構造は表されていないが、これらの構造
部分については、通常の密着型イメージセンサと同様の
構造が採用できるので、詳細な説明は省略する。
つぎに、第3図および第4図に示す実施例は、可撓性透
明フィルム60を前記フレキシブル基板としても兼用す
る場合である。
明フィルム60を前記フレキシブル基板としても兼用す
る場合である。
前記実施例では、配線32が形成された接続用基板30
を用いていたが、この実施例では、単なるガラス等から
なる補助基板34を用いる。この補助基板34とセンサ
基板20の表面に、可撓性透明フィルム60が貼り付け
られる。可撓性透明フィルム60は、センサ基板20お
よび補助基板34の表面を覆うだけでなく、補助基板3
4から先の外部回路につながる部分まで延長されている
。可撓性透明フィルム60に形成された配線パターン6
4は、センサ基板20の配線24につながるとともに、
補助基板34の外まで続いていて、外部回路に接続され
るようになっている。
を用いていたが、この実施例では、単なるガラス等から
なる補助基板34を用いる。この補助基板34とセンサ
基板20の表面に、可撓性透明フィルム60が貼り付け
られる。可撓性透明フィルム60は、センサ基板20お
よび補助基板34の表面を覆うだけでなく、補助基板3
4から先の外部回路につながる部分まで延長されている
。可撓性透明フィルム60に形成された配線パターン6
4は、センサ基板20の配線24につながるとともに、
補助基板34の外まで続いていて、外部回路に接続され
るようになっている。
すなわち、この実施例では、可撓性透明フィルム60が
、光センサ部20等の表面保護機能を果たすだけでなく
、光センサ部20と外部回路とをつなぐフレキシブル基
板としての機能も果たしているのである。このように、
可撓性透明フィルム60をフレキシブル基板に兼用すれ
ば、部品数および製造工程の削減を図れ、イメージセン
サ全体の構造簡略化や製造能率の向上、コスト低減に有
効である。
、光センサ部20等の表面保護機能を果たすだけでなく
、光センサ部20と外部回路とをつなぐフレキシブル基
板としての機能も果たしているのである。このように、
可撓性透明フィルム60をフレキシブル基板に兼用すれ
ば、部品数および製造工程の削減を図れ、イメージセン
サ全体の構造簡略化や製造能率の向上、コスト低減に有
効である。
また、上記実施例では、可撓性透明フィルム60の原稿
面側の表面に、ハードコート層66を形成して、耐摩耗
性の向上を図っている。ハードコート層66の材料およ
び形成手段としては、例えば、PET樹脂からなる透明
フィルム60の表面に100n程度のシリコン系樹脂か
らなるハードコート層66をコーティングしたり、摩擦
係数を低減するためにフッ素系樹脂をコーティングした
り、SiOx成分のガラス材料をCVD等の手段で薄膜
形成する等、通常の表面保護用のハードコート層が適用
される。
面側の表面に、ハードコート層66を形成して、耐摩耗
性の向上を図っている。ハードコート層66の材料およ
び形成手段としては、例えば、PET樹脂からなる透明
フィルム60の表面に100n程度のシリコン系樹脂か
らなるハードコート層66をコーティングしたり、摩擦
係数を低減するためにフッ素系樹脂をコーティングした
り、SiOx成分のガラス材料をCVD等の手段で薄膜
形成する等、通常の表面保護用のハードコート層が適用
される。
以上に述べた、この発明にかかる密着型イメージセンサ
によれば、光センサ部を保護する透明保護体として、従
来の薄膜ガラスに代えて、可撓性透明フィルムを用いて
いることにより、配線等による凹凸を有するセンサ基板
および接続用基板に対しても、柔軟に変形してぴったり
と密着して貼り付けることができ、薄膜ガラスのように
、貼り付は作業時等に割れたりヒビが入ったりして、製
品歩留まりが低下する問題が解消できる。また、イメー
ジセンサを使用中に、表面に衝撃や圧力が加わっても、
可撓性透明フィルムであれば、柔軟に変形して応力を逃
がすことができるので、割れたリヒビが入るというよう
な事故を起こすことがなくなる。
によれば、光センサ部を保護する透明保護体として、従
来の薄膜ガラスに代えて、可撓性透明フィルムを用いて
いることにより、配線等による凹凸を有するセンサ基板
および接続用基板に対しても、柔軟に変形してぴったり
と密着して貼り付けることができ、薄膜ガラスのように
、貼り付は作業時等に割れたりヒビが入ったりして、製
品歩留まりが低下する問題が解消できる。また、イメー
ジセンサを使用中に、表面に衝撃や圧力が加わっても、
可撓性透明フィルムであれば、柔軟に変形して応力を逃
がすことができるので、割れたリヒビが入るというよう
な事故を起こすことがなくなる。
可撓性透明フィルムは、薄膜ガラスに比べて製造が容易
であり、薄膜ガラスのように割れる心配がないので取り
扱い易く、イメージセンサの組み立て作業が簡単になり
、コスト的にも安価に提供できるようになる。
であり、薄膜ガラスのように割れる心配がないので取り
扱い易く、イメージセンサの組み立て作業が簡単になり
、コスト的にも安価に提供できるようになる。
また、可撓性透明フィルムに、光センサ部と外部回路と
をつなぐ配線回路の一部となる配線パターンが形成され
ているので、可撓性透明フィルムをセンサ基板等に貼り
付けるだけで、光センサ部への配線回路の一部までが形
成される。可撓性透明フィルムへの配線パターンの形成
は、通常の回路形成手段により能率的かつ高精度に行え
るので、センサ基板と接続用基板の導通部において、従
来の塗布形成によるAgペースト導通邪に比べて、はる
かに微細で正確であると同時に、厚みの薄い導通部を、
より能率的に形成することができる。この導通部の厚み
が薄く正確になれば、光セン置部から可撓性透明フィル
ムの表面すなわち原稿面までの距離も正確になるので、
解像度などの特性が安定する。また、可撓性透明フィル
ムの接合面の凹凸が少なくなるので、可撓性透明フィル
ムをセンサ基板等に、より密着させて貼り付けておくこ
とができる。
をつなぐ配線回路の一部となる配線パターンが形成され
ているので、可撓性透明フィルムをセンサ基板等に貼り
付けるだけで、光センサ部への配線回路の一部までが形
成される。可撓性透明フィルムへの配線パターンの形成
は、通常の回路形成手段により能率的かつ高精度に行え
るので、センサ基板と接続用基板の導通部において、従
来の塗布形成によるAgペースト導通邪に比べて、はる
かに微細で正確であると同時に、厚みの薄い導通部を、
より能率的に形成することができる。この導通部の厚み
が薄く正確になれば、光セン置部から可撓性透明フィル
ムの表面すなわち原稿面までの距離も正確になるので、
解像度などの特性が安定する。また、可撓性透明フィル
ムの接合面の凹凸が少なくなるので、可撓性透明フィル
ムをセンサ基板等に、より密着させて貼り付けておくこ
とができる。
第1図はこの発明にかかる密着型イメージセンサの実施
例を示す製造途中の断面図、第2図は製造後の断面図、
第3図は別の実施例を示す製造途中の断面図、第4図は
製造後の断面図、第5図は従来例の断面図である。 20・・・センサ基板 22・・・光センサ部 60・
・・可撓性透明フィルム(透明保護体)62.64・・
・配線パターン
例を示す製造途中の断面図、第2図は製造後の断面図、
第3図は別の実施例を示す製造途中の断面図、第4図は
製造後の断面図、第5図は従来例の断面図である。 20・・・センサ基板 22・・・光センサ部 60・
・・可撓性透明フィルム(透明保護体)62.64・・
・配線パターン
Claims (1)
- 1 センサ基板の光センサ部表面に透明保護体が設けら
れた密着型イメージセンサにおいて、透明保護体が可撓
性透明フィルムからなり、この可撓性透明フィルムのセ
ンサ基板への接合面に、光センサ部と外部回路をつなぐ
配線回路の一部となる配線パターンが設けられているこ
とを特徴とする密着型イメージセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2135049A JPH0429366A (ja) | 1990-05-24 | 1990-05-24 | 密着型イメージセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2135049A JPH0429366A (ja) | 1990-05-24 | 1990-05-24 | 密着型イメージセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0429366A true JPH0429366A (ja) | 1992-01-31 |
Family
ID=15142739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2135049A Pending JPH0429366A (ja) | 1990-05-24 | 1990-05-24 | 密着型イメージセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0429366A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1986048A1 (en) * | 2007-04-27 | 2008-10-29 | Jin-Chyuan Biar | Ultra thin image sensing chip package |
| US7715062B2 (en) | 2004-01-05 | 2010-05-11 | Ricoh Company, Ltd. | Image reading apparatus and recording apparatus including image reading apparatus |
| JP2018148591A (ja) * | 2018-07-03 | 2018-09-20 | 株式会社ニコン | 撮像ユニット及び撮像装置 |
-
1990
- 1990-05-24 JP JP2135049A patent/JPH0429366A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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