JPH0429382A - ガスレ―ザ装置とレ―ザ加工システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はガスレーザ装置及びレーザ加ニジステムに係り
、特に、高気圧で動作する放電励起型エキシマレーザと
して用いるに好適なガスレーザ装置及びこの装置を利用
したレーザ加ニジステムに関する。

〔従来の技術〕

従来のガスレーザ装置においては、特開昭６３−１９９
４７５号公報に記載されているように、放電励起型エキ
シマレーザの予備電離源としてＸ線管によるＸ線を用い
、主放電電極のうち多孔開口構造の陰極電極の背面側か
らＸ線を照射する構成が採用されている。

また、予備電離源としてレーザ光を用いたものとして、
米国特許４６７９２０３号公報に記載されているものが
知られている。このものは、パルス充電回路（ＰＦＬ）
のパルス電圧が波高値を示す時点で、予備電離用のレー
ザ光を主放電電極間に照射して予備電離すると同時に、
レールギャップを作動させて主放電を形成する方法が採
用されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は予備電離源としてＸ線やレーザ光を用い
ているため、装置の機能からＸ線やレーザ光を連続して
出射することができず、予備電離源の紫外線発光量が単
発でパルス的なハイピークを有するものとなっている。

このため、グロー放電に必要で十分な予備電離量を得る
にはある時間が必要であっても、この時間の間Ｘ線やレ
ーザ光を出射することができず、主放電電極間に電圧が
印加されたと同時にパルス的なレーザ光やＸ線照射する
と、主放電電極間の端子電圧が比較的低い電圧で主放電
が開始されることがある。一方、主放電電極間の端子電
圧が比較的高いときにパルス的なレーザ光又はＸ線を主
放電電極間に照射すると、十分な予備電離量が得られな
いうちに主放電がトリガーされる。従って、従来技術で
は−様なグロー放電が得られず、アークが発生してレー
ザ媒質ガスが劣下し、レーザ出力の効率が低下したり、
出力が低下したりする恐れがある。

なお、特開平１−２０１９７５号公報に記載されている
ように、予備電離源として紫外線発光ランプを用い、こ
のランプをレーザ容器内に配置するものが提案されてい
るが、ランプを容器内に配置した構成では、ランプの発
光に伴う熱でレーザ媒質ガスが劣下する恐れがある。

本発明の目的は、アークを発生させることなく−様なグ
ロー放電によってレーザ光を発生させることができるガ
スレーザ装置及びレーザ加エシステムを提供することに
ある。

〔課題を解決するための手段〕

前記目的を達成するために、本発明は、第１の装置とし
て、光線透過窓を備えレーザ媒質ガスを貯留する容器と
、容器内に相対向して配置され、放電に伴うレーザ光を
光線透過窓へ導く一対の主放電電極と、電源と各主放電
電極とを結ぶ回路を形成して電源からの電荷を蓄積し、
放電指令により蓄積電荷を各主放電電極へ放電する電極
励起手段と、紫外線発光ランプを備え主放電電極間の端
子電圧が設定電圧に達したときに、紫外線発光ランプ光
を主放電電極間のレーザ媒質ガス中に連続して照射する
予備電離手段とを有するガスレーザ装置を構成したもの
である。

第２の装置として光線透過窓を備えレーザ媒質ガスを貯
留する容器と、容器内に相対向して配置され、放電に伴
うレーザ光を光線透過窓へ導く一対の主放電電極と、電
源と各主放電電極とを結ぶ回路を形成して電源からの電
荷を蓄積し、放電指令により蓄積電荷を各主放電電極へ
放電する電極励起手段と、紫外線発光ランプを備え主放
電電極間の端子電圧が設定電圧に達したときに、紫外線
発光ランプ光を主放電電極間のレーザ媒質ガス中に連続
して照射する第１予備電離手段と、紫外線発光ランプ光
を主放電電極間のレーザ媒質ガス中に連続して照射する
第２予備電離手段とを有するガスレーザ装置を構成した
ものである。

第３の装置として光線透過窓を備えレーザ媒質ガスを貯
留する容器と、容器内に相対向して配置され、放電に伴
うレーザ光を光線透過窓へ導く一対の主放電電極と、電
源と各主放電電極とを結ぶ回路を形成して電源からの電
荷を蓄積し、放電指令により蓄積電荷を各主放電電極へ
放電する電極励起手段と、紫外線発光ランプを備えこの
ランプ光を主放電電極間のレーザ媒質ガス中に連続して
照射すると共に照射光の照射エネルギーを段階的に高め
ていく予備電離手段とを有するガスレーザ装置を構成し
たものである。

第１．第２．又は第３の装置を含む第４の装置として、
予備電離手段が容器外に配置され、一対の主放電電極の
うち一方の電極のほぼ全域に、容器の光線透過窓からの
入射光を他方の電極へ導く複数の光線透過路が形成され
、予備電離手段からのランプ光が前記各光線透過路内に
照射されてなるガスレーザ装置を構成したものである。

第１．第２．又は第３の装置を含む第５の装置として、
レーザ媒質ガスを間にして相対向して配置された高圧用
主放電電極と低圧用主放電極を一組として、これらの電
極群を少なくとも２組以上積層して多層主放電電極部を
構成し、多層主放電電極部の各組の電極を電極励起手段
に接続し、前記各組の電極間のレーザ媒質ガス中に予備
電離手段からのランプ光を照射してなるガスレーザ装置
を構成したものである。

第１．第２．第３．第４．又は第５の装置を含む第６の
装置として、予備電離手段からのランプ光の一部を主放
電電極間の特定の領域に集光させる集光手段を有するガ
スレーザ装置を構成したものである。

第４の装置を含む第７の装置として、容器はし一ザ光出
射用光線透過窓と紫外線ランプ光入射用光線透過窓を備
えているガスレーザ装置を構成したものである。

第４の装置を含む第８の装置として、容器はレーザ光出
射用と紫外線ランプ光入射用とを兼用する光線透過窓を
備え、容器外のレーザ光伝搬路と紫外線ランプ光伝搬路
中にビームスプリッタが配置されてなるガスレーザ装置
を構成したものである。

ガスレーザ装置を用いたシステムとして、第１〜第８の
装置のうちのいずれか１つの装置を有し、主放電電極か
らのレーザ光を被加工材料の切削に用いてなるレーザ加
ニジステムを構成したものである。

〔作用〕

電極励起手段によって主放電電極間に電圧が印加されて
いく過程で、主放電電極間のレーザ媒質ガスには予備電
離手段からの紫外線発光ランプ光が連続して照射される
ので、ランプ光の照射タイミングがわずかにずれたとし
ても、一定光量の紫外線発光ランプ光の連続照射によっ
て、十分な予備電離量となった時点で主放電が開始され
る。このため電極間にアークが発生することなく−様な
グロー放電のもとでレーザ光を発生させることができる
。しかも、主電極間を均一に予備電離状態にすることが
でき、主放電トリガ作用によって高効率で長寿命の出力
を得ることができる。

紫外線ランプ光をレーザ媒質ガスに連続して照射すると
レーザ媒質ガスのうち塩化水素系の塩化分系の微量な不
純物だけを解離させることができる。また予備電離量を
段階的に増量することによって十分な予備電離量を確保
することができ、放電開始電圧が安定する。

主放電電極を多層主放電電極部で構成すれば。

この電極部で電極幅方向に大口径の均一放電が形成され
、大口径レーザビームを得ることができる。

予備電離手段を容器外に配置し、容器外から主放電電極
間に紫外線ランプ光を照射するようにすれば、ランプ光
の発光に伴う熱でレーザ媒質ガスが劣下するのが防止す
ることができると共に予備電離手段のメンテナンスが容
易となる。さらにランプ表面が劣下したり、透過率が低
下するのを防止するＩことができる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図において、ガスレーザ装置１０は装置本体として
箱型の容器１２を備えており、容器１２の側壁には光線
透過窓としての全反射鏡１４と出力鏡１６とが相対向し
て配置されている。容器１２の内部にはレーザ媒質ガス
となるハロゲン系ガスを含む混合レーザガス、例えばＸ
ｅＣＱ。

ＫｒＦガス及びＮｅ、Ｈｅが充填されており、この混合
レーザガス中に主放電電極１８．２０が相対向して、レ
ーザ光を出力鏡１６へ導くように配置されている。

主放電電極１８，２０はピーキングコンデンサ２２の両
端に接続されており、主放電電極１８は高圧側の電極と
して充電用インダクタンス２４に接続されていると共に
インダクタンス２６、充電用コンデンサ２８を介して高
電圧充電電源３０へ接続されている。コンデンサ２８の
入力側とアース間には高電圧スイッチ３２が設けられて
いる。

このスイッチ３２はトリガ装置３４からの指令信号に従
ってその接点を開閉するようになっている。

すなわち、トリガ装置３４から放電指令としてのパルス
信号１００が出力されたときに、接点を閉じるようにな
っている。そしてスイッチ３２の接点が閉じたときに、
コンデンサ２８に充電された蓄積電荷を主放電電極１８
．２０へ放電するようになっている。すなわちインダク
タンス２４、ピーキングコンデンサ２２．インダクタン
ス２６、コンデンサ２８、高電圧スイッチ３２は電極励
起手段として構成されている。

容器１２の外部には予備電離源として、小形の紫外線発
光ランプ３６が設置されており、この紫外線発光ランプ
３６は電磁シャッタ３８を介して全反射鏡１４と相対向
して配置されている。この紫外線ランプ３６は常時点灯
しており、紫外線発光ランプ３６からのランプ光４ｏが
シリンドリカルレンズなどで構成される光学系と電磁シ
ャッタ３８を介して全反射１（１４に照射されるように
なっている。全反射鏡１４及び出力鏡１６には、紫外線
発光ランプ１６からのランプ光４０の波長に対して無反
射となるようにコーティング処理が施されている。この
ため、全反射鏡１４へ入射されたランプ光４０は主放電
電極１８．２０間の混合レーザガスに照射されることに
なる。電磁シャッタ３８は遅延装置４２を介してトリガ
装置３４に接続されており、トリガ装置３４からのパル
ス信号１００が一定時間遅延した後パルス信号１０２と
して遅延装置４２から出力されると、このパルス信号１
０２が出力されている間電磁シャッタ３８を開放するよ
うになっている。そして電磁シャッタ３８が開放状態に
あるときには、紫外線発光光量が一定量に保たれたラン
プ光４０が連続して容器１２内に照射される。遅延装置
４２の遅延時間Ｔｄは、第２図に示されるように、主放
電電極１８．２０の端子間電圧がパルス充電電圧Ｖｐに
達する時間に対応づけて設定されており、紫外緑発光ラ
ンプ３６、電磁シャッタ３８、遅延装置４２．トリガ装
置３４によって予備電離手段が構成されている。

以上の構成において、ピーキングコンデンサ２２両端の
パルス充電電圧Ｖｐと主放電電極１８゜２０間の放電開
始電圧Ｖａ１との関係をＶｐ≧Ｖａ□となるように設定
すると共に、パルス充電時間Ｔｔが主放電の放電時間に
比べて長い時間、例えば５〜５０μｓとなるように、イ
ンダクタンス２６の値を調整する。更に遅延装置４２の
遅延時間Ｔｄをパルス充電時間Ｔｔよりも大きく設定し
た状態で、トリガ装置３４から放電指令としてパルス信
号１００を出力すると、まず高電圧スイッチ３２の接点
が閉じる。高電圧スイッチ３２の接点が閉じると、充電
用コンデンサ２８に充電された電荷がコンデンサ２８、
高電圧スイッチ３２、ピーキングコンデンサ２２、イン
ダクタンス２６を結ぶループの共振回路を介してピーキ
ングコンデンサ２２に移動し、ピーキングコンデンサ２
２両端の電圧が徐々に増加する。すなわち、主放電電極
１８．２０間の端子電圧が徐々に増加する。

ピーキングコンデンサ２２両端の電圧が時間Ｔｔにおい
てＶｐになると、主放電電極１８゜２０には放電可能な
電圧である設定電圧が印加されたことになる。その後、
時間Ｔｄでパルス信号１０２によって電磁シャッタ３８
が開放すると、電磁シャッタ３８が開放している間、紫
外線発光量が連続して一定量であるランプ光４０が電磁
シャッタ３８、全反射鏡１４を介して容器１２内に照射
される。ランプ光４０が照射された後時間ｔにおいて１
例えばｔ＝５０ｎｓで主放電電極１８゜２０間で放電が
開始する。このとき既に予備電離によって主放電電極１
８．２０間に種電子が存在しているため、主放電電極１
８．２０間の全領域にわたって−様なグロー放電が行な
われ、出力鏡１６からレーザ光４４が出射される。

このように、本実施例によれば、予備電離源として、水
銀ランプなどの紫外線発光ランプ３６を用いているため
、発光ランプ３６を複数個使用したとしても、予備電離
源としてＸ線やレーザ光を用いたものよりも装置の小形
化が図れると共に取り扱いが容易となる。更に−様なグ
ロー放電が得られるので、アークによってレーザガスが
劣下するのを防止することができ、装置の長寿命化に寄
与することができる。

また紫外線発光量が連続して一定量であるランプ光４０
をレーザガス中に照射できるので、累積の予備電離量が
多くなった時点で主放電を開始することができ、レーザ
光４４の高効率化及び高出力化を図ることが可能となる
。更に、主放電電極１８．２０間に印加する電圧の上昇
率を高くする必要もなく、しかも、主放電電極１８．２
０間のトリガ作用を有するので、高電圧スイッチ３２の
負担が減少し、高電圧スイッチ３２として固体素子を用
いることが可能となる。高電圧スイッチ３２をサイラト
ロンの代りに固体素子を用いれば、更に装置の小形化が
可能になる。

また、従来のように予備電離源から火花が発生すること
がないので、放電に伴って雑音が発生するのを抑制する
ことができ、装置の誤動作を防止することができると共
に装置の安定化を図ることが可能となる。

次に、本発明の第２実施例を第３図及び第４図に基づい
て説明する。

本実施例においては、容器１２外部に、第２の予備電離
源として紫外線発光ランプ４６を設置すると共に、電磁
シャッタ３８と全反射鏡１４との間にビームスプリッタ
４８を配置し、紫外線発光ランプ３６からのランプ光４
０を電磁シャッタ３８、ビームスプリッタ４８を介して
容器１２内に照射すると共に、紫外線ランプ４６からの
ランプ光５０をビームスプリッタ４８を介して容器１２
内に常時照射するようにしたものであり、ピーキングコ
ンデンサ２２の両端に印加される電圧の上昇率が、例え
ば０．１〜０．３ｋｖ／ｎ　ｓの電圧を印加するように
回路定数を設定すると共に、遅延装置４２の遅延時間ｔ
工を代えた他は、前記実施例と同様であるので、同一の
ものまたは相当するものには同一符号を付してそれらの
説明は省略する。

本実施例では、第４図に示されるように、紫外線発光ラ
ンプ４６からのランプ光５ｏが容器１２内に常時照射さ
れており、トリガ族！３４からのパルス信号１００によ
って高電圧スイッチ３２の接点が閉じた後時間ｔ１で電
磁シャッタ３８が開放状態になると、ランプ光５０によ
って既に予備電離がおこなわれているため、主放電電極
１８゜２０間の電圧がインパルス放電開始電圧ＶＢ１よ
り若干低い放電電圧Ｖｐｘでとなった時間Ｔｔ工におい
て放電が行われる。

本実施例によれば、前記実施例と同様に、紫外線発光ラ
ンプ光を常時レーザガスに照射しているので、−様なグ
ロー放電が得られ、前記実施例と同様な効果を得ること
ができる。更に本実施例では、紫外線発光ランプ４６か
らのランプ光５ｏを常時レーザガスに照射しているため
、レーザガスに含まれるハロゲン分子、例えば塩化水素
系とは塩化物系の微量な不純物だけを解離させることが
できる。

また前記実施例において、紫外線発光ランプ４６出力の
ランプ光５ｏの照射エネルギーを段階的に高めて行くよ
うに構成すれば、予備電離量を段階的に増加させること
ができ、主放電の開始前に、より充分な予備電離を行う
ことができ、レーザ光の高効率化及び高出力化を図るこ
とが可能となる。また紫外線発光ランプ３６の照射エネ
ルギーを段階的に高めるようにすることも可能である。

次に、本発明の第３実施例を第５図に基づいて説明する
。

本実施例では、高電圧側の主放電電極１８をメツシュ構
造の電極とし、主放電電極１８背面側の容器１２の側壁
に光線透過窓５２を設け、この光線透過窓５２に相対向
させて電離シャッタ３８と紫外線発光ランプ３８を配置
したものであり、他の構成は第１図に示すものと同様で
あるので、同一のものには同一符号を付してそれらの説
明は省略する。

本実施例における主放電電極１８には、光線透過窓５２
からの入射光を主放電電極２０側へ導くための光線透過
路５４が主放電電極１８のほぼ全域にわたって複数本形
成されている。すなわち。

紫外線発光ランプ３８からのランプ光４０が光線透過窓
５２、各光線透過路５４を介して主放電電極１８．２０
間のほぼ全域にわたって照射されるようになっている。

このため、本実施例によれば、主放電電極１８．２０間
の全域にわたって均一に予備ｔ＊することができ、より
一層−様なグロー放電を実現することができる。

次に、本発明の第４実施例を第６図及び第７図に基づい
て説明する。

本実施例は、第１図に示す主放電電極１８と主放電電極
２０を一組として、これらの電極群を少なくとも二組以
上積層して多層主放電電極５６を構成し、主放電電極部
５６を電極励起手段に接続すると共に主放電電極部５６
に紫外線発光ランプ３６からのランプ光４ｏを照射する
ようにしたものである。

多層主放電電極部５６は高圧側主放電電極１８Ａ、１８
Ｂ、１８Ｃ，低圧側主放電電極２ＯＡ。

２０Ｂを備えており、各電極がレーザ光軸に対して平行
となるように交互に配置されている。各電極間には小放
電部５８，６０，６２．６４が多層に形成されている。

そして各電極間にはピーキングコンデンサ６６．６８．
７０が接続されており、高圧側の主放電電極１８Ａ、１
８Ｂ、１８Ｃがそれぞれインダクタンス７４，７６．７
８を介して充電用コンデンサ８０と充電用インダクタン
ス８２に接続されている。コンデンサ８０の入力側は電
源３０に接続され、電源３０の出力側に高電圧スイッチ
３２が接続されている。また全反射鏡１４と電磁シャッ
タ３８との間には反射１！８４が設置されており、紫外
線発光ランプ３６からのランプ光４０が電磁シャッタ３
８を介して反射板８４で９０°屈折した状態で容器１２
内に照射されるようになっている。

以上の構成において、トリガ装置３４からパルス信号１
００が出力されると、高電圧スイッチ３２の接点が閉じ
、充電用コンデンサ８０に充電された電荷がコンデンサ
８０→スイツチ３２→ピーキングコンデンサ６６→イン
ダクタンス７４のループ、コンデンサ８０→スイツチ３
２→ピーキングコンデンサ６８→インダクタンス７６の
ループ、コンデンサ８０→スイツチ３２→ピーキングコ
ンデンサ７０→インダクタンス７６のループ、コンデン
サ８０→スイツチ３２→ピーキングコンデンサ７２→イ
ンダクタンス７８のループによる共振回路を介してピー
キングコンデンサ６６゜６８．７０．７２に移動し、各
電極１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃと電極２ＯＡ、２０Ｂ間の
端子電圧が徐々に増加する。なお、電荷の放電時間はイ
ンダクタンス７４，７６．７８の値によって主放電の放
電時間に比べて十分長い時間となるように設定されてい
る。

スイッチ３２の接点が閉じた後遅延時間Ｔｄの後電磁シ
ャッタ３８が動作すると、紫外線発光ランプ３６からの
ランプ光４０が反射鏡８４を介して多層主放電電極部５
６の各電極間に照射される。

これにより小放電部５８，６０．６２，６４で予備電離
が行われ、各電極の全域にわたって−様なグロー放電が
形成される。したがって、本実施例によれば、多層構造
の小放電部５８，６０，６２゜６４の各領域において、
同時に−様な予備電離ができるので、大口径のレーザビ
ームを得ることができる。

本実施例では、主電極空間を多層の小ギヤツプ放電空間
の集合として形成しているため、単一の小ギャップを印
加電圧に合わせて調整でき、比較的低い電圧によっても
主放電が可能となり、レーザ装置の絶縁対策が容易にで
きると共に高電圧充電型１３０の小形化が可能となる。

前記実施例において、各電極１８Ａ〜１８Ｃ９２０Ａ、
２０Ｂを二重構造としたり、あるいは多孔開口構造の電
極とすることも可能であり、ピーキングコンデンサ６６
．６８，７０．７２として高誘電体のものを用いること
も可能である。

また、本実施例によれば、大口径レーザビームが得られ
るので、このレーザビームをＬＳＩなどの被加工材料の
切削に用いれば、単一のレーザビームの照射によっても
切削加工における品質の向上を図ることが可能となる。

なお、前記各実施例における紫外線発光ランプ３６の波
長は５００ｎｍ以下が望ましく、レーザガスの発振周波
数より短い波長のものを用いれば、良好な予備電離効果
を得ることができる。

また前記実施例では、全反射鏡１４からランプ光４０を
照射するようにしているが、出力［１６側にビームスプ
リッタを配置し、出力鏡１６からのレーザ光をビームス
プリッタを介して出射すると共に、紫外線発光ランプ３
６からのランプ光４０をビームスプリッタと出力鏡１６
を介して容器１２内に照射することも可能である。この
場合には光線透過窓として出力［１６のみを設ければよ
いことになる。

また前記各実施例において、紫外線発光ランプ３６をサ
イラトロン又は放電管と組合わせ作動させるようにすれ
ば、遅延装置を省略することも可能である。この場合に
は制御の信頼性を更に高めることが可能となる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本実施例によれば、紫外線発光ラ
ンプ光をレーザガス中に連続照射して予備電離を行うよ
うにしたため、−様なグロー放電が可能となり、レーザ
光の高効率化及び高出力化が可能となる。

また紫外線ランプ光を容器外から容器内へ照射するよう
にしているため、紫外線ランプ光によってレーザガスが
劣下するのを防止することができ、装置の長寿命化に寄
与することができる。

電極を多層構造とすれば、大口径レーザビームを得るこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例を示す構成図、第２図は第
１図に示す装置の動作説明図、第３図は本発明の第２実
施例を示す構成図、第４図は第３図に示す装置の動作説
明図、第５図は本発明の第３実施例を示す構成図、第６
図は本発明の第４実施例を示す構成図、第７図は第６図
に示す装置の要部構成図である。 １０・・・ガスレーザ装置、１２・・・容器、１４・・
・全反射鏡、１６・・・出力鏡、１８．２０・・・主放
電電極。 ３２・・・高電圧スイッチ、３４・・・トリガ装置、３
６・・・紫外線発光ランプ、 ３８・・・電磁シャッタ、４２・・・遅延装置、５２・
・・光線透過窓、５４・・・光線透過路、５６・・・多
層主放電電極部、 ５８．６０，６２，６４・・・小放電部、８４・・・反
射鏡。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、光線透過窓を備えレーザ媒質ガスを貯留する容器と
   、容器内に相対向して配置され、放電に伴うレーザ光を
   光線透過窓へ導く一対の主放電電極と、電源と各主放電
   電極とを結ぶ回路を形成して電源からの電荷を蓄積し、
   放電指令により蓄積電荷を各主放電電極へ放電する電極
   励起手段と、紫外線発光ランプを備え主放電電極間の端
   子電圧が設定電圧に達したときに、紫外線発光ランプ光
   を主放電電極間のレーザ媒質ガス中に連続して照射する
   予備電離手段とを有するガスレーザ装置。 ２、光線透過窓を備えレーザ媒質ガスを貯留する容器と
   、容器内に相対向して配置され、放電に伴うレーザ光を
   光線透過窓へ導く一対の主放電電極と、電源と各主放電
   電極とを結ぶ回路を形成して電源からの電荷を蓄積し、
   放電指令により蓄積電荷を各主放電電極へ放電する電極
   励起手段と、紫外線発光ランプを備え主放電電極間の端
   子電圧が設定電圧に達したときに、紫外線発光ランプ光
   を主放電電極間のレーザ媒質ガス中に連続して照射する
   第１予備電離手段と、紫外線発光ランプ光を主放電電極
   間のレーザ媒質ガス中に連続して照射する第２予備電離
   手段とを有するガスレーザ装置。 ３、光線透過窓を備えレーザ媒質ガスを貯留する容器と
   、容器内に相対向して配置され、放電に伴うレーザ光を
   光線透過窓へ導く一対の主放電電極と、電源と各主放電
   電極とを結ぶ回路を形成して電源からの電荷を蓄積し、
   放電指令により蓄積電荷を各主放電電極へ放電する電極
   励起手段と、紫外線発光ランプを備えこのランプ光を主
   放電電極間のレーザ媒質ガス中に連続して照射すると共
   に照射光の照射エネルギーを段階的に高めていく予備電
   離手段とを有するガスレーザ装置。 ４、予備電離手段が容器外に配置され、一対の主放電電
   極のうち一方の電極のほぼ全域に、容器の光線透過窓か
   らの入射光を他方の電極へ導く複数の光線透過路が形成
   され、予備電離手段からのランプ光が前記各光線透過路
   内に照射されてなる請求項１、２又は３記載のガスレー
   ザ装置。 ５、レーザ媒質ガスを間にして相対向して配置された高
   圧用主放電電極と低圧用主放電極を一組として、これら
   の電極群を少なくとも２組以上積層して多層主放電電極
   部を構成し、多層主放電電極部の各組の電極を電極励起
   手段に接続し、前記各組の電極間のレーザ媒質ガス中に
   予備電離手段からのランプ光を照射してなる請求項１、
   ２、又は３記載のガスレーザ装置。 ６、予備電離手段からのランプ光の一部を主放電電極間
   の特定の領域に集光させる集光手段を有する請求項１、
   ２、３、４又は５記載のガスレーザ装置。 ７、容器はレーザ光出射用光線透過窓と紫外線ランプ光
   入射用光線透過窓を備えている請求項４記載のガスレー
   ザ装置。 ８、容器はレーザ光出射用と紫外線ランプ光入射用とを
   兼用する光線透過窓を備え、容器外のレーザ光伝搬路と
   紫外線ランプ光伝搬路中にビームスプリッタが配置され
   てなる請求項４記載のガスレーザ装置。 ９、請求項１〜８のうちいずれか１つの項に記載のガス
   レーザ装置を有し、主放電電極からのレーザ光を被加工
   材料の切削に用いてなるレーザ加工システム。