JPH04295026A - シングルモ−ド光ファイバ用母材の製造方法 - Google Patents
シングルモ−ド光ファイバ用母材の製造方法Info
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- JPH04295026A JPH04295026A JP8309991A JP8309991A JPH04295026A JP H04295026 A JPH04295026 A JP H04295026A JP 8309991 A JP8309991 A JP 8309991A JP 8309991 A JP8309991 A JP 8309991A JP H04295026 A JPH04295026 A JP H04295026A
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- optical fiber
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- quartz glass
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はシングルモ−ド光ファイ
バ用母材の製造方法、特にはロット間において長手方向
に安定した比屈折率差（△ｎ）を有するシングルモ−ド
光ファイバ製造用のガラス母材の製造方法に関するもの
である。
バ用母材の製造方法、特にはロット間において長手方向
に安定した比屈折率差（△ｎ）を有するシングルモ−ド
光ファイバ製造用のガラス母材の製造方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】シングルモ−ド光ファイバ用母材の製造
は四塩化けい素などの気体状ガラス原料と四塩化ゲルマ
ニウムなどのド−プ剤とを酸水素火炎バ−ナ−に導入し
、ついでこの火炎加水分解で発生したガラス微粒子を担
体上に堆積し、これを軸方向に成長させて多孔質ガラス
母材を作る、いわゆるＶＡＤ 法で製造し、ついでこれ
を高温で脱水、焼結して透明ガラス化することによって
製造されている。
は四塩化けい素などの気体状ガラス原料と四塩化ゲルマ
ニウムなどのド−プ剤とを酸水素火炎バ−ナ−に導入し
、ついでこの火炎加水分解で発生したガラス微粒子を担
体上に堆積し、これを軸方向に成長させて多孔質ガラス
母材を作る、いわゆるＶＡＤ 法で製造し、ついでこれ
を高温で脱水、焼結して透明ガラス化することによって
製造されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかして、このＶＡＤ
法で製造されたシングルモ−ド光ファイバ用母材には
引上げ速度の変動のために比屈折率差（△ｎ）がロット
間で大きくバラ付くという不利がある。これはガラス微
粒子の堆積、成長で一定直径の多孔質ガラス母材が得ら
れるように成長しつつある多孔質ガラス母材は徐々に上
方に引上げられるのであるが、多くの場合、多孔質ガラ
ス母材の製造初期や後期では引上げ速度が外径が一定に
なったときの引上げる速度に比較して変化し易く、また
その他の要因で作業中に引上げ速度が変化することもあ
る。
法で製造されたシングルモ−ド光ファイバ用母材には
引上げ速度の変動のために比屈折率差（△ｎ）がロット
間で大きくバラ付くという不利がある。これはガラス微
粒子の堆積、成長で一定直径の多孔質ガラス母材が得ら
れるように成長しつつある多孔質ガラス母材は徐々に上
方に引上げられるのであるが、多くの場合、多孔質ガラ
ス母材の製造初期や後期では引上げ速度が外径が一定に
なったときの引上げる速度に比較して変化し易く、また
その他の要因で作業中に引上げ速度が変化することもあ
る。
【０００４】このように引上げ速度が変化するとこれを
脱水、焼結して得られるガラス母材の比屈折率差（△ｎ
）が変化し、このために比屈折率差（△ｎ）の安定した
ガラス母材を得ることが難しく、一本のガラス母材から
目的とする屈折率分布をもつ部分の割合が６０％以下に
もなるという欠点がある。
脱水、焼結して得られるガラス母材の比屈折率差（△ｎ
）が変化し、このために比屈折率差（△ｎ）の安定した
ガラス母材を得ることが難しく、一本のガラス母材から
目的とする屈折率分布をもつ部分の割合が６０％以下に
もなるという欠点がある。
【０００５】そのため、この引上げ速度の安定化につい
ては大気圧による原料ガス供給量の変動を補正する方法
が提案されており、本発明者らもクラッド用バ−ナ−に
供給する水素量を制御する方法を提案している（特願平
２−３８０３９号明細書参照）が、多孔質ガラス母材の
引上げ速度を一定にしても石英ガラス製の炉芯管を用い
て脱水、焼結した場合には各ロット毎に比屈折率差（△
ｎ）が異なる値となるために、比屈折率差（△ｎ）がロ
ット間で均一である光ファイバ用母材を得ることが難し
いという問題がある。
ては大気圧による原料ガス供給量の変動を補正する方法
が提案されており、本発明者らもクラッド用バ−ナ−に
供給する水素量を制御する方法を提案している（特願平
２−３８０３９号明細書参照）が、多孔質ガラス母材の
引上げ速度を一定にしても石英ガラス製の炉芯管を用い
て脱水、焼結した場合には各ロット毎に比屈折率差（△
ｎ）が異なる値となるために、比屈折率差（△ｎ）がロ
ット間で均一である光ファイバ用母材を得ることが難し
いという問題がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不利
を解決したシングルモ−ド光ファイバ用母材の製造方法
に関するもので、これはゲルマニウムド−プしたガラス
微粒子をタ−ゲット基材に堆積し、これを軸方向に引上
げて多孔質ガラス母材を作り、これを石英ガラス製炉芯
管を用いて高温で脱水、焼結してなる光ファイバ用母材
の製造方法において、多孔質ガラス母材の脱水処理工程
における該石英ガラス製炉芯管の加熱ヒ−タ−の温度を
該石英ガラス製炉芯管の使用回数に応じて制御して加熱
ゾ−ンの温度を一定に保つことを特徴とするものである
。
を解決したシングルモ−ド光ファイバ用母材の製造方法
に関するもので、これはゲルマニウムド−プしたガラス
微粒子をタ−ゲット基材に堆積し、これを軸方向に引上
げて多孔質ガラス母材を作り、これを石英ガラス製炉芯
管を用いて高温で脱水、焼結してなる光ファイバ用母材
の製造方法において、多孔質ガラス母材の脱水処理工程
における該石英ガラス製炉芯管の加熱ヒ−タ−の温度を
該石英ガラス製炉芯管の使用回数に応じて制御して加熱
ゾ−ンの温度を一定に保つことを特徴とするものである
。
【０００７】すなわち、本発明者らはロット間での比屈
折率差（△ｎ）が一定であるシングルモ−ド光ファイバ
用母材の製造方法について種々検討した結果、ＶＡＤ
法で製られたゲルマニウムド−プされた多孔質ガラス母
材の屈折率が脱水、焼結工程における脱水処理温度に依
存し、この脱水処理温度の下降と共に上昇するというこ
と、またこの脱水、焼結工程を行なう石英ガラス製炉芯
管についてはその加熱ヒ−タ−の温度が使用回数の増加
と共に低下することを見出し、この加熱ゾ−ンの温度を
一定にするためにはこの石英ガラス製炉芯管の加熱ヒ−
タ−の温度をこの炉芯管の使用回数に応じて制御すれば
よいということを確認して本発明を完成させた。以下に
これをさらに詳述する。
折率差（△ｎ）が一定であるシングルモ−ド光ファイバ
用母材の製造方法について種々検討した結果、ＶＡＤ
法で製られたゲルマニウムド−プされた多孔質ガラス母
材の屈折率が脱水、焼結工程における脱水処理温度に依
存し、この脱水処理温度の下降と共に上昇するというこ
と、またこの脱水、焼結工程を行なう石英ガラス製炉芯
管についてはその加熱ヒ−タ−の温度が使用回数の増加
と共に低下することを見出し、この加熱ゾ−ンの温度を
一定にするためにはこの石英ガラス製炉芯管の加熱ヒ−
タ−の温度をこの炉芯管の使用回数に応じて制御すれば
よいということを確認して本発明を完成させた。以下に
これをさらに詳述する。
【０００８】
【作用】本発明は比屈折率差（△ｎ）がロット間で均一
とされたシングルモ−ド光ファイバ−用母材の製造方法
に関するものである。
とされたシングルモ−ド光ファイバ−用母材の製造方法
に関するものである。
【０００９】本発明による光ファイバ−用母材の製造は
基本的には公知のＶＡＤ 法で行なわれる。したがって
、これは一本のコア用酸水素火炎バ−ナ−と複数個のク
ラッド用酸水素火炎バ−ナ−を用いて、このコア用酸水
素火炎バ−ナ−に四塩化けい素とド−プ剤としての四塩
化ゲルマニウムからなる原料ガスと酸素ガス、水素ガス
を導入し、四塩化けい素と四塩化ゲルマニウムの火炎加
水分解で発生した酸化ゲルマニウムでド−プされたシリ
カガラス微粒子をタ−ゲット基材上に堆積させて軸方向
にコア部を成長させ、クラッド用酸水素火炎バ−ナ−に
四塩化けい素、酸素ガス、水素ガスを供給して四塩化け
い素の火炎加水分解で発生したシリカガラス微粒子をこ
のコア部上に堆積成長させクラッド部を形成させて多孔
質ガラス母材を作り、ついてこれを石英ガラス製炉芯管
を用いて脱水、焼結させればよい。
基本的には公知のＶＡＤ 法で行なわれる。したがって
、これは一本のコア用酸水素火炎バ−ナ−と複数個のク
ラッド用酸水素火炎バ−ナ−を用いて、このコア用酸水
素火炎バ−ナ−に四塩化けい素とド−プ剤としての四塩
化ゲルマニウムからなる原料ガスと酸素ガス、水素ガス
を導入し、四塩化けい素と四塩化ゲルマニウムの火炎加
水分解で発生した酸化ゲルマニウムでド−プされたシリ
カガラス微粒子をタ−ゲット基材上に堆積させて軸方向
にコア部を成長させ、クラッド用酸水素火炎バ−ナ−に
四塩化けい素、酸素ガス、水素ガスを供給して四塩化け
い素の火炎加水分解で発生したシリカガラス微粒子をこ
のコア部上に堆積成長させクラッド部を形成させて多孔
質ガラス母材を作り、ついてこれを石英ガラス製炉芯管
を用いて脱水、焼結させればよい。
【００１０】しかし、この場合多孔質ガラス母材の脱水
、焼結によって得られる光ファイバ用母材の比屈折率差
（△ｎ）とロット間との相関についてしらべたところ、
この多孔質ガラス母材の脱水、処理工程は従来一般に
Ｃｌ２、 Ｆ２などのハロゲンガスの存在下で行なわれ
るのであるが、これを例えば Ｃｌ２ガスの存在下で行
なうとド−プ剤としての酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ２）
が Ｃｌ２と反応して揮発性の ＧｅＣｌ４となって揮
発するので比屈折率差（△ｎ）が低下するようになるの
であるが、この反応がこの反応温度に依存するものであ
るためにこの加熱ゾ−ンの温度が低下すると ＧｅＣｌ
４の発生が抑えられて母材中の結晶性ＧｅＯ２が徐々に
増加し、比屈折率差（△ｎ）が上昇するので、この比屈
折率差（△ｎ）を均一にするためには脱水処理工程にお
いて加熱ゾ−ンの温度を一定にすればよいということが
見出された。
、焼結によって得られる光ファイバ用母材の比屈折率差
（△ｎ）とロット間との相関についてしらべたところ、
この多孔質ガラス母材の脱水、処理工程は従来一般に
Ｃｌ２、 Ｆ２などのハロゲンガスの存在下で行なわれ
るのであるが、これを例えば Ｃｌ２ガスの存在下で行
なうとド−プ剤としての酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ２）
が Ｃｌ２と反応して揮発性の ＧｅＣｌ４となって揮
発するので比屈折率差（△ｎ）が低下するようになるの
であるが、この反応がこの反応温度に依存するものであ
るためにこの加熱ゾ−ンの温度が低下すると ＧｅＣｌ
４の発生が抑えられて母材中の結晶性ＧｅＯ２が徐々に
増加し、比屈折率差（△ｎ）が上昇するので、この比屈
折率差（△ｎ）を均一にするためには脱水処理工程にお
いて加熱ゾ−ンの温度を一定にすればよいということが
見出された。
【００１１】他方、この多孔質ガラス母材の脱水処理工
程は石英ガラス製炉芯管を用いて行なわれるのであるが
、この石英ガラス製炉芯管についてはこれを使用してい
ると石英ガラスの失透が徐々に進み、この失透が進むに
したがってこれに比例して輻射熱の放射量が徐々に落ち
、加熱ゾ−ンの温度が徐々に低下するために、炉芯管に
供給する電力を一定にして多孔質ガラス母材を複数個脱
水処理し焼結すると、このようにして得られた光ファイ
バ用母材の比屈折率差（△ｎ）は加熱ゾ−ンの温度が徐
々に低下するために各ロット間では図２に示したように
ロット毎に徐々に上昇し、一定にならないということが
見出された。
程は石英ガラス製炉芯管を用いて行なわれるのであるが
、この石英ガラス製炉芯管についてはこれを使用してい
ると石英ガラスの失透が徐々に進み、この失透が進むに
したがってこれに比例して輻射熱の放射量が徐々に落ち
、加熱ゾ−ンの温度が徐々に低下するために、炉芯管に
供給する電力を一定にして多孔質ガラス母材を複数個脱
水処理し焼結すると、このようにして得られた光ファイ
バ用母材の比屈折率差（△ｎ）は加熱ゾ−ンの温度が徐
々に低下するために各ロット間では図２に示したように
ロット毎に徐々に上昇し、一定にならないということが
見出された。
【００１２】したがって、各ロット間における光ファイ
バ用母材の比屈折率差（△ｎ）を均一にするためには加
熱ゾ−ンの温度を一定にする必要があるが、これには石
英ガラス製炉芯管での石英ガラスの失透による輻射熱の
放射量の減少があるので、これについてはこの失透化度
に比例して徐々に加熱ヒ−タ−に供給する電力を例えば
炉内温度を１，１００ ℃と一定にするときには図３に
示したようにロット数の増加と共に徐々に上昇させれば
、これを所定の一定温度に保つことができ、得られる光
ファイバ用母材の比屈折率差（△ｎ）をロット間で均一
にすることができることが確認されたので、この加熱ゾ
−ンの温度を一定にするためにはここに使用する石英ガ
ラス製炉芯管の使用回数に応じて加熱ヒ−タ−の温度を
制御すること、換言すれば加熱ヒ−タ−給する電力を製
炉芯管の使用回数に応じて徐々に増加させればよい。
バ用母材の比屈折率差（△ｎ）を均一にするためには加
熱ゾ−ンの温度を一定にする必要があるが、これには石
英ガラス製炉芯管での石英ガラスの失透による輻射熱の
放射量の減少があるので、これについてはこの失透化度
に比例して徐々に加熱ヒ−タ−に供給する電力を例えば
炉内温度を１，１００ ℃と一定にするときには図３に
示したようにロット数の増加と共に徐々に上昇させれば
、これを所定の一定温度に保つことができ、得られる光
ファイバ用母材の比屈折率差（△ｎ）をロット間で均一
にすることができることが確認されたので、この加熱ゾ
−ンの温度を一定にするためにはここに使用する石英ガ
ラス製炉芯管の使用回数に応じて加熱ヒ−タ−の温度を
制御すること、換言すれば加熱ヒ−タ−給する電力を製
炉芯管の使用回数に応じて徐々に増加させればよい。
【００１３】なお、本発明により光ファイバ用母材を得
るために多孔質ガラス母材を脱水処理するための加熱ゾ
−ンの温度はを８００〜１，４００ ℃の範囲で一定温
度に保持すればロット間での比屈折率差（△ｎ）の変動
を少なくすることができる。
るために多孔質ガラス母材を脱水処理するための加熱ゾ
−ンの温度はを８００〜１，４００ ℃の範囲で一定温
度に保持すればロット間での比屈折率差（△ｎ）の変動
を少なくすることができる。
【００１４】
【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例を示す。
実施例、比較例
コア用バ−ナ−に四塩化けい素３０ｃｃ／分、四塩化ゲ
ルマニウム ３．５ｃｃ／分、酸素ガス３．０ リット
ル／分、水素ガス１．０ リットル／分を供給すると共
に、クラッド用バ−ナ−に四塩化けい素 ４００ｃｃ／
分、酸素ガス１０リットル／分、水素ガス８リットル／
分を供給し、この火炎加水分解で発生した酸化ゲルマニ
ウムでド−プされたコア用ガラス微粒子および酸化ゲル
マニウムを含まないクラッド用ガラス微粒子を基材の先
に設置した２０ｒｐｍ で回転している合成石英ガラス
棒に堆積し、その軸方向に成長させてコア部、クラッド
部からなる多孔質ガラス母材を作り、軸方向にこの多孔
質ガラス母材を引上げ装置を用いて０．６５±０．００
５ｍｍ／分の一定速度で引上げて、外径 １００ｍｍ、
長さ８００ｍｍ の多孔質ガラス母材を作った。
ルマニウム ３．５ｃｃ／分、酸素ガス３．０ リット
ル／分、水素ガス１．０ リットル／分を供給すると共
に、クラッド用バ−ナ−に四塩化けい素 ４００ｃｃ／
分、酸素ガス１０リットル／分、水素ガス８リットル／
分を供給し、この火炎加水分解で発生した酸化ゲルマニ
ウムでド−プされたコア用ガラス微粒子および酸化ゲル
マニウムを含まないクラッド用ガラス微粒子を基材の先
に設置した２０ｒｐｍ で回転している合成石英ガラス
棒に堆積し、その軸方向に成長させてコア部、クラッド
部からなる多孔質ガラス母材を作り、軸方向にこの多孔
質ガラス母材を引上げ装置を用いて０．６５±０．００
５ｍｍ／分の一定速度で引上げて、外径 １００ｍｍ、
長さ８００ｍｍ の多孔質ガラス母材を作った。
【００１５】ついで、これを Ｃｌ２ガスを１０容量％
含有するＨｅガス雰囲気中において長さ２，０００ ｍ
ｍの石英ガラス製炉管を用い、この加熱ヒ−タ−に供給
する電力をロット毎に図３に示したように徐々に上昇さ
せて加熱ゾ−ンの温度を１，１００ ℃±１ ℃に保つ
ようにして脱水処理し、１，６００ ℃で焼結して外径
４０ｍｍ、長さ４００ｍｍ のシングルモ−ド光ファイ
バ用母材を作り、このもののロット毎に比屈折率差（△
ｎ）をしらべたところ、図１に示したように略々均一で
あることが確認された。
含有するＨｅガス雰囲気中において長さ２，０００ ｍ
ｍの石英ガラス製炉管を用い、この加熱ヒ−タ−に供給
する電力をロット毎に図３に示したように徐々に上昇さ
せて加熱ゾ−ンの温度を１，１００ ℃±１ ℃に保つ
ようにして脱水処理し、１，６００ ℃で焼結して外径
４０ｍｍ、長さ４００ｍｍ のシングルモ−ド光ファイ
バ用母材を作り、このもののロット毎に比屈折率差（△
ｎ）をしらべたところ、図１に示したように略々均一で
あることが確認された。
【００１６】しかし、比較のために上記における加熱ヒ
−タ−に供給される電力を各ロットごとに変えずに一定
にしたところ、この場合にはロット数の増加と共に光フ
ァイバ用母材の屈折率分布が増加し、両者の関係は図２
に示したとおりのものとなった。
−タ−に供給される電力を各ロットごとに変えずに一定
にしたところ、この場合にはロット数の増加と共に光フ
ァイバ用母材の屈折率分布が増加し、両者の関係は図２
に示したとおりのものとなった。
【００１７】
【発明の効果】本発明はロット間において長手方向の比
屈折率差（△ｎ）が安定しているシングルモ−ド光ファ
イバ用多孔質ガラス母材の製造方法に関するもので、こ
れは前記したように公知のＶＡＤ 法で多孔質ガラス母
材を作り、ついでこれを石英ガラス製炉芯管を用いて高
温で脱水、焼結してなる光ファイバ用母材の製造方法に
おいて、多孔質ガラス母材の脱水処理工程における該石
英ガラス製炉芯管の加熱ヒ−タ−の温度を該石英ガラス
製炉芯管の使用回数に応じて制御して加熱ゾ−ンの温度
を一定に保つことを特徴とするものであり、これによれ
ば使用回数の増加に伴なって発生する石英ガラス製炉芯
管の石英ガラスの失透に伴なう輻射熱の放射量減少が炉
芯管に供給される電力の増加によって補償されるので、
加熱ゾ−ンの温度が一定となり、 ＧｅＣｌ４の揮発
量も一定となって得られる光ファイバ用母材の比屈折率
差（△ｎ）がロット間で変動せず、均一なものになると
いう有利性が与えられる。
屈折率差（△ｎ）が安定しているシングルモ−ド光ファ
イバ用多孔質ガラス母材の製造方法に関するもので、こ
れは前記したように公知のＶＡＤ 法で多孔質ガラス母
材を作り、ついでこれを石英ガラス製炉芯管を用いて高
温で脱水、焼結してなる光ファイバ用母材の製造方法に
おいて、多孔質ガラス母材の脱水処理工程における該石
英ガラス製炉芯管の加熱ヒ−タ−の温度を該石英ガラス
製炉芯管の使用回数に応じて制御して加熱ゾ−ンの温度
を一定に保つことを特徴とするものであり、これによれ
ば使用回数の増加に伴なって発生する石英ガラス製炉芯
管の石英ガラスの失透に伴なう輻射熱の放射量減少が炉
芯管に供給される電力の増加によって補償されるので、
加熱ゾ−ンの温度が一定となり、 ＧｅＣｌ４の揮発
量も一定となって得られる光ファイバ用母材の比屈折率
差（△ｎ）がロット間で変動せず、均一なものになると
いう有利性が与えられる。
【図１】本発明により得られたシングルモ−ド光ファイ
バ−用母材のロット数と屈折率（△ｎ）との相関グラフ
である。
バ−用母材のロット数と屈折率（△ｎ）との相関グラフ
である。
【図２】比較例で作られたシングルモ−ド光ファイバ−
用母材のロット数と屈折率（△ｎ）との相関グラフであ
る。
用母材のロット数と屈折率（△ｎ）との相関グラフであ
る。
【図３】ロット数と石英ガラス製炉芯管に供給するヒ−
タ−電力（ｋｗ）との相関グラフである。
タ−電力（ｋｗ）との相関グラフである。
Claims (1)
- 【請求項１】ゲルマニウムド−プしたガラス微粒子をタ
−ゲット基材上に堆積し、これを軸方向に引上げて多孔
質ガラス母材を作り、これを石英ガラス製炉芯管を用い
て高温で脱水、焼結してなる光ファイバ用母材の製造方
法において、多孔質ガラス母材の脱水処理工程における
該石英ガラス製炉芯管の加熱ヒ−タ−の温度を該石英ガ
ラス製炉芯管の使用回数に応じて制御して加熱ゾ−ンの
温度を一定に保つことを特徴とするシングルモ−ド光フ
ァイバ用母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8309991A JP3071235B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | シングルモ−ド光ファイバ用母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8309991A JP3071235B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | シングルモ−ド光ファイバ用母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04295026A true JPH04295026A (ja) | 1992-10-20 |
| JP3071235B2 JP3071235B2 (ja) | 2000-07-31 |
Family
ID=13792744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8309991A Expired - Lifetime JP3071235B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | シングルモ−ド光ファイバ用母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3071235B2 (ja) |
-
1991
- 1991-03-22 JP JP8309991A patent/JP3071235B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3071235B2 (ja) | 2000-07-31 |
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