JPH04295051A - Pzt系セラミックス組成物 - Google Patents

Pzt系セラミックス組成物

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JPH04295051A
JPH04295051A JP3084645A JP8464591A JPH04295051A JP H04295051 A JPH04295051 A JP H04295051A JP 3084645 A JP3084645 A JP 3084645A JP 8464591 A JP8464591 A JP 8464591A JP H04295051 A JPH04295051 A JP H04295051A
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pzt
sodium titanate
bismuth sodium
piezoelectric
ceramics
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Seiji Yamanaka
山中 清二
Takashi Yamamoto
孝 山本
Tadashi Takenaka
正 竹中
Mamoru Kamiyama
上山 守
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は誘電体材料、圧電材料、
焦電材料、絶縁材料等の電子材料に使用されるPZT系
セラミックス組成物に関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般的に、セラミックスは硬度、弾性、
耐熱性などに優れ、機械的な部品、或いは電子材料部品
として使用されている。しかし、現状では通常のセラミ
ックスの製造法、例えばドクターブレード法、プレス法
、押出し法、泥しょう鋳込み法等に基づいて、セラミッ
クスラリーを所定の形状に成形した後、単に焼成するだ
けでは本来セラミックスが有する上記優れた特性を工学
的に十分に引出すことはできない。これはセラミックス
にはその焼結体内部に多少なりとも気孔や微小欠陥があ
り、外力が働いたときに応力が気孔等に集中し破壊を生
じるためである。近年、構造体用セラミックスの分野で
は、高強度、高靭性の特性の得られる機構が明らかにさ
れ、HIP法やセラミックスの微細構造の制御などのセ
ラミックス焼成法に特別な工夫を行うことによって前述
のセラミックスの欠点が克服されつつある。
【0003】しかし、電子材料用セラミックスの分野で
は、圧電材料のように高周波、高出力領域への利用が拡
大しているにもかかわらず、この領域への応用で重要な
高強度、高靭性に着目した材料研究は少ない。誘電体材
料についても近年の電子部品の小型薄型化に伴い、その
機械的強度の向上が望まれているが、これといった対応
が採られていないのが現状である。代表的な圧電材料と
して、チタン酸バリウム(BaTi03)とチタン酸鉛
(PbTi03)を主成分をしたPT系セラミックス、
及びチタン酸鉛とジルコン酸鉛(PbZr03)を主成
分とし、これに各種の添加剤を混合してなる(PbTi
03−PbZr03)系のいわゆるPZT系セラミック
スなど多結晶の強誘電性セラミックスが知られている。 そして、今日では、超音波探知機や超音波遅延線、弾性
表面波用デバイスなどにおいて、使用周波数が高周波に
なるにつれて高周波領域で比誘電率や誘電損失が小さく
また電気機械結合係数が大きな圧電性セラミックスの開
発が強く要望されている。PZT系材料はZr:Ti=
55:45の成分を境にして、正方晶系の相と三方晶の
相に分けられ、この相転移点付近での圧電効果が大きい
。PZT系材料は−50〜250℃の範囲での転移温度
がないため優れた圧電材料となっている。Zr:Ti=
52:48の組成物での比誘電率は399、電気機械結
合係数は0.529である。PZT系材料は従来の焼結
法によれば1200℃程度の焼成温度で焼結する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このように有
用で機能的な特性に富み、圧電セラミックスとして広範
囲に利用されているPZT系材料においても、機械的強
度の向上に関しては、圧電出力係数g33を増加させる
ために空孔を増加させて多孔質化する研究と併せて、強
度が低下しないようにホットプレス法により空孔を減少
させる研究とが行われている程度である。この圧電出力
係数g33を増大するために空孔率を50%以上にする
と、抗折強度は著しく低下する。そこで、セラミック材
料に低温で液相を形成する成分を添加して焼結させるセ
ラミックスの液相焼結法を利用して、電子材料用セラミ
ックスにおいても、焼成時に液相成分でセラミックス粒
子を被覆し、セラミックス表面の欠陥を解消してセラミ
ックス焼結体の強度を向上することが考えられる。この
方法は、焼結技術自体には特別な工夫は必要でないもの
の、液相成分となる添加剤を選択しないと、セラミック
スの機能的な特性、即ち、誘電特性、圧電特性、焦電性
、絶縁性が損われる問題点があった。
【0005】本発明の目的は、PZT系材料の圧電特性
をはじめとする機能的な特性を損うことなくこのセラミ
ックスの機械的強度を増大し得るPZT系セラミックス
組成物及びその製造方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、PZT系
セラミックスの焼結温度と同一の温度で液相を形成し、
PZT系セラミックスと同じ機能的な特性を有する化合
物を添加剤として選択することにより、本発明に到達し
た。本発明のPZT系セラミックス組成物は、化学式P
b1.01(Zr0.53Ti0.47)O3+0.5
mo1%Nb2O5で表されるPZT系材料100重量
%に0.5重量%以上5重量%未満のビスマスナトリウ
ムタイタネートを添加したものである。
【0007】以下、本発明を詳述する。本発明のPZT
系材料はZr:Ti=53:47であって、化学式Pb
1.01(Zr0.53Ti0.47)O3+0.5m
o1%Nb2O5で表される。このZr/Tiの組成は
MPB(Morphotropic Phase Bo
undary)と呼ばれ、正方晶相と菱面体晶相とが共
存していると考えられている。このPZT系材料はPb
OとZrO2とTiO2とNb2O5とを混合し、この
混合物を仮焼した後、粉砕して粉末の形態で作られる。 Pbを1%過剰にするのは焼成時の蒸発を考慮するため
である。また0.5mo1%のNb2O5を添加するの
は分極を容易にし電気的な特性を安定させるためである
。
【0008】一方、ビスマスナトリウムタイタネート(
Bi,Na)1/2Ti03は比誘電率が小さく、キュ
リー温度が高く、かつ電気機械結合係数が大きいセラミ
ックスである。このビスマスナトリウムタイタネートは
一般式(Bi1/2Na1/2)1−x(SraPbb
Cac)xTiO3で表されるものが好ましい。特に、
x=0,a=b=c=0の(Bi1/2Na1/2)T
iO3、x=0.12,a=b=0.5,c=0の(B
i1/2Na1/2)0.88(Sr1/2Pb1/2
)0.12TiO3又はx=0.12,a=0,b=c
=0.5の(Bi1/2Na1/2)0.88(Pb1
/2Ca1/2)0.12TiO3が本発明の目的に合
致し、好ましい。また、特開平1−242464号公報
に開示されるように、(Bi1/2Na1/2)TiO
3に、改質成分としてSrTi03,PbTi03又は
CaTi03のいずれか1種又は2種以上を添加したも
のを用いてもよい。これらの添加により、抗電界が大き
いビスマスナトリウムタイタネートを容易に分極でき、
1000〜1100℃の比較的低温で容易に緻密化する
ことができる。このビスマスナトリウムタイタネート焼
結体は誘電率が250以下、キュリー温度が300℃程
度、電気機械結合係数も大きい特長があり、高周波用の
特殊な圧電セラミックスにも使用できるものである。
【0009】上述したビスマスナトリウムタイタネート
はPZT系材料とほぼ同じか若干低い温度で焼結し、P
ZT系材料と同じ圧電材料である。このビスマスナトリ
ウムタイタネートはPZT系材料100重量%に0.5
重量%以上5重量%未満添加される。0.5重量%未満
であると、本発明の効果が発揮されず、5重量%以上に
なると電気機械結合係数をはじめとするPZTの機能的
な特性が低下がするようになる。
【0010】
【作用】PZT系材料に上記所定量のビスマスナトリウ
ムタイタネートを添加することにより、PZT系材料の
焼成時にビスマスナトリウムタイタネートが液相を形成
し、粒界にビスマスナトリウムタイタネート相を形成さ
せる。この液相の形成によりPZT粒子がフレキシブル
に動くことができ、また空孔も動きやすくなるため、従
来の焼結体に比べて緻密化が早くなり、欠陥も少なくな
る。この結果、外力が加わり応力が集中したときに破壊
が起こる確率を低減でき、機械的強度を向上させること
ができる。またビスマスナトリウムタイタネートは液相
状態ではPZT粒子と反応せず、PZTの圧電特性を直
接支配するものではないが、PZT粒子の粒界に残存し
た場合には、ビスマスナトリウムタイタネート自体が圧
電体であるため、PZT系材料の圧電特性の低下は抑制
される。ビスマスナトリウムタイタネートの添加により
、抗電界が大きくなって問題を生じる場合には、前述し
たように、抗電界を小さくするためのSrTi03,P
bTi03又はCaTi03のいずれか1種又は2種以
上を改質成分として添加すればよい。
【0011】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、代
表的な圧電材料であるPZT系材料にこのセラミックス
の焼結温度付近で液相を形成し、このセラミックスと同
じ機能的な特性を有する化合物、即ち、同じく圧電材料
として知られるビスマスナトリウムタイタネートを第2
成分として添加することにより、PZTの機能的な特性
、圧電特性を損うことなくこのセラミックスの機械的強
度を向上させることができる。本発明によりPZTの焼
結体の機械的強度は従来の方法で製造されるPZTセラ
ミックスの機械的強度より著しく強化され、電子セラミ
ックスでは圧電材料のように高周波、高出力領域への利
用拡大が可能になる。また誘電体材料としてのPZT系
材料についても、近年の電子部品の小型薄型化に伴い、
その機械的強度の向上が求められているが、本発明の組
成物を用いれば、その目的を達成することができる。
【0012】
【実施例】次に本発明の具体的態様を示すために、本発
明の実施例を比較例とともに説明する。以下に述べる実
施例は本発明の技術的範囲を限定するものではない。 <実施例1>先ず、化学式Pb1.01(Zr0.53
Ti0.47)O3+0.5mo1%Nb2O5で表さ
れるPZT系材料粉末を調製した。出発原料としていず
れも99%以上の高純度の金属酸化物PbOとZrO2
とTiO2とNb2O5を用意し、これらを所定の組成
になるように配合した後、ボールミルで混合した。この
混合物を900℃で2時間仮焼した後、粉砕してPZT
系材料粉末を得た。 次に、一般式(Bi1/2Na1/2)1−x(Sra
PbbCac)xTiO3で表されるビスマスナトリウ
ムタイタネートのうち、次の組成の各粉末を調製した。 No.1:  (Bi1/2Na1/2)TiO3No
.2:  (Bi1/2Na1/2)0.88(Pb1
/2Ca1/2)0.12TiO3 この出発原料として試薬特級のBi2O3とNaCO3
とSrCO3とPbOとTiO2を用意し、これらを所
定の組成になるように配合した後、ボールミルで混合し
た。 この混合物を800℃で1時間仮焼した後、粉砕してビ
スマスナトリウムタイタネート粉末を得た。PZT系材
料粉末100重量%とするとき、これに対して0.5重
量%のビスマスナトリウムタイタネート粉末を添加し、
ボールミルにより仕上粉砕を行った。この仕上げ粉に、
バインダーとしてポリビニルアルコールを粉に対し2.
5重量%となるように溶液でそれぞれ加え、造粒した。 直径25mm、厚み1mmの円板になるよう1000k
g/cm2の圧力でプレス成形を行った。500℃で1
0時間脱バインダーを行った後、マグネシアセッター内
で焼成し、PZT系セラミックス焼結体を得た。焼成温
度は1150℃,1175℃,1200℃でそれぞれ2
時間とした。
【0013】<実施例2>実施例1と同じPZT系材料
粉末に実施例1と同じビスマスナトリウムタイタネート
粉末を1.0重量%添加した以外は実施例1と同様にし
て焼結体を得た。 <比較例1>実施例1と同じPZT系材料粉末に実施例
1と同じビスマスナトリウムタイタネート粉末を5.0
重量%添加した以外は実施例1と同様にして焼結体を得
た。 <比較例2>実施例1と同じPZT系材料粉末にビスマ
スナトリウムタイタネート粉末を添加しないで、実施例
1と同様にして焼結体を得た。
【0014】<測定と結果>上記実施例及び比較例で作
製したセラミックス焼結体について、電気機械結合係数
及び抗折強度を測定した。その結果を表1に示す。
【0015】
【表1】
【0016】PZT+No.1については、ビスマスナ
トリウムタイタネートの添加量0.5重量%(実施例1
)から1.0重量%(実施例2)において電気機械結合
係数が無添加(比較例2)の0.67に比べて0.64
から0.62に低下するのに対し、抗折強度は893k
g/cm2から最大1044kg/cm2に増加した。 変化した割合は電気機械結合係数が7.5%低下したの
に対し、抗折強度は17%増加した。PZT+No.2
についても同様の効果が認められた。電気機械結合係数
のこの程度の低下は実用上問題ないと考えられる。ビス
マスナトリウムタイタネートの添加量が5.0重量%の
場合(比較例1)及びビスマスナトリウムタイタネート
を添加しない場合(比較例2)には、いずれも抗折強度
が893kg/cm2と低く、また添加量が5.0重量
%の比較例1では、電気機械結合係数の低下が大きくな
り、実用上問題が起こり易くなる。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  化学式Pb1.01(Zr0.53T
    i0.47)O3+0.5mo1%Nb2O5で表され
    るPZT系材料100重量%に0.5重量%以上5重量
    %未満のビスマスナトリウムタイタネートを添加したP
    ZT系セラミックス組成物。
  2. 【請求項2】  ビスマスナトリウムタイタネートが化
    学式(Bi1/2Na1/2)TiO3で表される請求
    項1記載のPZT系セラミックス組成物。
  3. 【請求項3】  ビスマスナトリウムタイタネートが化
    学式(Bi1/2Na1/2)0.88(Sr1/2P
    b1/2)0.12TiO3で表される請求項1記載の
    PZT系セラミックス組成物。
  4. 【請求項4】  ビスマスナトリウムタイタネートが化
    学式(Bi1/2Na1/2)0.88(Pb1/2C
    a1/2)0.12TiO3で表される請求項1記載の
    PZT系セラミックス組成物。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005150694A (ja) * 2003-10-23 2005-06-09 Seiko Epson Corp 圧電体膜、圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、および電子機器
JP2007157910A (ja) * 2005-12-02 2007-06-21 Denso Corp 圧電セラミックス、積層圧電セラミック素子及びその製造方法
CN109336593A (zh) * 2018-10-19 2019-02-15 海鹰企业集团有限责任公司 一种耐高温压电陶瓷及其制备工艺

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CN109336593A (zh) * 2018-10-19 2019-02-15 海鹰企业集团有限责任公司 一种耐高温压电陶瓷及其制备工艺

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