JPH0429575Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0429575Y2 JPH0429575Y2 JP1986200996U JP20099686U JPH0429575Y2 JP H0429575 Y2 JPH0429575 Y2 JP H0429575Y2 JP 1986200996 U JP1986200996 U JP 1986200996U JP 20099686 U JP20099686 U JP 20099686U JP H0429575 Y2 JPH0429575 Y2 JP H0429575Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- electrode
- groove
- cracks
- electrode protrusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Wire Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本考案は、リード取付電極が設置される電極突
き出し部を有する半導体素子用セラミツク基板に
関する。
き出し部を有する半導体素子用セラミツク基板に
関する。
(従来の技術)
基板に実装された種々の半導体素子に基板の外
部から電力を供給したり、外部へ取り出す場合に
は電極が必要である。一般に、この電極は基板上
に配置される。例えば、熱電素子の製造において
は、第1図に示すような基板10を使用するのが
普通である。即ち、相対向する基板10X,10
Yの内面にそれぞれ電極11を配置し、その対向
する基板10Xの電極11と基板10Yの電極1
1との間に半導体12を配置してカスケード接続
し、基板10Xの内面の外縁寄りに位置する電極
をリード取付電極13とする。リード線14はこ
のリード取付電極13にハンダ付けされる。
部から電力を供給したり、外部へ取り出す場合に
は電極が必要である。一般に、この電極は基板上
に配置される。例えば、熱電素子の製造において
は、第1図に示すような基板10を使用するのが
普通である。即ち、相対向する基板10X,10
Yの内面にそれぞれ電極11を配置し、その対向
する基板10Xの電極11と基板10Yの電極1
1との間に半導体12を配置してカスケード接続
し、基板10Xの内面の外縁寄りに位置する電極
をリード取付電極13とする。リード線14はこ
のリード取付電極13にハンダ付けされる。
しかし、対向する2枚の基板10X,10Y
は、同一形状であり且つその間隔は3mmから大き
くても10mm程度であるため、ハンダ付け作業に困
難を伴なう。そこで、かかる不具合を回避するた
めに、第2図に示すように、外部リード線をハン
ダ付けするためのリード取付電極13をこれを担
持する基板10Xと共に、他方の基板10Yより
外方向に突き出させ、以つて電極突き出し部15
を構成する場合がある。この電極付き出し部15
は、本来、リード取付電極13を有する基板10
Xが相手方の基板10Yより突出している領域部
分をいうが、本明細書では基板10Xの突出した
端から最初の半導体12に至る直前までの広い意
味で使用する。
は、同一形状であり且つその間隔は3mmから大き
くても10mm程度であるため、ハンダ付け作業に困
難を伴なう。そこで、かかる不具合を回避するた
めに、第2図に示すように、外部リード線をハン
ダ付けするためのリード取付電極13をこれを担
持する基板10Xと共に、他方の基板10Yより
外方向に突き出させ、以つて電極突き出し部15
を構成する場合がある。この電極付き出し部15
は、本来、リード取付電極13を有する基板10
Xが相手方の基板10Yより突出している領域部
分をいうが、本明細書では基板10Xの突出した
端から最初の半導体12に至る直前までの広い意
味で使用する。
第3図及び第4図は、この電極突き出し部15
を有する基板10の例を片側の10Xのみで示し
た平面図である。同図中の破線Lは電極突き出し
部15が形成されていない基板10Yの外縁の位
置を示している。以下、説明の都合上、リード取
付電極13を有する基板10Xの領域のうち、上
記電極突き出し部15以外の領域部分を基板本体
10Aという。
を有する基板10の例を片側の10Xのみで示し
た平面図である。同図中の破線Lは電極突き出し
部15が形成されていない基板10Yの外縁の位
置を示している。以下、説明の都合上、リード取
付電極13を有する基板10Xの領域のうち、上
記電極突き出し部15以外の領域部分を基板本体
10Aという。
リード取付電極13を基板本体10Aから突き
出させることによつてハンダ付け作業は容易とな
るが、反面、半導体素子の製造工程及び使用時の
取り扱いにより、電極突き出し部15に外力が加
わつて基板本体10Aに割れが入り易くなるとい
う欠点がある。特にセラミツク基板については特
に大きな問題となつており、破壊強度の大きな基
板や割れの防止法が望まれている。
出させることによつてハンダ付け作業は容易とな
るが、反面、半導体素子の製造工程及び使用時の
取り扱いにより、電極突き出し部15に外力が加
わつて基板本体10Aに割れが入り易くなるとい
う欠点がある。特にセラミツク基板については特
に大きな問題となつており、破壊強度の大きな基
板や割れの防止法が望まれている。
しかしながら、基板材質は破壊抵抗以外にも電
気特性、熱的特性を吟味して選定されており、基
板材質を変更することはなかなか難しい。また素
子の製造時及び使用時の取り扱い方法を変更する
ことも実際には困難であり、破損はある程不可避
的に発生する。
気特性、熱的特性を吟味して選定されており、基
板材質を変更することはなかなか難しい。また素
子の製造時及び使用時の取り扱い方法を変更する
ことも実際には困難であり、破損はある程不可避
的に発生する。
ところが、仮に基板10Xに割れが発生したと
しても、電極11,13に切断等の損傷を与え
ず、電極突き出し部15の領域内に割れが止つて
基板本体10Aに及んでいない場合には実用上支
障がないことを発見した。
しても、電極11,13に切断等の損傷を与え
ず、電極突き出し部15の領域内に割れが止つて
基板本体10Aに及んでいない場合には実用上支
障がないことを発見した。
(考案が解決しようとする問題点)
本考案は、かかる事情に鑑み、セラミツク基板
に関し、そのリード取付電極13を配置する電極
突き出し部15に外力が作用して割れが発生した
としても、これが基板本体10Aに及ぶことを防
止しようとするものである。
に関し、そのリード取付電極13を配置する電極
突き出し部15に外力が作用して割れが発生した
としても、これが基板本体10Aに及ぶことを防
止しようとするものである。
(問題点を解決するための手段)
本考案は、電極突き出し部を有する半導体素子
用セラミツク基板の電極突き出し部の根元に、セ
ラミツク基板本体の外周に沿つて、予め割れを誘
うような溝を形成したものである。
用セラミツク基板の電極突き出し部の根元に、セ
ラミツク基板本体の外周に沿つて、予め割れを誘
うような溝を形成したものである。
(考案の作用)
半導体素子用セラミツク基板に割れやヒビが入
つたりする程に外力が電極突き出し部分に加わる
と、電極突き出し部の根元に形成した溝に応力が
集中して、当該溝を起点とし、溝にしたがつて割
れやヒビが派生する。又、溝以外の電極突き出し
部で発生した割れやヒビは、溝に達した時点で、
進展の方向を転じられ、溝にしたがつて走る。即
ち、溝は、基板本体へ及ぼうとする割れやヒビ等
を未然に阻止する。
つたりする程に外力が電極突き出し部分に加わる
と、電極突き出し部の根元に形成した溝に応力が
集中して、当該溝を起点とし、溝にしたがつて割
れやヒビが派生する。又、溝以外の電極突き出し
部で発生した割れやヒビは、溝に達した時点で、
進展の方向を転じられ、溝にしたがつて走る。即
ち、溝は、基板本体へ及ぼうとする割れやヒビ等
を未然に阻止する。
(実施例)
以下、本考案の詳細をセラミツクの一種である
アルミナの基板を例に、第2図以下の図面に基づ
いて説明する。
アルミナの基板を例に、第2図以下の図面に基づ
いて説明する。
実施例で用いた基板10は、第2図及至第4図
の如き構造で、対向する2枚の基板10X,10
Yは夫々厚さ0.635mmのアルミナ基板、電極11,
13は夫々0.3mmの厚さの銅板である。
の如き構造で、対向する2枚の基板10X,10
Yは夫々厚さ0.635mmのアルミナ基板、電極11,
13は夫々0.3mmの厚さの銅板である。
基板10X,10Yと電極11,13とは予め
直接接合法で接合されたものを使用したが、他に
メタライズ法、金属ペースト焼成法など種々の既
知の方法で接合されたものでもよい。
直接接合法で接合されたものを使用したが、他に
メタライズ法、金属ペースト焼成法など種々の既
知の方法で接合されたものでもよい。
電極突き出し部15を有する基板10Xに形成
する溝20は、電極突き出し部15がある程度の
外力を受けた場合、基板本体10Aに及ぼうとす
る力を、溝20の部分で割れやヒビを生じせしめ
ることによつて吸収でき、基板本体10Aへ割れ
やヒビが及ぶのを阻止し得る形態であればよい。
従つて、溝20の形状は、基板本体10Aに割れ
やヒビが生ずる程度若しくはその程度を越える外
力が加わつた際に比較的容易に割れやヒビが入つ
たりし得る形状であればよく、V字型、U字型、
或いは型、I型等その形状をとわない。
する溝20は、電極突き出し部15がある程度の
外力を受けた場合、基板本体10Aに及ぼうとす
る力を、溝20の部分で割れやヒビを生じせしめ
ることによつて吸収でき、基板本体10Aへ割れ
やヒビが及ぶのを阻止し得る形態であればよい。
従つて、溝20の形状は、基板本体10Aに割れ
やヒビが生ずる程度若しくはその程度を越える外
力が加わつた際に比較的容易に割れやヒビが入つ
たりし得る形状であればよく、V字型、U字型、
或いは型、I型等その形状をとわない。
又、溝20には、溝20を起点として派生せし
めた割れ目を与えておいてもよい。この割れ目
は、基板の反対側の面(実施例では内面)に達し
てもよいし、達しなくてもよいが、電極突き出し
部15の内面に配置されているリード取付電極1
3を切断することなく形成しなければならない。
めた割れ目を与えておいてもよい。この割れ目
は、基板の反対側の面(実施例では内面)に達し
てもよいし、達しなくてもよいが、電極突き出し
部15の内面に配置されているリード取付電極1
3を切断することなく形成しなければならない。
このような溝20を形成する位置は、対向基板
10Yの外縁に一致させるのが望ましいが、必ず
しも一致させる必要はなく、電極突き出し部15
の領域内であつて、リード取付電極13の存在す
る領域中の任意の箇所に、基板本体10Aの外周
に沿つて設けるのがよい。
10Yの外縁に一致させるのが望ましいが、必ず
しも一致させる必要はなく、電極突き出し部15
の領域内であつて、リード取付電極13の存在す
る領域中の任意の箇所に、基板本体10Aの外周
に沿つて設けるのがよい。
又、溝20の形成手段は、ダイヤモンドカツタ
等の機械的手段に限らず、レーザ又は電子ビーム
を用いて形成してもよい。
等の機械的手段に限らず、レーザ又は電子ビーム
を用いて形成してもよい。
(実施例 1)
第5図に示すように、アルミナ基板10Xの電
極突き出し部15の根元に基板本体10Aの外周
に沿つた溝20を形成したものを数個と、これと
比較するために溝のないものも用意した。
極突き出し部15の根元に基板本体10Aの外周
に沿つた溝20を形成したものを数個と、これと
比較するために溝のないものも用意した。
この例では、対向基板10Yの外周と一致する
位置に、基板本体10Aの外周に沿つてダイヤモ
ンドカツタ等の機械的手段で深さ0.3mmの溝を形
成した。
位置に、基板本体10Aの外周に沿つてダイヤモ
ンドカツタ等の機械的手段で深さ0.3mmの溝を形
成した。
かかる溝20を形成した基板10を落下させた
り、衝突させたり、指で電極突き出し部15に外
力を加えたりした結果、第7図のように溝がない
場合には、基板本体10Xに割れが及ぶのに対
し、実施例1の基板10Xの場合には、溝20に
したがつて、即ち溝20を起点として割れが派生
したり、折れたりするだけで、基板本体10Aの
領域には及ばなかつた。又、溝20より外側の電
極突き出し部15の領域に発生した割れやヒビ
は、溝20に達した時点で進展の方向を転じ、溝
20にしたがつて割れたり、ヒビが入つたりする
だけで、基板本体10Aの領域には及ばなかつ
た。
り、衝突させたり、指で電極突き出し部15に外
力を加えたりした結果、第7図のように溝がない
場合には、基板本体10Xに割れが及ぶのに対
し、実施例1の基板10Xの場合には、溝20に
したがつて、即ち溝20を起点として割れが派生
したり、折れたりするだけで、基板本体10Aの
領域には及ばなかつた。又、溝20より外側の電
極突き出し部15の領域に発生した割れやヒビ
は、溝20に達した時点で進展の方向を転じ、溝
20にしたがつて割れたり、ヒビが入つたりする
だけで、基板本体10Aの領域には及ばなかつ
た。
(実施例 2)
溝20をレーザスクライブ法によつて深さ0.4
mmにスクライブして形成した基板10を、実施例
1と同様に形成して試験したところ、割れやヒビ
はスクランブ線に沿つて走り、基板本体10Aの
領域には及ばなかつた。
mmにスクライブして形成した基板10を、実施例
1と同様に形成して試験したところ、割れやヒビ
はスクランブ線に沿つて走り、基板本体10Aの
領域には及ばなかつた。
(実施例 3)
実施例1、実施例2における改善効果を更に確
実なものとするため、第6図に示すように、溝2
0に予め割れや割れ目を与えておいた。
実なものとするため、第6図に示すように、溝2
0に予め割れや割れ目を与えておいた。
この例の割れ目は、一旦0.2mmの深さにレーザ
スクライブし、電極突き出し部15をスクライブ
線に沿つて折り曲げることによつて形成した。
スクライブし、電極突き出し部15をスクライブ
線に沿つて折り曲げることによつて形成した。
かかる基板10を実施例1と同様に試験したと
ころ、電極突き出し部15及び基板本体の何れの
領域にも割れは及ばなかつた。
ころ、電極突き出し部15及び基板本体の何れの
領域にも割れは及ばなかつた。
以上の実施例において、外力による割れは、溝
20を起点として派生するだけで、基板本体10
Aの領域には及ばなかつた。又、基板10の電極
突き出し部15に発生した割れは、電極11(銅
板)までには進展せず、電極としての機能を十分
満足したものであることが確認された。
20を起点として派生するだけで、基板本体10
Aの領域には及ばなかつた。又、基板10の電極
突き出し部15に発生した割れは、電極11(銅
板)までには進展せず、電極としての機能を十分
満足したものであることが確認された。
(考案の効果)
本考案によつて、外部リードの取り付けが容易
でかつ取り扱いによる破損の危険性のない半導体
素子用セラミツク基板の提供が可能となる。
でかつ取り扱いによる破損の危険性のない半導体
素子用セラミツク基板の提供が可能となる。
第1図は熱電素子の構造を示す断面図、第2図
は本考案を適用可能な電極突き出し部を有する熱
電素子の構造を示す断面図、第3図は電極突き出
し部を有する基板の1例を示す平面図、第4図は
電極突き出し部を有する基板の1例を示す平面
図、第5図は電極突き出し部の基板の根元に溝を
有する基板の1例の断面図、第6図は溝に割れを
与えた基板の断面図、第7図は電極突き出し部の
根元に溝を形成していない基板の断面図である。 10……基板、10A……基板本体、10X…
…基板、10Y……基板、11……電極、13…
…リード取付電極、15……電極突き出し部、2
0……溝。
は本考案を適用可能な電極突き出し部を有する熱
電素子の構造を示す断面図、第3図は電極突き出
し部を有する基板の1例を示す平面図、第4図は
電極突き出し部を有する基板の1例を示す平面
図、第5図は電極突き出し部の基板の根元に溝を
有する基板の1例の断面図、第6図は溝に割れを
与えた基板の断面図、第7図は電極突き出し部の
根元に溝を形成していない基板の断面図である。 10……基板、10A……基板本体、10X…
…基板、10Y……基板、11……電極、13…
…リード取付電極、15……電極突き出し部、2
0……溝。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 電極突き出し部を有する半導体素子用セラミ
ツク基板において、電極突き出し部の根元に基
板本体の外周に沿つた溝を形成したことを特徴
とする電極突き出し部を有する半導体素子用セ
ラミツク基板。 (2) 前記溝は、レーザー又は電子ビームにより形
成されたスクライブ線である実用新案登録請求
の範囲第1項記載の電極突き出し部を有する半
導体素子用セラミツク基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986200996U JPH0429575Y2 (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986200996U JPH0429575Y2 (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63106134U JPS63106134U (ja) | 1988-07-08 |
| JPH0429575Y2 true JPH0429575Y2 (ja) | 1992-07-17 |
Family
ID=31164036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986200996U Expired JPH0429575Y2 (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0429575Y2 (ja) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57104558U (ja) * | 1980-12-19 | 1982-06-28 | ||
| JPS61149369U (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-16 | ||
| JPS61153365U (ja) * | 1985-03-15 | 1986-09-22 | ||
| JPS61174767U (ja) * | 1985-04-19 | 1986-10-30 |
-
1986
- 1986-12-26 JP JP1986200996U patent/JPH0429575Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63106134U (ja) | 1988-07-08 |
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