JPH04295813A - 顕微鏡の自動合焦装置 - Google Patents
顕微鏡の自動合焦装置Info
- Publication number
- JPH04295813A JPH04295813A JP8615491A JP8615491A JPH04295813A JP H04295813 A JPH04295813 A JP H04295813A JP 8615491 A JP8615491 A JP 8615491A JP 8615491 A JP8615491 A JP 8615491A JP H04295813 A JPH04295813 A JP H04295813A
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- Japan
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- light
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は照明光中の赤外線を利用
する顕微鏡の自動合焦装置に関する。
する顕微鏡の自動合焦装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】顕微鏡における自動合焦装置としては従
来、■エアー方式、■レーザ方式、■可視光方式等が知
られている。エアー方式は、鏡筒部に付設したノズルか
ら試料表面に吹き出すエアー量が試料との距離によって
変化することを利用して、合焦時には所定の値になるこ
とに基づき、エアー吹出量が所定値となるように鏡筒部
を移動させる方式である。レーザ方式はレーザビームス
ポットを試料表面に投射し、レーザビームスポットが最
も絞り込まれた状態を検出して合焦位置とする方式であ
る。可視光方式は照明用光源の光路中に視野絞りを設け
、該視野絞り像を試料表面に結像させることにより、試
料視野絞り像とのコントラストが最も明瞭となった位置
を合焦位置とする方式である。
来、■エアー方式、■レーザ方式、■可視光方式等が知
られている。エアー方式は、鏡筒部に付設したノズルか
ら試料表面に吹き出すエアー量が試料との距離によって
変化することを利用して、合焦時には所定の値になるこ
とに基づき、エアー吹出量が所定値となるように鏡筒部
を移動させる方式である。レーザ方式はレーザビームス
ポットを試料表面に投射し、レーザビームスポットが最
も絞り込まれた状態を検出して合焦位置とする方式であ
る。可視光方式は照明用光源の光路中に視野絞りを設け
、該視野絞り像を試料表面に結像させることにより、試
料視野絞り像とのコントラストが最も明瞭となった位置
を合焦位置とする方式である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところでエアー方式の
場合は、試料の平坦度が悪いとエアー強度にばらつきが
生じて合焦出来ず、また、レーザ方式，可視光方式は試
料表面のパターン模様のコントラストが大きい場合、或
いは反射率が変化する場合には合焦が難しく、更にエア
ー方式、レーザ方式は合焦のためのエアーノズル、レー
ザビーム発生器等を必要とするため設備が大嵩化、複雑
化する等の問題があった。本発明はかかる事情に鑑みな
されたものであって、その目的とするところは照明光中
の赤外線を利用して試料表面の性状に影響されることな
く、正確、且つ迅速な合焦を行い得るようにした顕微鏡
の自動合焦装置を提供するにある。
場合は、試料の平坦度が悪いとエアー強度にばらつきが
生じて合焦出来ず、また、レーザ方式，可視光方式は試
料表面のパターン模様のコントラストが大きい場合、或
いは反射率が変化する場合には合焦が難しく、更にエア
ー方式、レーザ方式は合焦のためのエアーノズル、レー
ザビーム発生器等を必要とするため設備が大嵩化、複雑
化する等の問題があった。本発明はかかる事情に鑑みな
されたものであって、その目的とするところは照明光中
の赤外線を利用して試料表面の性状に影響されることな
く、正確、且つ迅速な合焦を行い得るようにした顕微鏡
の自動合焦装置を提供するにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明に係る顕微鏡の自
動合焦装置は、観察試料の照明用光源の光を鏡筒部を通
して試料表面に照射し、試料表面からの反射光を観察す
るようにした顕微鏡の自動合焦装置において、鏡筒部を
予め定めた範囲内で観察試料に対しその前進限又は後退
限から後退限又は前進限迄移動した後、続いて前進限又
は後退限側に向けて移動させる手段と、前記光源からの
光から赤外線を分光する手段と、分光した赤外線をスリ
ットを通して試料表面に照射する手段と、試料表面から
反射した赤外線強度を逐次検出する手段と、検出値のう
ちピーク値をホールドする手段と、ピーク値とその後検
出値とが一致したとき、鏡筒部の移動を停止する手段と
を具備することを特徴とする。
動合焦装置は、観察試料の照明用光源の光を鏡筒部を通
して試料表面に照射し、試料表面からの反射光を観察す
るようにした顕微鏡の自動合焦装置において、鏡筒部を
予め定めた範囲内で観察試料に対しその前進限又は後退
限から後退限又は前進限迄移動した後、続いて前進限又
は後退限側に向けて移動させる手段と、前記光源からの
光から赤外線を分光する手段と、分光した赤外線をスリ
ットを通して試料表面に照射する手段と、試料表面から
反射した赤外線強度を逐次検出する手段と、検出値のう
ちピーク値をホールドする手段と、ピーク値とその後検
出値とが一致したとき、鏡筒部の移動を停止する手段と
を具備することを特徴とする。
【０００５】
【作用】本発明にあってはこれによって、試料に熱的影
響を与えることがなく、また照明用光源の光中における
赤外線を合焦用に利用し得て正確な合焦動作を行うこと
が可能となる。
響を与えることがなく、また照明用光源の光中における
赤外線を合焦用に利用し得て正確な合焦動作を行うこと
が可能となる。
【０００６】
【実施例】以下本発明をその実施例を示す図面に基づき
具体的に説明する。図１は本発明に係る顕微鏡の自動合
焦装置を示す模式図であり、図中１は顕微鏡の鏡筒部、
Ｓは金属片等の試料を示している。
具体的に説明する。図１は本発明に係る顕微鏡の自動合
焦装置を示す模式図であり、図中１は顕微鏡の鏡筒部、
Ｓは金属片等の試料を示している。
【０００７】鏡筒部１の下端部には試料Ｓと対向する対
物レンズ系２が、また上端部には接眼レンズ系３が設け
られ、この接眼レンズ系３に対向させてカメラ４が装着
されている。更に、鏡筒部１の中間部にはハロゲンラン
プ等で構成された照明用の光源５及びこの光源５からの
光を試料Ｓ表面に投射し、また光源５からの赤外線を利
用して合焦位置を検出する合焦位置検出部６を備え、全
体をコントローラ８，駆動部９を介してステッピングモ
ータ等で構成される駆動源７により、試料Ｓに対し垂直
軸方向に昇降移動させて合焦位置に移動位置決めされる
ようになっている。なお、駆動源７はカップリング、又
はタイミングベルト等により鏡筒部の微動軸等に連結せ
しめられている。
物レンズ系２が、また上端部には接眼レンズ系３が設け
られ、この接眼レンズ系３に対向させてカメラ４が装着
されている。更に、鏡筒部１の中間部にはハロゲンラン
プ等で構成された照明用の光源５及びこの光源５からの
光を試料Ｓ表面に投射し、また光源５からの赤外線を利
用して合焦位置を検出する合焦位置検出部６を備え、全
体をコントローラ８，駆動部９を介してステッピングモ
ータ等で構成される駆動源７により、試料Ｓに対し垂直
軸方向に昇降移動させて合焦位置に移動位置決めされる
ようになっている。なお、駆動源７はカップリング、又
はタイミングベルト等により鏡筒部の微動軸等に連結せ
しめられている。
【０００８】図２は照明用光源５及び合焦位置検出部６
を拡大して示す模式的平面図である。光源５としてはハ
ロゲンランプ等の白色光源ランプが用いられており、そ
の光中には可視光線と共に赤外線をも含んでいる。光源
５からの光は筒体３１内を導かれてコンデンサーレンズ
系１０にて集光されて平行光線として、筒体３１内の合
焦位置検出部６を構成するダイクロイックミラー１１に
投射される。ダイクロイックミラー１１はコンデンサー
レンズ系１０にて集光された光の光路中に所定角度傾斜
させて設置されており、光源５からの光のうち可視光線
はダイクロイックミラー１１を通過し、一方赤外線は反
射される。
を拡大して示す模式的平面図である。光源５としてはハ
ロゲンランプ等の白色光源ランプが用いられており、そ
の光中には可視光線と共に赤外線をも含んでいる。光源
５からの光は筒体３１内を導かれてコンデンサーレンズ
系１０にて集光されて平行光線として、筒体３１内の合
焦位置検出部６を構成するダイクロイックミラー１１に
投射される。ダイクロイックミラー１１はコンデンサー
レンズ系１０にて集光された光の光路中に所定角度傾斜
させて設置されており、光源５からの光のうち可視光線
はダイクロイックミラー１１を通過し、一方赤外線は反
射される。
【０００９】ダイクロイックミラー１１を通過した可視
光線はダイクロイックミラー１１と同じ向きに配設した
ダイクロイックミラー１２， ９０゜向きを変えたハー
フミラー１３を通して同軸反射ハーフミラー１８に達し
、一方ダイクロイックミラー１１で反射された赤外線は
ダイクロイックミラー１１に対向させたバイパス光学系
を構成する反射ミラー１４にて反射せしめられた後、赤
外線透過フィルタ１５で残留可視光線を除去された後、
図３に示す如きＸ字状のスリット１６を経、反射ミラー
１７で９０°進路変更され、ハーフミラー１３にて更に
９０°進路を変更され、ハーフミラー１３を透過した可
視光線と共に同軸反射ハーフミラー１８に入射する。
光線はダイクロイックミラー１１と同じ向きに配設した
ダイクロイックミラー１２， ９０゜向きを変えたハー
フミラー１３を通して同軸反射ハーフミラー１８に達し
、一方ダイクロイックミラー１１で反射された赤外線は
ダイクロイックミラー１１に対向させたバイパス光学系
を構成する反射ミラー１４にて反射せしめられた後、赤
外線透過フィルタ１５で残留可視光線を除去された後、
図３に示す如きＸ字状のスリット１６を経、反射ミラー
１７で９０°進路変更され、ハーフミラー１３にて更に
９０°進路を変更され、ハーフミラー１３を透過した可
視光線と共に同軸反射ハーフミラー１８に入射する。
【００１０】同軸反射ハーフミラー１８に入射した可視
光線及び赤外線はここで反射されて顕微鏡光学系を構成
する鏡筒部１内に導入され、その光軸に沿って進み、対
物レンズ系２を経て試料Ｓ表面に投射せしめられ、可視
光線は試料Ｓ表面、換言すれば顕微鏡視野を一様に照射
する。
光線及び赤外線はここで反射されて顕微鏡光学系を構成
する鏡筒部１内に導入され、その光軸に沿って進み、対
物レンズ系２を経て試料Ｓ表面に投射せしめられ、可視
光線は試料Ｓ表面、換言すれば顕微鏡視野を一様に照射
する。
【００１１】試料Ｓ表面から反射せしめられた可視光線
及び赤外線は再び対物レンズ系２を経て同軸反射ハーフ
ミラー１８に達し、可視光線は同軸反射ハーフミラー１
８、更に図示しない赤外カットフィルタを透過してカメ
ラ４に入射し、試料Ｓ表面の拡大像を結像させる。
及び赤外線は再び対物レンズ系２を経て同軸反射ハーフ
ミラー１８に達し、可視光線は同軸反射ハーフミラー１
８、更に図示しない赤外カットフィルタを透過してカメ
ラ４に入射し、試料Ｓ表面の拡大像を結像させる。
【００１２】一方、赤外線は同軸反射ハーフミラー１８
にて光量のその略５０％が反射され、ハーフミラー１３
を透過し、ダイクロイックミラー１２にて反射され、赤
外線透過フィルタ１９を透過し、図３に示したのと同様
のＸ字形のスリット２０を透過してフォトディテクター
２３に入射せしめられる。
にて光量のその略５０％が反射され、ハーフミラー１３
を透過し、ダイクロイックミラー１２にて反射され、赤
外線透過フィルタ１９を透過し、図３に示したのと同様
のＸ字形のスリット２０を透過してフォトディテクター
２３に入射せしめられる。
【００１３】スリット１６とスリット２０とは試料Ｓ表
面に対し光量距離が等しくなるよう設定され、またスリ
ット１６の像が試料Ｓで反射された後スリット２０に入
射したとき、スリット１６のＸ字形の像と対応するよう
スリット２０の姿勢を定めて、可視光線が鏡筒部１の接
眼レンズ系３にて合焦位置に結像したときはスリット１
６の像がスリット２０のＸ字形と１：１に相対応するよ
う設定してあり、合焦位置にあるときはスリット２０を
通過する赤外線量が最も大きく、合焦位置からのずれが
大きくなるに従ってスリット１６の像はスリット２０よ
りも拡大された状態でスリット２０に入射せしめられる
こととなって、それだけスリット２０を透過する赤外線
量が急激に減少されてゆくこととなる。
面に対し光量距離が等しくなるよう設定され、またスリ
ット１６の像が試料Ｓで反射された後スリット２０に入
射したとき、スリット１６のＸ字形の像と対応するよう
スリット２０の姿勢を定めて、可視光線が鏡筒部１の接
眼レンズ系３にて合焦位置に結像したときはスリット１
６の像がスリット２０のＸ字形と１：１に相対応するよ
う設定してあり、合焦位置にあるときはスリット２０を
通過する赤外線量が最も大きく、合焦位置からのずれが
大きくなるに従ってスリット１６の像はスリット２０よ
りも拡大された状態でスリット２０に入射せしめられる
こととなって、それだけスリット２０を透過する赤外線
量が急激に減少されてゆくこととなる。
【００１４】特に合焦位置とこれから僅かにずれた位置
とにおける赤外線強度は鋭敏な変化を示すこととなり、
正確な合焦位置の検出が可能となる。スリット１６，２
０ の形状については特にＸ字形に限定するものではな
いが、試料Ｓ表面の光を広く取り込んでより平均的な光
量を取り込める形状が望ましい。
とにおける赤外線強度は鋭敏な変化を示すこととなり、
正確な合焦位置の検出が可能となる。スリット１６，２
０ の形状については特にＸ字形に限定するものではな
いが、試料Ｓ表面の光を広く取り込んでより平均的な光
量を取り込める形状が望ましい。
【００１５】図４はディテクター２２， コントローラ
８，駆動部９，駆動源７等にて構成される合焦制御系を
示すブロック図であり、ディテクター２２はフォトダイ
オード等のフォトディテクター２３， プリアンプ２４
， ピークホールド２５， 比較器２６で構成し、フォ
トディテクター２３に入射された赤外線はフォトディテ
クター２３で光起電流を生起させ、この光起電流は電圧
変換された後プリアンプ２４に入力され、更に増幅され
て比較器２６の一方の入力端へ入力されると共に、ピー
クホールド２５へ入力される。ピークホールド２５は入
力された電気信号のうち最大の信号（ピーク値）を記憶
し、これを比較器２６の他方の入力端へ入力する。
８，駆動部９，駆動源７等にて構成される合焦制御系を
示すブロック図であり、ディテクター２２はフォトダイ
オード等のフォトディテクター２３， プリアンプ２４
， ピークホールド２５， 比較器２６で構成し、フォ
トディテクター２３に入射された赤外線はフォトディテ
クター２３で光起電流を生起させ、この光起電流は電圧
変換された後プリアンプ２４に入力され、更に増幅され
て比較器２６の一方の入力端へ入力されると共に、ピー
クホールド２５へ入力される。ピークホールド２５は入
力された電気信号のうち最大の信号（ピーク値）を記憶
し、これを比較器２６の他方の入力端へ入力する。
【００１６】比較器２６はピークホールド２５からのピ
ーク値とその後の赤外線強度の検出値との差を求め、そ
の差から差が小さくなるに従って駆動源７であるステッ
プモータの駆動速度を漸次低下するよう駆動部９を通じ
て駆動源７に制御信号を出力するようになっている。２
８は信号線、２９は電源線である。
ーク値とその後の赤外線強度の検出値との差を求め、そ
の差から差が小さくなるに従って駆動源７であるステッ
プモータの駆動速度を漸次低下するよう駆動部９を通じ
て駆動源７に制御信号を出力するようになっている。２
８は信号線、２９は電源線である。
【００１７】図５は鏡筒部１の合焦動作パターンを示す
説明図であり、横軸に時間を、また縦軸に鏡筒部１の位
置をとって示してある。いま鏡筒部１が合焦位置Ｏに対
し、若干上方にずれた■の位置にある状態において合焦
動作を行なわせたとすると、次のようになる。先ず光源
５を点灯し、コントローラ８，駆動部９によって駆動源
７を駆動し、予め顕微鏡倍率に合わせて定めたサーチ範
囲Ｌの上限Ｌｍａｘ と下限Ｌｍｉｎ との範囲内にお
いて、先ず鏡筒部１を上昇移動させる。
説明図であり、横軸に時間を、また縦軸に鏡筒部１の位
置をとって示してある。いま鏡筒部１が合焦位置Ｏに対
し、若干上方にずれた■の位置にある状態において合焦
動作を行なわせたとすると、次のようになる。先ず光源
５を点灯し、コントローラ８，駆動部９によって駆動源
７を駆動し、予め顕微鏡倍率に合わせて定めたサーチ範
囲Ｌの上限Ｌｍａｘ と下限Ｌｍｉｎ との範囲内にお
いて、先ず鏡筒部１を上昇移動させる。
【００１８】鏡筒部１が上限Ｌｍａｘ ■に達すると反
転してこれを下降し、下限Ｌｍｉｎ ■迄移動させる。 これによって鏡筒部１は途中少なくとも１度は合焦位置
Ｏを通過することとなる。従ってこの間光源５を点灯し
、その光をダイクロイックミラー１１にて可視光線と赤
外線とに分光し、赤外線をスリット１６を通して試料Ｓ
表面に投射し、そこからの反射光を再びスリット２０を
通してディテクター２２に導き、赤外線強度を検出する
と、合焦位置Ｏを通過する時点でピーク値が検出され、
ピークホールド２５にホールドされた状態となる。
転してこれを下降し、下限Ｌｍｉｎ ■迄移動させる。 これによって鏡筒部１は途中少なくとも１度は合焦位置
Ｏを通過することとなる。従ってこの間光源５を点灯し
、その光をダイクロイックミラー１１にて可視光線と赤
外線とに分光し、赤外線をスリット１６を通して試料Ｓ
表面に投射し、そこからの反射光を再びスリット２０を
通してディテクター２２に導き、赤外線強度を検出する
と、合焦位置Ｏを通過する時点でピーク値が検出され、
ピークホールド２５にホールドされた状態となる。
【００１９】次にコントローラ８，駆動部９にて駆動源
７を正転させ、再び鏡筒部１を上昇させる過程で、ピー
クホールド２５にホールドされているピーク値を基準値
として漸次検出される赤外線強度の検出値との差を求め
、その差が減少してゆくに従って駆動源７の速度を低下
させる速度制御を行い、検出値がピーク値に一致した時
点でコントローラ８から停止信号が出力され、鏡筒部１
は合焦位置で正確に停止せしめられる。
７を正転させ、再び鏡筒部１を上昇させる過程で、ピー
クホールド２５にホールドされているピーク値を基準値
として漸次検出される赤外線強度の検出値との差を求め
、その差が減少してゆくに従って駆動源７の速度を低下
させる速度制御を行い、検出値がピーク値に一致した時
点でコントローラ８から停止信号が出力され、鏡筒部１
は合焦位置で正確に停止せしめられる。
【００２０】従ってこの状態でカメラ４により撮影を行
なえば鮮明な写真が得られることとなる。このような本
発明装置にあっては試料の反射率差が１：１０〜１０：
１程度まで適用が可能であることが確かめられた。なお
実施例は一の光源５を用いてこれを分光する構成につい
て説明したが、何らこれに限らず個別の光源を用いても
よく、例えば合焦用光源としてはレーザーダイオード，
発光ダイオード，タングステンランプ等がある。また観
察用光源として赤外光等を用いた場合には合焦用光源と
して可視光を用いることが出来る。
なえば鮮明な写真が得られることとなる。このような本
発明装置にあっては試料の反射率差が１：１０〜１０：
１程度まで適用が可能であることが確かめられた。なお
実施例は一の光源５を用いてこれを分光する構成につい
て説明したが、何らこれに限らず個別の光源を用いても
よく、例えば合焦用光源としてはレーザーダイオード，
発光ダイオード，タングステンランプ等がある。また観
察用光源として赤外光等を用いた場合には合焦用光源と
して可視光を用いることが出来る。
【００２１】
【発明の効果】以上の如く本発明装置にあっては、観察
試料の照明用光源の光から赤外線を分光し、これを試料
表面に投射し、その反射赤外線強度を検出して、検出値
のうちのピーク値をホールドし、これをその後の検出値
と比較し、一致した時点で鏡筒部の移動を停止せしめる
こととしているから、試料に熱的影響を与えることなく
、また観察像に影響を与えることなく、しかも照明用光
源の光を合焦用に利用するから構成が簡略化され、鏡筒
部を合焦位置に正確に、しかも迅速に設定し得る優れた
効果を奏するものである。
試料の照明用光源の光から赤外線を分光し、これを試料
表面に投射し、その反射赤外線強度を検出して、検出値
のうちのピーク値をホールドし、これをその後の検出値
と比較し、一致した時点で鏡筒部の移動を停止せしめる
こととしているから、試料に熱的影響を与えることなく
、また観察像に影響を与えることなく、しかも照明用光
源の光を合焦用に利用するから構成が簡略化され、鏡筒
部を合焦位置に正確に、しかも迅速に設定し得る優れた
効果を奏するものである。
【図１】顕微鏡の自動合焦装置を示す模式図である。
【図２】照明用光源，合焦位置検出部を拡大して示す模
式図である。
式図である。
【図３】スリットの平面図である。
【図４】合焦制御系を示すブロック図である。
【図５】合焦動作パターンを示す説明図である。
１ 鏡筒部
２ 対物レンズ系
３ 接眼レンズ系
４ カメラ
５ 光源
６ 合焦位置検出部
７ 駆動源
８ コントローラ
９ 駆動部
１０ コンデンサーレンズ
１１ ダイクロイックミラー１２
ダイクロイックミラー１３ ハーフミラー １４ 反射ミラー １５ 赤外線透過フィルタ １６ スリット １７ 反射ミラー １８ 同軸反射ハーフミラー１９
赤外線透過フィルタ ２０ スリット ２２ ディテクター ２３ フォトディテクター ２４ プリアンプ ２５ ピークホールド ２６ 比較器
ダイクロイックミラー１３ ハーフミラー １４ 反射ミラー １５ 赤外線透過フィルタ １６ スリット １７ 反射ミラー １８ 同軸反射ハーフミラー１９
赤外線透過フィルタ ２０ スリット ２２ ディテクター ２３ フォトディテクター ２４ プリアンプ ２５ ピークホールド ２６ 比較器
Claims (1)
- 【請求項１】 観察試料の照明用光源の光を鏡筒部を
通して試料表面に照射し、試料表面からの反射光を観察
するようにした顕微鏡の自動合焦装置において、鏡筒部
を予め定めた範囲内で観察試料に対しその前進限又は後
退限から後退限又は前進限迄移動した後、続いて前進限
又は後退限側に向けて移動させる手段と、前記光源から
の光から赤外線を分光する手段と、分光した赤外線をス
リットを通して試料表面に照射する手段と、試料表面か
ら反射した赤外線強度を逐次検出する手段と、検出値の
うちピーク値をホールドする手段と、ピーク値とその後
検出値とが一致したとき、鏡筒部の移動を停止する手段
とを具備することを特徴とする顕微鏡の自動合焦装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3086154A JPH0827424B2 (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 顕微鏡の自動合焦装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3086154A JPH0827424B2 (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 顕微鏡の自動合焦装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04295813A true JPH04295813A (ja) | 1992-10-20 |
| JPH0827424B2 JPH0827424B2 (ja) | 1996-03-21 |
Family
ID=13878826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3086154A Expired - Lifetime JPH0827424B2 (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 顕微鏡の自動合焦装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0827424B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0560966A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-03-12 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | オートフオーカス機能を持つ結像装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55108635A (en) * | 1979-02-15 | 1980-08-21 | Asahi Optical Co Ltd | Automatic focus indicator of camera |
| JPS60111352A (ja) * | 1983-11-18 | 1985-06-17 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 光ディスク装置のフォ−カスサ−ボ引き込み装置 |
| JPS60118814A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-26 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 落射照明型顕微鏡装置 |
-
1991
- 1991-03-25 JP JP3086154A patent/JPH0827424B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55108635A (en) * | 1979-02-15 | 1980-08-21 | Asahi Optical Co Ltd | Automatic focus indicator of camera |
| JPS60111352A (ja) * | 1983-11-18 | 1985-06-17 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 光ディスク装置のフォ−カスサ−ボ引き込み装置 |
| JPS60118814A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-26 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 落射照明型顕微鏡装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0560966A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-03-12 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | オートフオーカス機能を持つ結像装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0827424B2 (ja) | 1996-03-21 |
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