JPH042969A - フライング・プローブ・ヘッド - Google Patents
フライング・プローブ・ヘッドInfo
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- JPH042969A JPH042969A JP2104954A JP10495490A JPH042969A JP H042969 A JPH042969 A JP H042969A JP 2104954 A JP2104954 A JP 2104954A JP 10495490 A JP10495490 A JP 10495490A JP H042969 A JPH042969 A JP H042969A
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- JP
- Japan
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- coil
- base
- arm
- moving coil
- detector
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- Granted
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 22
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 210000003127 knee Anatomy 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はフライング・プローブ・ヘッド、特に、半導体
を実装する多層配線基板の検査に用いるフライング・プ
ローブ・ヘッドに関する。
を実装する多層配線基板の検査に用いるフライング・プ
ローブ・ヘッドに関する。
従来のフライング・プローブ・ヘットは、一端に平行ハ
ネとプローブを取り付け、他端には永久磁石とヨークか
らなる磁気回路の空隙内を磁束と直角な内面で直線運動
するムービクコイルを有し、フライング・プローブ・ヘ
ット全体を保持するスライド・レールとを含んで構成さ
れる。
ネとプローブを取り付け、他端には永久磁石とヨークか
らなる磁気回路の空隙内を磁束と直角な内面で直線運動
するムービクコイルを有し、フライング・プローブ・ヘ
ット全体を保持するスライド・レールとを含んで構成さ
れる。
次に従来のフライング・プローブ・ヘッドについて図面
を参照して詳細に説明する。
を参照して詳細に説明する。
第２図は従来のフライング プローブ・ヘッドの一例を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
フライング・プローブ・ヘッド本体］、 Ｏ］の−端に
はプローブ１０３、他端には箱型のムービングコイル］
０４が取り付けられている。ヘット本体］０１はスライ
ド・レール］、 ０２に従い図中矢印Ａのように直線運
動し、被検査物（多層配線基板）１０９のパラ）〜１０
０に当たる。ヨーク１５２はト〕の字の右側を上にした
形状で、永久磁石１５１はその両側の突起の上部の内側
に位置して磁気回路１０５を構成している。
はプローブ１０３、他端には箱型のムービングコイル］
０４が取り付けられている。ヘット本体］０１はスライ
ド・レール］、 ０２に従い図中矢印Ａのように直線運
動し、被検査物（多層配線基板）１０９のパラ）〜１０
０に当たる。ヨーク１５２はト〕の字の右側を上にした
形状で、永久磁石１５１はその両側の突起の上部の内側
に位置して磁気回路１０５を構成している。
箱型のノ＼−ヒンクコイル１０／］はヨーク］５２の中
央の突起を収り巻いていて、その両側の二１イルは磁気
回路１０５の空隙内にあるため、ムービングコイル１０
４に電流を流ずことによりｌ＼ツ１〜本体］（つ１を騒
動出来る。上下速度を犬きくするとパラＦ １００へ当
る衝撃が大きくなりパラ１〜１００か損傷するなめ、平
行ハネ１］を設けである。
央の突起を収り巻いていて、その両側の二１イルは磁気
回路１０５の空隙内にあるため、ムービングコイル１０
４に電流を流ずことによりｌ＼ツ１〜本体］（つ１を騒
動出来る。上下速度を犬きくするとパラＦ １００へ当
る衝撃が大きくなりパラ１〜１００か損傷するなめ、平
行ハネ１］を設けである。
しかし、平行バネ］１の力の強さは通常固定でありパラ
１〜］００の損傷の度合を調整することは困難てあった
。
１〜］００の損傷の度合を調整することは困難てあった
。
」−述した従来のフライング・プローブ・ヘットは、」
−下速度を大きくすると被検査物の損傷が大きくなり、
損傷の度合を調整することは困知であるという欠点があ
った。
−下速度を大きくすると被検査物の損傷が大きくなり、
損傷の度合を調整することは困知であるという欠点があ
った。
本発明のフライング プローブ ヘットは、端にプロー
ブを取り（＋ ＋−３池端に揺動中心を有する揺動アー
ムと、前記プローブと他端の揺動中心との間に位置する
第一のムービングコイルと、前記第一の１８−ピンクコ
イルの位置を検出する位置検出器と、面層揺動中心の軸
受けを保持する第一めｌ＼−スと、ｒｉ記第−・のベー
スを支えるスタイ１〜レールと、萌記第−のベースに設
（−ラられる第７−のムービングコイルと、前記スライ
１〜 レールを保持する第二のベースと、前記第二のベ
ース上に位置し第一の〕＼−ヒンクコイルと第二のムー
ビングコイルとに磁束をＩｊ−える磁気回路とを含んで
構成される。
ブを取り（＋ ＋−３池端に揺動中心を有する揺動アー
ムと、前記プローブと他端の揺動中心との間に位置する
第一のムービングコイルと、前記第一の１８−ピンクコ
イルの位置を検出する位置検出器と、面層揺動中心の軸
受けを保持する第一めｌ＼−スと、ｒｉ記第−・のベー
スを支えるスタイ１〜レールと、萌記第−のベースに設
（−ラられる第７−のムービングコイルと、前記スライ
１〜 レールを保持する第二のベースと、前記第二のベ
ース上に位置し第一の〕＼−ヒンクコイルと第二のムー
ビングコイルとに磁束をＩｊ−える磁気回路とを含んで
構成される。
次に、本発明の一実施例について、図面を参照して詳細
に説明する。
に説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図である。
揺動アーム１は揺動軸２の周りに図中矢印Ｂのように揺
動可能であり、揺動アーム１の位置を位置検出器５で検
出する。揺動アーム］の一端にはプローブ３、他端の揺
動軸２との間には第一のムービングコイル４１が取りイ
」けられている。揺動軸２は第一のベース６で支えられ
ている。第一のベース６は第二のムービングコイル４２
を有しスクイ１ヘレール７によって第二のベース８に収
りつけである。
動可能であり、揺動アーム１の位置を位置検出器５で検
出する。揺動アーム］の一端にはプローブ３、他端の揺
動軸２との間には第一のムービングコイル４１が取りイ
」けられている。揺動軸２は第一のベース６で支えられ
ている。第一のベース６は第二のムービングコイル４２
を有しスクイ１ヘレール７によって第二のベース８に収
りつけである。
第一のムービングコイル４］と第二のムービングコイル
４２は、これらを挟む１対の磁石５２とＥ型のヨーク６
２とからなる同し磁気回路５６の中に位置する。すなわ
ち、磁気回路５６は第−ニーのベース８に取り付けてあ
り、スクイ１ヘレールフ上に乗った第二、のムービング
コイル４２、第一のベース６を動かず駆動力源であり、
また第一の１１−ピンクコイル４１、揺動アーム］、プ
ローブ３、位置検出器５を動かす駆動力源となっている
。
４２は、これらを挟む１対の磁石５２とＥ型のヨーク６
２とからなる同し磁気回路５６の中に位置する。すなわ
ち、磁気回路５６は第−ニーのベース８に取り付けてあ
り、スクイ１ヘレールフ上に乗った第二、のムービング
コイル４２、第一のベース６を動かず駆動力源であり、
また第一の１１−ピンクコイル４１、揺動アーム］、プ
ローブ３、位置検出器５を動かす駆動力源となっている
。
第一のノ＼−ヒンクコイル４１に流ず電流は位置検出器
５により知り得な位置を保持する様、制御する。第一二
のムービングコイル４２はスライ１へレール７に従い図
中矢印のように直線運動し７、被検査物（多層配線基板
）９のパラｌ” ］ Ｏに当たる。この時揺動アーム１
は第一のムービングコイル４１に流す電流は位置検出器
５により知り得た位置を保持されており、この保持力の
強さか第２図の従来例に示しｌ：平行ハネ］］１の強さ
に４１１当する。
５により知り得な位置を保持する様、制御する。第一二
のムービングコイル４２はスライ１へレール７に従い図
中矢印のように直線運動し７、被検査物（多層配線基板
）９のパラｌ” ］ Ｏに当たる。この時揺動アーム１
は第一のムービングコイル４１に流す電流は位置検出器
５により知り得た位置を保持されており、この保持力の
強さか第２図の従来例に示しｌ：平行ハネ］］１の強さ
に４１１当する。
本発明のフライング プローブ・ヘラｌ〜は、プローブ
を収り付（つた揺動アームと、この揺動アームに保持力
を与える機構を有するため、上下速度を大きくしたさい
にも被検査物の損傷を小さくするよう、損傷の度合を調
整することか可能であるという効果かある。
を収り付（つた揺動アームと、この揺動アームに保持力
を与える機構を有するため、上下速度を大きくしたさい
にも被検査物の損傷を小さくするよう、損傷の度合を調
整することか可能であるという効果かある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は従来
の一例を示す斜視図である。 ］・揺動アーム、２ 揺動軸、３，１０３・・プローフ
、４］、、／１２，１０４・・・ムービングコイル、５
・・・位置検出器、５６，１０５・・・磁気回路、６．
８・・八、−ス、７．３．０２・・・スライド・レール
９．１．０９・・・被検査物（多層配線基板）、５１］
５］・・・磁石、６２，１５２・・・ヨーク、］０］、
ＯＯ・・パット、１０１・・・ヘッド本体、１１１・
・平行バネ。
の一例を示す斜視図である。 ］・揺動アーム、２ 揺動軸、３，１０３・・プローフ
、４］、、／１２，１０４・・・ムービングコイル、５
・・・位置検出器、５６，１０５・・・磁気回路、６．
８・・八、−ス、７．３．０２・・・スライド・レール
９．１．０９・・・被検査物（多層配線基板）、５１］
５］・・・磁石、６２，１５２・・・ヨーク、］０］、
ＯＯ・・パット、１０１・・・ヘッド本体、１１１・
・平行バネ。
Claims (1)
- 一端にプローブを取り付け他端に揺動中心を有する揺
動アームと、前記プローブと他端の揺動中心との間に位
置する第一のムービングコイルと、前記第一のムービン
グコイルの位置を検出する位置検出器と、前記揺動中心
の軸受けを保持する第一のベースと、前記第一のベース
を支えるスライド・レールと、前記第一のベースに設け
られる第二のムービグコイルと、前記スライド・レール
をベース上に位置し第一のムービングコイルと第二のム
ービングコイルとに磁束を与える磁気回路とを含むこと
を特徴とするフライング・プローブ・ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2104954A JP3008436B2 (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | フライング・プローブ・ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2104954A JP3008436B2 (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | フライング・プローブ・ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH042969A true JPH042969A (ja) | 1992-01-07 |
| JP3008436B2 JP3008436B2 (ja) | 2000-02-14 |
Family
ID=14394489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2104954A Expired - Fee Related JP3008436B2 (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | フライング・プローブ・ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3008436B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0990912A3 (de) * | 1998-09-28 | 2000-06-14 | atg test systems GmbH & Co. KG | Prüfsonde-Antriebsvorrichtung |
| CN103499785A (zh) * | 2013-10-14 | 2014-01-08 | 无锡俊达测试技术服务有限公司 | 一种飞针测试装置 |
| US8646310B2 (en) | 2010-10-13 | 2014-02-11 | Panasonic Corporation | Method for detecting a gas contained in a fluid with use of a gas sensor |
-
1990
- 1990-04-20 JP JP2104954A patent/JP3008436B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0990912A3 (de) * | 1998-09-28 | 2000-06-14 | atg test systems GmbH & Co. KG | Prüfsonde-Antriebsvorrichtung |
| US6344751B1 (en) | 1998-09-28 | 2002-02-05 | Atg Test Systems Gmbh & Co. Kg | Finger tester probe |
| EP1686382A2 (de) | 1998-09-28 | 2006-08-02 | atg test systems GmbH & Co. KG | Prüfsonde-Antriebsvorrichtung |
| EP1686382A3 (de) * | 1998-09-28 | 2009-07-01 | atg Luther & Maelzer GmbH | Prüfsonde-Antriebsvorrichtung |
| US8646310B2 (en) | 2010-10-13 | 2014-02-11 | Panasonic Corporation | Method for detecting a gas contained in a fluid with use of a gas sensor |
| CN103499785A (zh) * | 2013-10-14 | 2014-01-08 | 无锡俊达测试技术服务有限公司 | 一种飞针测试装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3008436B2 (ja) | 2000-02-14 |
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Legal Events
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071203 Year of fee payment: 8 |
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