JPH04299765A - 品質管理システム - Google Patents
品質管理システムInfo
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- JPH04299765A JPH04299765A JP3064934A JP6493491A JPH04299765A JP H04299765 A JPH04299765 A JP H04299765A JP 3064934 A JP3064934 A JP 3064934A JP 6493491 A JP6493491 A JP 6493491A JP H04299765 A JPH04299765 A JP H04299765A
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- computer
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
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- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】〔発明の目的〕
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置等の生産ライ
ンにおける品質管理システムに関するものである。
ンにおける品質管理システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、生産ライン、例えば半導体装置の
生産ラインにおいては、その製品を水準以上の品質に維
持するために計算機ネットワークからなる品質管理シス
テムが組入れられる。この半導体装置の生産ライン及び
その品質管理システムは、一般に、図６に示すように構
成されている。
生産ラインにおいては、その製品を水準以上の品質に維
持するために計算機ネットワークからなる品質管理シス
テムが組入れられる。この半導体装置の生産ライン及び
その品質管理システムは、一般に、図６に示すように構
成されている。
【０００３】この図において、まず、生産ラインはウェ
ーハ製造からウェーハ処理までの前工程Ｐ１ と、前工
程Ｐ１ 直後のウェーハを検査するウェーハテスト工程
Ｔ１ と、組立て工程から以降の後工程Ｐ２ と、後工
程Ｐ２ 直後の製品テスト工程Ｔ２ とからなっている
。
ーハ製造からウェーハ処理までの前工程Ｐ１ と、前工
程Ｐ１ 直後のウェーハを検査するウェーハテスト工程
Ｔ１ と、組立て工程から以降の後工程Ｐ２ と、後工
程Ｐ２ 直後の製品テスト工程Ｔ２ とからなっている
。
【０００４】１Ｐ１，１Ｐ１，…は前工程Ｐ１ に設置
されている各種処理装置や検査装置等の製造装置、２Ｐ
１，２Ｐ１，…は同工程Ｐ１ の製造装置１Ｐ１，１Ｐ
１，…の管理を行う製造装置管理用計算機、１Ｐ２，１
Ｐ２，…は後工程Ｐ２ に設置されている各種処理装置
、組立て装置、検査装置等の製造装置、２Ｐ２は後工程
Ｐ２ の製造装置１Ｐ２，１Ｐ２，…を管理する製造装
置管理用計算機、３Ｔ１，３Ｔ１，…はテスト工程Ｔ１
に設置されているテスタ、４Ｔ１はテスタ３Ｔ１，３
Ｔ１，…からのデータを解析するウェーハテスト用計算
機、３Ｔ２，３Ｔ２，…はテスト工程Ｔ２ に設置され
ているテスタ、４Ｔ２はテスタ３Ｔ２，３Ｔ２，…から
のデータを解析する製品テスト用計算機、５は生産管理
用計算機である。
されている各種処理装置や検査装置等の製造装置、２Ｐ
１，２Ｐ１，…は同工程Ｐ１ の製造装置１Ｐ１，１Ｐ
１，…の管理を行う製造装置管理用計算機、１Ｐ２，１
Ｐ２，…は後工程Ｐ２ に設置されている各種処理装置
、組立て装置、検査装置等の製造装置、２Ｐ２は後工程
Ｐ２ の製造装置１Ｐ２，１Ｐ２，…を管理する製造装
置管理用計算機、３Ｔ１，３Ｔ１，…はテスト工程Ｔ１
に設置されているテスタ、４Ｔ１はテスタ３Ｔ１，３
Ｔ１，…からのデータを解析するウェーハテスト用計算
機、３Ｔ２，３Ｔ２，…はテスト工程Ｔ２ に設置され
ているテスタ、４Ｔ２はテスタ３Ｔ２，３Ｔ２，…から
のデータを解析する製品テスト用計算機、５は生産管理
用計算機である。
【０００５】各工程Ｐ１ ，Ｐ２ ，Ｔ１ ，Ｔ２ に
おける製造装置１Ｐ１，１Ｐ２やテスタ３Ｔ１，３Ｔ２
のスケジューリングは、生産管理用計算機５の指令によ
って各製造装置管理用計算機２Ｐ１，２Ｐ２，４Ｔ１，
４Ｔ２を通じて統括的に管理され、各工程Ｐ１ ，Ｐ２
，Ｔ１ ，Ｔ２ で所定の作業が行われ、全ラインを
通して各種ＬＳＩ等の半導体装置が製造される。
おける製造装置１Ｐ１，１Ｐ２やテスタ３Ｔ１，３Ｔ２
のスケジューリングは、生産管理用計算機５の指令によ
って各製造装置管理用計算機２Ｐ１，２Ｐ２，４Ｔ１，
４Ｔ２を通じて統括的に管理され、各工程Ｐ１ ，Ｐ２
，Ｔ１ ，Ｔ２ で所定の作業が行われ、全ラインを
通して各種ＬＳＩ等の半導体装置が製造される。
【０００６】６はこのようなラインで生産される製品の
品質管理用計算機である。この品質管理用計算機６は品
質管理用データベース７を持ち、この品質管理用データ
ベース７に基づいて各種レポートの作成や分析・統計処
理を行うようになっている。品質管理用データベース７
は各工程Ｐ１ ，Ｐ２ ，Ｔ１，Ｔ２ の製造装置管理
用あるいはテスト用計算機２Ｐ１，２Ｐ２，４Ｔ１，４
Ｔ２から上がってくるデータにより構成されたものであ
る。
品質管理用計算機である。この品質管理用計算機６は品
質管理用データベース７を持ち、この品質管理用データ
ベース７に基づいて各種レポートの作成や分析・統計処
理を行うようになっている。品質管理用データベース７
は各工程Ｐ１ ，Ｐ２ ，Ｔ１，Ｔ２ の製造装置管理
用あるいはテスト用計算機２Ｐ１，２Ｐ２，４Ｔ１，４
Ｔ２から上がってくるデータにより構成されたものであ
る。
【０００７】すなわち、図７に示すように、品質管理用
計算機６には各工程Ｐ１ ，Ｐ２ ，Ｔ１ ，Ｔ２ か
らその計算機２Ｐ１，２Ｐ２，４Ｔ１，４Ｔ２の動作に
より品質管理用データが送られてくるようになっており
、品質管理用計算機６は、この受信データをリアルタイ
ムでチェックしたり、データベース７の中に登録したの
ちにデータ処理ソフト９によって上記各種処理を行い、
その結果を各工程Ｐ１ ，Ｐ２ ，Ｔ１ ，Ｔ２ にフ
ィードバックするようになっている。そのフィードバッ
クデータは各工程Ｐ１ ，Ｐ２ ，Ｔ１ ，Ｔ２ の製
造装置管理用計算機２Ｐ１，２Ｐ２，４Ｔ１，４Ｔ２の
働きで処理条件の調整等により品質維持に反映される。 データベース７の構造は、図８に示すように、品種単位
にサブデータベース７１〜７Ｍを持ち、各サブデータベ
ース７１〜７Ｍ内ではロット単位にデータを持つ、とい
うＴｒｅｅ構造となっている。なお、ここでは全ライン
を通じてＭ品種の製品を製造している場合の構造を示し
ている。
計算機６には各工程Ｐ１ ，Ｐ２ ，Ｔ１ ，Ｔ２ か
らその計算機２Ｐ１，２Ｐ２，４Ｔ１，４Ｔ２の動作に
より品質管理用データが送られてくるようになっており
、品質管理用計算機６は、この受信データをリアルタイ
ムでチェックしたり、データベース７の中に登録したの
ちにデータ処理ソフト９によって上記各種処理を行い、
その結果を各工程Ｐ１ ，Ｐ２ ，Ｔ１ ，Ｔ２ にフ
ィードバックするようになっている。そのフィードバッ
クデータは各工程Ｐ１ ，Ｐ２ ，Ｔ１ ，Ｔ２ の製
造装置管理用計算機２Ｐ１，２Ｐ２，４Ｔ１，４Ｔ２の
働きで処理条件の調整等により品質維持に反映される。 データベース７の構造は、図８に示すように、品種単位
にサブデータベース７１〜７Ｍを持ち、各サブデータベ
ース７１〜７Ｍ内ではロット単位にデータを持つ、とい
うＴｒｅｅ構造となっている。なお、ここでは全ライン
を通じてＭ品種の製品を製造している場合の構造を示し
ている。
【０００８】以上のようなシステムにおいて、品質管理
用計算機６は、各工程Ｐ１ ，Ｐ２ ，Ｔ１ ，Ｔ２
から上がってくるデータをチェックすることにより、不
良品発生検知等の即時性を必要とされる処理を実行する
。これにより、不良品の発生防止を図っているものであ
る。また、品質管理計算機６は、比較的即時性の要求さ
れない、不良品発生率算出、製造装置の性能診断等の統
計処理については、データベース７を使用して行うよう
になっている。その結果は、品質のモニタリング、不良
発生時の原因究明、歩留まり診断、製造装置の保守点検
の必要性判断等に供される。
用計算機６は、各工程Ｐ１ ，Ｐ２ ，Ｔ１ ，Ｔ２
から上がってくるデータをチェックすることにより、不
良品発生検知等の即時性を必要とされる処理を実行する
。これにより、不良品の発生防止を図っているものであ
る。また、品質管理計算機６は、比較的即時性の要求さ
れない、不良品発生率算出、製造装置の性能診断等の統
計処理については、データベース７を使用して行うよう
になっている。その結果は、品質のモニタリング、不良
発生時の原因究明、歩留まり診断、製造装置の保守点検
の必要性判断等に供される。
【０００９】しかしながら、上記従来の品質管理システ
ムは、品質管理データが一括して品質管理用計算機の品
質管理データベースに管理され、品質管理用計算機がシ
ステム全体を集中的に管理するようになっているため、
多数の処理が重なって同時進行となった場合、解析のス
ピードが低下し、即時性の要求される処理に遅れを生ず
るという問題がある。特に、製造工程において、品質管
理データがどの様に変動しているか、を見ることは、工
程管理上、特に不良品発生を未然に防ぐ上で重要な事項
であり、このような事項に支障が出ると、対応に遅れを
生じて不良品多発の虞さえ出てくる。
ムは、品質管理データが一括して品質管理用計算機の品
質管理データベースに管理され、品質管理用計算機がシ
ステム全体を集中的に管理するようになっているため、
多数の処理が重なって同時進行となった場合、解析のス
ピードが低下し、即時性の要求される処理に遅れを生ず
るという問題がある。特に、製造工程において、品質管
理データがどの様に変動しているか、を見ることは、工
程管理上、特に不良品発生を未然に防ぐ上で重要な事項
であり、このような事項に支障が出ると、対応に遅れを
生じて不良品多発の虞さえ出てくる。
【００１０】また、品質管理用データベース７が品種別
のＴｒｅｅ構造となっているために、品種をキーにして
の検索は効率的に実行することができるものの、他の項
目、例えば製造装置をキーにして検索する場合、品種数
分だけ同じような検索を繰返し、関係のないデータまで
全てアクセスしなければならず、その分、検索に長時間
を要することとなっている。この点においても、従来の
システムは解析のスピードを低下させることとなってい
る。
のＴｒｅｅ構造となっているために、品種をキーにして
の検索は効率的に実行することができるものの、他の項
目、例えば製造装置をキーにして検索する場合、品種数
分だけ同じような検索を繰返し、関係のないデータまで
全てアクセスしなければならず、その分、検索に長時間
を要することとなっている。この点においても、従来の
システムは解析のスピードを低下させることとなってい
る。
【００１１】さらに、品質管理用計算機による集中管理
であるがため、この計算機がダウンすると、データ収集
や解析処理等の品質管理処理が全て痲痺してしまうとい
う問題もある。
であるがため、この計算機がダウンすると、データ収集
や解析処理等の品質管理処理が全て痲痺してしまうとい
う問題もある。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】以上のように従来の品
質管理システムにあっては、システム全体を品質管理用
計算機により集中的に管理し、また品質管理用データベ
ースがＴｒｅｅ構造となっているために、処理スピード
の低下を招くとともに、管理自体の痲痺を生ずる虞があ
る。
質管理システムにあっては、システム全体を品質管理用
計算機により集中的に管理し、また品質管理用データベ
ースがＴｒｅｅ構造となっているために、処理スピード
の低下を招くとともに、管理自体の痲痺を生ずる虞があ
る。
【００１３】本発明は上記従来技術の有する問題点に鑑
みてなされたもので、その目的とするところは、処理ス
ピードの向上を達成することができるとともに、障害時
にも全体が停止することがなく管理の麻痺状態を極力避
けることができる品質管理システムを提供することにあ
る。
みてなされたもので、その目的とするところは、処理ス
ピードの向上を達成することができるとともに、障害時
にも全体が停止することがなく管理の麻痺状態を極力避
けることができる品質管理システムを提供することにあ
る。
【００１４】〔発明の構成〕
【課題を解決するための手段】本発明の品質管理システ
ムは、製造プロセスを構成する複数の工程それぞれに対
応して設置され、第１のデータ部と第２のデータ部とを
含む工程内データを発生する工程内データ発生装置と、
上記複数の工程それぞれに対応して設置され、対応する
工程の工程内データ発生装置から出力される工程内デー
タを集めた工程内データベースを保管するとともに、対
応する工程内の管理を行う工程内管理計算機と、この複
数の工程内管理計算機に対するホスト計算機として設置
され、上記複数の工程全ての第１のデータ部を集めた統
合データベースを保管するとともに、かかる複数の工程
の２以上にまたがる管理を行う統合管理計算機とを備え
、品質管理システムをネットワーク化された分散処理シ
ステムとして構成し、データベースも各計算機で分散型
リレーショナルデータベースとして管理するようにした
ものである。
ムは、製造プロセスを構成する複数の工程それぞれに対
応して設置され、第１のデータ部と第２のデータ部とを
含む工程内データを発生する工程内データ発生装置と、
上記複数の工程それぞれに対応して設置され、対応する
工程の工程内データ発生装置から出力される工程内デー
タを集めた工程内データベースを保管するとともに、対
応する工程内の管理を行う工程内管理計算機と、この複
数の工程内管理計算機に対するホスト計算機として設置
され、上記複数の工程全ての第１のデータ部を集めた統
合データベースを保管するとともに、かかる複数の工程
の２以上にまたがる管理を行う統合管理計算機とを備え
、品質管理システムをネットワーク化された分散処理シ
ステムとして構成し、データベースも各計算機で分散型
リレーショナルデータベースとして管理するようにした
ものである。
【００１５】
【作用】本発明によれば、各工程に管理用計算機を置き
、各工程内管理用計算機で各工程内の処理を行うように
することにより、各工程における処理スピードが向上す
るとともに、この各工程内の処理に使用するデータを工
程内データベースとして手元に置き、これを各工程専用
の工程内管理用計算機で任意にアクセスし使用するよう
にすることで、各工程内処理がよりスムースになり、総
じて即時性が向上することとなる。
、各工程内管理用計算機で各工程内の処理を行うように
することにより、各工程における処理スピードが向上す
るとともに、この各工程内の処理に使用するデータを工
程内データベースとして手元に置き、これを各工程専用
の工程内管理用計算機で任意にアクセスし使用するよう
にすることで、各工程内処理がよりスムースになり、総
じて即時性が向上することとなる。
【００１６】また、このように分散処理システムとして
構成し、各工程内データを各工程で管理するようになっ
ているため、例え統合管理計算機や他の工程内計算機に
障害が発生しても、即、管理の麻痺となることを防止す
ることができる。
構成し、各工程内データを各工程で管理するようになっ
ているため、例え統合管理計算機や他の工程内計算機に
障害が発生しても、即、管理の麻痺となることを防止す
ることができる。
【００１７】
【実施例】以下に本発明の実施例について図面を参照し
つつ説明する。図１は本発明の一実施例に係る品質管理
システムの構成を示すものである。ｐ１ 〜ｐｎ は上
記と対応させれば前工程Ｐ１ から後工程Ｐ２ までの
プロセスを構成するものとなる各工程、Ｔは全テストを
総括して示したテスト工程である。なお、以下の説明で
ｐｍ は、工程ｐ１ 〜ｐｎ のうちのいずれか一つを
指すこととする。
つつ説明する。図１は本発明の一実施例に係る品質管理
システムの構成を示すものである。ｐ１ 〜ｐｎ は上
記と対応させれば前工程Ｐ１ から後工程Ｐ２ までの
プロセスを構成するものとなる各工程、Ｔは全テストを
総括して示したテスト工程である。なお、以下の説明で
ｐｍ は、工程ｐ１ 〜ｐｎ のうちのいずれか一つを
指すこととする。
【００１８】まず、１ｐｍ，１ｐｍ，…は製造工程ｐｍ
に設置されている各種処理装置、組立て装置、検査装
置等の製造装置、１０ｐｍは各製造工程ｐｍ における
製造装置１ｐｍ，１ｐｍ，…の管理を行う製造装置管理
用計算機、１１ｐｍ，１１ｐｍ，…は製造工程ｐｍ 専
用の工程内管理用計算機、１２ｐｍは工程内管理用計算
機１１ｐｍが保管する工程内データベース、１３ｐｍは
工程内管理用計算機１１ｐｍに接続されたコンソール、
３Ｔ ，３Ｔ ，…はテスト工程Ｔに設置されている各
種テスタ、１４Ｔ はテスタ３Ｔ ，３Ｔ ，…を管理
するテスト管理用計算機、１５Ｔ はテスト管理用計算
機１４Ｔ が保管するテスト工程データベース、１６は
生産管理用計算機、１７は統合計算機、１８統合計算機
１７が保管する統合データベース、１９は解析専用ＥＷ
Ｓ（Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ Ｗｏｒｋ Ｓｔａｔｉｏ
ｎ）である。
に設置されている各種処理装置、組立て装置、検査装
置等の製造装置、１０ｐｍは各製造工程ｐｍ における
製造装置１ｐｍ，１ｐｍ，…の管理を行う製造装置管理
用計算機、１１ｐｍ，１１ｐｍ，…は製造工程ｐｍ 専
用の工程内管理用計算機、１２ｐｍは工程内管理用計算
機１１ｐｍが保管する工程内データベース、１３ｐｍは
工程内管理用計算機１１ｐｍに接続されたコンソール、
３Ｔ ，３Ｔ ，…はテスト工程Ｔに設置されている各
種テスタ、１４Ｔ はテスタ３Ｔ ，３Ｔ ，…を管理
するテスト管理用計算機、１５Ｔ はテスト管理用計算
機１４Ｔ が保管するテスト工程データベース、１６は
生産管理用計算機、１７は統合計算機、１８統合計算機
１７が保管する統合データベース、１９は解析専用ＥＷ
Ｓ（Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ Ｗｏｒｋ Ｓｔａｔｉｏ
ｎ）である。
【００１９】製造装置管理用計算機１０ｐｍは、図２に
示すように、一つの半導体製品の処理ごとに発生するプ
ロセスデータを品質データとして工程内管理用計算機１
１ｐｍに与える。この工程内管理用計算機１１ｐｍは、
管理用データとして、工程内データベース１２ｐｍとス
ペックマスタ２１と装置群マスタ２２とを有する。工程
内データベース１２ｐｍは装置群単位で整理された装置
群テーブル１２ｐｍＡ ，１２ｐｍＢ ，…からなって
おり、図３に示すようなフォーマットを有する。この図
に示すように、装置群テーブル１２ｐｍＡ ，１２ｐｍ
Ｂ ，…は作業実績データ部と実データ部とから構成さ
れている。作業実績データ部は検索時の索引となるよう
な項目からなり、ここでは品種名、工程、ロットＮｏ．
、作業時間、装置Ｎｏ．、作業者、課コードを含んでお
り、各製品処理の実績を示すものとなる。実データ部は
実際に製造装置で扱われたデータからなり、ここでは、
温度データ、流量データ、電圧データ、電流データ、時
間データ等を含んでいる。スペックマスタ２１は異常検
知用のデータを格納するものであり、装置群マスタ２２
は工程内データベース１２ｐｍにおける装置群ごとの品
質データ登録場所を格納するものである。
示すように、一つの半導体製品の処理ごとに発生するプ
ロセスデータを品質データとして工程内管理用計算機１
１ｐｍに与える。この工程内管理用計算機１１ｐｍは、
管理用データとして、工程内データベース１２ｐｍとス
ペックマスタ２１と装置群マスタ２２とを有する。工程
内データベース１２ｐｍは装置群単位で整理された装置
群テーブル１２ｐｍＡ ，１２ｐｍＢ ，…からなって
おり、図３に示すようなフォーマットを有する。この図
に示すように、装置群テーブル１２ｐｍＡ ，１２ｐｍ
Ｂ ，…は作業実績データ部と実データ部とから構成さ
れている。作業実績データ部は検索時の索引となるよう
な項目からなり、ここでは品種名、工程、ロットＮｏ．
、作業時間、装置Ｎｏ．、作業者、課コードを含んでお
り、各製品処理の実績を示すものとなる。実データ部は
実際に製造装置で扱われたデータからなり、ここでは、
温度データ、流量データ、電圧データ、電流データ、時
間データ等を含んでいる。スペックマスタ２１は異常検
知用のデータを格納するものであり、装置群マスタ２２
は工程内データベース１２ｐｍにおける装置群ごとの品
質データ登録場所を格納するものである。
【００２０】工程管理用計算機１１ｐｍは、データ通信
機能２３により製造装置管理用計算機１０ｐｍからの品
質データをオンラインで受信し、チェック機能２５によ
りその受信品質データ２４とスペックマスタ２３の管理
データとを比較し異常が無いかをチェックする。ここで
、異常があった場合にはデータ通信機能２３により製造
装置管理用計算機１０ｐｍにその旨を通知するとともに
アラームを発生する。
機能２３により製造装置管理用計算機１０ｐｍからの品
質データをオンラインで受信し、チェック機能２５によ
りその受信品質データ２４とスペックマスタ２３の管理
データとを比較し異常が無いかをチェックする。ここで
、異常があった場合にはデータ通信機能２３により製造
装置管理用計算機１０ｐｍにその旨を通知するとともに
アラームを発生する。
【００２１】そのチェック結果において異常が無かった
場合には、装置群マスタ２２を参照してそのチェック済
品質データ２６を装置群テーブル１２ｐｍＡ ，１２ｐ
ｍＢ ，…のうちいずれに登録するかを見出だし、該当
する装置群テーブルにその品質データ２６を登録する。
場合には、装置群マスタ２２を参照してそのチェック済
品質データ２６を装置群テーブル１２ｐｍＡ ，１２ｐ
ｍＢ ，…のうちいずれに登録するかを見出だし、該当
する装置群テーブルにその品質データ２６を登録する。
【００２２】同時に、品質データ２６のうち作業実績デ
ータ部のみをデータ通信機能２９により統合計算機１７
に向けて送出する。テスト管理用計算機１４Ｔは、工程
内管理用計算機１１ｐｍと略々同様の処理を行うもので
あるが、対象が製造装置ではなくテスト装置となる。各
テスタ３Ｔ からのテストデータをオンラインで受信し
、チェック機能によりそのテストデータをチェックする
。また、そのチェック済品質データをテスタ単位で整理
されたテスタ群テーブルに登録するとともに、その作業
実績データ部のみを統合計算機１７に向けて送信する。
ータ部のみをデータ通信機能２９により統合計算機１７
に向けて送出する。テスト管理用計算機１４Ｔは、工程
内管理用計算機１１ｐｍと略々同様の処理を行うもので
あるが、対象が製造装置ではなくテスト装置となる。各
テスタ３Ｔ からのテストデータをオンラインで受信し
、チェック機能によりそのテストデータをチェックする
。また、そのチェック済品質データをテスタ単位で整理
されたテスタ群テーブルに登録するとともに、その作業
実績データ部のみを統合計算機１７に向けて送信する。
【００２３】統合計算機１７では、データ通信機能３０
によりシステムバス８から作業実績データを取込み、デ
ータ登録機能３１により統合データベースとなる作業実
績テーブル３２に登録する。また、図示しないが、生産
管理用計算機５から製品の投入、分割、倉入等の生産デ
ータを収集し統合データベースに格納する。
によりシステムバス８から作業実績データを取込み、デ
ータ登録機能３１により統合データベースとなる作業実
績テーブル３２に登録する。また、図示しないが、生産
管理用計算機５から製品の投入、分割、倉入等の生産デ
ータを収集し統合データベースに格納する。
【００２４】解析専用ＥＷＳ１９は、技術者専用端末で
あり、各計算機１１ｐｍ，１４Ｔ ，１７にアクセスし
、それらの管理する各データベース１２ｐｍ，１５Ｔ
，１８を使用して人が任意の処理を行うためのものであ
る。
あり、各計算機１１ｐｍ，１４Ｔ ，１７にアクセスし
、それらの管理する各データベース１２ｐｍ，１５Ｔ
，１８を使用して人が任意の処理を行うためのものであ
る。
【００２５】以上のシステムにおいて、工程内データベ
ース１２ｐｍと統合データベース１８とは図４に示すよ
うに作業実績データをもってリンクしており、統合計算
機１７が所定の処理にあたって統合データベース１８だ
けでは不十分な場合、また工程内管理用計算機１１ｐｍ
がその工程内データベース１２ｐｍだけでは不十分な場
合には、他のサイトのデータベースを利用できる。３３
ｐｍは各工程内計算機１１ｐｍのデータディクショナリ
、３４は統合計算機１７のデータディクショナリであり
、これらデータディクショナリ３３ｐｍ，３４はデータ
ベース名とデータベースサイト名とからなり、他のサイ
トのデータベースの所在を示すものとなっている。した
がって、工程内計算機１１ｐｍや統合計算機１７が他の
サイトのデータベースを利用する場合、自己のデータデ
ィクショナリ３３ｐｍないしは３４を参照して所望のデ
ータベースの所在を検知し、そこへアクセスをかける。 このデータディクショナリ３３ｐｍ，３４は各データベ
ース名が定義される際に更新される。
ース１２ｐｍと統合データベース１８とは図４に示すよ
うに作業実績データをもってリンクしており、統合計算
機１７が所定の処理にあたって統合データベース１８だ
けでは不十分な場合、また工程内管理用計算機１１ｐｍ
がその工程内データベース１２ｐｍだけでは不十分な場
合には、他のサイトのデータベースを利用できる。３３
ｐｍは各工程内計算機１１ｐｍのデータディクショナリ
、３４は統合計算機１７のデータディクショナリであり
、これらデータディクショナリ３３ｐｍ，３４はデータ
ベース名とデータベースサイト名とからなり、他のサイ
トのデータベースの所在を示すものとなっている。した
がって、工程内計算機１１ｐｍや統合計算機１７が他の
サイトのデータベースを利用する場合、自己のデータデ
ィクショナリ３３ｐｍないしは３４を参照して所望のデ
ータベースの所在を検知し、そこへアクセスをかける。 このデータディクショナリ３３ｐｍ，３４は各データベ
ース名が定義される際に更新される。
【００２６】次に上述したように構成された本システム
の働きについて図５をも参照しつつ説明する。まず、各
半導体製品の処理が行われると、次のような処理がリア
ルタイムで実行される。すなわち、各半導体製品が処理
されると、それごとに製造工程ｐｍ においては製造装
置管理用計算機１０ｐｍから各種プロセスデータが発生
されるため、その工程内管理用計算機１１ｐｍにより上
記したように異常の有無がチェックされ、そのチェック
の結果が当該製造装置管理用計算機１０ｐｍにフィード
バックされ、この製造装置管理用計算機１０ｐｍにより
製造装置１ｐｍにおける処理条件等がリアルタイムに制
御される。
の働きについて図５をも参照しつつ説明する。まず、各
半導体製品の処理が行われると、次のような処理がリア
ルタイムで実行される。すなわち、各半導体製品が処理
されると、それごとに製造工程ｐｍ においては製造装
置管理用計算機１０ｐｍから各種プロセスデータが発生
されるため、その工程内管理用計算機１１ｐｍにより上
記したように異常の有無がチェックされ、そのチェック
の結果が当該製造装置管理用計算機１０ｐｍにフィード
バックされ、この製造装置管理用計算機１０ｐｍにより
製造装置１ｐｍにおける処理条件等がリアルタイムに制
御される。
【００２７】また、このデータチェックの後、品質管理
データは工程内データベース１２ｐｍに登録されるとと
もに、その作業実績データ部のみが統合計算機１７に送
られて、この統合計算機１７により統合データベース１
８に登録されることとなる。
データは工程内データベース１２ｐｍに登録されるとと
もに、その作業実績データ部のみが統合計算機１７に送
られて、この統合計算機１７により統合データベース１
８に登録されることとなる。
【００２８】テスト工程Ｔにおいても同様に、各半導体
製品の処理が行われると、そのテストに関連するデータ
がテスト管理用計算機１４Ｔ により工程内データベー
ス１５Ｔ に登録されるとともに、その作業実績データ
部のみが統合計算機１７に送られるため、この作業実績
データ部のみが統合計算機１７によって統合データベー
ス１８に登録される。
製品の処理が行われると、そのテストに関連するデータ
がテスト管理用計算機１４Ｔ により工程内データベー
ス１５Ｔ に登録されるとともに、その作業実績データ
部のみが統合計算機１７に送られるため、この作業実績
データ部のみが統合計算機１７によって統合データベー
ス１８に登録される。
【００２９】このようなリアルタイムの処理以外に、所
定の量のデータが溜まって、或る時点になると品質や歩
留り診断等の各種分析・統計処理や各種レポートの作成
等が行われる。この際には、工程内管理用計算機１１ｐ
ｍ，１４Ｔはその工程内データベース１２ｐｍや他の工
程内データベースを用い、統合計算機１７は統合データ
ベース１８や各工程内データベース１２ｐｍ，１５Ｔ
を用いる。その解析結果は各工程ｐｍ にフィードバッ
クされる。これにより、各工程ｐｍ は他の工程との絡
みで品質管理を行うことができる。つまり、自工程ｐｍ
が他工程にどのような影響を与えるか、あるいは自工
程が他工程からどのような影響を受けているか、を把握
でき、それらに対する適切な対応を取ることが可能とな
る。
定の量のデータが溜まって、或る時点になると品質や歩
留り診断等の各種分析・統計処理や各種レポートの作成
等が行われる。この際には、工程内管理用計算機１１ｐ
ｍ，１４Ｔはその工程内データベース１２ｐｍや他の工
程内データベースを用い、統合計算機１７は統合データ
ベース１８や各工程内データベース１２ｐｍ，１５Ｔ
を用いる。その解析結果は各工程ｐｍ にフィードバッ
クされる。これにより、各工程ｐｍ は他の工程との絡
みで品質管理を行うことができる。つまり、自工程ｐｍ
が他工程にどのような影響を与えるか、あるいは自工
程が他工程からどのような影響を受けているか、を把握
でき、それらに対する適切な対応を取ることが可能とな
る。
【００３０】以上のように本実施例によれば、各工程ｐ
ｍ に管理用計算機１１ｐｍを置き、各工程内管理用計
算機で各工程内の処理を行うようにすることにより、各
工程における処理スピードが向上するとともに、この各
工程内の処理に使用するデータを工程内データベースと
して手元に置き、これを各工程専用の工程内管理用計算
機で任意にアクセスし使用するようにすることで、各工
程内処理がよりスムースになり、総じて即時性が向上す
ることとなる。
ｍ に管理用計算機１１ｐｍを置き、各工程内管理用計
算機で各工程内の処理を行うようにすることにより、各
工程における処理スピードが向上するとともに、この各
工程内の処理に使用するデータを工程内データベースと
して手元に置き、これを各工程専用の工程内管理用計算
機で任意にアクセスし使用するようにすることで、各工
程内処理がよりスムースになり、総じて即時性が向上す
ることとなる。
【００３１】また、このように分散処理システムとして
構成し、各工程内データを各工程で管理するようになっ
ているため、例え統合管理計算機や他の工程内計算機に
障害が発生しても、即、管理の麻痺となることを防止す
ることができる。
構成し、各工程内データを各工程で管理するようになっ
ているため、例え統合管理計算機や他の工程内計算機に
障害が発生しても、即、管理の麻痺となることを防止す
ることができる。
【００３２】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は上記に限定されるものではない。例えば、
上記システムの各工程ｐｍ ，Ｔ内ではデータテーブル
を製造装置単位あるいはテスタ単位で整理したが、生産
ラインの性質上、品種別の方が望ましい場合は品種別に
しても良く、これは任意である。また、各工程内管理用
計算機１１ｐｍ，１４ｐｍにおいて、その工程の環境デ
ータや部品材料データなどをデータベース化しておけば
、製品の品質データとリンクすることができ、これによ
り、より精密な管理が可能となる。
が、本発明は上記に限定されるものではない。例えば、
上記システムの各工程ｐｍ ，Ｔ内ではデータテーブル
を製造装置単位あるいはテスタ単位で整理したが、生産
ラインの性質上、品種別の方が望ましい場合は品種別に
しても良く、これは任意である。また、各工程内管理用
計算機１１ｐｍ，１４ｐｍにおいて、その工程の環境デ
ータや部品材料データなどをデータベース化しておけば
、製品の品質データとリンクすることができ、これによ
り、より精密な管理が可能となる。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、各
工程に管理用計算機を置き、各工程内管理用計算機で各
工程内の処理を行うようにすることにより、各工程にお
ける処理スピードが向上するとともに、この各工程内の
処理に使用するデータを工程内データベースとして手元
に置き、これを各工程専用の工程内管理用計算機で任意
にアクセスし使用するようにすることで、各工程内処理
がよりスムースになり、総じて即時性が向上することと
なる。
工程に管理用計算機を置き、各工程内管理用計算機で各
工程内の処理を行うようにすることにより、各工程にお
ける処理スピードが向上するとともに、この各工程内の
処理に使用するデータを工程内データベースとして手元
に置き、これを各工程専用の工程内管理用計算機で任意
にアクセスし使用するようにすることで、各工程内処理
がよりスムースになり、総じて即時性が向上することと
なる。
【００３４】また、このように分散処理システムとして
構成し、各工程内データを各工程で管理するようになっ
ているため、例え統合管理計算機や他の工程内計算機に
障害が発生しても、即、管理の麻痺となることを防止す
ることができる。
構成し、各工程内データを各工程で管理するようになっ
ているため、例え統合管理計算機や他の工程内計算機に
障害が発生しても、即、管理の麻痺となることを防止す
ることができる。
【図１】本発明の一実施例に係る半導体製造ラインの品
質管理システムのブロック図。
質管理システムのブロック図。
【図２】図１に示すシステムの各計算機の機能ブロック
図。
図。
【図３】図１に示すシステムの品質管理用データベース
を構成するデータのフォーマット図。
を構成するデータのフォーマット図。
【図４】図１に示すシステムの計算機間でのデータベー
スリンク状態説明図。
スリンク状態説明図。
【図５】図１に示すシステムにおける各種データの流れ
を示すブロック図。
を示すブロック図。
【図６】従来の半導体製造ラインの品質管理システムの
ブロック図。
ブロック図。
【図７】図６に示すシステムにおける各種データの流れ
を示すブロック図。
を示すブロック図。
【図８】図６に示すシステムにおけるデータベースの構
造説明図。
造説明図。
【符号の説明】
１ｐ１，…，１ｐｎ 製造装置
１０ｐ１，…，１０ｐｎ 製造装置管理用計算機１
１ｐ１，…，１１ｐｎ 工程内管理用計算機１２ｐ
１，…，１２ｐｎ 工程内データベース３Ｔ
テスタ １４Ｔ テスト管理用計算機 １５Ｔ テスト工程データベース １７ 統合計算機 １８ 統合データベース
１ｐ１，…，１１ｐｎ 工程内管理用計算機１２ｐ
１，…，１２ｐｎ 工程内データベース３Ｔ
テスタ １４Ｔ テスト管理用計算機 １５Ｔ テスト工程データベース １７ 統合計算機 １８ 統合データベース
Claims (1)
- 【請求項１】製造プロセスを構成する複数の工程それぞ
れに対応して設置され、第１のデータ部と第２のデータ
部とを含む工程内データを発生する工程内データ発生装
置と、前記複数の工程それぞれに対応して設置され、対
応する工程の前記工程内データ発生装置から出力される
前記工程内データを集めた工程内データベースを保管す
るとともに、前記対応する工程内の管理を行う工程内管
理計算機と、該複数の工程内管理計算機に対するホスト
計算機として設置され、前記複数の工程全ての前記第１
のデータ部を集めた統合データベースを保管するととも
に、前記複数の工程の２以上にまたがる管理を行う統合
管理計算機と、を備えている品質管理システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6493491A JP2975708B2 (ja) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | 品質管理システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6493491A JP2975708B2 (ja) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | 品質管理システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04299765A true JPH04299765A (ja) | 1992-10-22 |
| JP2975708B2 JP2975708B2 (ja) | 1999-11-10 |
Family
ID=13272358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6493491A Expired - Lifetime JP2975708B2 (ja) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | 品質管理システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2975708B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0774068A (ja) * | 1993-09-02 | 1995-03-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 製品処理装置および製品処理決定方法 |
| US6049895A (en) * | 1996-12-09 | 2000-04-11 | Nec Corporation | Failure analyzer with distributed data processing network and method used therein |
| JP2009212409A (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-17 | Seiko Epson Corp | 工程制御システム、工程実施装置の管理方法、半導体装置の製造方法及びプログラム |
| JP2010211309A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-24 | Ricoh Co Ltd | 品質情報収集分析システム |
| JP2010231672A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Metawater Co Ltd | 維持管理システム |
-
1991
- 1991-03-28 JP JP6493491A patent/JP2975708B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0774068A (ja) * | 1993-09-02 | 1995-03-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 製品処理装置および製品処理決定方法 |
| US6049895A (en) * | 1996-12-09 | 2000-04-11 | Nec Corporation | Failure analyzer with distributed data processing network and method used therein |
| JP2009212409A (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-17 | Seiko Epson Corp | 工程制御システム、工程実施装置の管理方法、半導体装置の製造方法及びプログラム |
| JP2010211309A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-24 | Ricoh Co Ltd | 品質情報収集分析システム |
| JP2010231672A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Metawater Co Ltd | 維持管理システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2975708B2 (ja) | 1999-11-10 |
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