JPH04301399A - 医用ｘ線管装置 - Google Patents
医用ｘ線管装置Info
- Publication number
- JPH04301399A JPH04301399A JP9126291A JP9126291A JPH04301399A JP H04301399 A JPH04301399 A JP H04301399A JP 9126291 A JP9126291 A JP 9126291A JP 9126291 A JP9126291 A JP 9126291A JP H04301399 A JPH04301399 A JP H04301399A
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- JP
- Japan
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- anode
- cathode
- target
- ray tube
- magnetic bearing
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、医用分野において用
いられるＸ線管装置に関する。
いられるＸ線管装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、医用Ｘ線管装置としての
例えば回転陽極Ｘ線管装置は、陽極のターゲットを回転
させて、実効的な負荷面積を増大することにより、小さ
な焦点による瞬間的な大負荷に耐え得るように構成され
ている。このように構成された回転陽極Ｘ線管装置であ
っても、負荷が連続的に加わるとターゲットが許容限界
温度を越えてしまうので、回転陽極Ｘ線管装置の制御器
において、陽極構造に応じた陽極蓄積熱容量を予め設定
し、この陽極蓄積熱容量を越えないように管電流、管電
圧、曝射時間、曝射休止時間を制御している。
例えば回転陽極Ｘ線管装置は、陽極のターゲットを回転
させて、実効的な負荷面積を増大することにより、小さ
な焦点による瞬間的な大負荷に耐え得るように構成され
ている。このように構成された回転陽極Ｘ線管装置であ
っても、負荷が連続的に加わるとターゲットが許容限界
温度を越えてしまうので、回転陽極Ｘ線管装置の制御器
において、陽極構造に応じた陽極蓄積熱容量を予め設定
し、この陽極蓄積熱容量を越えないように管電流、管電
圧、曝射時間、曝射休止時間を制御している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
医用Ｘ線管装置には次のような問題点がある。上述のよ
うな制御の下で回転陽極Ｘ線管装置が使用されたとして
も、ターゲットの温度は約１０００〜１２００℃にまで
上昇するため、図４に示すように、ターゲット等に相当
量の熱膨張が生じる。図４において、符号２は、図示し
ない真空容器内に固定設置された陰極、４は回転駆動さ
れるターゲットの一部であり、実線は冷状態の位置、破
線は加熱状態の位置をそれぞれ示している。また、符号
Ｓは冷状態におけるＸ線焦点の位置、Ｓ ’は加熱状態
におけるＸ線焦点の位置である。このように、ターゲッ
ト４の熱膨張によりＸ線焦点はＸ方向にΔｘ、Ｙ方向に
Δｙ１ だけ移動する。また、ターゲット４からの輻射
熱により陰極２も加熱され、図４では−Ｙ方向にΔｙ２
だけ熱膨張している。
医用Ｘ線管装置には次のような問題点がある。上述のよ
うな制御の下で回転陽極Ｘ線管装置が使用されたとして
も、ターゲットの温度は約１０００〜１２００℃にまで
上昇するため、図４に示すように、ターゲット等に相当
量の熱膨張が生じる。図４において、符号２は、図示し
ない真空容器内に固定設置された陰極、４は回転駆動さ
れるターゲットの一部であり、実線は冷状態の位置、破
線は加熱状態の位置をそれぞれ示している。また、符号
Ｓは冷状態におけるＸ線焦点の位置、Ｓ ’は加熱状態
におけるＸ線焦点の位置である。このように、ターゲッ
ト４の熱膨張によりＸ線焦点はＸ方向にΔｘ、Ｙ方向に
Δｙ１ だけ移動する。また、ターゲット４からの輻射
熱により陰極２も加熱され、図４では−Ｙ方向にΔｙ２
だけ熱膨張している。
【０００４】上述のようにターゲット４の熱膨張により
Ｘ線焦点が移動すると、Ｘ線の照射野や線量分布が変化
するので、撮影画像も変化し、特に、Ｘ線断層撮影画像
の場合には画質劣化が著しくなる。
Ｘ線焦点が移動すると、Ｘ線の照射野や線量分布が変化
するので、撮影画像も変化し、特に、Ｘ線断層撮影画像
の場合には画質劣化が著しくなる。
【０００５】また、ターゲット４や陰極２の熱膨張によ
り、ターゲット４と陰極２との距離が短くなるので、予
め設定された値よりも大きな管電流が流れて、陽極蓄積
熱容量を越えてしまうこともある。
り、ターゲット４と陰極２との距離が短くなるので、予
め設定された値よりも大きな管電流が流れて、陽極蓄積
熱容量を越えてしまうこともある。
【０００６】さらに、ターゲット４と陰極との距離が短
くなると、ターゲット４からの輻射熱の影響で、陰極２
のフィラメントの温度がフィラメント加熱電流による温
度上昇に加えて一層上昇するので、このことによっても
設定値よりも大きな管電流が流れて、陽極蓄積熱容量を
越えることがある。
くなると、ターゲット４からの輻射熱の影響で、陰極２
のフィラメントの温度がフィラメント加熱電流による温
度上昇に加えて一層上昇するので、このことによっても
設定値よりも大きな管電流が流れて、陽極蓄積熱容量を
越えることがある。
【０００７】この発明は、このような事情に鑑みてなさ
れたものであって、ターゲット等の熱膨張によるＸ線焦
点の変位やターゲットと陰極との距離の変動を回避する
ことができる医用Ｘ線管装置を提供することを目的とす
る。
れたものであって、ターゲット等の熱膨張によるＸ線焦
点の変位やターゲットと陰極との距離の変動を回避する
ことができる医用Ｘ線管装置を提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明は、このような
目的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、この発明は、真空容器内に陰極と陽極とを備えた医
用Ｘ線管装置であって、前記陰極または陽極の少なくと
も一方を管軸方向および径方向に移動可能に支持する磁
気軸受構造と、前記陰極または陽極の少なくとも一方の
熱膨張による位置変化を検出する位置検出手段と、前記
位置検出手段からの出力に基づき、熱膨張による位置変
化を解消するように前記磁気軸受構造を制御して、前記
陰極または陽極の少なくとも一方の位置修正を行う制御
手段とを備えたものである。
目的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、この発明は、真空容器内に陰極と陽極とを備えた医
用Ｘ線管装置であって、前記陰極または陽極の少なくと
も一方を管軸方向および径方向に移動可能に支持する磁
気軸受構造と、前記陰極または陽極の少なくとも一方の
熱膨張による位置変化を検出する位置検出手段と、前記
位置検出手段からの出力に基づき、熱膨張による位置変
化を解消するように前記磁気軸受構造を制御して、前記
陰極または陽極の少なくとも一方の位置修正を行う制御
手段とを備えたものである。
【０００９】
【作用】この発明の作用は、次のとおりである。すなわ
ち、この発明によれば、陰極または陽極の少なくとも一
方の熱膨張による位置変化が位置検出手段によって検出
され、制御手段が前記位置変化を解消するように磁気軸
受構造を制御して陰極または陽極の少なくとも一方の位
置修正を行うので、陰極や陽極が熱膨張しても陰極と陽
極間の距離やＸ線焦点の位置が一定値に維持される。
ち、この発明によれば、陰極または陽極の少なくとも一
方の熱膨張による位置変化が位置検出手段によって検出
され、制御手段が前記位置変化を解消するように磁気軸
受構造を制御して陰極または陽極の少なくとも一方の位
置修正を行うので、陰極や陽極が熱膨張しても陰極と陽
極間の距離やＸ線焦点の位置が一定値に維持される。
【００１０】
【実施例】以下、図面を参照してこの発明に係る医用Ｘ
線管装置の一実施例を説明する。図１は実施例に係る回
転陽極Ｘ線管装置の概略構成を示した縦断面図である。 図中、符号１は真空容器であり、この真空容器１内に磁
気軸受構造で支持された陰極２と陽極３とが設けられて
いる。陽極３において、４はターゲットであり、このタ
ーゲット４に筒状の回転軸５が連結され、この回転軸５
の先端部に外方に突出した鍔部６が形成されている。回
転軸５および鍔部６は磁性材料で形成されている。
線管装置の一実施例を説明する。図１は実施例に係る回
転陽極Ｘ線管装置の概略構成を示した縦断面図である。 図中、符号１は真空容器であり、この真空容器１内に磁
気軸受構造で支持された陰極２と陽極３とが設けられて
いる。陽極３において、４はターゲットであり、このタ
ーゲット４に筒状の回転軸５が連結され、この回転軸５
の先端部に外方に突出した鍔部６が形成されている。回
転軸５および鍔部６は磁性材料で形成されている。
【００１１】回転軸５を取り囲む真空容器１の周部には
、陽極３を半径方向に移動可能に磁気浮上させて支持す
るための電磁マグネットで形成されたラジアル軸受７が
設けられている。図２の横断面図に示すように、ラジア
ル軸受７は、周方向に等間隔に配設された４個の電磁マ
グネット７ａから構成されている。鍔部６を取り囲む真
空容器１の周部には、陽極３を軸方向に移動させるため
の一対の電磁マグネットからなるスラスト軸受８が設け
られている。なお、図１中の符号９は、磁気浮上された
陽極３を回転駆動するためのステータである。
、陽極３を半径方向に移動可能に磁気浮上させて支持す
るための電磁マグネットで形成されたラジアル軸受７が
設けられている。図２の横断面図に示すように、ラジア
ル軸受７は、周方向に等間隔に配設された４個の電磁マ
グネット７ａから構成されている。鍔部６を取り囲む真
空容器１の周部には、陽極３を軸方向に移動させるため
の一対の電磁マグネットからなるスラスト軸受８が設け
られている。なお、図１中の符号９は、磁気浮上された
陽極３を回転駆動するためのステータである。
【００１２】また、Ｓ１ ，Ｓ２ は陰極２の軸方向へ
の位置変化および半径方向への位置変化をそれぞれ検出
するための位置検出手段としてのギャップセンサである
。Ｓ３ ，Ｓ４ はターゲット４の軸方向への位置変化
および半径方向への位置変化をそれぞれ検出するための
位置検出手段としてのギャップセンサである。Ｓ５ ，
Ｓ６ はそれぞれ９０度の角度で配設された一対のギャ
ップセンサであり、回転軸５の直交する半径方向の変位
をそれぞれ検出する。
の位置変化および半径方向への位置変化をそれぞれ検出
するための位置検出手段としてのギャップセンサである
。Ｓ３ ，Ｓ４ はターゲット４の軸方向への位置変化
および半径方向への位置変化をそれぞれ検出するための
位置検出手段としてのギャップセンサである。Ｓ５ ，
Ｓ６ はそれぞれ９０度の角度で配設された一対のギャ
ップセンサであり、回転軸５の直交する半径方向の変位
をそれぞれ検出する。
【００１３】回転軸５の内部には、真空容器１の内壁に
固設された支軸１０があり、この支持１０にタッチダウ
ンベアリング１１が嵌入されている。タッチダウンベア
リング１１は、陽極３の磁気浮上が解除されたときに、
回転軸５の内側から陽極３を支えるためのものである。 また、図１中の符号１２は、放電現象により管電流を流
すための管電流導通路である。
固設された支軸１０があり、この支持１０にタッチダウ
ンベアリング１１が嵌入されている。タッチダウンベア
リング１１は、陽極３の磁気浮上が解除されたときに、
回転軸５の内側から陽極３を支えるためのものである。 また、図１中の符号１２は、放電現象により管電流を流
すための管電流導通路である。
【００１４】次に、図３を参照して、陰極２の磁気軸受
構造を説明する。陰極２が設けられた真空容器１の内壁
には支軸１３が立設されており、この支軸１３に、周方
向に４分割された電磁マグネットから構成されたラジア
ル・スラスト兼用軸受１４が取り付けられている。支軸
１３に陰極本体１５の筒状胴部１５ａが嵌入され、この
筒状胴部１５ａの内側に設けられた凸部１５ｂが、軸方
向に若干ずれた状態で、前記ラジアル・スラスト兼用軸
受１４の各電磁マグネットに対向している。なお、図３
中の１６はフィラメント、１７は陰極２の変位を吸収す
るための弾性構造のフィラメント用配線、Ｓ７ は陰極
２の半径方向の変位を検出する位置検出手段としての一
対のギャップセンサである。なお、図３では、ギャップ
センサＳ７ を便宜的に対向配置して（１８０度の位置
関係で）描いているが、実際は、９０度の角度で配置さ
れている。
構造を説明する。陰極２が設けられた真空容器１の内壁
には支軸１３が立設されており、この支軸１３に、周方
向に４分割された電磁マグネットから構成されたラジア
ル・スラスト兼用軸受１４が取り付けられている。支軸
１３に陰極本体１５の筒状胴部１５ａが嵌入され、この
筒状胴部１５ａの内側に設けられた凸部１５ｂが、軸方
向に若干ずれた状態で、前記ラジアル・スラスト兼用軸
受１４の各電磁マグネットに対向している。なお、図３
中の１６はフィラメント、１７は陰極２の変位を吸収す
るための弾性構造のフィラメント用配線、Ｓ７ は陰極
２の半径方向の変位を検出する位置検出手段としての一
対のギャップセンサである。なお、図３では、ギャップ
センサＳ７ を便宜的に対向配置して（１８０度の位置
関係で）描いているが、実際は、９０度の角度で配置さ
れている。
【００１５】なお、上述した陰極２および陽極３の各軸
受７，８，１４は、各ギャップセンサＳ１ 〜Ｓ７ の
検出信号を与えられる磁気軸受制御回路２０によって制
御される。次に、上述した装置の動作を説明する。例え
ば、ターゲット４が加熱されることにより、図４に示し
たように熱膨張してＸ線焦点がＳ点からＳ ’点に変位
したとすると、図１に示したギャップセンサＳ４ がＸ
方向（半径方向）のＸ線焦点のずれ量Δｘを検出し、そ
の検出信号を磁気軸受制御回路２０に出力する。磁気軸
受制御回路２０は、これに基づきラジアル軸受７に流す
電流を制御して、陽極３を−Ｘ方向にΔｘだけ変位させ
ることにより、ターゲット４のＸ方向のずれを補正する
。このとき、陽極３のＸ方向への変位量はギャップセン
サＳ５ ，Ｓ６ によって検出される。
受７，８，１４は、各ギャップセンサＳ１ 〜Ｓ７ の
検出信号を与えられる磁気軸受制御回路２０によって制
御される。次に、上述した装置の動作を説明する。例え
ば、ターゲット４が加熱されることにより、図４に示し
たように熱膨張してＸ線焦点がＳ点からＳ ’点に変位
したとすると、図１に示したギャップセンサＳ４ がＸ
方向（半径方向）のＸ線焦点のずれ量Δｘを検出し、そ
の検出信号を磁気軸受制御回路２０に出力する。磁気軸
受制御回路２０は、これに基づきラジアル軸受７に流す
電流を制御して、陽極３を−Ｘ方向にΔｘだけ変位させ
ることにより、ターゲット４のＸ方向のずれを補正する
。このとき、陽極３のＸ方向への変位量はギャップセン
サＳ５ ，Ｓ６ によって検出される。
【００１６】また、Ｘ線焦点のＹ方向（軸方向）のずれ
量Δｙ１ は、ギャップセンサＳ３ によって検出され
る。 この検出信号に基づき、磁気軸受制御回路２０はスラス
ト軸受８に流す電流を制御して、陽極３を−Ｙ方向にΔ
ｙ１ だけ変位させることによって、ターゲット４のＹ
方向のずれを補正する。このとき、陽極３のＹ方向への
変位量は、ギャップセンサＳ３によって検出される。
量Δｙ１ は、ギャップセンサＳ３ によって検出され
る。 この検出信号に基づき、磁気軸受制御回路２０はスラス
ト軸受８に流す電流を制御して、陽極３を−Ｙ方向にΔ
ｙ１ だけ変位させることによって、ターゲット４のＹ
方向のずれを補正する。このとき、陽極３のＹ方向への
変位量は、ギャップセンサＳ３によって検出される。
【００１７】陰極２のＸ方向へのずれ量Δｘはギャップ
センサＳ２ によって検出され、この検出信号に基づき
磁気軸受制御回路２０が、図３に示したラジアル・スラ
スト兼用軸受１４の左右の各電磁マグネットに流す電流
のバランスを変えることにより、上記のずれ量Δｘを補
正する。また、陰極２の−Ｙ方向へのずれ量Δｙ２ は
、ギャップセンサＳ１ によって検出され、この検出信
号に基づき磁気軸受制御回路２０が、ラジアル・スラス
ト兼用軸受１４の上下の各電磁マグネットに流す電流の
バランスを変えることにより、上記のずれ量−Δｙ２
を補正する。
センサＳ２ によって検出され、この検出信号に基づき
磁気軸受制御回路２０が、図３に示したラジアル・スラ
スト兼用軸受１４の左右の各電磁マグネットに流す電流
のバランスを変えることにより、上記のずれ量Δｘを補
正する。また、陰極２の−Ｙ方向へのずれ量Δｙ２ は
、ギャップセンサＳ１ によって検出され、この検出信
号に基づき磁気軸受制御回路２０が、ラジアル・スラス
ト兼用軸受１４の上下の各電磁マグネットに流す電流の
バランスを変えることにより、上記のずれ量−Δｙ２
を補正する。
【００１８】以上の各補正によってＸ線焦点の位置はＳ
’点から元のＳ点に戻る。
’点から元のＳ点に戻る。
【００１９】なお、ターゲット４からの輻射熱によって
陰極２のフィラメントが温度上昇して管電流が増加した
場合には、陰極２をＹ方向に移動させることによって、
前記管電流の増加分を補正することもできる。
陰極２のフィラメントが温度上昇して管電流が増加した
場合には、陰極２をＹ方向に移動させることによって、
前記管電流の増加分を補正することもできる。
【００２０】また、上述の実施例では、Ｘ線焦点のずれ
を補正するのに、陰極２および陽極３を変位させたが、
陰極２の熱膨張が問題にならないほど小さい場合には、
陽極３のみを変位させればよい。
を補正するのに、陰極２および陽極３を変位させたが、
陰極２の熱膨張が問題にならないほど小さい場合には、
陽極３のみを変位させればよい。
【００２１】さらに、上述の実施例では、陰極２および
陽極３の両方に磁気軸受構造を設けたが、この発明は必
ずしも両者に設ける必要はなく、陰極２または陽極３の
いずれか一方に設けるだけでもよい。
陽極３の両方に磁気軸受構造を設けたが、この発明は必
ずしも両者に設ける必要はなく、陰極２または陽極３の
いずれか一方に設けるだけでもよい。
【００２２】また、実施例では、回転陽極Ｘ線管装置を
例にとって説明したが、この発明は固定陽極Ｘ線管装置
にも適用することができる。この場合、図３に示したよ
うに、陰極に磁気軸受構造を採用すればい。
例にとって説明したが、この発明は固定陽極Ｘ線管装置
にも適用することができる。この場合、図３に示したよ
うに、陰極に磁気軸受構造を採用すればい。
【００２３】さらに、実施例では陰極２や陽極３の変位
を検出するのにギャップセンサを用いたが、この発明は
これにかぎらず、ターゲット４に加えられる熱量をＸ線
撮影条件から算出し、これに基づいてターゲット４の熱
膨張量を求め、これを補正するように各磁気軸受を制御
してもよい。
を検出するのにギャップセンサを用いたが、この発明は
これにかぎらず、ターゲット４に加えられる熱量をＸ線
撮影条件から算出し、これに基づいてターゲット４の熱
膨張量を求め、これを補正するように各磁気軸受を制御
してもよい。
【００２４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、この発
明によれば、陰極または陽極の少なくとも一方の熱膨張
による位置変化を検出して、その位置変化を解消するよ
うに、磁気軸受構造を制御し、陰極または陽極の少なく
とも一方の位置修正を行って、陰極と陽極間の距離やＸ
線焦点の位置を一定値に維持しているので、Ｘ線焦点の
位置ずれによる画質の変化や管電流の増大により過負荷
に陥るということがない。
明によれば、陰極または陽極の少なくとも一方の熱膨張
による位置変化を検出して、その位置変化を解消するよ
うに、磁気軸受構造を制御し、陰極または陽極の少なく
とも一方の位置修正を行って、陰極と陽極間の距離やＸ
線焦点の位置を一定値に維持しているので、Ｘ線焦点の
位置ずれによる画質の変化や管電流の増大により過負荷
に陥るということがない。
【図１】実施例に係る回転陽極Ｘ線管装置の概略構成を
示した縦断面図である。
示した縦断面図である。
【図２】陽極の磁気軸受構造を示した横断面図である。
【図３】陰極の磁気軸受構造を示した縦断面図である。
【図４】従来の問題点の説明に供する図である。
１…真空容器
２…陰極３…陽極
４…ターゲット５…回転軸
６…
鍔部７…ラジアル軸受
８…スラスト軸受９…ステータ
１４…ラジアル・スラスト兼
用軸受 ２０…磁気軸受制御回路（制御手段）
２…陰極３…陽極
４…ターゲット５…回転軸
６…
鍔部７…ラジアル軸受
８…スラスト軸受９…ステータ
１４…ラジアル・スラスト兼
用軸受 ２０…磁気軸受制御回路（制御手段）
Claims (1)
- 【請求項１】 真空容器内に陰極と陽極とを備えた医
用Ｘ線管装置であって、前記陰極または陽極の少なくと
も一方を管軸方向および径方向に移動可能に支持する磁
気軸受構造と、前記陰極または陽極の少なくとも一方の
熱膨張による位置変化を検出する位置検出手段と、前記
位置検出手段からの出力に基づき、熱膨張による位置変
化を解消するように前記磁気軸受構造を制御して、前記
陰極または陽極の少なくとも一方の位置修正を行う制御
手段とを備えたことを特徴とする医用Ｘ線管装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9126291A JPH04301399A (ja) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | 医用ｘ線管装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9126291A JPH04301399A (ja) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | 医用ｘ線管装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04301399A true JPH04301399A (ja) | 1992-10-23 |
Family
ID=14021508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9126291A Pending JPH04301399A (ja) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | 医用ｘ線管装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04301399A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2829286A1 (fr) * | 2001-09-03 | 2003-03-07 | Ge Med Sys Global Tech Co Llc | Dispositif et procede d'emission de rayons x |
| JP2017098076A (ja) * | 2015-11-24 | 2017-06-01 | 東芝メディカルシステムズ株式会社 | Ｘ線管及びｘ線ｃｔ装置 |
| WO2024219012A1 (ja) * | 2023-04-18 | 2024-10-24 | 株式会社リガク | Ｘ線発生装置、ｘ線分析装置、ｘ線発生装置の制御方法及びｘ線発生装置の制御システム |
-
1991
- 1991-03-28 JP JP9126291A patent/JPH04301399A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2829286A1 (fr) * | 2001-09-03 | 2003-03-07 | Ge Med Sys Global Tech Co Llc | Dispositif et procede d'emission de rayons x |
| GB2381432B (en) * | 2001-09-03 | 2006-04-05 | Ge Med Sys Global Tech Co Llc | Radiation emission device and method |
| JP2017098076A (ja) * | 2015-11-24 | 2017-06-01 | 東芝メディカルシステムズ株式会社 | Ｘ線管及びｘ線ｃｔ装置 |
| US10381188B2 (en) | 2015-11-24 | 2019-08-13 | Canon Medical Systems Corporation | Radiographic image diagnostic apparatus and X-ray tube |
| WO2024219012A1 (ja) * | 2023-04-18 | 2024-10-24 | 株式会社リガク | Ｘ線発生装置、ｘ線分析装置、ｘ線発生装置の制御方法及びｘ線発生装置の制御システム |
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