JPH04301744A - 顕微全反射測定用プリズム - Google Patents
顕微全反射測定用プリズムInfo
- Publication number
- JPH04301744A JPH04301744A JP3091294A JP9129491A JPH04301744A JP H04301744 A JPH04301744 A JP H04301744A JP 3091294 A JP3091294 A JP 3091294A JP 9129491 A JP9129491 A JP 9129491A JP H04301744 A JPH04301744 A JP H04301744A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflecting surface
- light
- incident
- sample
- reflective surface
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料の微小領域に光を
照射して定性分析を行なう顕微方式に適した全反射測定
用のプリズムに関する。
照射して定性分析を行なう顕微方式に適した全反射測定
用のプリズムに関する。
【０００２】
【従来の技術】微小な試料に対する全反射測定において
は、試料を密着させたプリズムに光源からの光をビーム
コンデンサにより絞り込んで入射させ、試料により吸光
を受けた光を検出することが行なわれているが、プリズ
ムに入射した光ビームは、プリズム中で拡散するため、
試料全体についての測定結果となってしまって試料の微
小領域を特定した分析ができないという問題がある。こ
のような問題を解消するために断面「く」の字状に形成
されたプリズムを用い、これに試料を密着させて測定す
るようにしている。これによれば、赤外線を照射する箇
所を選択することができる反面、出射までに４回もの全
反射回数を必要とするために必然的に光路長が大きくな
って減衰を招くという問題のほかに、炭素を含んだよう
な屈折率の高い試料への適用が困難であった。
は、試料を密着させたプリズムに光源からの光をビーム
コンデンサにより絞り込んで入射させ、試料により吸光
を受けた光を検出することが行なわれているが、プリズ
ムに入射した光ビームは、プリズム中で拡散するため、
試料全体についての測定結果となってしまって試料の微
小領域を特定した分析ができないという問題がある。こ
のような問題を解消するために断面「く」の字状に形成
されたプリズムを用い、これに試料を密着させて測定す
るようにしている。これによれば、赤外線を照射する箇
所を選択することができる反面、出射までに４回もの全
反射回数を必要とするために必然的に光路長が大きくな
って減衰を招くという問題のほかに、炭素を含んだよう
な屈折率の高い試料への適用が困難であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような事
情に鑑みてなされたものであって、その目的とするとこ
ろは試料の測定領域の特定が可能で、しかも入射から出
射までの光路長を小さくして減衰を小さくでき、さらに
同一のプリズムにより大小複数種類の入射角による測定
を可能ならしめる新規な顕微全反射測定用プリズムを提
供することである。
情に鑑みてなされたものであって、その目的とするとこ
ろは試料の測定領域の特定が可能で、しかも入射から出
射までの光路長を小さくして減衰を小さくでき、さらに
同一のプリズムにより大小複数種類の入射角による測定
を可能ならしめる新規な顕微全反射測定用プリズムを提
供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、入射光に対して全反射を行
なう第１の反射面と、第１の反射面に対向するとともに
全反射を行なう第２の反射面と、第２の反射面に対向す
るとともに出射面に全反射を行なう第３の反射面とを備
え、少なくとも第２、及び第１、または第３の反射面に
試料を密着、固定可能に構成するようにした。
るために本発明においては、入射光に対して全反射を行
なう第１の反射面と、第１の反射面に対向するとともに
全反射を行なう第２の反射面と、第２の反射面に対向す
るとともに出射面に全反射を行なう第３の反射面とを備
え、少なくとも第２、及び第１、または第３の反射面に
試料を密着、固定可能に構成するようにした。
【０００５】
【作用】第１、第３の反射面は入射光に対して比較的大
きな入射角で光が入射し、また第２の反射面は比較的小
さな入射角で光が入射するから、第１、第３の反射面に
試料を密着、固定すると、比較的大きな入射角による測
定が、また第１の反射面に試料を密着、固定すると、比
較的小さな入射角による測定が可能となる。また、光源
からの光を入射させる位置を変えることにより、光の一
部が第３の反射面に到達しなくなって検出器に入射しな
くなるから、試料の領域を選択しながら測定することが
可能となる。
きな入射角で光が入射し、また第２の反射面は比較的小
さな入射角で光が入射するから、第１、第３の反射面に
試料を密着、固定すると、比較的大きな入射角による測
定が、また第１の反射面に試料を密着、固定すると、比
較的小さな入射角による測定が可能となる。また、光源
からの光を入射させる位置を変えることにより、光の一
部が第３の反射面に到達しなくなって検出器に入射しな
くなるから、試料の領域を選択しながら測定することが
可能となる。
【０００６】
【実施例】そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例
に基づいて説明する。図１は、本発明の一実施例を示す
ものであって、図中符号１は赤外線が透過可能な光学材
料、例えばＫＲＳ−５や、ＺｎＳｅ、ＺｎＳにより断面
「Ｍ」字状に形成された赤外顕微全反射測定用プリズム
であって、入射面２にから入射した赤外線に対して全反
射を生じる角度で第１の反射面３が形成されている。こ
の反射面３は、入射面２に対して３０度の角度となるよ
うに反射面が設定され、これにより赤外光が６０度の角
度で入射することになる。第１の反射面３と対向する側
には入射面２に対しては直角で、かつ第１の反射面３か
らの赤外線を全反射する角度、例えば入射角４５度とな
るように第２の反射面４が形成され、更に第１の反射面
３に隣接する側には第２の反射面４により反射された赤
外光を出射面６に対して全反射する角度、例えば６０度
の入射角となるように第３の反射面５が形成されている
。
に基づいて説明する。図１は、本発明の一実施例を示す
ものであって、図中符号１は赤外線が透過可能な光学材
料、例えばＫＲＳ−５や、ＺｎＳｅ、ＺｎＳにより断面
「Ｍ」字状に形成された赤外顕微全反射測定用プリズム
であって、入射面２にから入射した赤外線に対して全反
射を生じる角度で第１の反射面３が形成されている。こ
の反射面３は、入射面２に対して３０度の角度となるよ
うに反射面が設定され、これにより赤外光が６０度の角
度で入射することになる。第１の反射面３と対向する側
には入射面２に対しては直角で、かつ第１の反射面３か
らの赤外線を全反射する角度、例えば入射角４５度とな
るように第２の反射面４が形成され、更に第１の反射面
３に隣接する側には第２の反射面４により反射された赤
外光を出射面６に対して全反射する角度、例えば６０度
の入射角となるように第３の反射面５が形成されている
。
【０００７】この実施例において、比較的小さな入射角
を必要とする試料を測定する場合には、図２の（イ）に
示したように試料Ｓ１を第１の反射面２に密着させて固
定する。この状態で入射面２から入射した赤外光は、第
１の反射面３で反射されて第２の反射面４に約４５度の
比較的小さな入射角でもって入射する。これにより第２
の反射面４に密着固定されている試料Ｓ１に比較的小さ
な入射角で赤外線が入射し、試料の特性に対応した波長
の成分が吸収され、他の波長成分が反射されて第３の反
射面５に反射されて出射面６から外部に出る。これによ
り比較的小さな入射角で赤外線の入射を必要とする試料
の全反射測定が行なわれることになる。
を必要とする試料を測定する場合には、図２の（イ）に
示したように試料Ｓ１を第１の反射面２に密着させて固
定する。この状態で入射面２から入射した赤外光は、第
１の反射面３で反射されて第２の反射面４に約４５度の
比較的小さな入射角でもって入射する。これにより第２
の反射面４に密着固定されている試料Ｓ１に比較的小さ
な入射角で赤外線が入射し、試料の特性に対応した波長
の成分が吸収され、他の波長成分が反射されて第３の反
射面５に反射されて出射面６から外部に出る。これによ
り比較的小さな入射角で赤外線の入射を必要とする試料
の全反射測定が行なわれることになる。
【０００８】一方、大きな入射角での測定が必要な場合
には、図２の（ロ）に示したように第１の反射面３に試
料Ｓを密着、固定すると、反射面３が入射光に対して比
較的大きな入射角を有しているから、試料Ｓ２に６０度
という大きな入射角で入射することになる。試料の特性
に応じて波長成分の一部が吸収され、残りの成分は第２
の反射面４、第３の反射面５で反射されて出射面から外
部に出射することになる。なお、同図（ハ）に示したよ
うに複数の反射面３、５に試料を密着、固定することに
より、試料に多重回の吸収を行なわせて高い感度での測
定が可能となる。
には、図２の（ロ）に示したように第１の反射面３に試
料Ｓを密着、固定すると、反射面３が入射光に対して比
較的大きな入射角を有しているから、試料Ｓ２に６０度
という大きな入射角で入射することになる。試料の特性
に応じて波長成分の一部が吸収され、残りの成分は第２
の反射面４、第３の反射面５で反射されて出射面から外
部に出射することになる。なお、同図（ハ）に示したよ
うに複数の反射面３、５に試料を密着、固定することに
より、試料に多重回の吸収を行なわせて高い感度での測
定が可能となる。
【０００９】ところで、反射面に取り付けられた試料の
一部について測定したい場合には、図３に示したように
光源からの光ビームを入射させる入射面２上の位置をず
らせることにより、第２の反射面４で反射された赤外線
の一部が第３の反射面５に到達しなくなって検出器に入
射しなくなる。これにより、試料の領域を特定した測定
が可能となる。
一部について測定したい場合には、図３に示したように
光源からの光ビームを入射させる入射面２上の位置をず
らせることにより、第２の反射面４で反射された赤外線
の一部が第３の反射面５に到達しなくなって検出器に入
射しなくなる。これにより、試料の領域を特定した測定
が可能となる。
【００１０】なお、この実施例においては赤外線による
測定に例を採って説明したが、可視光透過性材料により
構成することにより、可視光線による分析にも適用でき
ることは明かである。
測定に例を採って説明したが、可視光透過性材料により
構成することにより、可視光線による分析にも適用でき
ることは明かである。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
入射光に対して全反射を行なう第１の反射面と、第１の
反射面に対向するとともに全反射を行なう第２の反射面
と、第２の反射面に対向するとともに出射面に全反射を
行なう第３の反射面とを備え、少なくとも第２、及び第
１、または第３の反射面に試料を密着、固定可能に構成
したので、第１、もしくは第３の反射面は入射光に対し
て比較的大きな入射角で光が入射し、また第２の反射面
は比較的小さな入射角で光が入射するから、第１、第３
の反射面に試料を密着、固定すると、比較的大きな入射
角による測定が、また第２の反射面に試料を密着、固定
すると、比較的小さな入射角による測定が可能となり、
試料を取り付ける面を変えるだけで試料への入射角を変
更することができる。また、光源からの光を入射させる
位置を変えることにより、光の一部が第３の反射面に到
達しなくなって検出器に入射しなくなるから、試料の領
域を選択しながら測定することができる。
入射光に対して全反射を行なう第１の反射面と、第１の
反射面に対向するとともに全反射を行なう第２の反射面
と、第２の反射面に対向するとともに出射面に全反射を
行なう第３の反射面とを備え、少なくとも第２、及び第
１、または第３の反射面に試料を密着、固定可能に構成
したので、第１、もしくは第３の反射面は入射光に対し
て比較的大きな入射角で光が入射し、また第２の反射面
は比較的小さな入射角で光が入射するから、第１、第３
の反射面に試料を密着、固定すると、比較的大きな入射
角による測定が、また第２の反射面に試料を密着、固定
すると、比較的小さな入射角による測定が可能となり、
試料を取り付ける面を変えるだけで試料への入射角を変
更することができる。また、光源からの光を入射させる
位置を変えることにより、光の一部が第３の反射面に到
達しなくなって検出器に入射しなくなるから、試料の領
域を選択しながら測定することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す側面図である。
【図２】同図（イ）、（ロ）、及び（ハ）は、それぞれ
同上プリズムの使用状態を示す説明図である。
同上プリズムの使用状態を示す説明図である。
【図３】試料の特定領域を選択して測定する場合の動作
を示す説明図である。
を示す説明図である。
１ プリズム本体
２ 入射面
３ 第１の反射面
４ 第２の反射面
５ 第３の反射面
６ 出射面
Ｓ１ 、Ｓ２ 試料
Claims (1)
- 【請求項１】 入射光に対して全反射を行なう第１の
反射面と、第１の反射面に対向するとともに全反射を行
なう第２の反射面と、第２の反射面に対向するとともに
出射面に全反射を行なう第３の反射面とを備え、少なく
とも第２、及び第１、または第３の反射面に試料を密着
、固定可能に構成してなる顕微全反射測定用プリズム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9129491A JP3039569B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 顕微全反射測定用プリズム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9129491A JP3039569B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 顕微全反射測定用プリズム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04301744A true JPH04301744A (ja) | 1992-10-26 |
| JP3039569B2 JP3039569B2 (ja) | 2000-05-08 |
Family
ID=14022454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9129491A Expired - Lifetime JP3039569B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 顕微全反射測定用プリズム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3039569B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008224451A (ja) * | 2007-03-13 | 2008-09-25 | Hamamatsu Photonics Kk | テラヘルツ波測定装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWM505240U (zh) * | 2014-09-10 | 2015-07-21 | Zhi-Xiong Yu | 組合櫃連接器 |
-
1991
- 1991-03-29 JP JP9129491A patent/JP3039569B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008224451A (ja) * | 2007-03-13 | 2008-09-25 | Hamamatsu Photonics Kk | テラヘルツ波測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3039569B2 (ja) | 2000-05-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000202 |