JPH04303702A - ロール検査方法および装置 - Google Patents
ロール検査方法および装置Info
- Publication number
- JPH04303702A JPH04303702A JP9324091A JP9324091A JPH04303702A JP H04303702 A JPH04303702 A JP H04303702A JP 9324091 A JP9324091 A JP 9324091A JP 9324091 A JP9324091 A JP 9324091A JP H04303702 A JPH04303702 A JP H04303702A
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- Japan
- Prior art keywords
- roll
- distance
- sensor
- axis
- determined
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、被検査ロールの表面
疵の有無、および、真円度および円筒度を検査するため
のロール検査方法および装置に関するものである。
疵の有無、および、真円度および円筒度を検査するため
のロール検査方法および装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】冷延・表面処理ラインで使用される鋼帯
の搬送ロールあるいは鋼帯の表面処理を目的したコーテ
ィングロールをはじめとするロールにおいては、その真
円度および円筒度が基準値を下回る場合には、ストリッ
プが蛇行し、機械系の振動が大きくなるなどの問題があ
る。さらに、ロール胴部表面上の疵あるいは肌荒れは、
鋼帯等の製品に直接悪影響を及ぼす。また、表面処理を
施すコーティング用ロールにおいては、疵および肌荒に
よってコーティングムラなどの欠陥も発生し、この傾向
が特に顕著である。従って、このような不具合を防ぐた
めに、これらのロールにおいては、その製作後または補
修後の受入れ時に、外観寸法の検査と同時に真円度、円
筒度、揺れ量およびロール表面外観の検査などが実施さ
れる。ここで、ロールとは、鉄ロールだけに限られず、
ゴムライニングロール、樹脂ロール、さらにメッキおよ
び溶射等の表面処理を施したロール(以下、「ロール」
という)などをいう。
の搬送ロールあるいは鋼帯の表面処理を目的したコーテ
ィングロールをはじめとするロールにおいては、その真
円度および円筒度が基準値を下回る場合には、ストリッ
プが蛇行し、機械系の振動が大きくなるなどの問題があ
る。さらに、ロール胴部表面上の疵あるいは肌荒れは、
鋼帯等の製品に直接悪影響を及ぼす。また、表面処理を
施すコーティング用ロールにおいては、疵および肌荒に
よってコーティングムラなどの欠陥も発生し、この傾向
が特に顕著である。従って、このような不具合を防ぐた
めに、これらのロールにおいては、その製作後または補
修後の受入れ時に、外観寸法の検査と同時に真円度、円
筒度、揺れ量およびロール表面外観の検査などが実施さ
れる。ここで、ロールとは、鉄ロールだけに限られず、
ゴムライニングロール、樹脂ロール、さらにメッキおよ
び溶射等の表面処理を施したロール(以下、「ロール」
という)などをいう。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記したロールの真円
度、円筒度の測定などは、従来においては、製作後また
は補修後のロールを再度工作機械にセットし、ダイヤル
ゲージで測定することにより行わねばならなかった。し
かしながら、ダイヤルゲージによる測定作業は煩雑なた
め、一般的に納入側においては行われず、製作会社また
は補修会社に検査を一任し、その記録を提出させるだけ
であるのが通常である。また、納入側で検査を実施する
場合においても、納入後の検査は、チョーク等を利用し
た目視による検査に限られるため、その検査精度が十分
でないという問題があった。また、大型ロールの場合に
は、全周、全長の検査が困難である場合が多いという問
題もあった。
度、円筒度の測定などは、従来においては、製作後また
は補修後のロールを再度工作機械にセットし、ダイヤル
ゲージで測定することにより行わねばならなかった。し
かしながら、ダイヤルゲージによる測定作業は煩雑なた
め、一般的に納入側においては行われず、製作会社また
は補修会社に検査を一任し、その記録を提出させるだけ
であるのが通常である。また、納入側で検査を実施する
場合においても、納入後の検査は、チョーク等を利用し
た目視による検査に限られるため、その検査精度が十分
でないという問題があった。また、大型ロールの場合に
は、全周、全長の検査が困難である場合が多いという問
題もあった。
【0004】また、特願昭60−168949 号およ
び実願昭60−130866 号に、非接触式の距離セ
ンサを使用したロールプロフィル測定方法および装置が
述べられているが、これらはロールの表面の摩耗状態を
測定するための技術であり、ロール表面疵の有無の検査
、ロールの真円度、円筒度の検査に使用するには効率を
欠いていた。従って、この発明の目的は、ロール表面疵
の有無の検査、および、ロールの真円度および円筒度の
検査を迅速且つ精度よく行うことができるロールの検査
方法および装置を提供することにある。
び実願昭60−130866 号に、非接触式の距離セ
ンサを使用したロールプロフィル測定方法および装置が
述べられているが、これらはロールの表面の摩耗状態を
測定するための技術であり、ロール表面疵の有無の検査
、ロールの真円度、円筒度の検査に使用するには効率を
欠いていた。従って、この発明の目的は、ロール表面疵
の有無の検査、および、ロールの真円度および円筒度の
検査を迅速且つ精度よく行うことができるロールの検査
方法および装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の第1のロール検査方法においては、軸線
を中心として回転自在に支持した被検査ロールを回転し
、次いで、非接触式の距離センサを前記ロールの軸線と
平行に移動させて前記ロールの表面からの距離を連続的
に検出し、前記ロール表面からの距離の検出値、前記ロ
ールが回転した角度および前記距離センサの移動量によ
って前記ロールの表面疵の有無および位置を検査するこ
とに特徴を有するものである。
に、この発明の第1のロール検査方法においては、軸線
を中心として回転自在に支持した被検査ロールを回転し
、次いで、非接触式の距離センサを前記ロールの軸線と
平行に移動させて前記ロールの表面からの距離を連続的
に検出し、前記ロール表面からの距離の検出値、前記ロ
ールが回転した角度および前記距離センサの移動量によ
って前記ロールの表面疵の有無および位置を検査するこ
とに特徴を有するものである。
【0006】第2のロール検査方法においては、軸線を
中心として回転自在に支持した被検査ロールを回転し、
次いで、非接触式の距離センサによって前記ロールの表
面からの距離を検出して前記距離の最大値および最小値
を求め、次いで、前記最大値と最小値との差を算出し、
次いで、前記センサを前記ロールの軸線と平行に前記ロ
ールの全長に渡って所定距離ごとに停止させながら移動
し、停止させた位置ごとに前記距離の最大値と最小値と
の差を算出し、前記ロールの全長に渡って求めた各最大
値と最小値との差の最大値によって前記ロールの真円度
を求めることに特徴を有するものである。
中心として回転自在に支持した被検査ロールを回転し、
次いで、非接触式の距離センサによって前記ロールの表
面からの距離を検出して前記距離の最大値および最小値
を求め、次いで、前記最大値と最小値との差を算出し、
次いで、前記センサを前記ロールの軸線と平行に前記ロ
ールの全長に渡って所定距離ごとに停止させながら移動
し、停止させた位置ごとに前記距離の最大値と最小値と
の差を算出し、前記ロールの全長に渡って求めた各最大
値と最小値との差の最大値によって前記ロールの真円度
を求めることに特徴を有するものである。
【0007】第3のロール検査方法においては、軸線を
中心として回転自在に支持した被検査ロールを回転し、
次いで、非接触式の距離センサによって前記ロールの表
面からの距離を検出して前記距離の最大値および最小値
を求め、次いで、前記センサを前記ロールの軸線と平行
に前記ロールの全長に渡って所定距離ごとに停止させな
がら移動し、停止させた位置ごとに前記距離の最大値お
よび最小値を求め、前記ロールの全長に渡って求めた各
最大値の最大値と前記ロールの全長に渡って求めた各最
小値の最小値との差によって前記ロールの円筒度を求め
ることに特徴を有するものである。
中心として回転自在に支持した被検査ロールを回転し、
次いで、非接触式の距離センサによって前記ロールの表
面からの距離を検出して前記距離の最大値および最小値
を求め、次いで、前記センサを前記ロールの軸線と平行
に前記ロールの全長に渡って所定距離ごとに停止させな
がら移動し、停止させた位置ごとに前記距離の最大値お
よび最小値を求め、前記ロールの全長に渡って求めた各
最大値の最大値と前記ロールの全長に渡って求めた各最
小値の最小値との差によって前記ロールの円筒度を求め
ることに特徴を有するものである。
【0008】また、この発明のロール検査装置において
は、被検査ロールを回転自在に支持するためのロール支
持機構と、前記ロール支持機構によって支持された前記
ロールを連続的に回転させるためのロール駆動機構と、
前記ロールが回転した角度を検出するための回転位置検
出器と、前記ロールの表面からの距離を連続的に検出す
るための非接触式の距離センサと、前記距離センサを前
記ロールの軸線と平行に移動させるための距離センサ移
動機構と、前記距離センサの移動量を検出するための移
動位置検出器と、検出された信号を処理するための信号
処理装置とからなることに特徴を有するものである
は、被検査ロールを回転自在に支持するためのロール支
持機構と、前記ロール支持機構によって支持された前記
ロールを連続的に回転させるためのロール駆動機構と、
前記ロールが回転した角度を検出するための回転位置検
出器と、前記ロールの表面からの距離を連続的に検出す
るための非接触式の距離センサと、前記距離センサを前
記ロールの軸線と平行に移動させるための距離センサ移
動機構と、前記距離センサの移動量を検出するための移
動位置検出器と、検出された信号を処理するための信号
処理装置とからなることに特徴を有するものである
【0
009】次に、この発明を図面を参照しながら説明する
。図1はこの発明のロール検査装置の制御系統を示す図
、図2は概略側面図である。図面に示すように、被検査
ロール1はロール支持ローラ2によって軸線を中心とし
て回転自在に支持されている。5はギヤードモータ、4
は動力伝達機構であり、これらのロール駆動機構によっ
てロール1を一定の速度で、連続的に回転することがで
きる。10はロールの回転角度を検出するための回転位
置検出器である。3はロール1の表面からの距離を連続
的に検出するための非接触式の距離センサである。 センサ3は、走行レール6、針状コロ軸受7、センサ走
行モータ11、センサ走行用ラック12からなる移動機
構によって、ロール1の軸線と平行にロール長手方向に
移動自在である。13はセンサ3の移動量を検出するた
めの移動位置検出器である。8は、センサ3、回転位置
検出器10および移動位置検出器13からの検出信号を
処理するための信号処理装置、9は処理の結果を表示す
る入・出力装置、14は基準値設定手段である。
009】次に、この発明を図面を参照しながら説明する
。図1はこの発明のロール検査装置の制御系統を示す図
、図2は概略側面図である。図面に示すように、被検査
ロール1はロール支持ローラ2によって軸線を中心とし
て回転自在に支持されている。5はギヤードモータ、4
は動力伝達機構であり、これらのロール駆動機構によっ
てロール1を一定の速度で、連続的に回転することがで
きる。10はロールの回転角度を検出するための回転位
置検出器である。3はロール1の表面からの距離を連続
的に検出するための非接触式の距離センサである。 センサ3は、走行レール6、針状コロ軸受7、センサ走
行モータ11、センサ走行用ラック12からなる移動機
構によって、ロール1の軸線と平行にロール長手方向に
移動自在である。13はセンサ3の移動量を検出するた
めの移動位置検出器である。8は、センサ3、回転位置
検出器10および移動位置検出器13からの検出信号を
処理するための信号処理装置、9は処理の結果を表示す
る入・出力装置、14は基準値設定手段である。
【0010】ロール1の回転量、センサ3の移動量およ
びロール1の表面からの距離の検出値はアナログである
が、これをA/D変換し、信号処理装置8によって、入
・出力装置9によってモニター表示する。
びロール1の表面からの距離の検出値はアナログである
が、これをA/D変換し、信号処理装置8によって、入
・出力装置9によってモニター表示する。
【0011】次に、ロール表面疵の検査方法について説
明する。図3はロール表面までの距離の変化と、ロール
回転角度およびセンサ移動量との関係を示すグラフ、図
4はロール表面までの距離の変化と、ロール回転角度お
よびセンサ移動量との関係を3次元的に示すグラフ、図
5は表面疵の位置を示すロールの展開図である。
明する。図3はロール表面までの距離の変化と、ロール
回転角度およびセンサ移動量との関係を示すグラフ、図
4はロール表面までの距離の変化と、ロール回転角度お
よびセンサ移動量との関係を3次元的に示すグラフ、図
5は表面疵の位置を示すロールの展開図である。
【0012】まず、センサ3をロール1の一方端の位置
1(n=1)に配置し、ロール1を回転させる。次いで
、センサ3をロール1の軸線と平行にロール1の長手方
向に移動させながら、回転するロール1の表面からの距
離Yiを連続的に検出する。そして、距離データYiを
ロール1回転ごとに分解し(図4)、各回転ごとの距離
データYiをロール回転量およびセンサ移動量とともに
3次元的に展開する(図5)。そして、距離データYi
を基準値設定手段14によって設定された表面疵深さの
基準値aiと比較し、これを超えるような(Yi>ai
)有意な表面疵情報を抽出し、出力する。
1(n=1)に配置し、ロール1を回転させる。次いで
、センサ3をロール1の軸線と平行にロール1の長手方
向に移動させながら、回転するロール1の表面からの距
離Yiを連続的に検出する。そして、距離データYiを
ロール1回転ごとに分解し(図4)、各回転ごとの距離
データYiをロール回転量およびセンサ移動量とともに
3次元的に展開する(図5)。そして、距離データYi
を基準値設定手段14によって設定された表面疵深さの
基準値aiと比較し、これを超えるような(Yi>ai
)有意な表面疵情報を抽出し、出力する。
【0013】図3および図4にロール1の1回転ごとの
波形が図示されている。波形に変化がみられた部分が表
面疵の存在部分であり、その表面疵の大きさおよび位置
は、モニターで視覚的に把握できる。図3および図4に
おいて、l0はロール1の1回転当たりの時間(ロール
1の回転角度)、図3においてNは距離センサ3の移動
量(時間)を示す。また、図4において、斜めの軸はロ
ール1の円周方向、横軸はロール1の長手方向を示す。 図5に示す表面疵の欠陥1および欠陥2が図4に波形と
して示されており、ロール表面疵の有無および位置が把
握できる。また、図7に、本実施態様の信号処理を説明
するフローチャートを示す。
波形が図示されている。波形に変化がみられた部分が表
面疵の存在部分であり、その表面疵の大きさおよび位置
は、モニターで視覚的に把握できる。図3および図4に
おいて、l0はロール1の1回転当たりの時間(ロール
1の回転角度)、図3においてNは距離センサ3の移動
量(時間)を示す。また、図4において、斜めの軸はロ
ール1の円周方向、横軸はロール1の長手方向を示す。 図5に示す表面疵の欠陥1および欠陥2が図4に波形と
して示されており、ロール表面疵の有無および位置が把
握できる。また、図7に、本実施態様の信号処理を説明
するフローチャートを示す。
【0014】次に、ロールの真円度および円筒度の検査
方法について説明する。図6はロールの正面図である。 まず、ロールの真円度の検査方法について述べる。セン
サ3を図6に示すロール1の一方端の位置1(n=1)
に配置し、ロール1を回転させる。そして、回転するロ
ール1の表面からの距離Xiを連続的に検出することに
より、ロール1が1回転 (360 °) する間にお
ける距離Xiの最大値と最小値とを求める。そして、前
記距離Xiの最大値と最小値との差を算出する。次いで
、センサ3をロール1の軸線と平行に、所定距離ごとに
停止させながら、長手方向の一端側から他端側まで移動
する。そして、停止した位置(n=1〜N)ごとに距離
Xiの最大値と最小値との差を算出する。
方法について説明する。図6はロールの正面図である。 まず、ロールの真円度の検査方法について述べる。セン
サ3を図6に示すロール1の一方端の位置1(n=1)
に配置し、ロール1を回転させる。そして、回転するロ
ール1の表面からの距離Xiを連続的に検出することに
より、ロール1が1回転 (360 °) する間にお
ける距離Xiの最大値と最小値とを求める。そして、前
記距離Xiの最大値と最小値との差を算出する。次いで
、センサ3をロール1の軸線と平行に、所定距離ごとに
停止させながら、長手方向の一端側から他端側まで移動
する。そして、停止した位置(n=1〜N)ごとに距離
Xiの最大値と最小値との差を算出する。
【0015】そして、前記ロールの全長に渡って求めた
、各最大値と最小値との差の最大値:「最大値(最大値
−最小値)」を求め、この値によってロール1の真円度
を求める。すなわち、真円度SIは下記(1)式により
求められる。 SI=Max〔(Xi)Max−(Xi)Min〕
─(1)式。 ただし、 SI :真円度 (Xi)Max:ロール表面からの距離の最大値(Xi
)Min:ロール表面からの距離の最小値。
、各最大値と最小値との差の最大値:「最大値(最大値
−最小値)」を求め、この値によってロール1の真円度
を求める。すなわち、真円度SIは下記(1)式により
求められる。 SI=Max〔(Xi)Max−(Xi)Min〕
─(1)式。 ただし、 SI :真円度 (Xi)Max:ロール表面からの距離の最大値(Xi
)Min:ロール表面からの距離の最小値。
【0016】次に、ロールの円筒度の検査方法について
述べる。センサ3を図6に示すロール1の一方端の位置
1(n=1)に配置し、ロール1を回転させる。次いで
、回転するロール1の表面からの距離Xiを連続的に検
出することにより、ロール1が1回転 (360 °)
する間における距離Xiの最大値と最小値とを求める
。そして、センサ3をロール1の軸線と平行に、所定距
離ごとに停止させながら、ロール1の長手方向の一端側
から他端側まで移動する。そして、停止した位置(n=
1〜N)ごとに、距離Xiの最大値および最小値を求め
る。
述べる。センサ3を図6に示すロール1の一方端の位置
1(n=1)に配置し、ロール1を回転させる。次いで
、回転するロール1の表面からの距離Xiを連続的に検
出することにより、ロール1が1回転 (360 °)
する間における距離Xiの最大値と最小値とを求める
。そして、センサ3をロール1の軸線と平行に、所定距
離ごとに停止させながら、ロール1の長手方向の一端側
から他端側まで移動する。そして、停止した位置(n=
1〜N)ごとに、距離Xiの最大値および最小値を求め
る。
【0017】そして、前記ロールの全長に渡って求めた
各最大値の最大値と、前記ロールの全長に渡って求めた
各最小値の最小値とを求め、次いでこの差:「最大値の
最大値−最小値の最小値」を算出する。そして、この値
によってロール1の円筒度を求める。すなわち、円筒度
ENは下記(2)式により求められる。 EN=Max〔(Xi)Max〕−Min〔(Xi
)Min〕─(2)式。 ただし、 EN :円筒度 (Xi)Max:ロール表面からの距離の最大値(Xi
)Min:ロール表面からの距離の最小値。 図9に、真円度および円筒度を測定する本実施態様の信
号処理を説明するフローチャートを示す。
各最大値の最大値と、前記ロールの全長に渡って求めた
各最小値の最小値とを求め、次いでこの差:「最大値の
最大値−最小値の最小値」を算出する。そして、この値
によってロール1の円筒度を求める。すなわち、円筒度
ENは下記(2)式により求められる。 EN=Max〔(Xi)Max〕−Min〔(Xi
)Min〕─(2)式。 ただし、 EN :円筒度 (Xi)Max:ロール表面からの距離の最大値(Xi
)Min:ロール表面からの距離の最小値。 図9に、真円度および円筒度を測定する本実施態様の信
号処理を説明するフローチャートを示す。
【0018】また、図8はこの結果を波形によって表示
したグラフであり、縦軸はロール表面からの距離、横軸
はセンサ移動量、中心の0軸が基準値を示している。図
8に示すように、ロール表面からの距離の最大値と最小
値との差が位置X1で最大となり、真円度SIはこの数
値から求められる。一方、円筒度ENは、ロール表面か
らの距離の最小値が最も小さかった位置X1における最
小値(最小値の最小値)と、最大値が最も大きかった位
置Xi+1における最大値(最大値の最大値)との差に
よって求められる。
したグラフであり、縦軸はロール表面からの距離、横軸
はセンサ移動量、中心の0軸が基準値を示している。図
8に示すように、ロール表面からの距離の最大値と最小
値との差が位置X1で最大となり、真円度SIはこの数
値から求められる。一方、円筒度ENは、ロール表面か
らの距離の最小値が最も小さかった位置X1における最
小値(最小値の最小値)と、最大値が最も大きかった位
置Xi+1における最大値(最大値の最大値)との差に
よって求められる。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
、ロールの表面疵の有無および位置、および、ロールの
真円度、円筒度を効率良く検査することができる産業上
有用な効果が得られる。
、ロールの表面疵の有無および位置、および、ロールの
真円度、円筒度を効率良く検査することができる産業上
有用な効果が得られる。
【図1】この発明のロール検査装置の制御系統を示す図
【図2】この発明のロール検査装置の概略側面図
【図3
】ロール表面までの距離の変化およびロールの回転した
角度と、センサの移動量との関係を示すグラフ
】ロール表面までの距離の変化およびロールの回転した
角度と、センサの移動量との関係を示すグラフ
【図4】
ロール表面までの距離の変化およびロールの回転した角
度と、センサの移動量との関係を3次元的に示すグラフ
ロール表面までの距離の変化およびロールの回転した角
度と、センサの移動量との関係を3次元的に示すグラフ
【図5】表面疵の位置を示すロールの展開図
【図6】ロ
ールのセンサの測定位置を示す正面図
ールのセンサの測定位置を示す正面図
【図7】ロール表
面疵の検査方法の信号処理を説明するフローチャート
面疵の検査方法の信号処理を説明するフローチャート
【図8】ロール表面までの距離とセンサの移動量との関
係を示すグラフ
係を示すグラフ
【図9】ロールの真円度および円筒度の検査方法の信号
処理を説明するフローチャート
処理を説明するフローチャート
1 ロール
2 ロール支持ローラ
3 距離センサ
4 動力伝達機構
5 ギヤードモータ
6 走行レール
7 針状コロ軸受
8 信号処理装置
9 入・出力装置
10 回転位置検出器
11 センサ走行モータ
12 センサ走行用ラック
13 移動位置検出器
14 基準値設定手段
Claims (4)
- 【請求項1】 軸線を中心として回転自在に支持した
被検査ロールを回転し、次いで、非接触式の距離センサ
を前記ロールの軸線と平行に移動させて前記ロールの表
面からの距離を連続的に検出し、前記ロール表面からの
距離の検出値、前記ロールが回転した角度および前記距
離センサの移動量によって前記ロールの表面疵の有無お
よび位置を検査することを特徴とするロール検査方法。 - 【請求項2】 軸線を中心として回転自在に支持した
被検査ロールを回転し、次いで、非接触式の距離センサ
によって前記ロールの表面からの距離を検出して前記距
離の最大値および最小値を求め、次いで、前記最大値と
最小値との差を算出し、次いで、前記センサを前記ロー
ルの軸線と平行に前記ロールの全長に渡って所定距離ご
とに停止させながら移動し、停止させた位置ごとに前記
距離の最大値と最小値との差を算出し、前記ロールの全
長に渡って求めた各最大値と最小値との差の最大値によ
って前記ロールの真円度を求めることを特徴とするロー
ル検査方法。 - 【請求項3】 軸線を中心として回転自在に支持した
被検査ロールを回転し、次いで、非接触式の距離センサ
によって前記ロールの表面からの距離を検出して前記距
離の最大値および最小値を求め、次いで、前記センサを
前記ロールの軸線と平行に前記ロールの全長に渡って所
定距離ごとに停止させながら移動し、停止させた位置ご
とに前記距離の最大値および最小値を求め、前記ロール
の全長に渡って求めた各最大値の最大値と前記ロールの
全長に渡って求めた各最小値の最小値との差によって前
記ロールの円筒度を求めることを特徴とするロール検査
方法。 - 【請求項4】 被検査ロールを回転自在に支持するた
めのロール支持機構と、前記ロール支持機構によって支
持された前記ロールを連続的に回転させるためのロール
駆動機構と、前記ロールが回転した角度を検出するため
の回転位置検出器と、前記ロールの表面からの距離を連
続的に検出するための非接触式の距離センサと、前記距
離センサを前記ロールの軸線と平行に移動させるための
距離センサ移動機構と、前記距離センサの移動量を検出
するための移動位置検出器と、検出された信号を処理す
るための信号処理装置とからなることを特徴とするロー
ル検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9324091A JPH04303702A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | ロール検査方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9324091A JPH04303702A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | ロール検査方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04303702A true JPH04303702A (ja) | 1992-10-27 |
Family
ID=14077002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9324091A Pending JPH04303702A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | ロール検査方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04303702A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113330148A (zh) * | 2019-01-08 | 2021-08-31 | Topsil 环球晶圆股份公司 | 标记扫描器 |
| JP2023053825A (ja) * | 2021-10-01 | 2023-04-13 | Jfeスチール株式会社 | 圧延ロールの表面欠陥検出装置、及び表面欠陥検出方法 |
-
1991
- 1991-03-29 JP JP9324091A patent/JPH04303702A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113330148A (zh) * | 2019-01-08 | 2021-08-31 | Topsil 环球晶圆股份公司 | 标记扫描器 |
| JP2022516760A (ja) * | 2019-01-08 | 2022-03-02 | トプシル、グローバルウェハース、アクティーゼルスカブ | マーキングスキャナー |
| JP2023053825A (ja) * | 2021-10-01 | 2023-04-13 | Jfeスチール株式会社 | 圧延ロールの表面欠陥検出装置、及び表面欠陥検出方法 |
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