JPH0430488Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、被検査物に対して多角度からＸ線を
入射させ被検査物の透視検査を行う多角度Ｘ線透
視装置に関する。

従来の技術 例えば、ICやLSI等の電子部品が実装されるプ
リント基板には、当該電子部品のリード端子が挿
入されるスルーホールと称される端子挿入孔が形
成されており、当該スルーホール内に半田を入れ
てから、電子部品のリード端子を挿入させること
がある。その場合、前記半田がスルーホール内に
規定量入つているか否かを確認するために、前記
プリント基板に対してＸ線を多角度から照射する
方法が考えられた。その装置として、従来では第
６図ａ，ｂに示す如き多角度Ｘ線透視装置が用い
られている。

ａ図の多角度Ｘ線透視装置は、Ｘ線を発生させ
るＸ線発生器１ａと、Ｘ線を受光するＸ線受光器
２ａと、両者間に配置され、被検査物３が搭載さ
れるテーブル４ａとを備えている。そして、Ｘ線
発生器１ａは、Ｘ線受光器２ａに対して常に一方
向からＸ線を入射させるようになつていて、テー
ブル４ａに当該テーブル４ａを回転させたり傾動
させたりする機能を有している。

一方、ｂ図の多角度Ｘ線透視装置では、被検査
物３が搭載されるテーブル４ｂがＸ−Ｙ動テーブ
ルとなつていると共に、Ｘ線発生器１ｂもＸ−Ｙ
動テーブル５に取り付けられている。つまり、テ
ーブル４ｂおよびＸ線発生器１ｂがＸ方向および
Ｙ方向にそれぞれ独自に可動しうるように構成さ
れている。しかも、Ｘ線発生器１ｂは、図中矢印
のような首振り機能も備えている。

考案が解決しようとする問題点 ところで、ａ図の多角度Ｘ線透視装置におい
て、テーブル４ａにより被検査物３を二点鎖線で
示すように傾動させると、Ｘ線受光器２ａと被検
査物３との間の距離が図中ｍからm′で示すよう
に差が生じて正確な測定ができなくなり、前記差
を無くすようにテーブル４ａを適宜に移動させる
ための制御機構が必要になるという欠点があつ
た。

一方、ｂ図の多角度Ｘ線透視装置では、ａ図の
それの欠点を解消できるが、Ｘ線発生器１ｂをＸ
−Ｙ動テーブル５で動かすため、特にＸ線発生器
１ｂを水平方向に旋回させるのに複雑な制御が必
要になるという欠点があつた。

本考案は上記欠点に着目して創案されたもの
で、被検査物に対するＸ線照射角を比較的簡単な
構成で自由に設定できる多角度Ｘ線透視装置を提
供することを目的としている。

問題点を解決するための手段 上記目的を達成するため、本考案の多角度Ｘ線
透視装置は、搭載された被検査物をＸ軸方向及び
Ｙ軸方向に移動可能とするＸ−Ｙ動テーブルと、
このＸ−Ｙ動テーブルの上方に設けられるＸ線発
生器と、前記Ｘ−Ｙ動テーブルの下方に設けら
れ、前記Ｘ線発生器から照射され、前記被検査物
を透過したＸ線を受けるＸ線受光器と、前記Ｘ線
発生器を移動可能に支持する支持機構とを有して
いる。前記支持機構は前記Ｘ−Ｙ動テーブルに対
して平行、かつ前記Ｘ線受光器のＸ線受光中心を
中心として旋回可能になつた腕部材と、この腕部
材にスライド可能に吊り下げられたスライド部材
とを有し、前記Ｘ線発生器はスライド部材に首振
可能に支持されている。

作 用 支持機構の腕部材の旋回操作と、スライド部材
のスライド操作と、Ｘ線発生器の回動（首振り）
操作との組合せにより、Ｘ線発生器の被検査物に
対するＸ線照射角が任意に設定される。また、被
検査物へのＸ線入射位置は、Ｘ−Ｙ動テーブルの
移動により変更できる。

実施例 一般に、多角度Ｘ線透視装置は、第２図に示す
ように、Ｘ線が外部に漏洩しないように構成され
た防護室７０内に配設されている。

この実施例による多角度Ｘ線透視装置について
第１図〜第３図を参照して説明する。

これらの図において、符号１０は、ICやLSI等
の電子部品を実装すべきプリント基板つまり被検
査物２０が搭載されるＸ−Ｙ動テーブルである。
このＸ−Ｙ動テーブル１０は、防護室７０の底面
に固定された固定台１１上に配設された２本の平
行レール１２に沿つて往復動させるＹ動テーブル
１３と、このＹ動テーブル１３上に前記平行レー
ル１２と直交する方向に配設された平行レール１
４に沿つて往復動させるＸ動テーブル１５とから
構成されている（第３図参照）。なお、符号１５
ａは、被検査物２０の位置ずれを防止するロツク
装置で、Ｘ動テーブル１５に設けられている。

さて、Ｘ−Ｙ動テーブル１０の上方には、被検
査物２０にＸ線を照射するＸ線発生器３０が支持
機構４０により支持されて配置されている。具体
的に、支持機構４０は、水平方向に延在する腕部
材４１と、この腕部材４１に沿つてスライド自在
となるように吊り下げられたスライド部材４２
と、前記腕部材４１をＸ線受光器５０のＸ線受光
中心を中心として水平方向に旋回させるウオーム
ギヤ４３およびウオーム４４からなるウオームギ
ヤ装置とを具備している。このスライド部材４２
にＸ線発生器３０は、スライド部材４２との連結
部分４２ａを中心として第１図矢印の如くつまり
首振り（回動）可能に支持されていて、Ｘ線照射
角度を無段階的に変向調整しうるようになつてい
る。

一方、Ｘ−Ｙ動テーブル１０の下方には、Ｘ線
発生器３０から照射され被検査物２０を透過して
得たＸ線画像を輝度信号のみからなる可視光線の
画像に変換するＸ線受光器５０が配置されてい
る。Ｘ線受光器５０ではＸ線を輝度信号のみから
なる映像信号に変換して出力する。この映像信号
の波形はテレビモニタ６０を通じて映し出される
ようになつている。

ところで、防護室７０の前面には、上記Ｘ−Ｙ
動テーブル１０上に被検査物２０を搬送するため
のオートローダ８０が配設されている。このオー
トローダ８０は、被検査物２０を破線で示すコン
ベアー８２により搬送するように構成してある。
なお、Ｘ動テーブル１５にも前記同様のオートロ
ーダ（詳細な図示せず）が設けられている。さ
て、被検査物２０は、第４図に示す如きベースプ
レート９０上に固定されるカーボン樹脂板９１上
にその位置決めピン９２によりセツトされた状態
で前記コンベアー８２上に載せられる。そして被
検査物２０の搬送時には、防護室７０の前面に設
けた扉７２を開閉して行うようになつている。

上述した多角度Ｘ線透視装置は、ウオームギヤ
装置による支持機構４０の腕部材４１の旋回操作
と、腕部材４１に沿つてスライド部材４２をスラ
イドさせる操作と、スライド部材４２との連結部
分４２ａを中心とするＸ線発生器３０の首振り操
作との組合せにより、被検査物２０に対するＸ線
発生器３０のＸ線照射角を設定させるようになつ
ている。その具体的な一例を第５図を参照して説
明する。

まず、スライド部材４２の連結部分４２ａを中
心としてＸ線発生器３０を時計方向に所定角度回
動させて仰角θを設定させる。このときの仰角θ
によりＸ線受光器５０の受光中心ＯとＸ線発生器
３０から射出されるＸ線の到達点Ａとの間に、
ｌ・tanθによつて求まるずれが生じるので、腕部
材４１に沿つてスライド部材４２と共にＸ線発生
器３０を距離ｎだけ移動させて、前記到達点Ａを
Ｘ線受光器５０の受光中心Ｏに移動させる。次
に、ウオームギヤ装置により腕部材４１と共にＸ
線発生器３０を旋回させることにより被検査物２
０を見る方向を決める。この見る方向に基づい
て、被検査物２０をＸ−Ｙ動テーブル１０でもつ
て距離Ｐだけ移動させることにより、被検査物２
０の検査ポイントＭをＸ線発生器３０とＸ線受光
器５０の受光中心Ｏとを結ぶ直線上に位置させ
る。

考案の効果 本考案は、被検査物に対するＸ線の照射角を自
由に、かつ精度良く変えることができる。しかも
Ｘ線発生器の位置制御が従来のＸ−Ｙ動テーブル
によるものと比較して簡単な構成で実現できる。

結果的に、本考案によれば、従来困難であつた
Ｘ線発生器の旋回が簡単な構成で容易に実現でき
ると共に、被検査物に対して広範囲な角度からの
検査が容易に行える多角度Ｘ線透視装置を提供す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例としての多角度Ｘ線
透視装置を示す構成概略図、第２図は同装置を防
護室に収納した状態を示す正面説明図、第３図は
同装置の横断面を示す説明図、第４図は第３図Ａ
−Ａ矢視断面を詳細に示す図、第５図は同装置の
動作説明をするための説明図、第６図ａ，ｂは従
来の多角度Ｘ線透視装置の模式図である。 １０……Ｘ−Ｙ動テーブル、２０……被検査
物、３０……Ｘ線発生器、４０……支持機構、４
１……腕部材、４２……スライド部材、５０……
Ｘ線受光器。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 搭載された被検査物をＸ軸方向及びＹ軸方向に
   移動可能とするＸ−Ｙ動テーブルと、このＸ−Ｙ
   動テーブルの上方に設けられるＸ線発生器と、前
   記Ｘ−Ｙ動テーブルの下方に設けられ、前記Ｘ線
   発生器から照射され、前記被検査物を透過したＸ
   線を受けるＸ線受光器と、前記Ｘ線発生器を移動
   可能に支持する支持機構とを具備しており、前記
   支持機構は前記Ｘ−Ｙ動テーブルに対して平行、
   かつ前記Ｘ線受光器のＸ線受光中心を中心として
   旋回可能になつた腕部材と、この腕部材にスライ
   ド可能に吊り下げられたスライド部材とを有し、
   前記Ｘ線発生器はスライド部材に首振可能に支持
   されていることを特徴とする多角度Ｘ線透視装
   置。